WO2019017244A1 - 光学装置 - Google Patents

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wavelength
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佐藤　充
孝典 落合
柳澤　琢麿
小笠原　昌和
亮 出田
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パイオニア株式会社
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Definitions

  • the present invention relates to an optical device that receives reflected light obtained by reflecting emitted light from an object.
  • a band pass filter is used that transmits only light of the wavelength of the irradiated light.
  • the N ratio is improved (see, for example, Patent Document 1).
  • the band pass is made to follow the wavelength of the light emitted from the light emitting unit estimated from the temperature of the semiconductor laser element which is the light emitting element.
  • the central wavelength of light transmitted through the filter is adjusted.
  • the improvement of the separation accuracy of environmental light other than the reflected light of the emitted light as mentioned above is mentioned as an example.
  • the invention according to claim 1 made to solve the above problems is a light source for emitting emitted light, an irradiating means for irradiating the emitted light toward a predetermined range, and the light irradiated to the irradiating means.
  • the light receiving portion for receiving the reflected light that the emitted light is reflected by the object, and guiding the incident light in the direction according to the wavelength guides the emitted light to the irradiating means and the reflected light is received.
  • a first optical member leading to the part is a first optical member leading to the part.
  • FIG. 6 is an explanatory view in the case where there is wavelength fluctuation in the optical device shown in FIG. 1; It is a schematic block diagram of the optical apparatus concerning the 2nd Example of this invention.
  • FIG. 6 is an explanatory view of a case where a wavelength of laser light is shifted in the optical device shown in FIG. 5.
  • An optical device includes a light source for emitting emitted light, an irradiating unit for irradiating the emitted light toward a predetermined range, and a reflection of the emitted light irradiated to the irradiating unit reflected by the object A light receiving unit for receiving light, and a first optical member for guiding emitted light to the irradiation unit and guiding reflected light to the light receiving unit by guiding the incident light in a direction according to the wavelength of the light. ing.
  • the outgoing light is guided to the irradiation unit, and the reflected light is guided to the light receiving unit, thereby providing the first optical member.
  • the optical path in the optical device of the emitted light emitted from the optical device and the reflected light of the emitted light can be prevented from changing due to the wavelength. Therefore, even if there is a difference in the wavelength of the emitted light due to the fluctuation of the wavelength of light due to the temperature fluctuation of the emitting portion or the individual variation, it is possible to guide the reflected light to the light receiving portion by the two optical units. Therefore, it is possible to separate reflected light and ambient light, and to improve their separation accuracy.
  • the first optical member may be disposed on the light path of the emitted light from the light source to the irradiating means. By doing so, even if there is a difference in the wavelength of the emitted light due to temperature fluctuation or individual variation of the emitting portion, the reflected light can be guided to the light receiving portion by the optical element. Therefore, it is possible to separate reflected light and ambient light, and to improve their separation accuracy.
  • the optical path in which the reflected light enters the first optical member may be the same as the optical path in which the emitted light is guided by the first optical member.
  • the light source emitting the emitted light, the irradiating means for irradiating the emitted light toward the predetermined range, and the emitted light irradiated to the irradiating means are the object.
  • a second optical member for guiding the reflected light to the light receiving unit by guiding in a direction according to the wavelength.
  • the distance measurement which has an optical device according to any one of claims 1 to 4 and measures the distance to an object based on the time taken from the emission of the emitted light to the reception of the emitted light by the light receiving unit. It may be an apparatus. By doing this, in the distance measuring device, the reflected light can be reliably received, and the distance measurement accuracy can be improved.
  • the optical device 1 includes the light source 2, the collimator lens 3, the beam splitter 4, the diffraction grating 5, the mirror 6, the MEMS mirror 7, and the light emitting and receiving lens 8. , A condenser lens 9, and a light receiving element 10.
  • the light source 2 as the emitting unit is configured by, for example, a laser diode.
  • the light source 2 emits (emits) pulse-like laser light of a predetermined wavelength.
  • the collimating lens 3 converts the laser light emitted from the light source 2 into a parallel light flux.
  • the beam splitter 4 outputs the laser light collimated by the collimator lens 3 to the diffraction grating 5, and the reflected light of the laser light from the object 100 diffracted by the diffraction grating 5 and environmental light such as sunlight (sunlight (Including the light reflected by the object 100) toward the condenser lens 9).
  • the diffraction grating 5 as the first optical member diffracts the laser beam incident from the beam splitter 4 to the mirror 6 at a diffraction angle corresponding to the wavelength component of the laser beam. Further, the reflected light of the laser light incident from the mirror 6 and the environmental light are diffracted to the beam splitter 4 at a diffraction angle corresponding to the wavelength component of the reflected light of the laser light and the like. That is, the diffraction grating 5 guides the laser light (emitted light) emitted from the light source 2 (emitted part) in the direction of the angle according to the wavelength, and the reflected light and environment where the laser light (emitted light) is reflected by the object 100 The light is directed in the direction of angles depending on the wavelength of these lights.
  • the diffraction grating 5 is disposed in a common optical path of the optical path of the laser light and the optical path of the reflected light of the laser light and the environmental light. That is, the diffraction grating 5 guides the incident light to the direction according to the wavelength thereof, thereby guiding the emitted light to the irradiating means and guiding the reflected light to the light receiving unit. Further, the optical path in which the reflected light enters the first optical member and the optical path in which the emitted light is guided by the first optical member are the same.
  • a blazed diffraction grating having a sawtooth-like groove shape is used as the diffraction grating 5, in the present embodiment.
  • the use of a blazed diffraction grating is desirable because the diffraction efficiency of + 1st order light can be theoretically made 100% by the blazed diffraction grating.
  • a reflection type diffraction grating is described, a transmission type diffraction grating may be used.
