JP4522531B2 - 半導体エネルギー検出素子 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、放射線等のエネルギー線を検出するための半導体エネルギー検出素子に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来から、この種の半導体エネルギー検出素子として、裏面入射型のフォトダイオードアレイが知られている。この裏面入射型のフォトダイオードアレイは、入射面側にカソード電極が設けられ、入射面に対する裏面側にアノード電極が設けられていた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、エネルギー線の検出感度及び応答速度の低下を抑制することができると共に、エネルギー線を大面積で検出することが可能な半導体エネルギー検出素子を提供することを課題としている。
【0004】
【課題を解決するための手段】
本発明者らの調査研究の結果、以下のような事実を新たに見出した。
【0005】
エネルギー線を検出する面の大面積化を図るために、上述したような構成の裏面入射型のフォトダイオードアレイをチップ化して複数並設した場合に、エネルギー線の入射面側にカソード電極が設けられているので、この入射面側のカソード電極によりフォトダイオードアレイにエネルギー線の不感領域が生じることとなり、エネルギー線が検出可能となる部分の面積を拡大するのには限界があった。
【0006】
そこで、本発明者等は、新たに入射面に対する裏面側にカソード電極及びアノード電極が設けられた裏面入射型のフォトダイオードアレイを発案するに至った。しかしながら、カソード電極及びアノード電極を入射面に対する裏面側に設けた場合、カソード電極を介してバイアス電圧を印加していくと、空乏層が入射面に到達する以前にチャンネルストップ層の下方で空乏層が繋がってしまいそれ以上のバイアス電圧の印加が不可能となり、空乏層を入射面まで拡大する(完全空乏化)することができないといった現象が生じて、エネルギー線の検出感度及び応答速度が低下するという問題点を有していることが判明した。
【0007】
かかる研究結果を踏まえ、本発明に係る半導体エネルギー検出素子は、第1導電型の半導体からなり、入射面から所定波長域のエネルギー線が入射する半導体基板を備え、半導体基板の入射面に対する裏面側には、第2導電型の半導体からなる第2導電型の拡散層が所定の間隔で複数配列されており、第2導電型の拡散層の間には、半導体基板よりも不純物濃度の高い第1導電型の半導体からなり、第2導電型の拡散層を分離するための第1の第1導電型の拡散層が設けられ、第2導電型の拡散層の配列の外側には、半導体基板よりも不純物濃度の高い第1導電型の半導体からなり、第1の第1導電型の拡散層よりも幅広に形成された第2の第1導電型の拡散層が設けられていることを特徴としている。
【0008】
本発明に係る半導体エネルギー検出素子では、半導体基板の入射面に対する裏面側に、第2導電型の拡散層と、第1の第1導電型の拡散層と、第2の第1導電型の拡散層とが設けられるので、エネルギー線の入射面側に電極取出しによる不感領域が発生することはなく、エネルギー線が検出可能となる部分の面積を拡大することが可能となる。
【0009】
第1の第1導電型の拡散層を介してバイアス電圧を印加していくと第1の第1導電型の拡散層の下方で隣り合う空乏層が繋がってしまい、第1の第1導電型の拡散層にはバイアス電圧がそれ以上印加できなくなる。しかしながら、第2導電型の拡散層の配列の外側には、半導体基板よりも不純物濃度の高い第1導電型の半導体からなり、第1の第1導電型の拡散層よりも幅広に形成された第2の第1導電型の拡散層が設けられているので、第1の第1導電型の拡散層の下方で隣り合う空乏層が繋がった後も、第2の第1導電型の拡散層を介してバイアス電圧を印加し続けることができ、半導体基板の空乏化を更に進めることができる。この結果、半導体エネルギー検出素子において、エネルギー線の検出感度及び応答速度が低下するのを抑制することが可能となる。
【0010】
また、第2の第1導電型の拡散層に隣接する第2導電型の拡散層の幅と第2の第1導電型の拡散層の幅との和は、第2の第1導電型の拡散層に隣接しない第2導電型の拡散層の幅と第1の第1導電型の拡散層の幅との和と等しくなるように設定されていることが好ましい。このように、第2の第1導電型の拡散層に隣接する第2導電型の拡散層の幅と第2の第1導電型の拡散層の幅との和を、第2の第1導電型の拡散層に隣接しない第2導電型の拡散層の幅と第1の第1導電型の拡散層の幅との和と等しくなるように設定することにより、第2の第1導電型の拡散層に隣接する第2導電型の拡散層を含む単位領域の幅が、第2の第1導電型の拡散層に隣接しない第2導電型の拡散層を含む単位領域の幅と等しくなる。これにより、特に本発明による半導体エネルギー検出素子を複数並設した場合において、全ての単位領域の幅が等しくなり、エネルギー線が検出可能となる部分の面積をより一層拡大することが可能となる。
