JP4523261B2 - 配線回路基板、配線回路基板の製造方法及び多層配線基板の製造方法 - Google Patents
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次に、本発明の実施形態に係る配線回路基板の製造方法について、図4を参照しつつ説明する。まず、図4(a)に示すように、多層金属板130を用意する。この多層金属板130は、厚さ約18μmの銅箔からなる配線形成用金属層101の上に積層された、厚さ約2μmのNiからなるエッチングストッパー層102と、更にその上に積層された、厚さ約80μmの銅箔からなるバンプ形成用金属層103とからなる。
101 配線形成用金属層
102、107 エッチングストッパー層
103 バンプ形成用金属層
104 レジスト
105 レジストマスク
106 バンプ
108 絶縁シート(絶縁膜)
109 保護シート
110、120 配線回路基板
130 多層金属板
Claims (6)
- 配線形成用金属層の上に直接又はエッチングストッパー層を介してバンプが形成された配線回路基板であって、
前記バンプは、バンプ下部と、バンプ上部とからなり、該バンプ上部は前記バンプ下部の硬度よりも高い硬度を有し、
前記バンプ上部と前記バンプ下部は銅からなる、配線回路基板。 - 請求項1に記載の配線回路基板の前記バンプが形成された面に樹脂からなる絶縁シートを圧着させることにより絶縁膜を形成する絶縁膜形成ステップと、
前記バンプ下部が露出するまで前記絶縁膜及び前記バンプ上部を研磨する研磨ステップと、
を含むことを特徴とする配線回路基板の製造方法。 - 配線形成用金属層の上にエッチングストッパー層を介して第1のバンプ形成用金属層が形成され、該第1のバンプ形成用金属層の上に該第1のバンプ形成用金属層の硬度よりも高い硬度を有する第2のバンプ形成用金属層が形成された多層金属板に対して、前記第2のバンプ形成用金属層の上にレジストを塗付又はラミネートし、パターニングすることによりレジストマスクを形成するレジストマスク形成ステップと、
前記レジストマスクをマスクとして前記第1のバンプ形成用金属層及び前記第2のバンプ形成用金属層をエッチングすることにより、バンプ下部と、該バンプ下部の硬度よりも高い硬度を有するバンプ上部とからなるバンプを形成するバンプ形成ステップと、
を含み、
前記第1のバンプ形成用金属層と前記第2のバンプ形成用金属層は銅からなることを特徴とする配線回路基板の製造方法。 - 前記バンプ形成ステップの後、前記バンプが形成された面に樹脂からなる絶縁シートを圧着させることにより絶縁膜を形成する絶縁膜形成ステップと、
前記バンプ下部が露出するまで前記絶縁膜及び前記バンプ上部を研磨する研磨ステップと、
を含むことを特徴とする請求項3に記載の配線回路基板の製造方法。 - 絶縁膜の上下両面に配線が形成された配線回路基板に、請求項2又は請求項4に記載の配線回路基板の製造方法によって製造された配線回路基板を積層することを特徴とする多層配線基板の製造方法。
- 請求項2又は請求項4に記載の配線回路基板の製造方法によって製造された配線回路基板を複数枚重ねて積層することを特徴とする多層配線基板の製造方法。
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