JP4519208B2 - 半導体記憶装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えばダイナミック・ランダム・アクセス・メモリ(以下、DRAMと称す)に適用され、入力アドレスに応じてデータ線を置き換える不良救済方式を備えた半導体記憶装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
大容量の半導体記憶装置は、冗長メモリセルを備え、不良メモリセルを冗長メモリセルと置き換える救済方式が採用されている。このように不良メモリセルを救済することにより、半導体記憶装置の歩留まりを向上している。
【0003】
半導体記憶装置の総容量は、行アドレスRと列アドレスCとデータ線幅(ビット数)Wの積である。近時、広バス幅の要求が強いため、データ線幅Wが大きくなり、相対的に列アドレスR又は行アドレスCが小さくなる傾向にある。例えば64MビットDRAMの場合、従来はR=4K、C=1K、W=16であったが、最近登場したシステムオンチップを目指すロジック回路に混載されたDRAMにおいては、R=4K、C=64、W=256となっている。
【0004】
従来は、行アドレスによるワード線の置き換え、又は列アドレスによるビット線を置き換えにより不良メモリセルの救済が行われていた。この方式は、行又は列のアドレス幅が小さい場合、冗長メモリセルを相対的に多く準備しないと高い救済率が望めない。
【0005】
また、データ線幅が大きい半導体記憶装置においては、冗長メモリセルとそれに接続された冗長データ線を用意し、不良データ線を冗長データ線で置き換える方式の方が救済効率が高くなることが知られている。この種のデータ線置き換え方式においては、一般に、データ線シフト方式が使用されている。このデータ線シフト方式は、不良したデータ線を隣接するデータ線により置き換え、その置き換えに使われたデータ線をさらに隣接するデータ線と置き換え、これを繰り返して最後のデータ線を冗長データ線と置き換える方式である。
【0006】
図10は、従来のデータ線シフト方式の半導体記憶装置の一例を示すものである。この半導体記憶装置は、メモリセルアレイ110、冗長メモリセルアレイ120を有している。アドレス信号はカラムアドレス信号130及びロウアドレス信号140としてメモリセルアレイ110及び冗長メモリセルアレイ120に供給される。メモリセルアレイ110には16ビットのデータ幅を有するデータ線150、151、152、153、154…1515が接続され、冗長メモリセルアレイ120には冗長データ線160が接続されている。前記アドレス信号130、140に応じてメモリセルアレイ110から読み出されたデータはデータ線150…1515を介してスイッチ回路群170に供給される。このスイッチ回路群170はスイッチSW0…SW15を有している。スイッチSW0の入力端は前記データ冗長データ線160、及びデータ線150に接続され、スイッチSW1…SW15の各入力端は隣接する2本のデータ線に接続される。各スイッチSW0…SW15の出力端はデータ入出力線IO0、IO1…IO15にそれぞれ接続されている。これらスイッチSW0…SW15にはデコーダ群180を構成するデコード回路D0…D15が接続され、これらデコード回路D0…D15にはヒューズ回路群190を構成するヒューズ191と抵抗192の接続点が接続される。
【0007】
上記構成において、メモリセルアレイ110のメモリセルに不良が有る場合、この不良メモリセルが接続されるデータ線に対応するヒューズが切断される。例えばデータ線154に不良が有るとすると、これに対応して、デコード回路D4に接続されるヒューズが切断される。すると、このヒューズに対応するデコード回路D4の出力信号に応じて、スイッチSW4が隣のデータ線153とデータ入出力線IO4とを接続し、不良データ線154が正常なデータ線153により救済される。これとともに、デコーダD4からデコーダD0方向に順次信号が伝達され、これらデコーダD4…D0により、スイッチSW3…SW0が切り換えられる。このため、スイッチSW3はデータ線152とデータ入出力線IO3とを接続し、スイッチSW2はデータ線151とデータ入出力線IO2とを接続する。こうして各スイッチを切換え、各スイッチが隣のデータ線を選択するようにする。そして、最後のスイッチSW0が冗長データ線160とデータ入出力線IO0とを接続する。このようにして、データ線154の不良が救済される。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
