JP4520795B2 - 測定器 - Google Patents
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Description
図6に、従来の測定器の一例を示す。この図に示されるように、レーザー1からの直線光は、ハーフミラー2で反射されて被測定物Wの表面に垂直に照射される。この光は、被測定物Wの表面性状に応じて散乱される。
図6では、散乱光として、特に、散乱角度θのものが示されている。これは、散乱角度θの散乱光のみが発生することを意味するものではない。θ以外の散乱角度の散乱光も実際には生じているが、簡略化のため、これらの図示は省略したのである。
被測定物Wからの散乱光は、ハーフミラー2を透過された後、対物レンズ3によって集光されてCCD8に入射される。ここで、CCD8と対物レンズ3との間の距離は、対物レンズ3の焦点距離に等しい。CCD8からは、その受光量に応じた電気信号が出力される。図6においては、CCD8が被測定物W上における光の照射位置(散乱位置)の真上(散乱角度ゼロの位置)に配置されているので、散乱角度の小さい散乱光の強度が大きいほどCCD8の受光量は増大し、大きな値の電気信号が出力される。
ここで、被測定物Wの表面粗さについて言えば、表面粗さが小さく、表面が滑らかで平面に近ければ、大きな散乱角度の散乱光は生じにくくなるから、散乱角度の小さい散乱光の強度が大きくなりCCD8からの電気信号の出力値が大きくなる。また、被測定物Wの表面粗さが大きければ、大きな散乱角度の散乱光が生じやすくなるから、小さい散乱角度の散乱光の強度は逆に小さくなりCCD8からの電気信号の出力値が小さくなる。したがって、CCD8からの電気信号の出力値は、被測定物Wの表面粗さ測定に利用できる。
また、被測定物Wからの散乱光の強度または角度分布は、被測定物Wの表面を構成している物質の性質によっても変化される。この変化は、CCD8における受光量の変化として検出されるから、これを通じて被測定物Wの表面を構成している物質を推定することもできる。
以上のように、図6の測定器を用いれば、CCD8からの電気信号の検出を通じて被測定物Wの表面性状の測定を行うことができる。
この測定器では、被測定物としてのウエハに対して斜めに特定方位から光が照射され、そのときの散乱光が光電子増倍管(Photomultiplier:フォトマル)によって光電検出される。光電子増倍管からは、その受光強度に応じた電流信号が出力され、この出力電流信号に基づいてウエハの表面性状を測定できる。
ところで、測定を精度良く行うためには、被測定物の性状を考慮した上で最適な受光可能散乱角度範囲をその都度設定して測定を行うのが好ましい。例えば、反射率の著しく低い被測定物を測定する場合などには、受光素子における受光量を確保するために受光可能散乱角度範囲を通常よりも広くすることによって、測定の精度を向上できる可能性がある。
しかし、図6または特許文献1に示される測定器では、受光素子の位置および受光面積等が固定されているために、受光可能散乱角度範囲は一定不変で変更できない。そのため、被測定物の種類によっては、測定を適切にできない場合があるという問題がある。
また、受光素子の位置を変更可能にすれば受光可能散乱角度範囲を変更できる(例えば、図6においては、CCD8を上下方向に移動させればθmaxの値を変更できる)が、この場合は、受光素子を移動させるための駆動機構を別途設ける必要があり、さらには、受光素子の精密な位置決め手段が必要になる等によって、構造が複雑化し、また、高価な測定器になってしまうという問題がある。
この発明によれば、第一切替え機構によって散乱光の光路上に位置される第一開口部を切り替えることで、受光可能散乱角度範囲を調整できる。
なお、第一開口部および第一調整機構としては、例えば、第一光束制限手段に孔を穿設し、この孔の一部を塞ぐように移動可能とされた遮光部材を設ければよい。このとき、遮光部材によって塞がれていない孔の部分が第一開口部となっており、遮光部材を移動させることにより第一開口部の形状を調整できる。このように、簡素な方法で第一開口部および第一調整機構を構成できるから、この発明によれば、構成が簡素で、かつ、安価な測定器を提供できる。
この発明によれば、被測定物と受光素子との間に、複数設けられる第一光束制限手段のうちのいずれか一つを選択的に挿入することによって、受光可能散乱角度範囲を調整できる。
