JP4551143B2 - マイクロ波発熱体およびその製造方法 - Google Patents
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(2)前記第1発熱層に含まれる粉末が、炭化珪素(SiC)であり、前記第2発熱層に含まれる粉末が、CaO・6Al2O 3 であることを特徴とする、(1)に記載のマイクロ波発熱体。
(3)前記セラミック製の基材が、断熱性セラミックであることを特徴とする、(1)又は(2)に記載のマイクロ波発熱体。
(4)前記セラミック粉末の平均粒径が1〜200μmであることを特徴とする、(1)〜(3)のいずれか1項に記載のマイクロ波発熱体。
(5)前記発熱層は、さらにニッケル、コバルト、モリブデン、タングステン、およびジルコニウムからなる群より選択される耐熱性金属粉末を含むことを特徴とする、(1)〜(4)のいずれか1項に記載のマイクロ波発熱体。
(6)前記発熱層の厚さが200μm以上であることを特徴とする、(1)〜(5)のいずれか1項に記載のマイクロ波発熱体。
(7)炭化珪素(SiC)粉末又はホウ化ジルコニウム(ZrB 2 )粉末と、SiO2ゾル、水ガラスおよび金属アルコキシドからなる群より選択される1種以上とを混練して得られた塗液をセラミック製の基材に塗布して、前記基材上に第1発熱層を形成した後に、CaO・6Al 2 O 3 粉末又はフッ化カルシウム(CaF 2 )粉末と、SiO 2 ゾル、水ガラスおよび金属アルコキシドからなる群より選択される1種以上とを混練して得られた塗液を前記発熱層上に塗布して、第2発熱層を形成することを特徴とする、マイクロ波発熱体の製造方法。
(8)前記第1発熱層に含まれる粉末が、炭化珪素(SiC)であり、前記第2発熱層に含まれる粉末が、CaO・6Al2O 3 であることを特徴とする、(7)に記載のマイクロ波発熱体の製造方法。
(9)前記セラミック製の基材が、断熱性セラミックであることを特徴とする(7)又は(8)に記載のマイクロ波発熱体の製造方法。
直径が約12mm、最大厚さが約6mmである円盤形状のガラスを用いた。ガラスの組成は、SiO2:30.8%、B2O3:17.9%、Al2O3:1.4%、Na2O:0.3%、BaO:48.7%、Sb2O3:0.4%、As2O3:0.5%である。
β型SiC固化体としては、イビデン株式会社製イビセラムTMSC−850を使用した。このマイクロ波発熱体にガラスを載置し、1KWのマイクロ波(2450Hz)を照射した。熱電対を用いてガラスの温度を測定するとマイクロ波によってスパークが生じてしまうため、ガラスの加熱速度は、ガラスが赤くなる時点を目視で観察することによって評価した。マイクロ波の照射開始からの時間を測定したところ、60秒でガラスを赤熱させることができた。結果を表1に示す。
参考例1で準備したマイクロ波発熱体の側面および上面を、断熱材(電気化学工業株式会社製デンカアルセンボード、BD−1700LN)で囲み、参考例1と同様のマイクロ波を照射した。マイクロ波の照射開始からの時間を測定したところ、40秒でガラスを赤熱させることができた。結果を表1に示す。
平均粒度約200μmの研削剤用SiC粉末(屋久島電工株式会社、GC150)と、SiO2ゾル(日産化学工業株式会社、スノーテックスTM20番)とを、質量比1:1で混練した。得られたスラリーを、断熱材上に、刷毛を用いて塗布した。膜厚は約500μmとした。
参考例3で作製した、SiC粉末を含む発熱層が形成されたマイクロ波発熱体上にガラスを載置し、参考例1と同様のマイクロ波を照射した。マイクロ波の照射開始からの時間を測定したところ、35秒でガラスを赤熱させることができた。結果を表1に示す。
平均粒度約200μmの研削剤用SiC粉末(屋久島電工株式会社、GC150)と、SiO2ゾル(日産化学工業株式会社、スノーテックスTM20番)とを、質量比1:1で混練した。得られたスラリーを、断熱材上に、刷毛を用いて塗布した。膜厚は約500μmとした。
平均粒度約45μmのZrB2粉末(旭硝子株式会社)と、水ガラス4号とを、質量比1:1で混練した。得られたスラリーを、断熱材上に、刷毛を用いて塗布した。膜厚は約600μmとした。
Claims (9)
- セラミック製の基材と、
前記基材の少なくとも一表面に形成されてなる、炭化珪素(SiC)粉末又はホウ化ジルコニウム(ZrB2)粉末を含む第1発熱層と、CaO・6Al2O3 粉末又はフッ化カルシウム(CaF2 )粉末を含む第2発熱層と、を有することを特徴とする、マイクロ波発熱体。 - 前記第1発熱層に含まれる粉末が、炭化珪素(SiC)であり、前記第2発熱層に含まれる粉末が、CaO・6Al2O 3 であることを特徴とする、請求項1に記載のマイクロ波発熱体。
- 前記セラミック製の基材が、断熱性セラミックであることを特徴とする、請求項1又は2に記載のマイクロ波発熱体。
- 前記セラミック粉末の平均粒径が1〜200μmであることを特徴とする、請求項1〜3のいずれか1項に記載のマイクロ波発熱体。
- 前記発熱層は、さらにニッケル、コバルト、モリブデン、タングステン、およびジルコニウムからなる群より選択される耐熱性金属粉末を含むことを特徴とする、請求項1〜4のいずれか1項に記載のマイクロ波発熱体。
- 前記発熱層の厚さが200μm以上であることを特徴とする、請求項1〜5のいずれか1項に記載のマイクロ波発熱体。
- 炭化珪素(SiC)粉末又はホウ化ジルコニウム(ZrB 2 )粉末と、SiO2ゾル、水ガラスおよび金属アルコキシドからなる群より選択される1種以上とを混練して得られた塗液をセラミック製の基材に塗布して、前記基材上に第1発熱層を形成した後に、CaO・6Al 2 O 3 粉末又はフッ化カルシウム(CaF 2 )粉末と、SiO 2 ゾル、水ガラスおよび金属アルコキシドからなる群より選択される1種以上とを混練して得られた塗液を前記発熱層上に塗布して、第2発熱層を形成することを特徴とする、マイクロ波発熱体の製造方法。
- 前記第1発熱層に含まれる粉末が、炭化珪素(SiC)であり、前記第2発熱層に含まれる粉末が、CaO・6Al2O 3 であることを特徴とする、請求項7に記載のマイクロ波発熱体の製造方法。
- 前記セラミック製の基材が断熱性セラミックであることを特徴とする、請求項7又は8に記載のマイクロ波発熱体の製造方法。
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