図10に示すデータ線シフト方式による不良メモリセルの救済は、入力されるアドレスに応じて一意のデータ線のみ救済するため、救済効率が十分に上がらない。すなわち、切断されたヒューズに接続されたデコード回路に対応するデータ線以外救済することができない。そこで、救済効率を向上するため、入力されるアドレスに応じて異なる不良データ線を置き換え可能とする方式が考えられている。
【0009】
図11は、従来の半導体記憶装置の他の例を示すものであり、冗長データ線を任意の複数の不良データ線と置き換え可能とした例を示している。図11は、特開平7−114800号公報に開示されている回路であり、図11において、図10と同一部分には同一符号を付している。この例の場合、第1のスイッチ回路群210を構成する各スイッチの一端は冗長データ線160に接続され、第2のスイッチ群220を構成する各スイッチの一端は各データ線150…1515に接続されている。これら第1のスイッチ回路210の各スイッチの他端は、第2のスイッチ回路210の各スイッチの他端とともに対応するデータ入出力線IO0…IO15に接続されている。第1のスイッチ回路210の各スイッチはデコーダ群230を構成する各デコード回路D0…D15の出力信号により制御され、第2のスイッチ回路220の各スイッチはデコーダ群230を構成する各デコード回路D0…D15の反転出力信号により制御される。これらデコード回路D0…D15は不良アドレス記憶回路(F)240に接続されている。この不良アドレス記憶回路240は不良アドレスを保持し、入力されたアドレスと保持しているアドレスとが一致した場合、複数ビットの信号を出力する。前記各デコード回路D0…D15は不良アドレス記憶回路240の出力信号に応じて通常第2のスイッチ群220のスイッチをオン状態とし、第1のスイッチ群210の各スイッチをオフ状態に設定している。一方、不良アドレス記憶回路240に保持されている不良アドレスと、入力されたアドレスとが一致した場合、不良アドレス記憶回路240の出力信号に応じて対応するデコード回路の出力信号が反転される。例えばデータ線151に不良がある場合において、デコード回路D1の出力信号が反転した場合、データ線151がデータ入出力線IO1から切り離され、冗長データ線160に接続される。したがって、データ線151が冗長データ線160により救済される。
【0010】
この例の場合、入力アドレスに応じて不良データ線を救済することができる。しかも、不良アドレスが供給された場合、不良のメモリセルに接続されたデータ線は瞬時に冗長データ線に切り換えられるため、データ転送に時間的な余裕がある。しかし、データ幅が多くなった場合、冗長データ線160の長さが長くなるため、配線の容量が増大し高速なデータ転送が困難となることが予想される。
【0011】
本発明は、上記課題を解決すものであり、その目的とするところは、データ幅が大きくなった場合においても高速なデータ転送を行うことが可能な半導体記憶装置を提供するものである。
【0012】
【課題を解決するための手段】
本発明の半導体記憶装置の態様は、複数のメモリセルが配置されたメモリセルアレイと、このメモリセルアレイの最下位に隣接して配置された第1の冗長メモリセルアレイと、前記メモリセルアレイの最上位に隣接して配置された第2の冗長メモリセルアレイと、前記メモリセルアレイに接続され、データを転送するための複数のデータ線と、前記第1の冗長メモリセルアレイに接続され、データを転送するための第1の冗長データ線と、前記第2の冗長メモリセルアレイに接続され、データを転送するための第2の冗長データ線と、前記複数のデータ線に対応して配置された複数の入出力データ線と、出力端に前記入出力データ線がそれぞれ接続される複数のスイッチを有し、前記各スイッチのうち、入力端に前記メモリセルアレイの最下位に位置するデータ線が接続される最下位のスイッチはこのデータ線に隣接するデータ線と前記第1の冗長データ線が接続され、入力端に前記メモリセルアレイの最上位に位置するデータ線が接続される最上位のスイッチはこのデータ線に隣接するデータ線と前記第2の冗長データ線が接続され、前記最下位及び最上位のスイッチ以外の複数のスイッチは入力端に前記入出力データ線と対応する前記データ線と、このデータ線の両隣に位置するデータ線が接続されるスイッチ群と、不良データ線のアドレスを記憶し、入力アドレスに応じて不良データ線のアドレスを出力する不良アドレス記憶回路と、前記スイッチ群を構成する各スイッチに対応してそれぞれ設けられ、前記不良アドレス記憶回路から出力される不良データ線のアドレスがそれぞれ供給されるデコード回路を含むデコーダ群とを具備し、前記不良アドレス記憶回路は、第1の不良データ線のアドレスを記憶する第1の不良アドレス記憶回路、及び第2の不良データ線のアドレスを記憶する第2の不良アドレス記憶回路を有し、前記デコーダ群は前記第1の不良アドレス記憶回路より供給される第1の不良データ線のアドレスに応じて前記スイッチを制御し、データ線を前記第2の冗長データ線方向に置き換える第1のデコーダ群と、前記第2の不良アドレス記憶回路より供給される第2の不良データ線のアドレスに応じて前記スイッチを制御し、データ線を前記第1の冗長データ線方向に置き換える第2のデコーダ群と具備することを特徴とする半導体記憶装置。
【0018】
【発明の実施の形態】
以下、図面を用いて本発明の実施の形態を説明する。
図1は、この発明の第1の実施の形態を示すものであり、データ線シフト方式の半導体記憶装置の一例を示すものである。この半導体記憶装置は、例えばDRAMを構成するメモリセルアレイ10、冗長メモリセルアレイ20を有している。アドレス信号ADDはカラムアドレス信号30及びロウアドレス信号40としてメモリセルアレイ10及び冗長メモリセルアレイ20に供給される。メモリセルアレイ10には16ビットのデータ幅を有するデータ線DL0、DL1、DL2、DL3、DL4…DL15が接続され、冗長メモリセルアレイ20には冗長データ線RDLが接続されている。前記データ線DL0…DL15は第1のスイッチ回路群50を介して入出力データ線IO0…IO15に接続される。すなわち、各データ線DL0…DL15は第1のスイッチ回路群50を構成する各スイッチSW10、SW11…SW115の一端にそれぞれ接続され、各スイッチSW10、SW11…SW115の他端は入出力データ線IO0、IO2…IO15にそれぞれ接続されている。
【0019】
また、前記冗長データ線RDL、及びデータ線DL0…DL14はデータ線を切り換えるための第2のスイッチ回路群60を介して入出力データ線IO0…IO15にそれぞれ接続される。すなわち、冗長データ線RDL、及びデータ線DL0…DL14は第2のスイッチ回路群60を構成するスイッチSW20、SW21…SW215の一端に接続され、各スイッチSW20、SW21…SW215の他端は入出力データ線IO0…IO15にそれぞれ接続されている。
【0020】
前記第1、第2のスイッチ群50、60を構成する各スイッチはデコーダ群70を構成するデコード回路D0…D15によりそれぞれ制御される。すなわち、デコード回路D0の非反転出力端は前記スイッチSW10に接続され、反転出力端はスイッチSW20に接続される。デコード回路D1の非反転出力端はスイッチSW11に接続され、反転出力端はSW21に接続される。以下同様にしてデコード回路D15の非反転出力端はスイッチSW115に接続され、反転出力端はSW215に接続される。これらデコード回路D0…D15の入力端には不良アドレス記憶回路80の出力端が接続されている。この不良アドレス記憶回路80は不良データ線のアドレスを記憶するとともに、データ線の置き換えを行うか否かを示すデータを記憶し、入力されたカラム又はロウアドレスに応じて、複数ビットの信号からなる不良データ線のアドレス、及びデータ線の置き換えを行うか否かを示す信号を出力する。
【0021】
前記各デコード回路D0…D15は不良アドレス記憶回路80の出力信号に応じて、通常、第1のスイッチ群50の各スイッチをオン状態とし、第2のスイッチ群60の各スイッチをオフ状態に設定している。一方、データ線の置き換えを行う場合、不良アドレス記憶回路80の出力信号に応じて、不良データ線と冗長データ線に対応するデコード回路、及びこれらデコード回路の相互間に位置するデコード回路の出力信号が反転される。例えばデータ線DL4に不良がある場合、不良アドレス記憶回路80の出力信号に応じてデコード回路D0…D4の出力信号が同時に反転され、第1のスイッチ回路群50のスイッチSW10…SW14がオフ、第2のスイッチ回路群60のスイッチSW20…SW24がオンとされる。このため、データ線DL4がデータ線DL3に置き換えられ、データ線DL3がデータ線DL2に置き換えられる。以下、同様にして、データ線DL0が冗長データ線RDLに置き換えられる。このスイッチによる置き換え動作は、デコード回路D0…D4の出力信号に応じて同時に行われる。
【0022】
