JP4526561B2 - ディスク型基板を分離するための方法および器具 - Google Patents
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Description
この発明は、貼り合わされた2つのディスク型基板を分離するための方法および器具に関する。この技術は、たとえばDVD−14/18、DVD+R9および他の多層媒体などの光ディスクの製造において使用され得る。
(DVD−9のような)2層片面DVDを製造する一般的な方法は、各々が情報層を担持する2つの0.6mmの基板を貼り合わせるというものである。2層ディスクを作る別の方法は、いわゆる2P−プロセスを使用するというものである。2Pプロセスは、各々の基板に1つの層を形成する代わりに、2つの内部情報層を有する単一の基板構造を生み出す。これは、DVD−9の製造には必要なく、DVD14/18またはDVDR9のような他の多層フォーマットには必要である。
US2003/0116274は、上記ディスク型基板の双方を分離するために、積層ディスクの中央穴から、上部基板部分と下部基板部分との間に気体が吹き込まれる技術を記載する。接着強度に応じて、相当な圧力が必要である。
この発明に従う基板を分離するために、接合された基板1が真空チャンバ2の中に導入される。ディスク間におよそ1barの圧力を維持するために、中央穴の周りの空間10は、少なくともディスクの一方の側からたとえば周囲の空気への開放接続部(吸気口)3を有するはずである。チャンバにおいて真空を作り出すことができるシーリング4は、少なくとも基板の1つのためにディスクの中央穴の周りに(より一般的には、付近に)直接に置かれ、それによって、真空チャンバ2から空間10を分離する。チャンバにおいて真空を作り出すとき、剥離力が発生し、ある特定の最小半径に接着されていない、2つの基板の間にあるまさに内部空隙5を発端として、ディスクを分離しようとする。静止した構成では、基板が中央でともに押圧されるときにはこの分離は防止される。しかしながら、シーリング機構の少なくとも1つが動くや否や、ディスクは分離されるようになる。
方法は、排気可能なチャンバに、接合された基板を位置決めするステップと、シーリング機構を用いてその排気可能なチャンバから空間を切離し、それによって、接合された基板の間に少なくとも1つの空隙を有する基板の部分的な区域を上記空間が含むステップとを含んでもよい。空間における圧力(たとえば、周囲の大気条件)を維持しながら真空チャンバにおける圧力を低下させることによって、接合された基板が分離される。請求項1に記載の方法では、シーリング機構(4)は真空チャックと構造上接続される。このチャックは、基板の分離を支持するように空隙に機械力をかけ得る。好ましい実施例では、空間はディスクの中央穴付近に配置される。機械的手段は、初めおよび/または分離プロセス中の分離プロセスを容易にし得る。したがって、このようなプロセスに好適な器具は、排気可能なチャンバと、接合された基板をチャンバに位置決めするための手段と、基板が部分的に空間に位置するように空間(10)をその排気可能なチャンバから切離すためのシーリング機構と、排気可能なチャンバにおける圧力を低下させるためのポンピング手段とを含むことになる。したがって、シーリング機構は真空チャックを含んでもよく、真空チャックはさらなる実施例では分離プロセスを支持するために能動部を含み得る。
Claims (13)
- 接合された基板を分離するための方法であって、
排気可能なチャンバ(2)に、接合された基板(1)を位置決めするステップと、
シーリング機構(4)を用いてその排気可能なチャンバから空間(10)を切離すステップとを含み、前記空間は接合された基板(1)の間に少なくとも1つの空隙(5)を有する基板の部分的な区域を含み、前記空間(10)は前記基板の中央穴付近に配置されかつ周囲の空気への開放接続部(3)を有しており、前記方法は、さらに、
空間(10)における圧力を維持しながら真空チャンバ(2)における圧力を低下させ、それによって、接合された基板を分離させるステップを含む、方法。 - シーリング機構(4)は真空チャックと構造上接続される、請求項1に記載の方法。
- 真空チャックは、基板(1)の分離を支持するように空隙(5)に機械力をかける、請求項2に記載の方法。
- 接合された基板はディスク型であり、中央穴を有するディスクの一部を形成する、請求項1から3のいずれかに記載の方法。
- 空間(10)はディスクの中央穴付近に配置される、請求項4に記載の方法。
- 分離プロセスは、空隙(5)に作用する機械的手段によって支持される、請求項1から5のいずれかに記載の方法。
- 機械的手段は、楔、レバーまたはスパイクを含む、請求項6に記載の方法。
- 機械的手段は、圧力を低下させる前および/または圧力を低下させている間に空隙に作用する、請求項6に記載の方法。
- 圧力を低下させることは、少なくとも0.5mbarに、好ましくは0.3mbar未満に圧力を低減することを意味する、請求項1から8のいずれかに記載の方法。
- 接合された基板(1)を分離するための器具であって、
排気可能なチャンバ(2)と、
チャンバに、接合された基板を位置決めするための手段と、
基板が空間(10)に部分的に位置するように、その排気可能なチャンバから空間(10)を切離すためのシーリング機構(4)とを含み、前記空間(10)は前記基板の中央穴付近に配置されかつ周囲の空気への開放接続部(3)を有しており、
排気可能なチャンバにおける圧力を低下させるためのポンピング手段をさらに含む、器具。 - シーリング手段は真空チャックをさらに含む、請求項10に記載の器具。
- 真空チャックは、分離プロセスを支持するために能動部を含む、請求項11に記載の器具。
- 分離プロセスを開始および/または支持するように基板(1)の間の空隙(5)に作用する、楔、ピン、レバーまたはスパイクなどの機械的手段をさらに含む、請求項10から12のいずれかに記載の器具。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US55510604P | 2004-03-22 | 2004-03-22 | |
PCT/CH2005/000162 WO2005091283A1 (en) | 2004-03-22 | 2005-03-18 | Method and apparatus for separating disc-shaped substrates |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007529851A JP2007529851A (ja) | 2007-10-25 |
JP2007529851A5 JP2007529851A5 (ja) | 2008-04-10 |
JP4526561B2 true JP4526561B2 (ja) | 2010-08-18 |
Family
ID=34961748