なお、第一光束制限手段を挿入しない状態で測定することも可能である。このときの受光可能散乱角度範囲は、被測定物に対する受光素子の位置関係、および、受光素子の受光面の面積、形状等によって規定される。
以下、図1および図2を参照しながら説明する。
光源(1:図1および図2中の符号。以下、同様)からの光は被測定物(W)上に照射され、被測定物(W)からは連続的な散乱角度分布をもった散乱光が出射される。
さて、被測定物(W)から出射された光線S1およびS2は、それぞれの散乱角度θ1およびθ2をもって直進され、対物レンズ(3)に入射される。ここで、対物レンズ(3)と被測定物(W)との間の距離が対物レンズ(3)の焦点距離(f1)に等しいため、被測定物(W)上の同一点Pから出射された光線S1およびS2は、対物レンズ(3)を通過すると互いに略平行となる。そして、光線S1およびS2は、互いに略平行な状態のまま、第一光束制限手段(5)を通過され、その先に設けられるリレーレンズ(6)に入射される。リレーレンズ(6)は、略平行な光線S1およびS2を、リレーレンズ(6)からその焦点距離(f2)と略等しい距離だけ隔たった位置F´´に略点状に集光させる。ところで、集光位置F´´は、第二光束制限手段(7)の配置位置と略一致している。ここで、集光位置F´´が第二光束制限手段(7)における第二開口部(72)の内部に存在していれば、光線S1およびS2は第二開口部(72)内を通過されることによって第二光束制限手段(7)を通過される。また、逆に、集光位置F´´が第二開口部(72)の内側に存在していないのであれば、光線S1およびS2は第二光束制限手段(7)によって遮断される。このように、光線S1およびS2が第二光束制限手段(7)を通過されるか否かは集光位置F´´によって決まる。ところで、集光位置F´´は、光線S1およびS2の出射位置Pのみによって決まる(散乱角度θ1、θ2によらない)ものであるから、結局、光線S1およびS2が第二光束制限手段(7)を通過されるか否かは、散乱光出射位置Pによって決まる。したがって、第二光束制限手段(7)によれば、それを通過される散乱光の被測定物(W)上における出射位置を制限でき、そのため、被測定物(W)上において散乱光を取得する範囲(以下、散乱光取得範囲、という。ただし、散乱光取得範囲⊆被測定物上における光源による光の照射範囲)を規定できる。受光素子(8)には、散乱光取得範囲内から出射された散乱光のみが入射され、逆に、散乱光取得範囲外から出射された散乱光は入射されない。
この発明によれば、第二切替え機構によって散乱光の光路上に位置される第二開口部を切り替えることで、被測定物上における散乱光取得範囲を調整できる。
この発明によれば、リレーレンズと受光素子の間に、複数設けられる第二光束制限手段のうちのいずれか一つを選択的に挿入することによって、被測定物上における散乱光取得範囲を調整できる。
なお、第二光束制限手段を挿入しない状態で測定することも可能である。このときの散乱光取得範囲は、光源による被測定物上における光の照射範囲に等しい。
この発明によれば、第二開口部の形状を調整することにより、被測定物上における散乱光取得範囲を調整できる。
特に、一つの第二光束制限手段が複数の第二開口部を有する前記の構成や、複数の第二光束制限手段が各々第二開口部を有する前記の構成のように、互いに形状の異なる第二開口部が複数設けられている場合には、散乱光取得範囲の調整方法のバリエーションを増やすことができる。例えば、複数の第二開口部としては、円形状、円輪形状、楕円形状、半円形状、扇形形状、矩形状、直線スリット状など、互いに異なる形状のものを複数形成でき、さらに、第二調整機構によって、各第二開口部の形状を調整できる。このように、使用者は、被測定物の性状に合わせて最適な形状の第二開口部を選択し、さらには、この第二開口部の形状を適宜調整しながら測定できる。そのため、この発明によれば、より高精度な測定を行うことができる。
例えば、光源として垂直落射照明装置を用い、これによって被測定物に垂直に光を照射(落射)する場合、被測定物からは散乱光とともに、正反射光が生じる。ここで、被測定物の反射率が著しく高い場合などには、正反射光の強度が著しく強くなってしまい、これが受光素子にそのまま入射されてしまうと、測定に悪影響が及ぶ可能性がある。つまり、散乱光は正反射光に比べて微弱なので、散乱光とともに正反射光が受光素子に入射されると、散乱光の検出が困難になってしまうおそれがある。また、光源として透過照明装置を用いた場合には、正反射光の代わりに直進透過光が生じ、特に被測定物の透光率が著しく高い場合などには、測定に悪影響を及ぼす。なお、正反射光または直進透過光の影響を画像処理によって除去する方法もあるが、被測定物の性状により除去の仕方に差異が生じるので煩雑である。