図2は、上記不良アドレス記憶回路80を示すものである。この不良アドレス記憶回路80は、第1、第2のヒューズ回路群81、82と、デコーダ83と、複数のトランスファーゲート群840…843により構成されている。第1のヒューズ回路群81はデータ線の置き換えをするか否かのデータを記憶する複数のヒューズ回路81aを有している。第2のヒューズ回路群82は、不良データ線のアドレスを記憶する複数のヒューズ回路82aを有している。デコーダ83は、カラム又はロウのアドレス信号A0、A1に応じて、第1、第2のヒューズ回路群81、82より所定のヒューズ回路を選択するための選択信号を出力する。トランスファーゲート群840…843は、デコーダ83から供給される選択信号に応じて、前記各ヒューズ回路81a、82aの出力信号を取り出す。この不良アドレス記憶回路80は、例えば4つの不良アドレスを記憶することが可能とされ、これら記憶された不良アドレスはトランスファーゲート群840…843により選択的に取り出される。
【0023】
前記ヒューズ回路81a、82aは共に同一構成であるため、ヒューズ回路81aについてのみ説明する。電源電圧Vccが供給される端子と接地間にはPチャネルMOSトランジスタP1、NチャネルMOSトランジスタN1、ヒューズF1が直列接続されている。前記トランジスタP1のゲートにはクリア信号CLEARが供給され、前記トランジスタN1のゲートにはセット信号SETが供給されている。前記トランジスタP1とN1の接続点はラッチ回路LTの入力端が接続されている。このラッチ回路LTはPチャネルMOSトランジスタP2、P3、NチャネルMOSトランジスタN2、N3により構成され、トランジスタP2とN2の接続点が前記入力端となっている。NチャネルMOSトランジスタN2の一端はNチャネルMOSトランジスタN4を介して接地されている。このトランジスタN4のゲートには前記クリア信号CLEARが供給されている。出力端としてのトランジスタP3、N3の接続点はトランスファーゲート84の入力端に接続されている。
【0024】
上記構成の不良アドレス記憶回路80の動作について説明する。先ず、前記メモリセルアレイ10をテストし不良データ線を検出する。このテストの結果、不良データ線が検出された場合、不良アドレス記憶回路80に不良データ線のアドレスが設定される。すなわち、第1のヒューズ回路81を構成する各ヒューズ回路81aのヒューズが切断される。これとともに、第2のヒューズ回路82のうち、前記ヒューズ回路81aに対応する一列のヒューズ回路82aが、不良データ線のアドレスに応じてプログラムされ、所要のヒューズ回路82aのヒューズF1が切断される。このプログラムされたヒューズの情報は、半導体記憶装置の電源投入時にクリア信号CLEAR、及びセット信号SETが供給されることにより、各ラッチ回路LTにラッチされる。
【0025】
メモリセルアレイ10のアクセス時に、カラム又はロウに対応するアドレスA0、A1がデコーダ83に供給され、このデコーダ83の出力信号に応じてトランスファーゲート群840…843のうちの一つがオンとされると、このオンとされたトランスファーゲート群より“1”又は“0”の論理レベルの信号が組み合わされた出力信号FE、F0、F1、F2、F3が出力される。出力信号FEはデータ線置き換えをするか否かを示し、信号F0、F1、F2、F3は不良データ線のアドレスを示している。これらの信号はデコーダ群70を構成する各デコード回路D0…D15に供給される。これらデコード回路D0…D15は供給された信号をデコードし、前記第1、第2のスイッチ群50、60の各スイッチを切り換え制御する。
【0026】
図3は、前記不良アドレス記憶回路80の出力信号とデコード回路D0…D15の論理を示している。不良データ線の置き換えを行う場合、前記出力信号FFは論理“1”、置き換えを行わない場合、論理“0”に設定される。出力信号F0、F1、F2、F3は前述したように、不良データ線のアドレスの最下位ビットから最上位ビットまでを示している。デコード回路D0…D15は、図3に示す論理に従って、信号F0、F1、F2、F3をデコードし、不良データ線のアドレスが対応するデータ線のアドレスと比べて等しいか大きい場合、非反転出力端より論理“1”を出力し、小さい場合、非反転出力端より論理“0”を出力する。
【0027】
例えばデータ線DL3が不良の場合、デコード回路D0…DL3は非反転出力端より論理“1”を出力し、デコード回路D4…D15は非反転出力端より論理“0”を出力する。このため、第1のスイッチ回路群50のSW10…SW13はオフ、SW14…SW115はオンとなり、第2のスイッチ回路群60のSW20…SW23はオン、SW24…SW215はオフとなる。このため、データ線DL3がデータ線DL2に置き換えられ、データ線DL2がデータ線DL1に置き換えられ、データ線DL1がデータ線DL0に置き換えられ、データ線DL0が冗長データ線RDLに置き換えられる。
