JP6955058B2 - 測定装置及び測定方法 - Google Patents
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Description
本実施形態に係る測定装置は、レーザー光を複数の光束に分離し、前記複数の光束を互いに被計測対象の異なる部分に異なる入射角で照射する分離照射手段と、前記複数の光束が前記被計測対象で散乱された散乱光を受光する受光手段とを備える。
本実施形態に係る測定装置の一態様では、前記分離照射手段は、グレーティングを含む。
上述したグレーティングを含む態様では、前記グレーティングは、ブレーズ型のグレーティングであってもよい。
或いはグレーティングを含む態様では、前記グレーティングは、集光効果を有していてもよい。
本実施形態に係る測定装置の他の態様では、前記分離照射手段は、前記レーザー光の一部を反射する一部反射手段を含む。
上述した一部反射手段を含む態様では、前記分離照射手段は、前記一部反射手段との相対的な位置が固定された反射手段を更に含んでいてもよい。
本実施形態に係る測定装置の他の態様では、前記散乱光を前記受光手段に集光する散乱後集光手段を更に備える。
本実施形態に係る測定装置の他の態様では、前記複数の光束を前記被計測対象に集光する分離後集光手段を更に備える。
本実施形態に係る測定装置の他の態様では、前記分離照射手段は、前記レーザー光を少なくとも第1光束及び第2光束に分離して照射し、前記第1光束が前記被計測対象で散乱された第1散乱光の前記受光手段までの光路は、前記第2光束の光路と平行とされており、前記第2光束が前記被計測対象で散乱された第2散乱光の前記受光手段までの光路は、前記第2光束の光路と平行とされている。
本実施形態に係る測定装置の他の態様では、前記受光手段で受光された前記散乱光のドップラーシフトから、前記被計測対象の速度を検出する速度検出手段を更に備える。
本実施形態に係る測定方法は、レーザー光を複数の光束に分離し、前記複数の光束を互いに被計測対象の異なる部分に異なる入射角で照射する分離照射工程と、前記複数の光束が前記被計測対象で散乱された散乱光を受光する受光工程とを備える。
第1実施例に係る測定装置について、図1から図6を参照して説明する。
先ず、第1実施例に係る測定装置の全体構成について、図1を参照して説明する。ここに図1は、第1実施例に係る測定装置の全体構成を示す側面図である。
次に、第1実施例に係る測定装置の変形例について、図2から図4を参照して説明する。ここに図2から図4は夫々、第1実施例に係る測定装置の変形例の全体構成を示す側面図である。
次に、第1実施例に係る測定装置における検出感度の最適化について、図5を参照して説明する。ここに図5は、検出感度の最適化方法を示す概念図である。なお、以下では、図3で示した測定装置1c(即ち、ブレーズ型のグレーティング200bを備えた透過型の装置)を例に挙げて説明を進めるが、他の例についても同様の方法で最適化を行うことが可能である。
次に、第1実施例に係る測定装置によって得られる技術的効果について、図6に示す比較例を参照しながら詳細に説明する。ここに図6は、比較例に係る測定装置の全体構成を示す側面図である。
次に、第2実施例に係る測定装置について、図7を参照して説明する。ここに図7は、第2実施例に係る測定装置の全体構成を示す側面図である。なお、第2実施例は、上述した第1実施例と一部の構成が異なるのみであり、その他の構成や動作については概ね同様である。このため、以下では、既に説明した第1実施例と異なる部分について詳細に説明し、他の重複する部分については適宜説明を省略するものとする。
次に、第3実施例に係る測定装置について、図8を参照して説明する。ここに図8は、第3実施例に係る測定装置の全体構成を示す側面図である。なお、第3実施例は、上述した第1及び第2実施例と一部の構成が異なるのみであり、その他の構成や動作については概ね同様である。このため、以下では、既に説明した第1及び第2実施例と異なる部分について詳細に説明し、他の重複する部分については適宜説明を省略するものとする。
次に、第4実施例に係る測定装置について、図9及び図10を参照して説明する。ここに図9は、第4実施例に係る測定装置の全体構成を示す側面図であり、図10は、第4実施例に係る測定装置の変形例の全体構成を示す側面図である。なお、第4実施例は、上述した第1から第3実施例と一部の構成が異なるのみであり、その他の構成や動作については概ね同様である。このため、以下では、既に説明した第1から第3実施例と異なる部分について詳細に説明し、他の重複する部分については適宜説明を省略するものとする。