  • the mirror 6 reflects the laser light diffracted by the diffraction grating 5 to the MEMS mirror 7, and reflects the reflected light of the laser light reflected by the MEMS mirror 7 and the ambient light to the diffraction grating 5.
  • the MEMS mirror 7 as an irradiation means scans the laser light reflected by the mirror 6 toward the region where the object 100 is present in the horizontal and vertical directions. That is, the MEMS mirror 7 irradiates the target 100 with the laser light guided by the diffraction grating 5 (first optical member). In addition, the MEMS mirror 7 reflects, to the mirror 6, the incident light that the light reflected by the object 100 enters the light emitting and receiving lens 8.
  • the MEMS mirror 7 is a mirror configured by a MEMS (Micro Electro Mechanical Systems), and is driven by an actuator (not shown) integrally formed with the mirror. Also, the MEMS mirror 7 may be another beam deflection means such as a galvano mirror or a polygon mirror.
  • the light emitting and receiving lens 8 irradiates (projects) the laser light reflected by the MEMS mirror 7 to the area where the object 100 exists.
  • reflected light and environmental light which are laser light reflected by the object 100, are incident (received) as incident light to the light emitting and receiving lens 8.
  • the condensing lens 9 is provided between the beam splitter 4 and the light receiving element 10, and condenses the reflected light of the laser light reflected by the beam splitter 4 and the environmental light on the light receiving element 10.
  • a light receiving element 10 as a light receiving unit receives reflected light of environmental light and laser light condensed by the condensing lens 9.
  • the light receiving element 10 is configured of, for example, an avalanche photodiode (APD).
  • the light receiving element 10 outputs a signal according to the intensity (received light intensity) of the received light.
  • the laser light emitted from the light source 2 is collimated by the collimator lens 3 and then enters the diffraction grating 5 through the beam splitter 4.
  • the diffraction grating 5 diffracts the incident light in a predetermined direction which is uniquely determined by the incident angle of light, the wavelength, and the groove interval (see the time of light projection in FIG. 2).
  • the incident angle of light is ⁇ 1
  • the wavelength is ⁇ 0
  • the groove interval is p
  • the diffraction angle ⁇ 2 is expressed by the following equation (1).
  • the laser light emitted from the light source 2 in a pulse shape and diffracted by the diffraction grating 5 is reflected by the MEMS mirror 7 and emitted toward the outside of the optical device 1 by the light receiving and receiving lens 8.
  • the angle of the MEMS mirror 7 at each timing of each irradiation it is possible to temporally change the position of the beam spot irradiated toward the region where the object 100 exists, in the horizontal direction and A vertical scan is performed.
  • the laser beam reflected (scattered) by the object 100 is received by the light emitting / receiving lens 8, follows an optical path reverse to that at the time of light projection, is reflected by the MEMS mirror 7, and is incident on the diffraction grating 5.
  • the diffraction angle becomes ⁇ 1 (see the time of light reception in FIG. 2).
  • the reflected light of the laser beam reflected by the beam splitter 4 is condensed to the light receiving element 10 by the condensing lens 9.
  • the light incident on the light receiving / receiving lens 8 is not only the reflected light of the projected laser light, but also all light for illuminating the object 100 such as sunlight or the light of a street lamp, or the light reflected by the object 100 Is also included.
  • the ambient light also passes through the light emitting and receiving lens 8 and enters the diffraction grating 5 through the MEMS mirror 5. Since the diffraction grating 5 diffracts in different directions depending on the wavelength of incident light, the light receiving element 10 receives only the same wavelength component as the light source 2 among the light contained in the reflected light of the laser light and the ambient light (see FIG.
  • the wavelength ⁇ 0 of 3 and the component of a wavelength different from the light source 2 in the ambient light are not received by the light receiving element 10 and can be removed (wavelength ⁇ 1 , wavelength ⁇ 2 in FIG. 3).
  • the solid line in FIG. 4 is an example of the light path before the wavelength change of the light source 2, and the broken line is an example of the light path in the case where the wavelength change is present.
  • the laser light emitted from the light source 2 and incident on the diffraction grating 5 is diffracted at a small diffraction angle or a large diffraction angle with respect to that before wavelength fluctuation and proceeds as shown by a broken line. Therefore, as shown in FIG. 4, the projection position on the object 100 is also shifted by the change of the diffraction angle.
  • the reflected light of the laser light reflected by the object 100 returns the light path again along the broken line and enters the diffraction grating 5.
  • the incident angle to the diffraction grating 5 at this time is equal to the diffraction angle at the time of emission
  • the reflected light of the laser light diffracted by the diffraction grating 5 travels along the same optical path as at the time of emission and reaches the beam splitter 4.
  • the light is collected on the light receiving element 10 by the light lens 9.
  • the optical path from the diffraction grating 5 to the light receiving element 10 is completely the same before and after the wavelength change, even if the laser light has a wavelength change due to the temperature change of the light source 2, a single light receiving element It can be received at 10.
  • the reflected light of the laser light that has entered the optical device 1 enters the diffraction grating 5 at the same angle as the diffraction angle of the diffraction grating 5 of the laser light (emission light), and the laser light (emission light) enters the diffraction grating 5 It is guided to the beam splitter 4 by the diffraction grating 5 at the same angle as the incident angle of incidence.
  • the optical device 1 guides the laser beam emitted from the light source 2 in the direction of the angle according to the wavelength, and the reflected laser beam and the ambient light reflected by the object 100 are There is provided a diffraction grating 5 for guiding in the direction of the angle according to the wavelength of these lights. Furthermore, the light receiving element 10 for receiving the light guided by the diffraction grating 5 is provided. Then, the reflected light of this laser light is incident on the diffraction grating 5 at the same angle as the angle at which the emitted laser light is guided by the diffraction grating 5 and at the same angle as the emitted laser light is incident on the diffraction grating 5 It is guided by the diffraction grating 5.
  • the reflected light reflected by the object 100 can be guided by the diffraction grating 5 to the same angle as that when it is incident on the diffraction grating 5. Therefore, even if the wavelength of the laser light fluctuates due to the temperature fluctuation of the light source 2 or the wavelength of the laser light is different from what was supposed due to the solid dispersion, the reflected light is guided to the light receiving element 10 by the diffraction grating 5 Is possible. Therefore, the reflected light of the laser beam and the ambient light can be separated, and the separation accuracy of these can be improved.
