JP5300066B2 - マグネトロンカソード - Google Patents
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Description
2 基板
3 作業空間
4 真空容器
5 開口部
6 ターゲット
7 ターゲット保持部
8 中央開口部
10 中央カバー
11 ターゲット外周保持リング
12 外側シールド部
13 装着プレート
14 絶縁部
15 マグネット組立
16 マグネット装着ブロック
17 径方向マグネット群
18 内周マグネット
19 外周マグネット
20 切り替え機構
21 外側吐出孔
22 弁
23 内側吐出孔
24 閉鎖栓
30 中央側吐出孔
31 閉鎖栓
40 中央シールド部
Claims (3)
- 真空容器内に配置される基板に対向して配される環状のターゲットと、該ターゲットの外周部分を保持するターゲット外周側保持リングと、前記ターゲットの背面に前記ターゲットに対して移動可能且つ回転可能に配置され、不均一な磁界を発生させるマグネット組立とによって少なくとも構成されるマグネトロンカソードにおいて、
前記ターゲットの中心開口部周縁には、中央シールド部が設けられ、該中央シールド部には、複数の磁性体部品による積層構造を有する中央カバーが設けられるとともに、
前記ターゲット外周側保持リングは、複数の磁性体部品からなる積層構造を有し、
前記中央カバーを構成する複数の磁性体部品及び前記ターゲット外周側保持リングを構成する複数の磁性体部品の少なくとも一つが、前記マグネット組立による不均一な磁界が前記基板上に磁気異方性を構築できるようにマグネット組立によって生じる磁界に対応して形成されることを特徴とするマグネトロンカソード。 - 前記中央シールド部には、該中央シールド部の外周外方向に導入ガスを吐出させるそれぞれが開閉可能である複数の中央側吐出孔が設けられ、前記ターゲットの周囲に設けられる外側シールド部には、該外側シールド部の外方向に導入ガスを吐出させると共にそれぞれが開閉自在である複数の外側吐出孔と、該外側シールド部の内方向に導入ガスを吐出させると共にそれぞれが開閉自在である複数の内側吐出孔とが形成されることを特徴とする請求項1記載のマグネトロンカソード。
- 前記中央シールド部は、電極を兼ね、切り替え手段によって該電極の極性を変化させることによって、該中央シールド部のクリーニングを行うことを特徴とする請求項1又は2記載のマグネトロンカソード。
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