JP4523730B2 - 液晶表示装置とその製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶表示装置とその製造方法に係わり、特にスイッチ素子として用いる薄膜トランジスタの、マトリックス状に並設されたデータ信号線または走査信号線のパターン形状によって製造工程で生じる不具合を防止することができる液晶表示装置とその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
液晶表示装置には液晶表示パネルが組み込まれている。この液晶表示パネルは、所定の厚みを有する液晶層を介して対向する一対の基板からなり、基板には液晶層に電界が印加されるように電極が設けられている。
【0003】
液晶表示装置は、自ら発光しない受動型の表示装置である。従って、基板に設けられている電極は、透過型の場合にはどちらの基板もITO(Indium Tin Oxide)膜などの透明電極で構成され、表示パネルの背面にバックライトと呼ばれる照明部材が配設されている。また、反射型の場合には、少なくとも外光が入出力する側の基板には透明電極が設けられ、表示パネルの背面は反射鏡面になるように処理されているので不透明な金属電極でもよい。さらに、カラー表示を行う場合には、カラーフィルタが組み込まれる。
【0004】
ところで、液晶表示パネルの駆動方式は、液晶の化学的、電気的、光学的な特性によって異なる。固定したパターンを表示する場合には、少なくとも一方の電極をその形状にパターニングして液晶層に電界が掛かるようにすればよい。あるいは、電極をセグメントにパターニングし、セグメントを選択して簡単な英数仮名文字を表示するものもある。電卓の表示に多い。
【0005】
ところが、最近では液晶材料の進歩や表示パネルの製造技術が進展し、表示するドットの数を多くすることができ、微小化も進んだことから、ドット構成で文字や画像を表示することが一般化している。
【0006】
液晶表示パネルでドット表示をするには、直交するXY方向に並設した多数の電極の交点が1画素となるように液晶層に電圧を印加して駆動する方法が採られており、単純マトリックス方式とアクティブマトリックス方式に大別できる。
【0007】
単純マトリックス方式は、2枚の基板のそれぞれにX方向とY方向の複数本の縞状電極を設けて液晶層を挟んで対向させ、少なくとも一方の電極をマトリックス駆動して交点を順次走査して表示する。液晶層には、例えばSTN液晶が用いられる。
【0008】
基板上には縞状に電極がパターニングされ、その上に配向膜が被覆される。パネルの製造工程においては、電極が縞状であるため、その縞と平行に処理液を噴出すれば洗浄やエッチングなどの工程は不具合が生じ難い。
【0009】
アクティブマトリックス方式は、単純マトリックス方式では表示し難い階調表示やカラー表示を容易に可能にする方法として開発された。しかし、最近では携帯電話の小形表示装置からパソコンのモニタやTVなどの大形表示装置までアクティブマトリックス方式が用いられている。基板上に配設されるスイッチング用のアクティブ素子にはMIM(金属膜−絶縁膜−金属膜)構成の薄膜ダイオードなどを用いたものもあるが、大半がTFT(薄膜トランジスタ)を用いたものになっている。
【0010】
図4は液晶表示パネルの一例の一部切欠き断面斜視図、図5は従来のTFT基板の一例の平面図、図6はTFT基板の一例の断面図である。
【0011】
図4に例示したものは、カラーを表示する液晶表示パネルの一例で、対向する2枚の基板のうち、TFTからなるスイッチ素子1が形成されている基板をTFT基板10、カラーフィルタ21が形成されている基板をCF(カラー・フィルタ)基板20と呼んで区別している。
【0012】
TFT基板10もCF基板20も透過型の場合には透明で、一般にはガラス板が用いられるが、液晶表示パネルに柔軟性をもたせた特殊な用途には、例えばポリエステルのフィルムを用いたものなどもある。
【0013】