【0011】
また、第2の第1導電型の拡散層は、半導体基板の端部に設けられていることが好ましい。このように、第2の第1導電型の拡散層が半導体基板の端部に設けられることにより、半導体基板の端部において、第2の第1導電型の拡散層の下方には空乏層が形成されない領域が存在することになり、空乏層が半導体基板の端部に繋がることにより発生するリーク電流の増大を抑制することができる。
【0012】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しながら本発明による半導体エネルギー検出素子の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、各図において同一要素には同一符号を付して説明を省略する。
【0013】
図1は、本発明の実施形態に係る半導体エネルギー検出素子を示す平面図であり、図2は、同じく半導体エネルギー検出素子の断面構造を示す概略図である。本実施形態は、本発明をフォトダイオード数が25(5×5)の完全空乏型の裏面入射型フォトダイオードアレイに適用した例を示している。
【0014】
裏面入射型のフォトダイオードアレイ1は、図1及び図2に示すように、半導体基板2を備え、この半導体基板2にフォトダイオードアレイが形成されている。半導体基板2は、ウエハ厚0.3mm、比抵抗5kΩ・cmの高抵抗N型シリコン基板からなる。
【0015】
フォトダイオードアレイ1は、第2導電型の拡散層としてのP+拡散層3,4、N+チャンネルストップ層6,7、N+拡散層8、アルミニウム等による配線9、AR(反射防止)コート層10を含んでいる。P+拡散層3,4、及び、N+チャンネルストップ層6,7は、半導体基板2の入射面に対する裏面側に設けられている。N+拡散層8は、半導体基板2の入射面側に設けられており、このN+拡散層8の外側にはAR(反射防止)コート層10が設けられている。N+拡散層8は、半導体基板2よりも不純物濃度の高い第1導電型の半導体からなり、その表面濃度は1.0×1019cm-3程度とされている。
【0016】
P+拡散層3,4は、表面濃度が1.0×1020cm-3程度とされており、所定の間隔(本実施形態においては、500μm程度)をおいて5×5(25)個配列されている。
【0017】
N+チャンネルストップ層6は半導体基板2よりも不純物濃度が高い第1導電型の半導体からなり、N+チャンネルストップ層6の表面濃度は1.0×1019cm-3程度とされている。また、N+チャンネルストップ層6は隣り合うP+拡散層3の間に設けられており、P+拡散層3,4を分離するように格子形状を呈している。P+拡散層3,4とN+チャンネルストップ層6との間隔は、150μm程度とされている。ここで、N+チャンネルストップ層6は、各請求項における第1の第1導電型の拡散層を構成している。
【0018】
N+チャンネルストップ層7は半導体基板2よりも不純物濃度が高い第1導電型の半導体からなり、N+チャンネルストップ層7の表面濃度は1.0×1019cm-3程度とされている。また、N+チャンネルストップ層7はP+拡散層3,4の配列の外側にN+チャンネルストップ層6と連続して枠状に設けられている。P+拡散層4とN+チャンネルストップ層7との間隔は、300μm程度とされており、N+チャンネルストップ層7を含めたP+拡散層4から半導体基板2の端部までの距離は900μm程度である。N+チャンネルストップ層6の幅は、200μm程度に設定されており、また、N+チャンネルストップ層7はN+チャンネルストップ層6よりも幅広とされており、N+チャンネルストップ層7の幅は、600μm程度に設定されている。ここで、N+チャンネルストップ層7は、各請求項における第2の第1導電型の拡散層を構成している。
【0019】
N+チャンネルストップ層7に隣接するP+拡散層4は、N+チャンネルストップ層7に隣接しないP+拡散層3に比して、その幅が短く設定されており、N+チャンネルストップ層7に隣接するP+拡散層4の幅とN+チャンネルストップ層7の幅との和は、N+チャンネルストップ層7に隣接しないP+拡散層3の幅とN+チャンネルストップ層6の幅との和と等しくなるように設定されている。これにより、P+拡散層4の面積はP+拡散層3の面積よりも小さくなるものの、P+拡散層4を含むフォトダイオード単位セル(単位領域)の幅はP+拡散層3を含むフォトダイオード単位セル(単位領域)の幅と等しくなり、フォトダイオードアレイ1におけるフォトダイオード単位セル(単位領域)の面積は全て等しくなる。
【0020】
P+拡散層3,4、及び、N+チャンネルストップ層6,7の夫々に電気的に接続された各配線9上には、バンプ11が形成されており、P+拡散層3,4、及び、N+チャンネルストップ層6,7の電気的接続は、半導体基板2の入射面に対する裏面側においてなされる。バンプ11は、出力読み出し回路(図示せず)とフリップチップボンディングによって接続される。