  • the diffraction grating 5 is disposed in a common optical path between the optical path of the laser light and the optical path of the reflected light of the laser light and the environmental light. By doing this, in the diffraction grating 5, the reflected light of the laser light can be returned from the direction of the angle at which the laser light is guided. Therefore, even if the wavelength of the light source 2 changes, it can guide to the light receiving element 10.
  • the present optical device can use the distance to the object for measurement. That is, the CPU or the like of the distance measuring device on which the optical device is mounted measures the time from when the light source emits laser light to when it is received by the light receiving element as reflected light reflected by the object 100. The distance from the device to the object can be measured.
  • the optical device 1A includes the light source 2, the collimator lens 3, the beam splitter 4, the MEMS mirror 7, the light receiving and receiving lens 8, the collecting lens 9, and the light receiving.
  • the element 10, the diffraction grating 15, and the diffraction grating 16 are provided.
  • the light source 2, the collimator lens 3, the beam splitter 4, the MEMS mirror 7, the light emitting and receiving lens 8, the collecting lens 9, and the light receiving element 10 are the same as those in the first embodiment.
  • diffraction gratings are arranged at two places.
  • a diffraction grating 15 as a first optical member is disposed between the collimator lens 3 and the beam splitter 4
  • a diffraction grating 16 as a second optical member is disposed between the beam splitter 4 and the focusing lens 9. ing. That is, the diffraction grating 15 is disposed in the light path at the time of light projection, and guides the incident light to the irradiation means by guiding the incident light in the direction according to the wavelength.
  • the diffraction grating 16 is disposed in the light path at the time of light reception, and guides the reflected light to the light receiving element 10 by guiding the reflected light reflected by the object 100 in the direction according to the wavelength. That is, the diffraction gratings 15 and 16 are disposed in different optical paths. The diffraction gratings 15 and 16 have the same optical characteristics such as groove pitch.
  • the light source 2 and the light receiving element 10 are disposed in a conjugate relationship in the range of wavelength fluctuation. This is because, using the same two diffraction gratings, the diffraction angle at which the laser light incident on the diffraction grating 15 is diffracted in the direction of the beam splitter 4 and the incidence angle from the beam splitter 4 to the diffraction grating 16 become equal. It is preferred to arrange.
  • the conjugate relationship originally means that the reflected light of the light emitted from the light source 2 reaches the light receiving element 10 when the angle of the MEMS mirror 7 does not change between the light projection time and the light reception time. Do. However, in fact, when the laser light is reflected by the MEMS mirror 7 toward the object 100 and when the reflected light of the laser light returns from the object 100, the angle of the MEMS mirror 7 is slightly different. Due to the influence, the condensing position of the reflected light of the laser light is slightly deviated from the conjugate position. Therefore, the relationship of conjugation in the present embodiment includes those arranged in consideration of the magnitude and direction of this slight deviation.
  • the size of the slight deviation can be determined by the speed of the MEMS mirror, the distance to the object 100, and the optical system through which the reflected light of the laser light passes.
  • the aperture diameter of the light receiving element 10 may be increased in anticipation of the amount of displacement.
  • the laser light emitted from the light source 2 in a pulse form is collimated by the collimator lens 3 and then diffracted at the diffraction angle according to the wavelength of the laser light by the diffraction grating 15 and passes through the beam splitter 4. , And is emitted toward the outside of the optical device 1A by the light emitting and receiving lens 8.
  • the angle of the MEMS mirror 7 at each timing of each irradiation it is possible to temporally change the position irradiated to the region where the object 100 exists, so that the horizontal direction and the vertical direction can be changed. A scan is performed.
  • the reflected light of the laser light reflected by the object 100 is received by the light emitting / receiving lens 8, then reflected by the MEMS mirror 7, reflected by the beam splitter 4, and incident on the diffraction grating 16.
  • the reflected light of the laser light diffracted by the diffraction grating 16 is condensed on the light receiving element 10 by the condensing lens 9.
  • the optical path when the central wavelength of the light source 2 is shifted is as shown by the solid line in FIG.
  • the diffraction angle by the diffraction grating 15 changes, the reflected light of the laser light reflected by the object 100 is incident on the diffraction grating 16 at the same angle as the diffraction angle at which the laser light is diffracted by the diffraction grating 15, and the wavelength changes
  • the diffraction angle is in the same direction as before. As a result, light can be collected at the same position of the light receiving element 10.
  • the laser light (emitted light) emitted from the light source 2 is incident on the diffraction grating 16 at the same angle as the diffraction angle of the diffraction grating 15, and the laser light (emitted light) is incident on the diffraction grating 15 It is guided by the diffraction grating 16 at the same angle as the incident angle.
  • the light source 2 and the light receiving element 10 are disposed in a conjugate relationship, and the diffraction grating 15 and the diffraction grating 16 are disposed in different optical paths.
  • the emission angle of the diffraction grating 15 and the incident angle of the diffraction grating 16 become the same, and even if the wavelength of the light source 2 changes, it can be led to the light receiving element 10.
  • the laser light applied to the object 100 has been described as point light, but linear light having a uniform intensity distribution (ie, light having a belt-like cross section) (Line beam) may be used.
  • a line beam can be generated, for example, by using a cylindrical lens or the like.
  • the light receiving element when using the line beam it is preferable to use a line sensor in which a plurality of light receiving elements are formed in a line along the extending direction of the line beam so that the line beam can be received.
  • the present invention is not limited to the above embodiment. That is, those skilled in the art can carry out various modifications without departing from the gist of the present invention in accordance with conventionally known findings. As long as the configuration of the optical device of the present invention is provided even by such a modification, it is of course included in the scope of the present invention.