この発明では、被測定物からの正反射光(または、直進透過光)は、対物レンズによってその焦点位置に集光され、この位置に配置される点状遮光部材によって遮断されるから、受光素子に入射されることはなく、測定に悪影響が及ぶことはない。そのため、この発明によれば、測定精度を向上できる。
また、点状遮光部材は、略点状であるから、点状に集光された正反射光(あるいは、直進透過光)のみを遮断でき、測定に必要な散乱光まで遮断してしまうこともない。
この発明では、光源からの光がリング状光束に形成された後、集光レンズによって集光され被測定物にリング斜め照明として照射される。そのため、垂直落射照明を用いた場合における正反射光、あるいは、透過照明を用いた場合における直進透過光のような、強度が著しく強く、散乱光による測定を阻害する光が生じることはない。そのため、この発明によれば、散乱光検出による測定の精度を向上できる。
この発明によれば、受光素子の受光面に配置された複数の光電変換素子によって、受光面の各位置ごとの受光量を、各光電変換素子からの電気信号の出力値として取得できる。そのため、この発明の受光素子は、いわゆるエリアセンサを構成している。この点、図6や特許文献1に示される測定器における受光素子が、その受光面全体の受光量に応じた電気信号を出力していたのと顕著な差異があると言える。
特に、被測定物から同一散乱角度θで散乱される散乱光によって構成される光束が、受光素子の受光面上の同一点に集光されて入射されるような構成とすれば、散乱光束の散乱角度θと、その散乱光束の受光面上における入射位置(点)とが一対一に対応する。すると、散乱光束の散乱角度θと、受光面上の各光電変換素子とを互いに対応付けることができる。そのため、各光電変換素子から出力される電気信号の値から、各散乱角度の散乱光強度を知ることができ、散乱光強度の散乱角度分布を簡単にかつ正確に取得できるから、測定精度を向上できる。
なお、各実施形態に共通する構成要素については、共通の符号を付して、その説明を簡略化もしくは省略することがある。
<第一実施形態>
図1および図2に本発明の第一実施形態にかかる測定器を示す。
図1において、光源としてのレーザー1からの直線光束は、ハーフミラー2で反射し、直進方向を変更した後、被測定面Wに垂直に照射(落射)される。
被測定面Wからは、その性状(形状、構成物質等)に応じて、正反射光束Rと、散乱光束Sとが生じる。正反射光束Rは、被測定面Wの法線方向に進行する光であり、散乱光束Sは、被測定面Wの法線方向に対して交差する方向に進行する光である。今、図1においては、散乱光束Sとして、散乱角度(被測定面Wの法線方向に対してなす角度)θのもののみが代表的に示されているが、これは、図示を簡略にするためである。実際には、被測定面Wからは散乱角度がθ以外の散乱光束も生じている。
正反射光束Rは、対物レンズ3の焦点Fに集光される。また、散乱光束Sは、対物レンズ3から、その焦点距離f1と略同じ距離だけ隔たった位置F´に集光される。なお、散乱光束Sが対物レンズ3によってF´に集光されるのは、散乱光束Sが平行光束であるためである。
散乱角度制限絞り5は、遮光性を有する遮光部材51と、例えば円形状の開口部52(本発明の第一開口部)とを備えており、開口部52の形状、面積等によって、通過される散乱光束が制限されるようになっている。
今、散乱角度θの散乱光束Sは、散乱角度制限絞り5と略同じ位置F´に集光されている。ここで、集光位置F´が開口部52の内部に形成されていれば散乱光束Sは散乱角度制限絞り5を通過することができ、一方、集光位置F´が遮光部材51上に形成されていれば散乱光束Sは散乱角度制限絞り5を通過できない。このように、散乱光束Sが散乱角度制限絞り5を通過できるか否かは、集光位置F´によって決まる。ところで、集光位置F´は前記の通り散乱光束Sの散乱角度θのみによって決まる(被測定面W上における散乱光の出射位置にはよらない)から、散乱光束Sが散乱角度制限絞り5を通過できるか否かは、散乱角度θのみによって決まる。このように、散乱角度制限絞り5は、それを通過できる散乱光束Sの散乱角度範囲、すなわち、後述する受光素子8で受光できる散乱光束Sの散乱角度範囲(以下、受光可能散乱角度範囲、という)を規定する。つまり、受光可能散乱角度範囲内の散乱角度をもって被測定面Wから散乱される光束は、開口部52内を通過されて受光素子8に入射され、逆に、受光可能散乱角度範囲外の散乱角度をもって被測定面Wから散乱される光束は、遮光部材51に照射されて遮断され、受光素子8に入射されることがないようになっている。
