JP5060436B2 - シートプラズマ成膜装置 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の実施の形態1に係るシートプラズマ成膜装置の概略構成を模式的に示す正面図である。なお、本実施の形態では、便宜上、シートプラズマ成膜装置のX,Y,Z軸を図1に示すように定義する。
まず、本実施の形態に係るシートプラズマ成膜装置の一般的な構成について説明する。
次に、本実施の形態に係るシートプラズマ成膜装置100の動作を説明する。ここで、シートプラズマ成膜装置100の動作は、制御装置90によって遂行される。
以下の説明では、便宜上、第1〜4リングターゲット33B〜33Eを単に「リングターゲット33B〜33E」と記載する。
先ず、本実施の形態に係るシートプラズマ成膜装置200の特徴的な構成を説明する。
次に、本実施の形態に係るシートプラズマ成膜装置200の動作を説明する。
11 フランジ
12 カソード
13 筒状部材
14 放電空間
15 絶縁体
17 放電ガス導入管
19 筒状部材
20 シートプラズマ形成槽
21 輸送空間
22 円柱状プラズマ
22A 円柱状プラズマの中心
23 第1電磁コイル
24A,24B 永久磁石
27 シートプラズマ(シートプラズマの可視部)
28 第2電磁コイル
29 第1フランジ
30 成膜槽
31 成膜空間
31A ターゲット収容部
31B 基板収容部
32 排気口
33 多重リングターゲット
33A センターターゲット
33B 第1リングターゲット
33C 第2リングターゲット
33D 第3リングターゲット
33E 第4リングターゲット
34 基板ホルダ
34A 基板
34B ホルダ
34C 支軸
34D 絶縁部材
35 上蓋
36 下蓋
37 バルブ
38 真空ポンプ
39A〜39E 絶縁部材
40A〜40E 貫通孔
42 第1通路
45 第2通路
47 第2フランジ
48 第3電磁コイル
50 アノード槽
51 アノード
52 永久磁石
53 筒状部材
60 シートプラズマ発生機構
61 第1チャンバ
61A 上側の円柱状空間
61B 下側の円柱状空間
63 多重リングバッキングプレート
65 絶縁部材
67 第2チャンバ
71 第1絶縁部材
73 第2絶縁部材
90 制御装置
100,200 シートプラズマ成膜装置
G1 第1中間電極
G2 第2中間電極
V1 主バイアス電圧印加装置
V2〜V7 バイアス電圧印加装置
R1,R2 抵抗体
RV 可変抵抗体
d 間隙
s 平面
SW1 第1スイッチ
SW2 第2スイッチ
a〜d 端子
Claims (8)
- その内部空間を減圧可能に構成された成膜槽と、
前記成膜槽を通過するようにシートプラズマを発生させるシートプラズマ発生機構と、
前記成膜槽の内部空間に、前記通過するシートプラズマを該シートプラズマの厚み方向において挟むように配置された多重リングターゲット及び基板ホルダと、
前記多重リングターゲットにバイアス電圧を印加する電源装置と、を備え、
前記多重リングターゲットは、前記シートプラズマの厚み方向から見て該多重リングターゲットの中央に配置されたセンターターゲットと、該センターターゲットの周囲に同心状に配置された複数のリングターゲットと、を備え、
前記複数のリングターゲットのそれぞれは、互いに絶縁して配設されると共に、前記センターターゲットと絶縁して配設され、
前記多重リングターゲットの中央から周囲に向けて、前記センターターゲット及び前記複数のリングターゲットの偶数番目に前記バイアス電圧が印加されるように構成されている場合にはその奇数番目を接地可能又は該奇数番目の電位を浮動電位とすることができるように構成され、前記センターターゲット及び前記複数のリングターゲットの奇数番目に前記バイアス電圧が印加されるように構成されている場合にはその偶数番目を接地可能又は該偶数番目の電位を浮動電位とすることができるように構成されている、シートプラズマ成膜装置。 - 前記多重リングターゲットの中央から周囲に向けて、前記センターターゲット及び前記複数のリングターゲットの偶数番目に前記バイアス電圧が印加されるように構成されている場合にはその奇数番目が接地されるように構成され、前記センターターゲット及び前記複数のリングターゲットの奇数番目に前記バイアス電圧が印加されるように構成されている場合にはその偶数番目が接地されるように構成されている、請求項1記載のシートプラズマ成膜装置。
- 前記多重リングターゲットの中央から周囲に向けて、前記センターターゲット及び前記複数のリングターゲットの偶数番目及び奇数番目の全てに前記バイアス電圧が印加されるように構成されている、請求項1記載のシートプラズマ成膜装置。
- 前記シートプラズマの厚み方向から見て、前記多重リングターゲットのセンターターゲット及び複数のリングターゲットのそれぞれが、互いに5mm以下の間隔を構成するように配置されている、請求項1記載のシートプラズマ成膜装置。
- 前記シートプラズマの厚み方向と直交する方向から見て、前記多重リングターゲットのセンターターゲット及び複数のリングターゲットのそれぞれの下面が、同一平面上に位置するように構成されている、請求項1記載のシートプラズマ成膜装置。
- 前記シートプラズマの厚み方向と直交する方向から見て、前記多重リングターゲットのセンターターゲット及び複数のリングターゲットのそれぞれの下面が、同一平面上に位置しかつ前記シートプラズマに対して平行となるように構成されている、請求項5記載のシートプラズマ成膜装置。
- 前記多重リングターゲットのセンターターゲット及び複数のリングターゲットのそれぞれを冷却する冷却器を更に備えている、請求項1記載のシートプラズマ成膜装置。
- 前記多重リングターゲットのセンターターゲット及び複数のリングターゲットのそれぞれに任意の前記バイアス電圧を独立して印加可能に構成されている、請求項1記載のシートプラズマ成膜装置。
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