JP2006257498A5 - - Google Patents

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上記課題を解決するため、本発明は、ターゲットと、前記ターゲットを取り囲む筒状側壁とを有し、前記筒状側壁の筒先端に形成された粒子通路から前記ターゲットのスパッタリング粒子が放出されるように構成されたスパッタ源であって、前記粒子通路に磁力線を形成する磁力線形成部とを有し、前記筒状側壁から該スパッタ源の外部に放出される荷電粒子の飛行方向は、前記磁力線で曲げられるように構成されたスパッタ源である。
また、本発明は、導電性の板に複数の孔が形成されたフィルタが前記筒先端に配置され、前記粒子通路は前記フィルタの孔によって構成されたスパッタ源である。
また、本発明は、前記フィルタは、前記スパッタ源が配置された真空槽と同電位に接続されたスパッタ源である。
また、本発明は、前記磁力線形成部は、前記筒先端に配置された第一のトラップ磁石と、前記第一のトラップ磁石の外側に離間して配置された第二のトラップ磁石を有し、前記粒子通路に形成される磁力線は、前記第一、第二のトラップ磁石の間に形成されるスパッタ源である。
また、本発明は、真空槽内に本発明のスパッタ源が配置され、前記スパッタ源により、前記真空槽内に搬入された成膜対象物に薄膜を形成するように構成されたスパッタ装置である。
筒状側壁１０３の外周の側面には、第二のトラップ磁石１２２ａが配置されている。筒状側壁１０３は円筒形や角筒形等の筒形であり、第一、第二のトラップ磁石１２１ａ、１２２ａはリング状である。
ターゲット部１１０ａは、マグネトロン磁石１１４ａ側が底面部分１０２に向けられ、ターゲット１１３ａ側が筒先端１０８に向けられている。従って、筒状側壁１０３の開口部の下にはターゲット１１３ａの表面が露出されている。
そのプラズマにより、ターゲット１１３ａ表面から、ターゲット１１３ａを構成する材料から成るスパッタリング粒子が飛び出す。そのスパッタリング粒子やプラズマ中に含まれる電子は、粒子通路１３０ａを通って筒状側壁１０３の外部に飛び出そうとする。
このスパッタ源１１及び後述する各スパッタ源１２〜１７は、粒子通路１３０ａに配置された磁力線は、成膜対象物６の表面に対して略平行になっており、電子や正又は負の荷電粒子は磁力線に巻き付き、移動方向が成膜対象物６とは平行な方向に変更され、その結果、第一又は第二のトラップ磁石１２１ａ、１２２ａが位置する方向に向かって飛行する。
図４に示した第三例のスパッタ源１３では、筒状側壁１０３内部に配置されたターゲット部１１０ｂが、筒状側壁１０３の内部に挿入され、筒状側壁１０３の内周に沿って配置された筒状のターゲット１１３ｂを有している。このターゲット１１３ｂの外周には、ターゲットホルダ１１２ｂが配置され、ターゲットホルダ１１２ｂの外周には、ターゲット１１３ｂの外周をを取り囲むリング状のマグネトロン磁石１１４ｂが配置されている。
この第三例のスパッタ源１３でも、磁力線形成部１２０ａによって、筒状側壁１０３の先端位置の粒子通路１３０ａに磁力線が配置されており、円筒のターゲット１１３ｂから飛び出したスパッタリング粒子のうちの中性粒子や電荷／質量比の小さな荷電粒子によってスパッタ薄膜が形成されるようになっている。

Claims (2)

  1. 導電性の板に複数の孔が形成されたフィルタが前記筒先端に配置され、前記粒子通路は前記フィルタの孔によって構成された請求項１記載のスパッタ源。
  2. 前記フィルタは、前記スパッタ源が配置された真空槽と同電位に接続された請求項２記載のスパッタ源。
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