次に、第5実施例に係る測定装置について、図11を参照して説明する。ここに図11は、第5実施例に係る測定装置の全体構成を示す側面図である。なお、第5実施例は、上述した第1から第4実施例と一部の構成が異なるのみであり、その他の構成や動作については概ね同様である。このため、以下では、既に説明した第1から第4実施例と異なる部分について詳細に説明し、他の重複する部分については適宜説明を省略するものとする。
次に、第6実施例に係る測定装置について、図12を参照して説明する。ここに図12は、第6実施例に係る測定装置の全体構成を示す側面図である。なお、第6実施例は、上述した第1から第5実施例と一部の構成が異なるのみであり、その他の構成や動作については概ね同様である。このため、以下では、既に説明した第1から第5実施例と異なる部分について詳細に説明し、他の重複する部分については適宜説明を省略するものとする。
100 光源
200 グレーティング
210 ハーフミラー
220 ミラー
250 2面鏡
300 透明チューブ
400 流体
401,402 散乱体
500 検出器
600,700 集光レンズ
Li 照射光
Ld1,Ld2,Ld3 分離光
Ls1,Ls2,Ls3 散乱光
Claims (11)
- レーザー光を第1光束及び第2光束に分離し、前記第1光束を被計測対象の第1測定点に照射させるとともに、前記第2光束を前記第1測定点とは異なる前記被計測対象の第2測定点に照射させる分離照射手段と、
前記第1測定点にて前記第1光束が散乱された第1散乱光と、前記第2測定点にて前記第2光束が散乱された第2散乱光と、を受光する受光手段と
を備え、
前記第1光束と前記第2光束とが前記第1測定点及び前記第2測定点において交差干渉せずに、更に、前記第1散乱光及び前記第2散乱光の各光路の中心を前記受光手段上に集光させることにより干渉を生じさせるように光路を構成する
ことを特徴とする測定装置。 - 前記分離照射手段は、グレーティングを含むことを特徴とする請求項1に記載の測定装置。
- 前記グレーティングは、ブレーズ型のグレーティングであることを特徴とする請求項2に記載の測定装置。
- 前記グレーティングは、集光効果を有していることを特徴とする請求項2又は3に記載の測定装置。
- 前記分離照射手段は、前記レーザー光の一部を反射する一部反射手段を含むことを特徴とする請求項1に記載の測定装置。
- 前記分離照射手段は、前記一部反射手段との相対的な位置が固定された反射手段を更に含むことを特徴とする請求項5に記載の測定装置。
- 前記散乱光を前記受光手段に集光する散乱後集光手段を更に備えることを特徴とする請求項1から6のいずれか一項に記載の測定装置。
- 前記複数の光束を前記被計測対象に集光する分離後集光手段を更に備えることを特徴とする請求項1から7のいずれか一項に記載の測定装置。
- 前記第1散乱光の前記受光手段までの光路は、前記第2光束の光路と平行とされており、
前記第2散乱光の前記受光手段までの光路は、前記第1光束の光路と平行とされている
ことを特徴とする請求項1から8のいずれか一項に記載の測定装置。 - 前記受光手段で受光された前記散乱光のドップラーシフトから、前記被計測対象の速度を検出する速度検出手段を更に備えることを特徴とする請求項1から9のいずれか一項に記載の測定装置。
- レーザー光を第1光束及び第2光束に分離し、前記第1光束を被計測対象の第1測定点に照射させるとともに、前記第2光束を前記第1測定点とは異なる前記被計測対象の第2測定点に照射させる分離照射工程と、
前記第1測定点にて前記第1光束が散乱された第1散乱光と、前記第2測定点にて前記第2光束が散乱された第2散乱光と、を受光する受光工程と
を含み、
前記第1光束と前記第2光束とが前記第1測定点及び前記第2測定点において交差干渉せずに、更に、前記第1散乱光及び前記第2散乱光の各光路の中心を前記受光手段上に集光させることにより干渉を生じさせるように光路を構成する
ことを特徴とする測定方法。
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JP2020100435A JP6955058B2 (ja) | 2018-06-21 | 2020-06-09 | 測定装置及び測定方法 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2018118043A JP2018151408A (ja) | 2018-06-21 | 2018-06-21 | 測定装置 |
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JP2020139959A JP2020139959A (ja) | 2020-09-03 |
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