【0028】
また、データ線の置き換えを行わない場合、不良データ線記憶回路80の出力信号FEは論理“0”、他の出力信号F0…F3も論理“0”となる。このため、デコード回路D0…D15の非反転出力端は全て論理“0”の信号を出力する。このため、データ線の置き換えは行われない。
【0029】
一方、最も冗長データ線RDLから遠いデータ線を置き換える場合、不良データ線記憶回路80の出力信号FEは論理“1”、他の出力信号F0…F3も論理“1”となる。このため、デコード回路D0…D15の非反転出力端は全て論理“1”の信号を出力する。このため、全てのデータ線が置き換えられる。
【0030】
図4は、図1に示す構成の具体的な回路図を示しており、図1と同一部分には同一符号を付す。この回路は、デコーダ群70を構成する各デコード回路D0…D15が全て3段のナンド回路(又はアンド回路)N1、N2、N3、及びインバータ回路I1により構成されている。このうち、デコード回路D0の入力端のみに不良アドレス記憶回路80から出力される置き換えをするか否かを示す信号FEが供給され、その他のデコード回路D1…D15には、不良データ線のアドレスを示す信号F0…F3のみが供給される。置き換えをするか否かを示す信号FEをデコード回路D0のみに入力することにより、この信号の配線長を短縮できるため、スイッチを高速に制御できる。
【0031】
尚、入力端が非接続のナンド回路は入力端に論理“1”の信号が供給されていることを示している。このような構成及び論理とすることにより、各デコード回路D0…D15を同一の回路構成とすることができ回路を簡単化できる。
【0032】
図5は、前記冗長メモリセルアレイ20とメモリセルアレイ10の一部の回路例を示しており、図1と同一部分には同一符号を付している。メモリセルアレイ10及び冗長メモリセルアレイ20の構成はこれに限定されるものではない。
【0033】
メモリセルアレイ10及び冗長メモリセルアレイ20は、例えば4つのメモリアレイブロックBLK0…BLK3に分割されている。各メモリアレイブロックBLK0…BLK3には、1つのトランジスタと1つのキャパシタからなる複数のメモリセルMCがマトリクス状に配置されている。各トランジスタのゲートはワード線WLに接続され、各トランジスタの電流通路の一端はビット線BLに接続されている。各メモリアレイブロックBLK0…BLK3の行方向には、ロウアドレスに応じて前記ワード線を選択するロウデコーダRD0…RD3が配置されている。
【0034】
また、各メモリアレイブロックBLK0…BLK3の列方向には、センスアンプブロックSA0…SA3が配置されている。各センスアンプブロックSA0…SA3は複数のセンスアンプを有し、各センスアンプは前記一対のビット線BLに接続され、これらビット線BLはカラム選択トランジスタCSTの電流通路の一端にそれぞれ接続されている。これらカラム選択トランジスタCSTのゲートはカラム選択線CSLが接続されている。各センスアンプブロックSA0…SA3には隣接してカラムデコーダCD0…CD3が配置され、これらカラムデコーダCD0…CD3はカラムアドレスに応じて前記カラム選択線CSLを選択する。
【0035】
前記冗長メモリセルアレイ20に配置された各カラム選択トランジスタCSTの電流通路の他端はそれぞれ冗長データ線RDLに接続され、前記メモリセルアレイ10に配置された各カラム選択トランジスタCSTの電流通路の他端はそれぞれデータ線DL0、DL1…に接続されている。これら冗長データ線RDL、データ線DL0、DL1…にはバッファRDQB、DQB0、DQB1…がそれぞれ接続されている。
【0036】
上記第1の実施の形態によれば、不良アドレス記憶回路80から出力される不良データ線のアドレスをデコーダ群70に設けられた各デコーダによりデコードし、第1、第2のスイッチ群50、60を構成する各スイッチのオン、オフ状態を切り換える信号を同時に出力している。したがって、不良データ線のアドレスに応じて不良データ線から冗長データ線に対応するスイッチを同時に切り換えることができるため、従来のように、隣接するデコーダの出力信号に依存することなく、高速動作が可能である。
【0037】
また、冗長データ線をメモリセルアレイに沿って配線する必要がないため、冗長データ線の容量を最小限に抑えることができ、しかも、冗長データ線の容量がデータ線の本数に依存することがないため、高速動作が可能である。