Abstract

出射した光の反射光以外の環境光を十分に分離することができる光学装置を提供する。　光学装置（１）は、光源（２）から出射したレーザ光を波長に応じた角度の方向に導くとともに、その導かれたレーザ光が対象物（１００）で反射した反射光及び環境光を、これらの光の波長に応じた角度の方向に導く回折格子（５）を有している。更に、回折格子（５）で導かれた光を受光する受光素子（１０）を有している。そして、このレーザ光の反射光は、当該レーザ光が回折格子（５）により導かれた角度と同じ角度で回折格子（５）に入射し、当該レーザ光が回折格子（５）に入射した角度と同じ角度で回折格子（５）により導かれる。

Description

光学装置
　本発明は、出射した光が対象物で反射した反射光を受光する光学装置に関する。
　従来、光を対象物に照射して、反射した光が戻ってくるまでの往復の時間を基に対象物までの距離を測定する装置が実用化されている。
　この種の装置では、この距離測定のために用いる反射光と、太陽光などの環境光とを分離するために、照射した光の波長の光のみを透過させるバンドパスフィルタを用いて、Ｓ／Ｎ比の向上を図っている（例えば特許文献１を参照）。
　また、この種の装置においては、距離測定のために光を照射する発光素子が、個体バラツキにより波長が想定したものと異なるという問題がある。
特開２００７‐８５８３２号公報
　特許文献１に記載の発明では、発光素子の温度変動に対応するために、発光素子である半導体レーザ素子の温度から推定される投光部から照射された光の波長に追従させるよう、バンドパスフィルタを透過させる光の中心波長を調整している。
　しかしながら、特許文献１に記載の発明では、バンドパスフィルタを利用しているため、個体バラツキによる光の波長の変動を考慮して通過させる波長はある程度の幅が必要であり、環境光の分離精度の向上には限界があった。
　本発明が解決しようとする課題としては、上述したような出射した光の反射光以外の環境光の分離精度の向上が一例として挙げられる。
　上記課題を解決するためになされた請求項１に記載の発明は、出射光を出射する光源と、前記出射光を所定の範囲に向けて照射させる照射手段と、前記照射手段に照射された前記出射光が対象物で反射した反射光を受光する受光部と、入射した光を、その波長に応じた方向に導くことで、前記出射光を前記照射手段に導くとともに、前記反射光を前記受光部に導く第１光学部材と、を有することを特徴としている。
本発明の第１の実施例にかかる光学装置の概略構成図である。 図１に示された回折格子の動作を示した説明図である。 環境光が入射した場合の説明図である。 図１に示された光学装置において波長変動があった場合の説明図である。 本発明の第２の実施例にかかる光学装置の概略構成図である。 図５に示された光学装置において、レーザ光の波長がシフトした場合の説明図である。
　以下、本発明の一実施形態にかかる光学装置を説明する。本発明の一実施形態にかかる光学装置は、出射光を出射する光源と、出射光を所定の範囲に向けて照射させる照射手段と、照射手段に照射された出射光が対象物で反射した反射光を受光する受光部と、入射した光を、その波長に応じた方向に導くことで、出射光を前記照射手段に導くとともに、反射光を受光部に導く第１光学部材と、を有している。このようにすることにより、入射した光を、その波長に応じた方向に導くことで、出射光を前記照射手段に導くとともに、反射光を前記受光部に導く第１光学部材を有することで、光学装置から出射した出射光とその出射光の反射光との光学装置内の光路が波長により変化しないようにすることができる。そのため、出射部の温度変動による光の波長の変動や個体バラツキにより出射光の波長の違いがあっても２つの光学部によって、反射光を受光部に導くことが可能となる。したがって、反射光と環境光との分離が可能となり、これらの分離精度の向上を図ることができる。
　また、第１光学部材は、光源から照射手段への前記出射光の光路上に配置されていてもよい。このようにすることにより、出射部の温度変動や個体バラツキにより出射光の波長の違いがあっても光学素子によって、反射光を受光部に導くことが可能となる。したがって、反射光と環境光との分離が可能となり、これらの分離精度の向上を図ることができる。
　また、反射光が第１光学部材へ入光する光路と、出射光が第１光学部材で導かれる光路が同一であってもよい。このようにすることにより、光の出射時と受光時に一つの光学素子を経由することができるので、出射光が導かれた方向から反射光が戻るようにすることができる。したがって、出射部の波長が変化しても受光部へ導くことができる。また、光学素子を１つにすることにより、部品点数を削減することができる。
　また、本発明の他の実施形態に係る光学装置は、出射光を出射する光源と、出射光を所定の範囲に向けて照射させる照射手段と、照射手段に照射された出射光が対象物で反射した反射光を受光する受光部と、入射した光を、その波長に応じた方向に導くことで、出射光を照射手段に導く第１光学部材と、対象物で反射した反射光を、その波長に応じた方向に導くことで、反射光を受光部に導く第２光学部材と、を有している。このようにすることにより、出射部の波長が変化しても受光部へ導くことができる。