なお、ここに、本発明の第一開口部としての開口部52の形状を調整する本発明の第一調整機構が構成されていることになる。
この仮定のもとで、散乱光束Sの集光位置F´は開口部52の内部に位置されていることになるから、散乱光束Sは、散乱角度制限絞り5を通過される。その後、散乱光束Sは、リレーレンズ6、本発明の第二光束制限手段としての散乱光取得範囲制限絞り7、を順次経由されて、受光素子8に入射される。
散乱光取得範囲制限絞り7は、遮光性を有する遮光部材71と、例えば円形状の開口部72(本発明の第二開口部)とを備えており、開口部72の形状、面積等によって、通過される散乱光束が制限されるようになっている。特に、散乱光取得範囲制限絞り7は、後で詳述するように、被測定面W上における散乱光取得範囲(図1においては、A、で示す)を規定する。散乱光取得範囲A内から出射される散乱光は、開口部72内を通過されて受光素子8に入射され、逆に、散乱光取得範囲A外から出射される散乱光は、遮光部材71に照射されて遮断され、受光素子8に入射されることがないようになっている。
なお、ここに、本発明の第二開口部としての開口部72の形状を調整する本発明の第二調整機構が構成されていることになる。
図1に示されるように、散乱角度θの散乱光束Sは、受光面上の一点Iに集光入射されている。これを言い換えると、受光面上における散乱光の入射位置(点I)は、その散乱光の散乱角度(θ)によって決まってくる。そのため、受光面における各CCDに入射される散乱光の散乱角度はそれぞれ決まっている。そのため、各CCDから出力される電気信号の値から、当該CCDと対応する散乱角度の散乱光束の強度を知ることができ、さらには、散乱光強度の散乱角度分布を簡単にかつ正確に取得できるから、測定精度を向上できる。
図2には、説明の都合上、被測定面W上の一点Pから、散乱角度θ1およびθ2をもって散乱される二条の散乱光線S1およびS2が示されている。点Pから出射された光線S1およびS2は、それぞれの散乱角度の方向に進行し、対物レンズ3に入射する。ここで、被測定面Wと対物レンズ3との間の距離が対物レンズ3の焦点距離f1に等しいことから、被測定面W上の同一点Pより出射された光線S1およびS2は、対物レンズ3を通過すると互いに平行な光線になる。
その後、平行光線S1およびS2は、散乱角度制限絞り5を通過し、リレーレンズ6に入射する。リレーレンズ6は、平行光線S1およびS2を、リレーレンズ6からその焦点距離f2だけ隔たった位置F´´に集光させる。
集光位置F´´と略同じ位置には、前記の通り、散乱光取得範囲制限絞り7が配置されている。ここで、集光位置F´´が開口部72の内部に形成されていれば、光線S1およびS2は散乱光取得範囲制限絞り7を通過することができ、一方、集光位置F´´が遮光部材71上に形成されていれば、光線S1およびS2は散乱光取得範囲制限絞り7を通過できない。このように、光線S1およびS2が散乱光取得範囲制限絞り7を通過できるか否かは、集光位置F´´によって決まる。ところで、集光位置F´´は被測定面W上の点Pの位置のみによって決まる(散乱角度θ1およびθ2にはよらない)から、光線S1およびS2が散乱光取得範囲制限絞り7を通過できるか否かは、点Pの位置のみによって決まる。このように、散乱光取得範囲制限絞り7は、それを通過できて受光素子8に入射される散乱光線(S1およびS2)の被測定面W上における取得範囲、すなわち、散乱光取得範囲を規定する。つまり、散乱光取得範囲内から散乱される散乱光は、開口部72内を通過されて受光素子8に入射され(もちろん、散乱角度制限絞り5を通過することが前提)、逆に、散乱光取得範囲外から散乱される散乱光は、遮光部材71に照射されて遮断され、受光素子8に入射されることがないようになっている。
なお、本実施形態の測定器を用いた測定としては、金属、ウエハ等の加工表面または塗装面の性状検出、傷検出、異物検出等が例示できる。
続いて、本発明の第二実施形態について説明する。
図3に本実施形態にかかる測定器を示す。