【0038】
図6、図7は、第1の実施の形態の変形例を示すものである。第1の実施の形態は16本のデータ線を例に説明したが、この変形例は144本のデータ線に対するデコーダの論理を示している。144本のデータ線のうちの1本を指定するため、8ビットのアドレス線を使用する。すなわち、不良アドレス記憶回路より8ビットの信号(これをF[0:8]と示す)を出力する構成とする。この8ビットのうち下位3ビットF[0:2]を図2、図3の論理に従ってプリデコードし、7つのプリデコード信号(これをza[0:6]と示す)を生成する。次に、同様にして、次の3ビットF[3:5]をプリデコードし、7つのプリデコード信号(これをzb[0:6]と示す)を生成する。さらに、残りの上位2ビットF[6:7]をプリデコードし、3つのプリデコード信号(これをzc[0:2]と示す)を生成する。図6は、各プリデコード信号の論理を示している。図中“&&”は論理積を示し、“||”は論理和を示している。
【0039】
また、この変形例の場合、前記デコーダ群は144個のデコード回路を有しており、これらの各デコード回路に選択的に、上記プリデコード信号za[0:6]、zb[0:6]、zc[0:2]が供給される。各デコード回路は、図7に示すように、例えば4段のナンド回路N1…N4と1段のインバータ回路I1により構成される。また、第1、第2のスイッチ群はそれぞれ144個のスイッチにより構成されている。これらスイッチは144個のデコーダ回路の出力信号により制御される。
【0040】
このような構成とすることにより、144本のデータ線を高速に置き換えることができる。
図8は、本発明の第2の実施の形態を示すものであり、図1と同一部分には同一符号を付す。この実施の形態は、冗長データ線を2系統配置している。すなわち、メモリセルアレイ10の最上位及び最下位の両側に冗長メモリセルアレイ200、201を配置するとともに、これら冗長メモリセルアレイ200、201に冗長データ線RDL0、RDL1を配置している。さらに、データ線を最下位側(図示左側)又は最上位側(図示右側)にシフトするためのスイッチ群500と、このスイッチ群500を制御する第1、第2のデコーダ群710、720が設けられている。この第1のデコーダ群710には、不良アドレスを記憶するとともに、この記憶したアドレスに応じた信号を出力する第1の不良アドレス記憶回路810が接続され、前記第2のデコーダ群720には、不良アドレスを記憶するとともに、この記憶したアドレスに応じた信号を出力する第2の不良アドレス記憶回路820が接続されている。
【0041】
前記スイッチ群500を構成する各スイッチSW0…SW15はそれぞれ3入力のスイッチであり、各スイッチSW1…SW14の入力端には対応するデータ線と、このデータ線の両側に位置するデータ線が接続されている。また、スイッチSW0の入力端には対応するデータ線DL0と、このデータ線DL0に隣接するデータ線DL1及び冗長データ線RDL0が接続され、スイッチSW15の入力端には対応するデータ線DL15と、このデータ線DL15に隣接するデータ線DL14及び冗長データ線RDL1が接続されている。
【0042】
前記第1のデコーダ群710は、不良アドレスに応じてスイッチ群500の対応するスイッチを制御し、不良データ線より上位に位置するデータ線を上位側のデータ線に置き換える。また、第2のデコーダ群720は、不良アドレスに応じてスイッチ群500の対応するスイッチを制御し、不良データ線より下位に位置するデータ線を下位側のデータ線に置き換える。第1、第2のデコーダ群710、720、及び第1、第2の不良アドレス記憶回路810、820の構成及び論理は第1の実施の形態、及び変形例で説明したと同様である。
【0043】
データ線の置き換え方法は、以下のような態様が考えられる。不良データ線の数が1本の場合、不良データ線の位置に応じて、冗長データ線RDL0又はRDL1を使用する。すなわち、例えば冗長データ線RDL0に近いデータ線が不良の場合、図9(a)に示すように不良データ線(×印で示す)と冗長データ線RDL0の間のデータ線が置き換えられる。また、冗長データ線RDL1に近いデータ線が不良の場合、図9(b)に示すように不良データ線(×印で示す)と冗長データ線RDL1の間のデータ線が置き換えられる。
【0044】
さらに、不良データ線の数が例えば2本の場合、図9(c)に示すように一方の不良データ線(×印で示す)と冗長データ線RDL0の間のデータ線が置き換えられるとともに、他の不良データ線(×印で示す)と冗長データ線RDL1の間のデータ線が置き換えられる。