　請求項１乃至４のいずれか一項に記載の光学装置を有し、出射光の出射から、受光部による出射光の受光までに要した時間に基づき、対象物までの距離を測定する距離測定装置としてもよい。このようにすることにより、距離測定装置において、反射光を確実に受光することができ、距離の測定精度を向上させることができる。
　本発明の第１の実施例にかかる光学装置を図１～図３を参照して説明する。本実施例にかかる光学装置１は、図１に示したように、光源２と、コリメートレンズ３と、ビームスプリッタ４と、回折格子５と、ミラー６と、ＭＥＭＳミラー７と、投受光レンズ８と、集光レンズ９と、受光素子１０と、を備えている。
　出射部としての光源２は、例えばレーザダイオードで構成されている。光源２は、所定の波長のレーザ光をパルス状に発光（出射）する。
　コリメートレンズ３は、光源２から出射されたレーザ光を平行光束にする。ビームスプリッタ４は、コリメートレンズ３で平行光にされたレーザ光を回折格子５へ出力し、回折格子５が回折した対象物１００からのレーザ光の反射光及び太陽光などの環境光（太陽光が対象物１００で反射した光を含む）を集光レンズ９へ向けて反射する。
　第１光学部材としての回折格子５は、ビームスプリッタ４から入射したレーザ光を、そのレーザ光の有する波長成分に応じた回折角でミラー６へ回折する。また、ミラー６から入射したレーザ光の反射光や環境光を、そのレーザ光の反射光等の有する波長成分に応じた回折角でビームスプリッタ４へ回折する。つまり、回折格子５は、光源２（出射部）から出射したレーザ光（出射光）を波長に応じた角度の方向に導き、レーザ光（出射光）が対象物１００で反射した反射光及び環境光を、これらの光の波長に応じた角度の方向に導く。そして、回折格子５は、レーザ光の光路とレーザ光の反射光及び環境光の光路との共通の光路に配置されている。即ち、回折格子５は、入射した光を、その波長に応じた方向に導くことで、出射光を照射手段に導くとともに、反射光を受光部に導いている。また、反射光が第１光学部材へ入光する光路と、出射光が第１光学部材で導かれる光路が同一となっている。
　また、回折格子５は、本実施例では、鋸歯状の溝形状を有するブレーズド回折格子を使用する。ブレーズド回折格子により＋１次光の回折効率を理論上１００％とすることが出来るため、ブレーズド回折格子の使用が望ましい。また、本実施例では、反射型の回折格子で説明するが、透過型の回折格子であってもよい。
　ミラー６は、回折格子５で回折されたレーザ光をＭＥＭＳミラー７へ反射し、ＭＥＭＳミラー７で反射されたレーザ光の反射光や環境光を回折格子５へ反射する。
　照射手段としてのＭＥＭＳミラー７は、ミラー６で反射されたレーザ光を対象物１００が存在する領域へ向けて水平方向および垂直方向に走査する。即ち、ＭＥＭＳミラー７は、回折格子５（第１光学部材）で導かれたレーザ光を対象物１００に向けて照射する。また、ＭＥＭＳミラー７は、対象物１００で反射した光が投受光レンズ８に入射した入射光をミラー６へ反射する。ＭＥＭＳミラー７は、ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）により構成されたミラーであり、ミラーと一体的に形成されたアクチュエータ（図示しない）によって駆動される。また、ＭＥＭＳミラー７はガルバノミラーやポリゴンミラーなど他のビーム偏向手段でもよい。
　投受光レンズ８は、ＭＥＭＳミラー７で反射されたレーザ光を対象物１００が存在する領域へ照射（投光）する。また、投受光レンズ８には、対象物１００で反射したレーザ光である反射光及び環境光が入射光として入射（受光）する。
　集光レンズ９は、ビームスプリッタ４と受光素子１０との間に設けられ、ビームスプリッタ４で反射されたレーザ光の反射光や環境光を受光素子１０へ集光する。
　受光部としての受光素子１０は、集光レンズ９で集光されたレーザ光の反射光や環境光を受光する。受光素子１０は、例えばアバランシェフォトダイオード（ＡＰＤ）により構成されている。受光素子１０は、受光した光の強度（受光強度）に応じた信号を出力する。
　次に、上述した構成の光学装置１における動作について説明する。まず、光源２から出射したレーザ光はコリメートレンズ３で平行光束とされた後、ビームスプリッタ４を経て回折格子５に入射する。
　ここで、回折格子５は、光の入射角、波長、溝間隔で一意に決まる所定の方向に入射光を回折させることが知られている（図２の投光時を参照）。光の入射角をθ1、波長をλ0、溝間隔をｐとすると、回折角θ2は次の（１）式で表される。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000001