図5と図6にはTFT基板の一例の平面図と断面図を示す。TFT基板10にはゲートバスラインとも呼ばれる走査信号線3と、ドレインバスラインとも呼ばれるデータ信号線2とが格子状に交差して形成されており、一つの格子30ごとにα−SiなどからなるTFTのゲート電極11とドレイン電極12とがそれぞれの走査信号線3とデータ信号線2に接続されている。一対の走査信号線3と一対のデータ信号線2とに囲まれた各格子30の中には、例えばITO膜などの透明導電膜からなる画素電極4が設けられており、TFTのソース電極13と接続されており、一つの格子30が1画素に対応している。さらに、全面が配向膜40で覆われている。画素電極4の中央部には補助容量電極5が設けられた構成になっている。
【0014】
CF基板20には全面に、例えばITO膜からなる透明電極21が設けられ、その上に対向するTFT基板10の画素電極4に対応した位置にRGBのカラーフィルタ22が設けられている。さらに、全面が配向膜40に覆われている。
【0015】
TFT基板10とCF基板20とは、画素電極4とカラーフィルタ22とがピクセルごとに対応するように図示してないスペーサを介して封着され、液晶が注入され封止されて液晶表示パネル50が構成される。
【0016】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、TFT基板は、例えばゲート電極や走査信号線(ゲートバスライン)、補助容量電極などの金属膜の成膜から始まってTFTやデータ信号線(ドレインバスライン)の形成、画素電極の形成、配向膜の塗布までの一連の製造工程の中で、洗浄、成膜、ホトリソグラフィによるレジストマスクの形成、エッチング、レジスト除去といった一連のプロセスが通常5〜7回繰り返される。しかも、それぞれの工程間には必ず洗浄が入っている。
【0017】
ところが、図4に示したような従来の走査信号線やデータ信号線、補助容量電極などのパターンが直交して格子状になっていると、TFTの製造工程における純水やIPA(イソプロピルアルコール)などによる洗浄、エッチング液によるウェットエッチングなどの液体処理液を用いた工程では、格子状のパターンが液体の流れに影響して、いわゆるウォータマーカやエッチング残渣などが生じて、特性不良などの製造歩留りを低下させる不具合が間々起こる。
【0018】
こうした不具合は、従来、洗浄装置やエッチング装置の改良に頼っていた。例えば、エッチングの際のエッチング液のシャワーの噴射量や基板との角度といったハード面での検討によって不具合を解消しようとする試みがなされていた。
【0019】
そこで本発明は、格子状に直交配列されているデータ信号線や走査信号線、補助容量電極などのパターンの直線形状を屈曲させて、水やエッチング液などの液体処理液の残渣が残らない液晶表示装置とその製造方法を提供することを目的としている。
【0020】
【課題を解決するための手段】
上で述べた課題は、〔請求項1〕において、対向する一対の基板間に液晶層が挟持され、少なくとも一方の基板上にマトリックス状に並設された複数のデータ信号線と走査信号線とに、スイッチ素子を介して接続された画素電極を有する液晶表示装置において、
該画素電極を囲む該データ信号線または走査信号線の何れかが一方向に屈曲している液晶表示装置によって解決できる。
【0021】
また、〔請求項2〕においては、該データ信号線または走査信号線の何れかが一方向に湾曲している液晶表示装置によって解決できる。
【0022】
また、〔請求項3〕においては、該データ信号線または走査信号線の何れかが一方向に折曲している液晶表示装置によって解決できる。
【0023】
また、〔請求項4〕においては、該液晶層と並列に接続された補助容量電極を有し、該補助容量電極が該走査信号線と同一形状に屈曲している液晶表示装置によって解決できる。
【0024】
さらに、〔請求項5〕においては、対向する一対の基板間に液晶が挟持され、少なくとも一方の基板上にマトリックス状に並設された複数のデータ信号線と走査信号線とに、画素電極がスイッチ素子を介して接続されており、該データ信号線または走査信号線の何れかが一方向に屈曲している液晶表示装置の製造方法であって、
少なくとも洗浄またはウェットエッチングに際して、洗浄液またはエッチング液を該一方向と同じ方向に流す液晶表示装置の製造方法によって解決できる。
【0025】
つまり、従来のTFT駆動型の液晶表示装置において、TFTを駆動するデータ信号線や走査信号線のパターン形状が直線形状で、しかも、ピクセルに対応した高密度で格子状に直交している。そして、データ信号線や走査信号線部分は幾つかの層が積層された構造であるため、それらに囲まれた内部の領域よりも基板に対する高さが高く、基板上ではデータ信号線や走査信号線に囲まれた多数の窪みが並んだ構成になっている。