本実施形態では、前記第一実施形態とは異なり、ハーフミラー2が対物レンズ3の上方(図3中)に配置されている。レーザー1からの直線光束は、レンズ9、ハーフミラー2、対物レンズ3を順次経由されて被測定面Wに垂直に照射(落射)されるようになっている。
この他の点は、前記第一実施形態と同様である。
続いて、本発明の第三実施形態について説明する。
図4に本実施形態にかかる測定器を示す。
レーザー1からの直線光束は、本発明の光束形成光学素子としてのコーンレンズ10によってリング状の光束に形成される。リング状光束は、レンズ11、円輪状ミラー12、対物レンズ3を順次経由されて、被測定面Wに対して全方位からリング状に照射され、いわゆるリング斜め照明が実現されている。ここで、レンズ11および対物レンズ3は、リング状光束を集光して被測定面Wに照射する本発明の集光レンズを構成している。コーンレンズ10としては、例えば、特開平10−300438号公報に開示されている構成のものを採用できる。また、円輪状ミラー12は、図4においては、その中心軸がレーザー1からの直線光束の向きに対して略45°傾いている。
この他の点は、前記第一実施形態と同様である。
例えば、前記各実施形態では、散乱角度制限絞り5および散乱光取得範囲制限絞り7に設けられる開口部はそれぞれ一つ(開口部52および72)であったが、本発明では、開口部がそれぞれ複数設けられる構成であってもよい。
図5に、散乱角度制限絞り5について、その一例を示す。なお、以下の例は散乱光取得範囲制限絞り7にもそのまま応用できる。
散乱角度制限絞り5は、長尺矩形状の基板53を備える。基板53は遮光性材料、例えば、プラスチックによって構成されている。基板53の長手方向に沿って、円形絞り54A、線状絞り54B、扇形絞り54C、円輪形絞り54D、点状絞り54Eが順次設けられている。
円形絞り54Aにおいては、円形孔55A内部における外側部分を、円形孔55Aと同心円輪形状の遮光部材51Aが塞ぐことができるようになっており、円形孔55A内部のうち遮光部材51Aによって塞がれていない円形部分に円形開口部52Aが形成されている。円輪形遮光部材51Aは、複数の可動羽根(図示せず)によって構成されており、各可動羽根を駆動することで、その遮光範囲を調整できる。そのため、円形開口部52Aの径は自由に調整できる。
線状絞り54Bにおいては、円形孔55Bに遮光性の円形回転部材56Bが回転可能に嵌合される。円形回転部材56Bには、線状孔57Bが穿設され、さらに、線状孔57Bの長手方向部分を塞ぐことができる遮光部材51Bが設けられている。線状孔57Bのうち、遮光部材51Bによって塞がれていない部分が線状開口部52Bとなっている。遮光部材51Bの遮光範囲は可変であり、線状開口部52Bの大きさは自由に調整できる。また、円形回転部材56Bを回転させることにより線状開口部52Bの向きを自由に調整できる。
扇形絞り54Cにおいては、円形孔55Cに中心角270°の扇形状の遮光部材51Cが回転可能に嵌合されている。円形孔55C内部のうち遮光部材51Cによって塞がれていない中心角度90°の扇形状の部分が扇形開口部52Cとなっている。遮光部材51Cを回転させることにより、扇形開口部52Cの向きを自由に調整できる。なお、遮光部材51Cの中心角度は270°でなくてもよい。
円輪形絞り54Dにおいては、円形孔55Dに例えばガラス製の透光性円板56Dが嵌合される。透光性円板56Dの中心および円周部分には、円形孔55Dと同心円形状および同心円輪形状の二つの遮光部材51Dが配設される。透光性円板56Dのうち遮光部材51Dによって塞がれていない部分が円輪形開口部52Dとなっている。各遮光部材51Dは、複数の可動羽根によって構成されており、その遮光範囲が可変とされている。そのため、円輪形開口部52Dの内径および外形は自由に調整できる。
点状絞り54Eにおいては、円形孔55E内部の略全体を遮光部材51Eが塞いでいる。遮光部材51Eには、点状孔56Eが穿設されており、これが点状開口部52Eとなっている。遮光部材51Eは移動可能とされ、これにより、点状開口部52Eの位置を自由に調整できる。
一例として、測定に際して点状開口部52Eを選択した場合には、受光素子8で受光される散乱光の散乱角度を指定した測定が可能である。さらに、点状開口部52Eは移動可能なので、当該指定散乱角度は自由に変更可能である。
また、開口部52A〜Eは、その形状が調整可能であるから、本発明の第一調整機構が構成されていることになる。なお、ここでいう「形状」には、例えば、線状開口部52B、扇形開口部52Cの向きや、点状開口部52Eの位置も含まれるものとする。