　光源２からパルス状に出射され回折格子５により回折したレーザ光はＭＥＭＳミラー７で反射し、投受光レンズ８により光学装置１の外部に向けて照射される。このとき、各々の照射のタイミング毎にＭＥＭＳミラー７の角度を変化させることにより対象物１００が存在する領域に向けて照射されるビームスポットの位置を時間的に変化させることができ、水平方向および垂直方向の走査が行われる。
　次に、入射時（受光系）の動作を説明する。対象物１００で反射（散乱）されたレーザ光は、投受光レンズ８で受光された後、投光時とは逆の光路をたどり、ＭＥＭＳミラー７で反射され、回折格子５へと入射する。このときは、θ2の入射角で投光時とは逆向きに入射するので、回折角はθ1となり（図２の受光時を参照）、出射時の光路を逆にたどる形でビームスプリッタ４に到達する。ビームスプリッタ４で反射されたレーザ光の反射光は集光レンズ９により受光素子１０へと集光される。
　投受光レンズ８に入射する光は、投光したレーザ光の反射光だけでなく、太陽光や街灯の光など対象物１００を照明するあらゆる光や、それらの光が対象物１００で反射した光も含まれている。これらの環境光もまた投受光レンズ８を通りＭＥＭＳミラー５を介して回折格子５へと入射する。回折格子５は入射光の波長により回折する方向が異なるため、受光素子１０が受光するのは、レーザ光の反射光及び環境光に含まれる光のうち光源２と同じ波長成分のみであり（図３の波長λ0）、環境光のうち光源２と異なる波長の成分は受光素子１０で受光されないので除去することができる（図３の波長λ1、波長λ2）。
　図４の実線は、光源２の波長変動前の光路の例、破線は波長変動があった場合の光路の例である。光源２で出射されて回折格子５に入射したレーザ光は波長変動前に対して小さな回折角又は大きな回折角で回折して破線のように進む。したがって、図４に示したように、回折角の変化分だけ対象物１００上での投光位置もずれることになる。 対象物１００で反射されたレーザ光の反射光はやはり破線に沿って光路を逆に戻り回折格子５に入射する。このときの回折格子５への入射角は、出射時の回折角と等しくなるため、回折格子５で回折されたレーザ光の反射光は出射時と同じ光路をたどりビームスプリッタ４に到達し、集光レンズ９により受光素子１０に集光される。
　このように、回折格子５から受光素子１０までの光路は波長変動の前後で全く同一であるため、光源２の温度変動等によりレーザ光に波長変動があった場合等でも、単一の受光素子１０で受光することができる。
　即ち、光学装置１に入射したレーザ光の反射光は、レーザ光（出射光）の回折格子５の回折角と同じ角度で回折格子５に入射し、レーザ光（出射光）が回折格子５に入射した入射角と同じ角度で回折格子５によりビームスプリッタ４に導かれる。
　本実施例によれば、光学装置１は、光源２から出射したレーザ光を波長に応じた角度の方向に導くとともに、その導かれたレーザ光が対象物１００で反射した反射光及び環境光を、これらの光の波長に応じた角度の方向に導く回折格子５を有している。更に、回折格子５で導かれた光を受光する受光素子１０を有している。そして、このレーザ光の反射光は、出射したレーザ光が回折格子５により導かれた角度と同じ角度で回折格子５に入射し、出射したレーザ光が回折格子５に入射した角度と同じ角度で回折格子５により導かれる。このようにすることにより、対象物１００で反射した反射光を回折格子５により当該回折格子５に入射したのと同じ角度に導くことができる。そのため、光源２の温度変動によりレーザ光の波長の変動が発生や、固体バラツキによってレーザ光の波長が想定されたものと相違しても、回折格子５によって、反射光を受光素子１０に導くことが可能となる。したがって、レーザ光の反射光と環境光との分離が可能となり、これらの分離精度の向上を図ることができる。
　また、回折格子５は、レーザ光の光路と当該レーザ光の反射光及び環境光の光路との共通の光路に配置されている。このようにすることにより、回折格子５において、レーザ光が導かれた角度の方向からそのレーザ光の反射光が戻るようにできる。したがって、光源２の波長が変化しても受光素子１０へ導くことができる。
　また、本光学装置は対象物までの距離を測定に用いることができる。すなわち、本光学装置を搭載した距離測定装置のＣＰＵ等により、光源がレーザ光を出射してから対象物１００で反射した反射光として受光素子に受光されるまでの時間を測定することで、光学装置から対象物までの距離を測定することができる。
　次に、本発明の第２の実施例にかかる光学装置を図５及び図６を参照して説明する。なお、前述した第１の実施例と同一部分には、同一符号を付して説明を省略する。
　本実施例にかかる光学装置１Ａは、図５に示したように、光源２と、コリメートレンズ３と、ビームスプリッタ４と、ＭＥＭＳミラー７と、投受光レンズ８と、集光レンズ９と、受光素子１０と、回折格子１５と、回折格子１６と、を備えている。
　光源２と、コリメートレンズ３と、ビームスプリッタ４と、ＭＥＭＳミラー７と、投受光レンズ８と、集光レンズ９と、受光素子１０と、は第１の実施例と同様である。