【0021】
次に、上述した構成のフォトダイオードアレイ1の動作について、図3及び図4に基づいて説明する。図3及び図4は、図2と同様に、本発明の実施形態に係る半導体エネルギー検出素子の断面構造を示す概略図である。
【0022】
まず、フォトダイオードアレイ1をN+チャンネルストップ層6,7に正のバイアス電圧を印加して使用する場合、半導体基板2にはバイアス電圧の大きさに応じた空乏層12が形成される。フォトダイオードアレイ1においてN+チャンネルストップ層6,7を介してバイアス電圧を印加していくと、完全空乏化の途中の100V程度印加した状態で、図3に示されるように、N+チャンネルストップ層6の下方で隣り合う空乏層12同士が繋がってしまい、N+チャンネルストップ層6には上述した100V程度以上のバイアス電圧が印加できない状態となる。なお、半導体基板2と同じ比抵抗5kΩ・cmの高抵抗N型シリコン基板を用いたPIN型フォトダイオードにおいては、通常110V〜120V程度のバイアス電圧を印加することにより、完全空乏化が達成される。
【0023】
しかしながら、N+チャンネルストップ層6よりも幅広のN+チャンネルストップ層7がP+拡散層3,4の配列の外側にN+チャンネルストップ層6と連続して設けられているので、N+チャンネルストップ層7の下方には半導体基板2の入射面側までの間において、空乏化しない領域として空乏層12が形成されない領域13が設けられており、N+チャンネルストップ層6の下方で隣り合う空乏層12同士が繋がった後も、N+チャンネルストップ層7を介してN+拡散層8にバイアス電圧を印加することができるため、半導体基板2内における空乏化を更に進めることができる。
【0024】
空乏層12がN+拡散層8にまで達した後にも更にバイアス電圧を印加し続けることにより、N+チャンネルストップ層6の下方の不感領域(空乏層12)を低減若しくは無くすことが可能であり、200V程度のバイアス電圧を印加することで、図4に示されるように、空乏層12が半導体基板2の入射面(N+拡散層8)全体に広がることになり、半導体基板2が完全空乏化された状態となる。半導体基板2が完全空乏化された状態においても、図4に示されるように、N+チャンネルストップ層7の下方には、半導体基板2の入射面側までの間において空乏層12が形成されない領域13が設けられることになる。
【0025】
空乏層12が半導体基板2のN+拡散層8に到達した状態で、エネルギー線が半導体基板2の入射面に入射すると、フォトダイオードアレイ1において空乏層12内で発生した光電流が高速で検出されることになる。また、P+拡散層3,4を含むフォトダイオード単位セルがマトリックス状に配設(マルチチャンネル化)されているので、フォトダイオードアレイ1において入射光の入射位置も検出されることになる。
【0026】
なお、半導体基板2の端部に空乏層12が繋がるとリーク電流が増大することになるが、N+チャンネルストップ層7はN+チャンネルストップ層6よりも幅広とされているので、N+チャンネルストップ層7の下方には、空乏層12が形成されない領域13が存在することになり、半導体基板2の端部においてリーク電流が増大するのを抑制することができる。
【0027】
このように、フォトダイオードアレイ1にあっては、半導体基板2の入射面に対する裏面側に、P+拡散層3,4と、N+チャンネルストップ層6,7とが設けられるので、エネルギー線の入射面側に電極取出しによる不感領域が発生することはなく、エネルギー線が検出可能となる部分の面積を拡大することが可能となる。
【0028】
N+チャンネルストップ層6を介してバイアス電圧を印加していくとN+チャンネルストップ層6の下方で隣り合う空乏層12が繋がってしまい、N+チャンネルストップ層6にはバイアス電圧がそれ以上印加できなくなる。しかしながら、N+チャンネルストップ層7が設けられているので、N+チャンネルストップ層7の下方には半導体基板2の入射面側までの間において空乏層12が形成されない領域13が設けられることになり、N+チャンネルストップ層6の下方で隣り合う空乏層12が繋がった後も、N+チャンネルストップ層7を介してバイアス電圧を印加し続けることができ、半導体基板2の空乏化を更に進めることができる。この結果、フォトダイオードアレイ1において、エネルギー線の検出感度及び応答速度が低下するのを抑制することが可能となる。
【0029】
なお、フォトダイオードアレイ1は、基本的に空乏層12が半導体基板2の入射面(N+拡散層8)全体に広がった完全空乏化された状態で使用される。この完全空乏化された状態において空乏層12は、N+チャンネルストップ層6の下方において全て繋がっており、空乏層12の端は半導体基板2の端部近傍まで達している。この半導体基板2の端部近傍までの空乏層12の広がりは、印加するバイアス電圧によって調節することができるため、P+拡散層4を小さくしても空乏層12を半導体基板2の端部近傍まで広げることが可能である。これにより、P+拡散層4の幅(面積)をP+拡散層3の幅(面積)よりも小さく設定した場合においても、空乏層12に発生したキャリアはP+拡散層4に集められることになり、フォトダイオードアレイ1の有感領域の減少が抑えられて、フォトダイオードアレイ1のエネルギー線の受光感度に影響を及ぼすことが抑制される。
