JP4531599B2 - スパッタ源、スパッタ装置 - Google Patents
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Description
このため、スパッタリングにより有機層上に電極膜を形成する方法が提案されている。
さらに、基板が大型化しても対応が容易であるスパッタ膜の形成方法および形成装置を提供する。
また、本発明は、導電性の板に複数の孔が形成されたフィルタが前記筒先端に配置され、前記粒子通路は前記フィルタの孔によって構成されたスパッタ源である。
また、本発明は、前記フィルタは、前記スパッタ源が配置された真空槽と同電位に接続されたスパッタ源である。
また、本発明は、前記磁力線形成部は、前記筒先端に配置された第一のトラップ磁石と、前記第一のトラップ磁石の外側に離間して配置された第二のトラップ磁石を有し、前記粒子通路に形成される磁力線は、前記第一、第二のトラップ磁石の間に形成されるスパッタ源である。
また、本発明は、真空槽内に本発明のスパッタ源が配置され、前記スパッタ源により、前記真空槽内に搬入された成膜対象物に薄膜を形成するように構成されたスパッタ装置である。
成膜対象物には電子や他の荷電粒子は入射しないので、成膜対象物表面の有機薄膜にダメージが生じない。
スパッタ源11は、後述するように、真空槽5内にスパッタリング粒子を放出するように構成されている。
その結果、小さい方の第一のトラップ磁石121aは大きい方の第二のトラップ磁石122aの内側に位置しており、中性粒子が通過する粒子通路130aは第一のトラップ磁石121aと第二のトラップ磁石122aの間に位置している。
他方、第二のトラップ磁石122bは、筒状側壁103の外周ではなく、筒状側壁103の外部であって、筒先端108付近に配置されている。
第四例〜第六例のスパッタ源14〜16では、第一例のフィルタ板140aは他のフィルタ板に交換することができる。
第二のフィルタ板140bが筒先端108に配置された状態では、第二のフィルタ板140bの孔142bによって粒子通路が形成される。
上記筒状側壁103は有底であり、底面部分102を有する容器状であったが、底面部分102は設けなくてもよい。
11〜17……第一〜第七例のスパッタ源
103……筒状側壁
108……筒先端
113a、113b……ターゲット
120a、120b……磁力線形成部
121a、121b……第一のトラップ磁石
122a、122b……第二のトラップ磁石
130a、130b、130c……粒子通路
140a、140b……フィルタ板
142a、142b……孔
Claims (5)
- ターゲットと、
前記ターゲットを取り囲む筒状側壁とを有し、
前記筒状側壁の筒先端に形成された粒子通路から前記ターゲットのスパッタリング粒子が放出されるように構成されたスパッタ源であって、
前記粒子通路に磁力線を形成する磁力線形成部とを有し、
前記筒状側壁から該スパッタ源の外部に放出される荷電粒子の飛行方向は、前記磁力線で曲げられるように構成されたスパッタ源。 - 導電性の板に複数の孔が形成されたフィルタが前記筒先端に配置され、前記粒子通路は前記フィルタの孔によって構成された請求項1記載のスパッタ源。
- 前記フィルタは、前記スパッタ源が配置された真空槽と同電位に接続された請求項2記載のスパッタ源。
- 前記磁力線形成部は、前記筒先端に配置された第一のトラップ磁石と、
前記第一のトラップ磁石の外側に離間して配置された第二のトラップ磁石を有し、
前記粒子通路に形成される磁力線は、前記第一、第二のトラップ磁石の間に形成される請求項1乃至請求項3のいずれか1項記載のスパッタ源。 - 真空槽内に請求項1乃至請求項4のいずれか1項記載のスパッタ源が配置され、
前記スパッタ源により、前記真空槽内に搬入された成膜対象物に薄膜を形成するように構成されたスパッタ装置。
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