　本実施例では、回折格子が２か所に配置されている。第１光学部材としての回折格子１５は、コリメートレンズ３とビームスプリッタ４との間に配置され、第２光学部材としての回折格子１６は、ビームスプリッタ４と集光レンズ９との間に配置されている。つまり、回折格子１５は、投光時の光路に配置され、入射した光を、その波長に応じた方向に導くことで、出射光を照射手段に導いている。回折格子１６は、受光時の光路に配置され、対象物１００で反射した反射光を、その波長に応じた方向に導くことで、反射光を受光素子１０に導いている。即ち、回折格子１５、１６は、それぞれ異なる光路に配置されている。また、回折格子１５、１６は溝ピッチ等の光学特性が同じものである。
　また、本実施例では、波長変動の範囲において光源２と受光素子１０が共役の関係となるように配置する。これは、同じ回折格子を２つ用いて、回折格子１５へ入射したレーザ光がビームスプリッタ４の方向へ回折される回折角と、ビームスプリッタ４から回折格子１６への入射角が等しくなるように配置するのが好適である。
　ここで共役の関係とは、本来は投光時と受光時とでＭＥＭＳミラー７の角度が変化していないときに、光源２から発した光の反射光が受光素子１０に到達することを意味する。しかし、実際はレーザ光がＭＥＭＳミラー７で対象物１００に向けて反射されるときと、レーザ光の反射光が対象物１００から戻ってきたときとでは、ＭＥＭＳミラー７の角度は僅かに異なっており、その影響によりレーザ光の反射光の集光位置は共役な位置から僅かにずれる。そのため、本実施例における共役の関係には、この僅かなずれの大きさと向きを加味して配置するものも含める。僅かなずれの大きさは、受光素子１０の位置をＭＥＭＳミラーの速度や対象物１００までの距離、レーザ光の反射光の通る光学系によって求めることができる。或いは、受光素子１０をずらして配置することではなく、ずれ量を見込んで受光素子１０の開口径を大きくしてもよい。
　光源２からパルス状に出射したレーザ光はコリメートレンズ３で平行光とされた後、回折格子１５でレーザ光の波長に応じた回折角で回折し、ビームスプリッタ４を通過した後、ＭＥＭＳミラー７で反射され、投受光レンズ８により光学装置１Ａの外部に向けて照射される。このとき、各々の照射のタイミング毎にＭＥＭＳミラー７の角度を変化させることにより対象物１００が存在する領域に向けて照射される位置を時間的に変化させることができ、水平方向および垂直方向の走査が行われる。
　対象物１００で反射されたレーザ光の反射光は、投受光レンズ８で受光された後、ＭＥＭＳミラー７で反射され、ビームスプリッタ４で反射されて、回折格子１６に入射する。回折格子１６で回折されたレーザ光の反射光は集光レンズ９により受光素子１０上に集光される。
　光源２の中心波長がシフトした場合の光路は図６の実線のようになる。回折格子１５による回折角が変化すると、対象物１００で反射されたレーザ光の反射光は、回折格子１５でレーザ光を回折させた回折角と同じ角度で回折格子１６に入射し、波長が変動する前と同じ方向の回折角となる。その結果受光素子１０の同じ位置に集光することができる。
　即ち、レーザ光の反射光は、光源２が出射したレーザ光（出射光）が回折格子１５の回折角と同じ角度で回折格子１６に入射し、レーザ光（出射光）が回折格子１５に入射した入射角と同じ角度で回折格子１６により導かれる。
　本実施例によれば、光源２と受光素子１０とは共役の関係になるように配置され、回折格子１５と回折格子１６とは異なる光路に配置されていている。このようにすることにより、回折格子１５の出射角と回折格子１６の入射角が同じになり、光源２の波長が変化しても受光素子１０へ導くことができる。
　また、上述した第１、第２の実施例では、対象物１００に照射するレーザ光は点状のものとして説明したが、強度分布が均一な線状の光（即ち、光束断面が帯状の光であるラインビーム）としてもよい。このようなラインビームは、例えばシリンドリカルレンズ等を用いることで生成することができる。また、ラインビームを使用した際の受光素子は、ラインビームを受光できるように、ラインビームの伸長方向に沿って複数の受光素子が１列に並んで形成されたラインセンサを用いるとよい。
　また、本発明は上記実施例に限定されるものではない。即ち、当業者は、従来公知の知見に従い、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。かかる変形によってもなお本発明の光学装置の構成を具備する限り、勿論、本発明の範疇に含まれるものである。
　　１、１Ａ　　　　光学装置
　　２　　　　　　　光源（出射部）
　　５　　　　　　　回折格子（第１光学部材）
　　７　　　　　　　ＭＥＭＳミラー（照射手段）
　　１０　　　　　　受光素子（受光部）
　　１５　　　　　　回折格子（第１光学部材）
　　１５　　　　　　回折格子（第２光学部材）
　　１００　　　　　対象物