【0026】
そのために、TFT基板の製造工程において、処理液に、例えば、純水やIPAなどの洗浄液を用いて洗浄したり、エッチング液を用いてウエットエッチングしたりしたときに、TFT基板上における処理液の流れがデータ信号線や走査信号線などの高い部分に遮られて円滑に流れ難い。
【0027】
それに対して、本願発明では、マトリックス状に並設された画素電極を囲むように配置されているデータ信号線または走査信号線を一方向に屈曲させ、基板上を流れる処理液がデータ信号線あるいは走査信号線の屈曲した中央に集まるようにしている。そして、処理液ができるだけデータ信号線や走査信号線によって高くなった部分に遮られて滞ることがないようにしている。
【0028】
この処理液の液流の振る舞いを模式的に図示した図3によって説明すると、TFT基板10の上に出っ張って設けられたデータ信号線または走査信号線、あるいは補助容量電極などのパターンは、あたかも多数の格子30を格子状に配列した格子戸のような構成になっており、画素電極に相当する格子30を取り囲むデータ信号線や走査信号線、あるいは補助容量電極は、格子30の桟部分7に相当する。
【0029】
この格子30のそれぞれの桟部分7を〔請求項1または4〕で述べたように一方向に屈曲させる。こゝでは、〔請求項2〕で述べたように円弧状の湾曲形状に屈曲させているが、〔請求項3〕で述べたように山形状に突出した折曲形状に屈曲させてもよい。
【0030】
次いで、〔請求項5〕で述べたように、TFT基板10に対して、大矢印31で示した方向から処理液を流すと、屈曲した桟部分7では小矢印32のように桟部分7の中央部に処理液が集まって乗り越え、中矢印33の方向に滞りない液流を生ずる。
【0031】
こうして本願発明では、TFT型液晶表示装置のTFT基板の製造工程において、TFT基板上でマトリックス状に設けられたデータ信号線または走査信号線、あるいは補助容量電極の桟部分を一方向に屈曲させたパターン形状にすることによって、洗浄やエッチングの際にウォータマーカや残渣が除き切れない不具合を防止することが可能である。
【0032】
【発明の実施の形態】
図1は本発明になるTFT基板の一実施例の平面図で、図2は本発明になるTFT基板の他の実施例の平面図である。
【0033】
図において、1はスイッチ素子、2はデータ信号線、3は走査信号線、4は画素電極、5は補助容量電極、6は基板、7は桟部分、8は処理液、10はTFT基板である。
〔実施例1〕
図1において、TFT基板10の製造工程そのものは本発明においても従来の製造工程と変わりがない。すなわち、透明なガラスなどの基板6の上にTFTで構成されるスイッチ素子1と、データ信号線2と走査信号線3からなるバスラインが構成される。
【0034】
まず、基板6上に例えばTi膜を被着し、ホトリソグラフィによってエッチングしてゲートを設ける。同時に、複数のゲートを連設したゲートバスラインも設ける。このゲートバスラインが、図示してないが、ゲートを順次走査する走査回路につながっており、走査信号線3である。
【0035】
次いで、基板6の全面に、例えばSiNをゲート絶縁膜として被着し、その上に動作半導体層となる例えばα−Si膜、チャンネル保護膜となる例えばSiN膜を順次成膜する。そして、ゲート電極上にチャンネル保護膜が残るようにパターニングする。
【0036】
次いで、全面にコンタクト層となる例えばn+ α−Si膜、ソース/ドレイン電極となる例えばTi膜を連続成膜し、マスクを用いてTi膜、n+ α−Si膜、α−Si膜をエッチングし、ソース/ドレイン電極を形成して、素子分離を行う。Ti膜、n+ 型α−Si膜、α−Si膜は、そのあとに形成するドレインバスラインに沿って展延するように残す。
【0037】
次いで、全面に例えばAl膜を被着してパターニングし、ドレイン電極につながるドレインバスラインを形成する。このドレインバスラインが、図示してない信号回路につながるデータ信号線2である。
【0038】
次いで、画素電極4となるITO膜を成膜してパターニングし、ソース電極に接続する。そのあと、全面に例えばSiN膜を被着して保護膜とする。
【0039】