また、前記実施形態では、光源としてレーザー1を設けていたが、本発明では、これに限らず種々の光源を採用できる。
また、前記第三実施形態では、リング状光束を形成するコーンレンズ10を用いてリング斜め照明を形成していたが、本発明では、いわゆるリング照明装置、例えば、ファイバー照明装置によって直接リング斜め照明を行ってもよい。
3…対物レンズ
4…正反射光カットマスク
5…散乱角度制限絞り
6…リレーレンズ
7…散乱光取得範囲制限絞り
8…受光素子
10…コーンレンズ
51、51A〜E…遮光部材
52、52A〜E…開口部
71…遮光部材
72…開口部
Claims (9)
- 被測定物に光を照射する光源と、
前記被測定物からの散乱光を受光する受光素子と、
前記被測定物と前記受光素子との間に設けられ、互いに異なる形状の複数の第一開口部を有する第一光束制限手段と、
前記複数の第一開口部の中から任意に選択される一の第一開口部を、前記被測定物からの散乱光の光路上に挿入させる第一切替え機構と、
を備え、
前記各第一開口部の形状を調整する第一調整機構が設けられることを特徴とする測定器。 - 被測定物に光を照射する光源と、
前記被測定物からの散乱光を受光する受光素子と、
前記被測定物と前記受光素子との間に選択的に挿入され、互いに異なる形状の第一開口部を有する複数の第一光束制限手段と、
を備え、
前記各第一開口部の形状を調整する第一調整機構が設けられることを特徴とする測定器。 - 請求項1または請求項2に記載の測定器において、
前記被測定物と前記受光素子との間には、対物レンズが、その焦点距離だけ被測定物から隔てられた位置に設けられ、
前記対物レンズと前記受光素子との間には、前記第一光束制限手段が、前記対物レンズからその焦点距離だけ隔てられた位置に配置され、
前記第一光束制限手段と前記受光素子との間には、前記第一光束制限手段を通過された前記被測定物からの散乱光を前記受光素子に入射するリレーレンズが設けられ、
このリレーレンズと前記受光素子との間には、前記リレーレンズを通過された前記被測定物からの散乱光の光束を制限する第二開口部を有する第二光束制限手段が、前記リレーレンズからその焦点距離だけ隔てられた位置に設けられる、
ことを特徴とする測定器。 - 請求項3に記載の測定器において、
前記第二光束制限手段は、互いに異なる形状の複数の第二開口部を有し、
これら複数の第二開口部の中から任意に選択される一の第二開口部を、前記リレーレンズを通過された前記被測定物からの散乱光の光路上に挿入させる第二切替え機構が設けられる、
ことを特徴とする測定器。 - 請求項1または請求項2に記載の測定器において、
前記被測定物と前記受光素子との間には、対物レンズが、その焦点距離だけ被測定物から隔てられた位置に設けられ、
前記対物レンズと前記受光素子との間には、前記第一光束制限手段が、前記対物レンズ
からその焦点距離だけ隔てられた位置に配置され、
前記第一光束制限手段と前記受光素子との間には、前記第一光束制限手段を通過された前記被測定物からの散乱光を前記受光素子に入射するリレーレンズが設けられ、
このリレーレンズからその焦点距離だけ前記受光素子側に隔たった位置に選択的に挿入され、互いに異なる形状の第二開口部を有する複数の第二光束制限手段が設けられる、
ことを特徴とする測定器。 - 請求項3から請求項5のいずれかに記載の測定器において、
前記第二開口部の形状を調整する第二調整機構が設けられることを特徴とする測定器。 - 請求項3から請求項6のいずれかに記載の測定器において、
前記光源は、前記被測定物に対して垂直に光を照射するものとされ、
遮光性を有する略点状の点状遮光部材が、前記対物レンズの前記受光素子側の焦点位置に配置される、
ことを特徴とする測定器。 - 請求項1から請求項6のいずれかに記載の測定器において、
前記光源と前記被測定物との間に設けられ、前記光源からの光をリング状の光束に形成する光束形成光学素子と、
前記リング状光束を集光して前記被測定物に照射する集光レンズと、
が設けられることを特徴とする測定器。 - 請求項1から請求項8のいずれかに記載の測定器において、
前記受光素子は、その受光面に配置される複数の光電変換素子を備えて構成され、
これらの各光電変換素子は、その受光量に応じた電気信号を出力することを特徴とする測定器。
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