JP7488555B2 - イオンガン及びイオンビームスパッタリング装置 - Google Patents
イオンガン及びイオンビームスパッタリング装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7488555B2 JP7488555B2 JP2020100703A JP2020100703A JP7488555B2 JP 7488555 B2 JP7488555 B2 JP 7488555B2 JP 2020100703 A JP2020100703 A JP 2020100703A JP 2020100703 A JP2020100703 A JP 2020100703A JP 7488555 B2 JP7488555 B2 JP 7488555B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- grid
- ion
- target
- ion gun
- protective
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000001659 ion-beam spectroscopy Methods 0.000 title claims description 19
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims description 116
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 31
- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims description 19
- 230000000181 anti-adherent effect Effects 0.000 claims 1
- 239000013077 target material Substances 0.000 description 17
- 239000010408 film Substances 0.000 description 14
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 11
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 7
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 7
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 description 7
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 6
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 6
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 5
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 5
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 4
- PBCFLUZVCVVTBY-UHFFFAOYSA-N tantalum pentoxide Inorganic materials O=[Ta](=O)O[Ta](=O)=O PBCFLUZVCVVTBY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 3
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 3
- BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);tantalum(5+) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ta+5].[Ta+5] BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 3
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 3
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 3
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 2
- -1 oxygen ions Chemical class 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 2
- MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N Dioxygen Chemical compound O=O MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052681 coesite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 229910052906 cristobalite Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001882 dioxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 1
- 229910052682 stishovite Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052905 tridymite Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Plasma Technology (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
本実施の形態のイオンガンIGは、グリッド群Gと、イオンガン本体MBから構成されている。
図3は、本実施の形態のイオンガンIGをイオンビームスパッタリング装置IBSに適用した例を示すものである。イオンビームスパッタリング装置IBSは、イオンガンIGと、ターゲット部19と、真空チャンバ21と、真空ポンプ23と、基板ホルダ25と、ニュートライザ27から構成されている。
EG イオン引き出しグリッド群
G1 スクリーングリッド
G2 アクセルグリッド
G3 ディセラレートグリッド
G4 防着用グリッド
H イオン通過孔
IG イオンガン
MB イオンガン本体
5 RFコイル
7 放電チャンバ
9 マッチングボックス
11 RF電源
13,15 高圧電源
19 ターゲット部
19A 第1のターゲット
19B 第2のターゲット
20 回転軸
21 真空チャンバ
23 真空ポンプ
25 基板ホルダ
27 ニュートライザ
AIG アシストイオンガン
Claims (2)
- プラズマを発生させるチャンバを有するイオンガン本体と、
前記イオンガン本体の前記チャンバの出口と対向する位置に配置されて正電圧に保持されるスクリーングリッドと、前記スクリーングリッドと間隔を開けて対向する位置に配置されて負電位に保持されるアクセルグリッドと、前記アクセルグリッドと間隔を開けて対向する位置に配置されてアース準位に保持されるディセラレートグリッドとを含むイオン引き出しグリッド群と、
前記ディセラレートグリッドと並んで配置され、ターゲットと対向する防着用グリッドとを有するイオンガンであって、
前記防着用グリッドには、前記ディセラレートグリッドに形成された前記イオンを通過させる複数のイオン通過孔と整合する位置に形成され、前記イオンが通過する複数のイオン通過孔が形成されており、
前記防着用グリッドと前記ディセラレートグリッドが同電位であることを特徴とするイオンガン。 - 請求項1に記載のイオンガンを備えたイオンビームスパッタリング装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019132483 | 2019-07-18 | ||
JP2019132483 | 2019-07-18 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021018984A JP2021018984A (ja) | 2021-02-15 |
JP2021018984A5 JP2021018984A5 (ja) | 2023-04-17 |
JP7488555B2 true JP7488555B2 (ja) | 2024-05-22 |
Family
ID=74563222
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020100703A Active JP7488555B2 (ja) | 2019-07-18 | 2020-06-10 | イオンガン及びイオンビームスパッタリング装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7488555B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11961706B2 (en) * | 2021-04-30 | 2024-04-16 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Grid structures of ion beam etching (IBE) systems |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001107234A (ja) | 1999-10-13 | 2001-04-17 | Japan Aviation Electronics Industry Ltd | グリッド隙間可変型イオンガン |
JP2006344527A (ja) | 2005-06-09 | 2006-12-21 | Tdk Corp | イオン源 |
JP2012038568A (ja) | 2010-08-06 | 2012-02-23 | Nagoya Univ | イオン源 |
JP2017091826A (ja) | 2015-11-11 | 2017-05-25 | 日新イオン機器株式会社 | 絶縁スペーサ、電極体、荷電粒子源および荷電粒子ビーム照射装置 |
-
2020
- 2020-06-10 JP JP2020100703A patent/JP7488555B2/ja active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001107234A (ja) | 1999-10-13 | 2001-04-17 | Japan Aviation Electronics Industry Ltd | グリッド隙間可変型イオンガン |
JP2006344527A (ja) | 2005-06-09 | 2006-12-21 | Tdk Corp | イオン源 |
JP2012038568A (ja) | 2010-08-06 | 2012-02-23 | Nagoya Univ | イオン源 |
JP2017091826A (ja) | 2015-11-11 | 2017-05-25 | 日新イオン機器株式会社 | 絶縁スペーサ、電極体、荷電粒子源および荷電粒子ビーム照射装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2021018984A (ja) | 2021-02-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US10704139B2 (en) | Plasma chamber target for reducing defects in workpiece during dielectric sputtering | |
EP1184483B1 (en) | Thin-film formation system and thin-film formation process | |
US3864239A (en) | Multitarget sequential sputtering apparatus | |
US9412569B2 (en) | Remote arc discharge plasma assisted processes | |
JP2000073168A (ja) | 基板の多層pvd成膜装置および方法 | |
WO2000026430A1 (fr) | Appareil de pulverisation | |
JP7357474B2 (ja) | 大容量プラズマcvd処理用プラズマ通路 | |
US20160289815A1 (en) | Method and apparatus for depositing a material | |
JP5550565B2 (ja) | スパッタリング装置及びスパッタリング方法 | |
WO2009157439A1 (ja) | スパッタリング装置及びスパッタリング方法 | |
JPS63310965A (ja) | スパッタリング装置 | |
JP7488555B2 (ja) | イオンガン及びイオンビームスパッタリング装置 | |
JP2021534323A (ja) | 水平方向に回転する基板ガイドを備えたコーティングシステムにおいて、均一性の高いコーティングを行うための装置及び方法 | |
JP2011124215A (ja) | イオンビーム発生装置とそのクリーニング方法 | |
JP2021018984A5 (ja) | ||
JP6688385B2 (ja) | 成膜装置、プラテンリング | |
JP2007197840A (ja) | イオン化スパッタ装置 | |
JP4531599B2 (ja) | スパッタ源、スパッタ装置 | |
JP7102260B2 (ja) | 対向ターゲット式スパッタ成膜装置 | |
JP6509553B2 (ja) | スパッタリング装置 | |
US20170178875A1 (en) | Insulator target | |
JP4715736B2 (ja) | スパッタリング装置 | |
JP4775923B2 (ja) | 弗化物の薄膜作成方法 | |
WO2018207577A1 (ja) | 成膜装置および圧電膜の成膜方法 | |
JP4785472B2 (ja) | イオンビームスパッタ装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230406 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20230406 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20231129 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20231205 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20231214 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20240201 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20240402 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20240501 |