JP5606757B2 - 形状認識装置 - Google Patents
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Description
該遮蔽手段は、該照明手段のケースとして機能する遮蔽板からなっている、
ことを特徴とする形状認識装置が提供される。
図1に示すレーザー加工機1は、略直方体状の装置ハウジング2を具備している。この装置ハウジング2内には、板状物であるウエーハを保持する保持テーブルとしてのチャックテーブル3が矢印Xで示す加工送り方向(X軸方向)および該加工送り方向Xと直交する矢印Yで示す割り出し送り方向(Y軸方向)に移動可能に配設されている。チャックテーブル3は、吸着チャック支持台31と、該吸着チャック支持台31上に装着された吸着チャック32を具備しており、該吸着チャック32の表面である保持面上に被加工物であるウエーハを図示しない吸引手段によって保持するようになっている。また、チャックテーブル3は、図示しない回転機構によって回動可能に構成されている。このように構成されたチャックテーブル3の吸着チャック支持台31には、後述する環状のフレームを固定するためのクランプ34が配設されている。なお、レーザー加工機1は、上記チャックテーブル3を加工送り方向Xに加工送りする図示しない加工送り手段、および割り出し送り方向Yに割り出し送りする図示しない割り出し送り手段を具備している。
図2に示す形状認識装置6は、上記チャックテーブル3に保持された光デバイスウエーハ10の全体を撮像する撮像手段61と、撮像手段61の下側に配設された照明手段62と、照明手段62によって照射されチャックテーブル3に保持された光デバイスウエーハ10で反射した反射光のうち撮像手段61による撮像領域Aの正反射光を遮蔽する遮蔽手段63とを具備している。照明手段62は、光学レンズ611と撮像素子(CCD)612とを備えたCCDカメラからなっている。照明手段62は、LED、LD、蛍光灯等を用いることができる。遮蔽手段63は、照明手段62のケースとして機能する円形の遮蔽板からなり、下面に照明手段62が配設されている。このように構成された形状認識装置6の撮像手段61は、撮像した画像信号を制御手段60に送る。また、上記アライメント手段5も撮像した画像信号を制御手段60に送る。なお、図示の実施形態における制御手段60は、上記チャックテーブル3を加工送り方向Xに加工送りする図示しない加工送り手段や割り出し送り方向Yに割り出し送りする図示しない割り出し送り手段およびレーザー光線発振手段41や該レーザー光線発振手段41を集光点位置調整方向Zに移動する図示しない集光点位置調整手段等を制御するようになっている。
環状のフレームFに保護テープTを介して支持された加工前の光デバイスウエーハ10は、被加工面である表面10aを上側にしてカセット11の所定位置に収容されている。カセット11の所定位置に収容された加工前の光デバイスウエーハ10は、図示しない昇降手段によってカセットテーブル111が上下動することにより搬出位置に位置付けられる。次に、被加工物搬出・搬入手段13が進退作動して搬出位置に位置付けられた光デバイスウエーハ10を仮置き部12aに配設された位置合わせ手段12に搬出する。位置合わせ手段12に搬出された光デバイスウエーハ10は、位置合わせ手段12によって所定の位置に位置合せされる。次に、位置合わせ手段12によって位置合わせされた加工前の光デバイスウエーハ10は、第1のウエーハ搬送手段14の旋回動作によってチャックテーブル3の吸着チャック32上に搬送される。光デバイスウエーハ10がチャックテーブル3の吸着チャック32上に搬送されと、図示しない吸引手段を作動し、吸着チャック32上に保護テープTを介して光デバイスウエーハ10を吸引保持する。そして、光デバイスウエーハ10を保護テープTを介して支持している環状のフレームFをクランプ34によって固定する。このようにして光デバイスウエーハ10を吸引保持したチャックテーブル3は、図示しない加工送り手段によって形状認識装置6の直下に位置付けられる。
2:装置ハウジング
3:チャックテーブル
4:レーザー光線照射手段
41:レーザー光線発振手段
42:集光器
5:アライメント手段
6:形状認識装置
60:制御手段
61:撮像手段
62:照明手段
63:遮蔽手段
10:光デバイスウエーハ
F:環状のフレーム
T:ダイシングテープ
Claims (2)
- 板状物の輪郭を検出する形状認識装置であって、
板状物を保持する保持テーブルと、該保持テーブル上に保持され板状物を撮像する撮像手段と、該撮像手段下側に配設された照明手段と、該照明手段によって照射され該保持テーブル上に保持された板状物で反射した反射光のうち該撮像手段による撮像領域の正反射光を遮蔽する遮蔽手段と、を具備し、
該遮蔽手段は、該照明手段のケースとして機能する遮蔽板からなっている、
ことを特徴とする形状認識装置。 - 上記板状物は、環状のフレームに装着された粘着テープの表面に貼着した状態で保持テーブル上に保持される、請求項1記載の形状認識装置。
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