このような工程を経て、スイッチ素子1と、スイッチ素子1を駆動するデータ信号線2と走査信号線3、および画素電極4などが形成され、TFT基板10ができあがる。
【0040】
この一連の工程の中で、最初の基板6上にTi膜を被着してエッチングしゲートを設ける工程と同時に複数のゲートを連設したゲートバスライン、つまり走査信号線3を設ける工程において、データ信号線2と格子状に交差する桟部分7がすべて一方向に屈曲するようにマスクを構成する。
【0041】
つまり、スイッチ素子1のゲートと同時に走査信号線3をパターニングする工程で用いるマスクパターンが予め桟部分7が屈曲するようになっていれば、TFT基板10の製造工程を従来の工程と全く変えることなく本発明を実施することができる。
【0042】
また、画素電極4は、表示画面を明るくするためにもできるだけ大きい方が好ましい。従って、画素電極4となるITO膜は、画素電極4を格子状に取り囲むデータ信号線2や走査信号線3の形状に倣って形成する。
【0043】
図1ではデータ信号線2が湾曲しているので、画素電極4の形状もデータ信号線2の形状に倣って湾曲させる。走査信号線3が湾曲している場合には、走査信号線3の形状に倣って湾曲させる。画素電極4を過る補助容量電極5についても同様の形状についての配慮が可能である。
【0044】
図1は走査信号線3の屈曲している桟部分7が円弧状に湾曲した形状になっている例である。従って、いろいろな成膜やパターンを行う工程間で洗浄やエッチングなどを行う際には、処理液8をデータ信号線2に沿った矢印の方向に噴出させればよいことになる。
【0045】
さらに、TFTからなるスイッチ素子1の形状は、通常は、先ずゲート電極を方形に形成して順次工程を繰り返して方形に仕上がる。しかし、洗浄やエッチングなどの際の処理液8の流れを円滑にするためには、図1に示したように、スイッチ素子1の外形を円形にすることも効果的である。
【0046】
このような画素電極4の形状を屈曲したデータ信号線2または走査信号線3の形状に倣った形状にしたり、スイッチ素子1の外形を円形にしたりする工程は、成膜の際のマスクパターンの変更のみで可能であることはいうまでもない。
〔実施例2〕
図2において、TFT基板10の製造工程は実施例1と同様であるが、一連の工程の中で、素子分離を行ったあと、Ti膜、n+ 型α−Si膜、α−Si膜をその後の工程で形成するドレインバスライン、つまり、データ信号線2に沿って展延するように残す。このデータ信号線2をパターニングの際に用いるマスクを、走査信号線3と格子状に交差する桟部分7がすべて一方向に屈曲するように構成する。
【0047】
つまり、スイッチ素子1のデータ信号線2をパターニングする工程で用いるマスクパターンが予め桟部分7が屈曲するようになっていれば、TFT基板10の製造工程を従来の工程と全く変えることなく本発明は実施することができる。
【0048】
図2は、データ信号線2の屈曲している桟部分7が山形状に突出して折曲した形状になっている例である。従って、洗浄やエッチングなどを行う際には、処理液8を走査信号線3に沿った矢印の方向に噴出させればよいことになる。
〔実施例3〕
図1において、画素電極4の中間部を過るように補助容量電極5を設けた構成の場合には、補助容量電極5も一般には走査信号線3と平行に土手状に堤のように出っ張った構成になっている。
【0049】
そこで、スイッチ素子1のゲート電極と同時に行う補助容量電極5の形成の際に用いるエッチング用のマスクパターンを、補助容量電極5がデータ信号線2と交差する桟部分7が走査信号線3に平行に屈曲するように構成する。
【0050】
図1は補助容量電極5の屈曲している桟部分7が平行している走査信号線3と同様に円弧状に湾曲した形状になっている例である。従って、洗浄やエッチングなどを行う際には、処理液8をデータ信号線2に沿った矢印の方向に噴出させればよいことになる。
【0051】
こゝでは、データ信号線と走査信号線、補助容量電極の交差する桟部分の何れか一方を一方向に屈曲させ、洗浄やエッチングに際しては、その方向に処理液を流せばよいことを例示した。ところで、XY方向に交差しているデータ信号線と走査信号線のどちらの桟部分7を屈曲させるかは、TFT基板の形状、あるいは原基板からTFT基板を何枚取りするかといった条件によって種々の変形が可能である。
【0052】