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007504234A Expired - Fee Related JP4526561B2 (ja) | 2004-03-22 | 2005-03-18 | ディスク型基板を分離するための方法および器具 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7520954B2 (ja) |
EP (1) | EP1730737B1 (ja) |
JP (1) | JP4526561B2 (ja) |
WO (1) | WO2005091283A1 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008544516A (ja) * | 2005-06-16 | 2008-12-04 | エヌエックスピー ビー ヴィ | ホイルキャリアのホイルを延伸させる手段、ウエハからダイ片を剥離させる機構及びダイ片剥離方法 |
DE102006021647A1 (de) * | 2005-11-09 | 2007-11-15 | Coenen, Wolfgang, Dipl.-Ing. | Verfahren zur Vereinzelung von scheibenförmigen Substraten unter Nutzung von Adhäsionskräften |
US8623486B2 (en) | 2009-06-23 | 2014-01-07 | Thomson Licensing | Hybrid disc, method and system of forming the disc |
EP2446438B1 (en) | 2009-06-23 | 2014-03-05 | Thomson Licensing | Data disc, method and system of forming the disc |
TWI534938B (zh) * | 2010-02-25 | 2016-05-21 | 尼康股份有限公司 | Substrate separation device, manufacturing method of semiconductor device, load lock device, substrate bonding device and substrate separation method |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62230537A (ja) * | 1986-03-31 | 1987-10-09 | Canon Inc | 2平板分離装置 |
JPH02166645A (ja) * | 1988-12-21 | 1990-06-27 | Canon Inc | 光学的記録媒体用基板の製造方法 |
WO1994001279A1 (en) * | 1992-07-08 | 1994-01-20 | Mann George E | Adhesion testing |
CN1146973C (zh) * | 1997-05-12 | 2004-04-21 | 硅源公司 | 受控切分处理 |
JPH11134726A (ja) * | 1997-10-27 | 1999-05-21 | Seiko Epson Corp | 光記録媒体の製造方法および製造装置 |
EP1026677B1 (en) * | 1999-02-03 | 2008-07-16 | Origin Electric Co. Ltd. | Manufacturing method and apparatus for optical disc |
JP3865524B2 (ja) * | 1999-02-03 | 2007-01-10 | オリジン電気株式会社 | 光ディスクの製造方法及び光ディスクの製造装置 |
FR2796491B1 (fr) * | 1999-07-12 | 2001-08-31 | Commissariat Energie Atomique | Procede de decollement de deux elements et dispositif pour sa mise en oeuvre |
WO2002019326A1 (fr) * | 2000-08-29 | 2002-03-07 | Kitano Engineering Co. Ltd. | Procede et dispositif d'elimination par pelage de substrats d'un disque optique constitue de deux substrats de disque colles l'un a l'autre |
JP2002150618A (ja) * | 2000-08-29 | 2002-05-24 | Kitano Engineering Co Ltd | 一対のディスク基盤を貼り合わせてなる光ディスクにおけるディスク基盤を引き剥がす方法及びその装置 |
TW591654B (en) * | 2000-09-12 | 2004-06-11 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Manufacturing method of optical information recording medium |
JP2003203402A (ja) * | 2001-12-28 | 2003-07-18 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光情報記録媒体の製造方法、および光情報記録媒体 |
-
2005
- 2005-03-18 WO PCT/CH2005/000162 patent/WO2005091283A1/en not_active Application Discontinuation
- 2005-03-18 EP EP05714704A patent/EP1730737B1/en not_active Not-in-force
- 2005-03-18 JP JP2007504234A patent/JP4526561B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2005-03-21 US US11/085,430 patent/US7520954B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007529851A (ja) | 2007-10-25 |
US7520954B2 (en) | 2009-04-21 |
EP1730737A2 (en) | 2006-12-13 |
EP1730737B1 (en) | 2013-01-16 |
WO2005091283A8 (en) | 2005-12-01 |
WO2005091283A1 (en) | 2005-09-29 |
US20050205205A1 (en) | 2005-09-22 |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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