【0045】
これらデータ線の置き換えは、不良データ線の本数と位置に応じて第1、第2の不良アドレス記憶回路810、820のヒューズをプログラムすることにより実行できる。
【0046】
上記第2の実施の形態によっても、第1の実施の形態と同様の効果を得ることができる。しかも、第2の実施の形態によれば、複数のデータ線を救済できるため救済効率を向上できる。
尚、この発明は、上記実施の形態に限定されるものではなく、発明の要旨を変えない範囲で種々変形実施可能なことは勿論である。
【0047】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、データ幅が大きくなった場合においても高速なデータ転送を行うことが可能な半導体記憶装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態を示す構成図。
【図2】図1の一部の構成を示す回路図。
【図3】図2に示す回路の論理を説明するために示す図。
【図4】図1を具体的に示す回路図。
【図5】図1の一部の構成を示す回路図。
【図6】第1の実施の形態の変形例を説明するために示す図。
【図7】第1の実施の形態の変形例に適用されるデコーダ回路の一例を示す回路図。
【図8】本発明の第2の実施の形態を示す構成図。
【図9】図8の動作を説明するために示す概略図。
【図10】従来の半導体記憶装置の一例を示す構成図。
【図11】従来の半導体記憶装置の他例を示す構成図。
【符号の説明】
10…メモリセルアレイ、
20…冗長メモリセルアレイ、
3…カラムアドレス、
4…ロウアドレス、
50…第1のスイッチ群、
60…第2のスイッチ群、
70…デコーダ群、
80…不良アドレス記憶回路、
200、201…第1、第2の冗長メモリセルアレイ、
500…スイッチ群、
710、720…第1、第2のデコーダ群、
810、820…第1、第2の不良アドレス記憶回路、
DL0…DL15…データ線、
RDL…冗長データ線、
RDL0、RDL1…第1、第2の冗長データ線、
D0…D15…デコード回路、
ADD…アドレス、
F1…フューズ。
Claims (1)
- 複数のメモリセルが配置されたメモリセルアレイと、
このメモリセルアレイの最下位に隣接して配置された第1の冗長メモリセルアレイと、
前記メモリセルアレイの最上位に隣接して配置された第2の冗長メモリセルアレイと、
前記メモリセルアレイに接続され、データを転送するための複数のデータ線と、
前記第1の冗長メモリセルアレイに接続され、データを転送するための第1の冗長データ線と、
前記第2の冗長メモリセルアレイに接続され、データを転送するための第2の冗長データ線と、
前記複数のデータ線に対応して配置された複数の入出力データ線と、
出力端に前記入出力データ線がそれぞれ接続される複数のスイッチを有し、前記各スイッチのうち、入力端に前記メモリセルアレイの最下位に位置するデータ線が接続される最下位のスイッチはこのデータ線に隣接するデータ線と前記第1の冗長データ線が接続され、入力端に前記メモリセルアレイの最上位に位置するデータ線が接続される最上位のスイッチはこのデータ線に隣接するデータ線と前記第2の冗長データ線が接続され、前記最下位及び最上位のスイッチ以外の複数のスイッチは入力端に前記入出力データ線と対応する前記データ線と、このデータ線の両隣に位置するデータ線が接続されるスイッチ群と、
不良データ線のアドレスを記憶し、入力アドレスに応じて不良データ線のアドレスを出力する不良アドレス記憶回路と、
前記スイッチ群を構成する各スイッチに対応してそれぞれ設けられ、前記不良アドレス記憶回路から出力される不良データ線のアドレスがそれぞれ供給されるデコード回路を含むデコーダ群とを具備し、
前記不良アドレス記憶回路は、第1の不良データ線のアドレスを記憶する第1の不良アドレス記憶回路、及び第2の不良データ線のアドレスを記憶する第2の不良アドレス記憶回路を有し、前記デコーダ群は前記第1の不良アドレス記憶回路より供給される第1の不良データ線のアドレスに応じて前記スイッチを制御し、データ線を前記第2の冗長データ線方向に置き換える第1のデコーダ群と、前記第2の不良アドレス記憶回路より供給される第2の不良データ線のアドレスに応じて前記スイッチを制御し、データ線を前記第1の冗長データ線方向に置き換える第2のデコーダ群と具備することを特徴とする半導体記憶装置。
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