【0030】
また、フォトダイオードアレイ1は、図5に示されるように、複数個のフォトダイオードアレイ1をマトリックス状に並設して使用することもできる。
【0031】
N+チャンネルストップ層7に隣接するP+拡散層4の幅とN+チャンネルストップ層7の幅との和は、N+チャンネルストップ層7に隣接しないP+拡散層3の幅とN+チャンネルストップ層6の幅との和と等しくなるように設定されることにより、図5に示されるように、P+拡散層4を含むフォトダイオード単位セル(単位領域)の幅aはP+拡散層3を含むフォトダイオード単位セル(単位領域)の幅aと等しくなり、フォトダイオードアレイ1におけるフォトダイオード単位セル(単位領域)の面積は全て等しくされているので、特に、複数個のフォトダイオードアレイ1をマトリックス状に配設して場合において、エネルギー線を大面積で容易に検出することができると共に、エネルギー線の入射位置を適切に検出することができる。
【0032】
なお、N+チャンネルストップ層7は、半導体基板2の端部に設ける必要はなく、いずれかのN+チャンネルストップ層6の位置(フォトダイオード単位セル間の位置)に設けるようにしてもよい。しかしながら、N+チャンネルストップ層7の下方の領域13は空乏化されないために、フォトダイオードアレイ1のフォトダイオード単位セルの間に不感領域が存在することになる。したがって、フォトダイオードアレイ1のフォトダイオード単位セルの間に不感領域が存在する、及び、半導体基板2の端部においてリーク電流が発生するという二つの現象の発生を回避するためには、N+チャンネルストップ層7は、半導体基板2の端部に設けたほうが好ましい。
【0033】
本発明は、前述した実施形態に限定されるものではなく、上述した数値等も適宜変更して設定することができ、また、本発明を放射線等のエネルギー線を検出するための様々な半導体エネルギー検出素子に適用することができる。
【0034】
【発明の効果】
以上、詳細に説明したように、本発明によれば、エネルギー線の検出感度及び応答速度の低下を抑制することができると共に、エネルギー線が検出可能となる部分の面積を拡大することが可能な半導体エネルギー検出素子を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施形態に係る半導体エネルギー検出素子を示す平面図である。
【図2】本発明の実施形態に係る半導体エネルギー検出素子の断面構造を示す概略図である。
【図3】本発明の実施形態に係る半導体エネルギー検出素子の断面構造を示す概略図である。
【図4】本発明の実施形態に係る半導体エネルギー検出素子の断面構造を示す概略図である。
【図5】本発明の実施形態に係る半導体エネルギー検出素子をマトリックス状に並設した状態を示した平面図である。
【符号の説明】
1…フォトダイオードアレイ、2…半導体基板、3…P+拡散層、4…P+拡散層、6…N+チャンネルストップ層、7…N+チャンネルストップ層、8…N+拡散層、9…配線、10…ARコート層、11…バンプ、12…空乏層、13…空乏層が形成されない領域。
Claims (3)
- 第1導電型の半導体からなり、入射面から所定波長域のエネルギー線が入射する半導体基板を備え、
前記半導体基板の前記入射面に対する裏面側には、第2導電型の半導体からなる第2導電型の拡散層が所定の間隔で複数配列されており、
前記第2導電型の拡散層の間には、前記半導体基板よりも不純物濃度の高い第1導電型の半導体からなり、前記第2導電型の拡散層を分離するための第1の第1導電型の拡散層が設けられ、
前記第2導電型の拡散層の配列の外側には、前記半導体基板よりも不純物濃度の高い第1導電型の半導体からなり、前記第1の第1導電型の拡散層よりも幅広に形成された第2の第1導電型の拡散層が設けられていることを特徴とする半導体エネルギー検出素子。 - 前記第2の第1導電型の拡散層に隣接する第2導電型の拡散層の幅と前記第2の第1導電型の拡散層の幅との和は、前記第2の第1導電型の拡散層に隣接しない第2導電型の拡散層の幅と前記第1の第1導電型の拡散層の幅との和と等しくなるように設定されていることを特徴とする請求項1に記載の半導体エネルギー検出素子。
- 前記第2の第1導電型の拡散層は、前記半導体基板の端部に設けられていることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の半導体エネルギー検出素子。
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