加えて、図1に示したようにスイッチ素子の外形を円形にするばかりでなく、スイッチ素子を構成するα−Si膜とかデータ信号線からドレイン電極への接続経路、ソース電極と画素電極および補助容量電極と画素電極とのバイアホール接続のランドの形状などに丸みを付けて洗浄やエッチングの際の処理液の流れを円滑にすることも本発明の効果を倍加する。
【0053】
また、桟部分の屈曲形状は、走査信号線と補助容量電極については湾曲形状、走査信号線については折曲形状を例示したが、これに限定するものではない。
【0054】
また、桟部分の屈曲が円弧状の湾曲の場合でも山形状の折曲の場合でも、あまり曲率を大きくしたり鋭角にしたりすると相対的に経路が長くなり、データ信号線にしろ走査信号線にしろバスラインとしては好ましくない。そのことを配慮すると種々の変形が可能である。
【0055】
(付記1) 対向する一対の基板間に液晶層が挟持され、少なくとも一方の基板上にマトリックス状に並設された複数のデータ信号線と走査信号線とに、スイッチ素子を介して接続された画素電極を有する液晶表示装置において、
該データ信号線または走査信号線の何れかが一方向に屈曲していることを特徴とする液晶表示装置。
【0056】
(付記2) 該データ信号線または走査信号線の何れかが一方向に湾曲していることを特徴とする付記1記載の液晶表示装置。
【0057】
(付記3) 該データ信号線または走査信号線の何れかが一方向に折曲していることを特徴とする付記1記載の液晶表示装置。
【0058】
(付記4) 該液晶層と並列に接続された補助容量電極を有し、該補助容量電極が該走査信号線と同一形状に屈曲していることを特徴とする付記1記載の液晶表示装置。
【0059】
(付記5) 該画素電極が、周縁部が屈曲しているデータ信号線または走査信号線の形状に倣っていることを特徴とする付記1記載の液晶表示装置。
【0060】
(付記6) 該スイッチ素子が、外形が円形をなすことを特徴とする付記1記載の液晶表示装置。
【0061】
(付記7) 対向する一対の基板間に液晶が挟持され、少なくとも一方の基板上にマトリックス状に並設された複数のデータ信号線と走査信号線とに、画素電極がスイッチ素子を介して接続されており、該データ信号線または走査信号線の何れかが一方向に屈曲している液晶表示装置の製造方法であって、
少なくとも洗浄またはウェットエッチングに際して、洗浄液またはエッチング液を該一方向と同じ方向に流すことを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
【0062】
【発明の効果】
本発明によれば、TFT型液晶表示装置において、ホトリソグラフィのマスクパターンを変更するのみで、従来のTFT基板の製造工程を何ら変更することなく、洗浄やエッチングの際に生じるウォータマーカやエッチング残渣に起因する不具合を防止することができる。
【0063】
その結果、本発明は、今後ますます展開が期待されるTFT型液晶表示装置の歩留りを向上させて価格を低下させることに寄与するところが大である。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明になるTFT基板の一実施例の平面図である。
【図2】 本発明になるTFT基板の他の実施例の平面図である。
【図3】 処理液の液流の振る舞いの模式図である。
【図4】 液晶表示パネルの一例の一部切欠き断面斜視図である。
【図5】 従来のTFT基板の一例の平面図である。
【図6】 TFT基板の一例の断面図である。
【符号の説明】
1 スイッチ素子
2 データ信号線
3 走査信号線
4 画素電極
5 補助容量電極
6 基板
7 桟部分
8 処理液
10 TFT基板
Claims (1)
- 対向する一対の基板間に液晶が挟持され、少なくとも一方の基板上にマトリックス状に並設された複数のデータ信号線と走査信号線とに、画素電極がスイッチ素子を介して接続されており、該画素電極を囲む該データ信号線または走査信号線の何れかが一方向に屈曲している液晶表示装置の製造方法であって、少なくとも洗浄またはウェットエッチングに際して、洗浄液またはエッチング液を該一方向と同じ方向に流すことを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
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