JP4542175B2 - アシストパターン識別装置及び試料検査装置 - Google Patents
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Description
(2)また、本発明は、試料のアシストパターンを識別することにより、パターン検査を的確に行うことにある。
(2)又、本発明の実施の形態は、パターンを有する試料の透過画像と反射画像を同時に取得する光学画像取得部と、アシストパターンの識別条件により透過画像と反射画像からアシストパターンを識別するアシストパターン識別部と、アシストパターンをデセンス領域に設定するデセンス領域設定部と、デセンス領域において、パターンの比較検査を行う比較判定部と、を備え、前記アシストパターンの識別条件は、抜きアシストパターンに対して前記透過画像のサイズによるイメージ変化が前記反射画像に比して大きくなり、又は、残しアシストパターンに対して前記反射画像のサイズによるイメージ変化が前記透過画像に比して大きくなることを識別する試料検査装置である。
(3)又、本発明の実施の形態は、パターンを有する試料の透過画像と反射画像を同時に取得する光学画像取得部と、パターンの比較検査を行い、欠陥とされた部位を抽出する比較判定部と、欠陥とされた部位において、アシストパターンの識別条件により透過画像と反射画像からアシストパターンを識別するアシストパターン識別部と、欠陥とされた部位がアシストパターンであるならばデセンス処理を実行するデセンス処理実行部と、を備え、前記アシストパターンの識別条件は、抜きアシストパターンに対して前記透過画像のサイズによるイメージ変化が前記反射画像に比して大きくなり、又は、残しアシストパターンに対して前記反射画像のサイズによるイメージ変化が前記透過画像に比して大きくなることを識別する試料検査装置である。
(2)また、本発明は、試料のアシストパターンを識別することにより、パターン検査を的確に行うことができる。
(アシストパターン識別装置)
図1は、本発明の実施の形態のアシストパターン識別装置20を含む試料検査装置10を説明するブロック図である。アシストパターン識別装置20は、フォトマスク、ウェハ、あるいは液晶基板などの検査対象試料100のパターン12から透過画像22と反射画像24を取得する光学画像取得部110と、透過画像22と反射画像24とアシストパターン識別条件36を利用してアシストパターンを識別するアシストパターン識別部40などを備えている。なお、アシストパターン識別部40は、特にデセンス処理が必要なアシストパターン先端部分の領域を求めるためにアシストパターンの端を識別するライン端判定部400を備えている。ライン端判定部400は、アシストパターン識別部40以外の箇所に配置してもよく、例えば、アシストパターン識別部40の後段に接続しても良い。
図5は、試料検査装置10の内部構成を示す概念図である。試料検査装置10は、マスクやウェハ等の基板を試料100として、試料100のパターンの欠陥を検査するものである。試料検査装置10は、光学画像取得部110、制御系回路150などを備えている。光学画像取得部110は、オートローダ112、透過光の照明光を発生する照明装置114、反射光の照明光を発生する照明装置1140、XYθテーブル116、XYθモータ118、レーザ測長システム120、拡大光学系122、ピエゾ素子124、透過光22や反射光24を受信するCCD、フォトダイオードアレイなどのセンサを有する受光装置126、センサ回路128などを備えている。
試料100は、オートローダ制御部170により駆動されるオートローダ112から自動的に搬送され、XYθテーブル116の上に配置される。試料100は、照明装置114によって透過光を得るために上方から光が照射され、また、照明装置1140によって反射光を得るために下方から光が照射される。試料100の下方には、拡大光学系122、受光装置126及びセンサ回路128が配置されている。露光用マスクなどの試料100を透過した光又は反射した光は、拡大光学系122を介して、受光装置126に光学像として結像する。オートフォーカス制御部174は、試料100のたわみやXYθテーブル116のZ軸(X軸とY軸と直交する)方向への変動を吸収するため、ピエゾ素子124を制御して、試料100への焦点合わせを行なう。
試料100のパターン形成時に用いた設計データは、大容量記憶装置156に記憶される。設計データは、CPU152によって大容量記憶装置156から展開部176に入力される。設計データの展開工程として、展開部176は、試料100の設計データを2値ないしは多値の原イメージデータに変換して、この原イメージデータが参照部178に送られる。参照部178は、原イメージデータに適切なフィルタ処理を施し、光学画像に類似する参照画像を生成する。センサ回路128から得られた光学画像は、拡大光学系122の解像特性や受光装置126のアパーチャ効果等によってフィルタが作用した状態にあると言えられる。この状態では光学画像と設計側の原イメージデータとの間に差異があるので、設計側の原イメージデータに対して参照部178によりフィルタ処理を施し、光学画像に合わせる。
図7は、試料の抜きパターンの例を示しており、図7(A)は、抜きパターンの透過画像220を示し、図7(B)は、抜きパターンの反射画像240を示している。抜きパターンの透過画像220には、主要なパターン12aと共に、アシストパターン12cが示されている。抜きパターンの反射画像240には、主要なパターン12bと共に、アシストパターン12dが示されている。透過画像220と反射画像240において、主要なパターン12aと12bは、サイズの相違は殆ど無いが、アシストパターン12cは、アシストパターン12dに比してサイズが小さくなっている。このように、抜きアシストパターンの場合、光学的な特性によって、透過画像220のアシストパターン12cは、反射画像240のアシストパターン12dに比して、サイズが小さくなるので、アシストパターン12c、12dを識別することができる。即ち、抜きアシストパターンについて、透過画像のサイズによるイメージ変化が反射画像に比して大きくなっている。