Claims (5)

  1. 　出射光を出射する光源と、
    　前記出射光を所定の範囲に向けて照射させる照射手段と、
    　前記照射手段に照射された前記出射光が対象物で反射した反射光を受光する受光部と、
    　入射した光を、その波長に応じた方向に導くことで、前記出射光を前記照射手段に導くとともに、前記反射光を前記受光部に導く第１光学部材と、
    　を有することを特徴とする光学装置。
  2. 　前記第１光学部材は、前記光源から前記照射手段への前記出射光の光路上に配置されていることを特徴とする請求項１に記載の光学装置。
  3. 　前記反射光が前記第１光学部材へ入光する光路と、前記出射光が前記第１光学部材で導かれる光路が同一となることを特徴とする請求項１に記載の光学装置。
  4. 　出射光を出射する光源と、
    　前記出射光を所定の範囲に向けて照射させる照射手段と、
    　前記照射手段に照射された前記出射光が対象物で反射した反射光を受光する受光部と、
    　入射した光を、その波長に応じた方向に導くことで、前記出射光を前記照射手段に導く第１光学部材と、
    　前記対象物で反射した反射光を、その波長に応じた方向に導くことで、前記反射光を前記受光部に導く第２光学部材と、
    　を有することを特徴とする光学装置。
  5. 　請求項１乃至４のいずれか一項に記載の光学装置を有し、
    　前記出射光の出射から、前記受光部による前記出射光の受光までに要した時間に基づき、前記対象物までの距離を測定することを特徴とする距離測定装置。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109980493A (zh) * 2019-03-19 2019-07-05 中国科学院上海天文台 一种高功率双波长激光自准直出射角相同的发射装置
JP2021518560A (ja) * 2018-03-19 2021-08-02 アウトサイト マルチスペクトルＬｉＤＡＲトランシーバ

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6548754B2 (ja) * 2018-01-09 2019-07-24 キヤノン株式会社 光学装置、それを備える車載システム及び移動装置
US20210018598A1 (en) * 2020-09-25 2021-01-21 Intel Corporation Light detection and ranging systems and optical system

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002071809A (ja) * 2000-09-04 2002-03-12 Mitsubishi Electric Corp 走査装置、走査方法および非接触型測定装置
US20040004746A1 (en) * 2000-11-03 2004-01-08 Riza Nabeel Agha Multiplexed optical scanner technology
JP2007085832A (ja) 2005-09-21 2007-04-05 Omron Corp 光学式レーダ装置
WO2015087564A1 (ja) * 2013-12-10 2015-06-18 三菱電機株式会社 レーザレーダ装置
WO2018107237A1 (en) * 2016-12-16 2018-06-21 Baraja Pty Ltd Estimation of spatial profile of environment
JP2018105685A (ja) * 2016-12-26 2018-07-05 浜松ホトニクス株式会社 測距装置

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4168908A (en) * 1977-12-30 1979-09-25 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force Precision pointing and tracking control system
US6765724B1 (en) * 2001-01-16 2004-07-20 Holotek, Llc Diffraction grating-based wavelength selection unit having improved polarization dependent performance
WO2006013897A1 (ja) * 2004-08-04 2006-02-09 Asahi Glass Company, Limited 光ピックアップ装置
JP2009157993A (ja) * 2007-12-26 2009-07-16 Sanyo Electric Co Ltd 光学系、光学装置、光ピックアップおよび光ディスク装置
JP2014145671A (ja) * 2013-01-29 2014-08-14 Sanyo Electric Co Ltd レーザレーダ
US9182278B2 (en) * 2013-03-14 2015-11-10 Sciaps, Inc. Wide spectral range spectrometer
JP2017161292A (ja) * 2016-03-08 2017-09-14 富士通株式会社 光測距システムおよび光測距方法
CN106125090B (zh) * 2016-06-16 2018-07-31 中国科学院光电研究院 一种用于高光谱激光雷达的分光选谱装置
CN106772315A (zh) * 2016-12-29 2017-05-31 武汉高思光电科技有限公司 多光束扫描装置及多光束扫描方法

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002071809A (ja) * 2000-09-04 2002-03-12 Mitsubishi Electric Corp 走査装置、走査方法および非接触型測定装置
US20040004746A1 (en) * 2000-11-03 2004-01-08 Riza Nabeel Agha Multiplexed optical scanner technology
JP2007085832A (ja) 2005-09-21 2007-04-05 Omron Corp 光学式レーダ装置
WO2015087564A1 (ja) * 2013-12-10 2015-06-18 三菱電機株式会社 レーザレーダ装置
WO2018107237A1 (en) * 2016-12-16 2018-06-21 Baraja Pty Ltd Estimation of spatial profile of environment
JP2018105685A (ja) * 2016-12-26 2018-07-05 浜松ホトニクス株式会社 測距装置

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
See also references of EP3657216A4
TAJIMA, J. ET AL.: "3-D DATA ACQUISITION BY RAINBOW RANGE FINDER", PROCEEDINGS, 10 TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON PATTERN RECOGNITION, 1990, pages 309 - 313, XP055568072 *

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2021518560A (ja) * 2018-03-19 2021-08-02 アウトサイト マルチスペクトルＬｉＤＡＲトランシーバ
CN109980493A (zh) * 2019-03-19 2019-07-05 中国科学院上海天文台 一种高功率双波长激光自准直出射角相同的发射装置

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