12・・・試料のパターン
20・・・アシストパターン識別装置
22・・・透過画像
220・・抜きパターンの透過画像
222・・残しパターンの透過画像
24・・・反射画像
240・・抜きパターンの反射画像
242・・残しパターンの反射画像
30・・・アシストパターン識別条件設定部
32・・・代表画像
34・・・試料情報
36・・・アシストパターン識別条件
40・・・アシストパターン識別部
42・・・アシストパターン識別情報
50・・・デセンス領域設定部
52・・・デセンス領域情報
54・・・検査結果情報
56・・・暫定検査結果情報
60・・・デセンス処理実行部
62・・・確定検査結果情報
100・・試料
102・・ストライプ
110・・光学画像取得部
112・・オートローダ
114・・透過照明装置
1140・反射照明装置
116・・XYθテーブル
118・・XYθモータ
120・・レーザ測長システム
122・・拡大光学系
124・・ピエゾ素子
126・・受光装置
128・・センサ回路
150・・制御系回路
152・・CPU
154・・バス
156・・大容量記憶装置
158・・メモリ装置
160・・表示装置
162・・印字装置
170・・オートローダ制御部
172・・テーブル制御部
174・・オートフォーカス制御部
176・・展開部
178・・参照部
180・・比較判定部
182・・位置部
Claims (3)
- パターンを有する試料の透過画像と反射画像を同時に取得する光学画像取得部と、
アシストパターンの識別条件により前記透過画像と前記反射画像からアシストパターンを識別するアシストパターン識別部と、を備え、
前記アシストパターンの識別条件は、抜きアシストパターンに対して前記透過画像のサイズによるイメージ変化が前記反射画像に比して大きくなり、又は、残しアシストパターンに対して前記反射画像のサイズによるイメージ変化が前記透過画像に比して大きくなることを識別するものである、アシストパターン識別装置。 - パターンを有する試料の透過画像と反射画像を同時に取得する光学画像取得部と、
アシストパターンの識別条件により前記透過画像と前記反射画像からアシストパターンを識別するアシストパターン識別部と、
アシストパターンをデセンス領域に設定するデセンス領域設定部と、
デセンス領域において、パターンの比較検査を行う比較判定部と、を備え、
前記アシストパターンの識別条件は、抜きアシストパターンに対して前記透過画像のサイズによるイメージ変化が前記反射画像に比して大きくなり、又は、残しアシストパターンに対して前記反射画像のサイズによるイメージ変化が前記透過画像に比して大きくなることを識別するものである試料検査装置。 - パターンを有する試料の透過画像と反射画像を同時に取得する光学画像取得部と、
パターンの比較検査を行い、欠陥とされた部位を抽出する比較判定部と、
欠陥とされた部位において、アシストパターンの識別条件により前記透過画像と前記反射画像からアシストパターンを識別するアシストパターン識別部と、
欠陥とされた部位がアシストパターンであるならばデセンス処理を実行するデセンス処理実行部と、を備え、
前記アシストパターンの識別条件は、抜きアシストパターンに対して前記透過画像のサイズによるイメージ変化が前記反射画像に比して大きくなり、又は、残しアシストパターンに対して前記反射画像のサイズによるイメージ変化が前記透過画像に比して大きくなることを識別するものである試料検査装置。
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---|---|---|---|---|
WO2004077155A1 (ja) * | 2003-02-27 | 2004-09-10 | Fujitsu Limited | フォトマスク及び半導体装置の製造方法 |
JP2007064843A (ja) * | 2005-08-31 | 2007-03-15 | Advanced Mask Inspection Technology Kk | 試料検査装置、試料検査方法及びプログラム |
JP2007310162A (ja) * | 2006-05-18 | 2007-11-29 | Lasertec Corp | 検査装置及び検査方法とその検査方法を用いたパターン基板の製造方法 |
JP2008096296A (ja) * | 2006-10-12 | 2008-04-24 | Lasertec Corp | 異物検査方法及びその異物検査方法を用いた異物検査装置 |
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- 2008-06-09 JP JP2008150072A patent/JP4542175B2/ja active Active
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JP2007064843A (ja) * | 2005-08-31 | 2007-03-15 | Advanced Mask Inspection Technology Kk | 試料検査装置、試料検査方法及びプログラム |
JP2007310162A (ja) * | 2006-05-18 | 2007-11-29 | Lasertec Corp | 検査装置及び検査方法とその検査方法を用いたパターン基板の製造方法 |
JP2008096296A (ja) * | 2006-10-12 | 2008-04-24 | Lasertec Corp | 異物検査方法及びその異物検査方法を用いた異物検査装置 |
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