JP4518360B2 - 斜入射干渉計装置の結像光学系 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、斜入射干渉計装置において被検面から撮像素子よりなる結像面までの間に配され、結像面上に干渉縞が重畳された被検面像を結像する、斜入射干渉計装置の結像光学系に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来より、可干渉光を被検面に対して斜めに入射し測定感度を低下させることにより、ある程度凹凸の大きい被検面の表面形状を測定可能とした斜入射干渉計装置が知られている。この斜入射干渉計装置の代表的な構成としては、図4に示すものが知られている。
【0003】
この斜入射干渉計装置は、可干渉光を波面分割手段102に入射させて2方向に波面分割し、一方の光線束を被検面2aに対して斜めに入射させて反射させる測定光とするとともに他方の光線束を参照光とし、これら測定光および参照光を波面合成手段104に入射させて波面合成し、この波面合成手段104から同一方向に射出される測定光と参照光との光干渉により生じる干渉縞を、結像レンズ106を介してテレビカメラ108で撮像し、その干渉縞画像に基づいて被検面2aの形状を測定するようになっている。
【0004】
しかしながら、このような斜入射干渉計装置においては、被検面2aの各位置から結像レンズ106までの光路長が異なるので、テレビカメラ108に撮像された干渉縞画像に台形歪みが生じてしまい、被検面2aの形状測定を正確に行うことができないという問題がある。電子画像処理により台形歪みを除去する方法も可能ではあるが撮像素子の分解能を補う演算処理は複雑となり、また装置の公差に対する要求も厳しくなるので好ましくない。
【0005】
このような問題を解決したものとして、図5に示す斜入射干渉計装置が知られている。この装置は、被検面2aと共役の位置に干渉縞観察スクリーン110を配置し、この干渉縞観察スクリーン110に形成される被検面像に重畳された干渉縞を、スクリーン110に対し垂直に配置されたテレビカメラ108で撮像するように構成されている。同図においては、結像レンズ106がその第1焦点を被検面2aに位置させるようにして配置されるとともに、この結像レンズ106とアフォーカルにコリメータレンズ112が配置され、その第2焦点位置に干渉縞観察スクリーン110が配置されている。このような構成により、スクリーン上には被検面と同サイズで被検面に対し略等しい縦横倍率の被検面像を結像させることができ、この像の台形歪みを防止するようにしている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような構成を採用した場合においては干渉計装置の全長が長くなることが問題となる。また、干渉縞観察スクリーン110は結像レンズ106およびコリメータレンズ112に関し被検面2aと共役の位置に配置されているので、被検面像の台形歪みは防止されているが、このスクリーン110は被検面2aと同サイズのものを配置しなくてはならず、装置のコンパクト化を阻む要因となっている。
【0007】
したがって、斜入射干渉計装置の結像光学系に対して、台形歪みのない干渉縞の撮像が可能で、かつスクリーンサイズを小さくし装置の小型化が可能なものが要望されている。なお、撮像される干渉縞が重畳された被検面像は、演算処理により補正される必要のない、被検面に対し略等しい縦横倍率の像であることが望ましく、また焦点の合った像であることが望ましい。
【0008】
本発明はこのような問題を解決するためになされたもので、被検面に対し略等しい縦横倍率の被検面像を結像面に結像させ得る結像光学系であり、かつ、装置の小型化を可能とする斜入射干渉計装置の結像光学系を提供することを目的とするものである。
【0009】
【課題を解決するための手段】
本発明の斜入射干渉計装置の結像光学系は、光源光の一部を平行光とし被検体の被検面に対して斜め入射される測定光とし、前記光源光のその余の一部を平行光よりなる参照光とし、前記測定光と前記参照光とを合成させ互いに干渉させて、結像面に結像された被検面像に干渉縞を重畳させる斜入射干渉計装置の結像光学系において、
焦点距離の互いに異なる2群のテレセントリックレンズG1、G2よりなり、前記被検面側より順に、相対的に焦点距離の大きな該テレセントリック群G1および相対的に焦点距離の小さな該テレセントリック群G2がアフォーカルに配された第1の結像光学系、中間結像面、ならびに焦点距離の互いに異なる2群のテレセントリックレンズG3、G4よりなり、前記被検面側より順に、相対的に焦点距離の大きな該テレセントリック群G3および相対的に焦点距離の小さな該テレセントリック群G4がアフォーカルに配された第2の結像光学系よりなり、
前記測定光と前記参照光との前記合成光により前記第1の結像光学系を介して、前記中間結像面に、前記被検面に対し縦横変形比率を有し前記被検面より縮小された第1の被検面像が結像され、
この第1の被検面像が、前記第2の結像光学系により前記結像面に、該第1の被検面像より縮小されかつ前記被検面に対し略等しい縦横比率となるよう補正された第2の被検面像として結像されるように、前記第2の結像光学系が前記中間結像面に対して配置されたことを特徴とするものである。
【0010】
また、下記条件式(1)〜(3)を満足するように構成されていることが好ましい。
tanθ2=β1tanθ1 ……(1)
tanθ4=β2tanθ3 ……(2)
cosθ1/cosθ2=cosθ3/cosθ4 ……(3)
ただし、
θ1:被検面の法線が第1の結像光学系の光軸となす角
θ2:中間結像面の法線が第1の結像光学系の光軸となす角
θ3:中間結像面の法線が第2の結像光学系の光軸となす角
θ4:結像面の法線が第2の結像光学系の光軸となす角
β1:第1の結像光学系の倍率の絶対値
β2:第2の結像光学系の倍率の絶対値
【0011】
また、前記中間結像面が、該中間結像面またはその延長面上に回転中心を有して回転するディフューザよりなることが好ましい。
【0012】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を図面を用いて具体的に説明する。図1は本発明にかかる斜入射干渉計装置の結像光学系の構成を模式的に示す図である。
【0013】
この斜入射干渉計装置は、光源から射出される可干渉光をコリメータレンズで平行光線束とし、波面分割手段12に入射させて2方向に波面分割し、一方の光線束を被検面2aに対して斜めに入射させて反射させる測定光とするとともに他方の光線束を参照光とし、これら測定光および参照光を波面合成手段14に入射させて波面合成し、この波面合成手段14から同一方向に射出される測定光と参照光との光干渉により生じる干渉縞を、本発明にかかる結像光学系1を介して撮像面9に結像される被検面像に重畳させ、テレビカメラ18で撮像し、その干渉縞画像に基づいて被検面2aの形状を測定するようになっている。
【0014】
なお、図1において、波面分割手段12および波面合成手段14は、回折格子を用いており、入射された平行光線束は波面分割手段12によって回折し、その回折された回折光のうち例えば+1次光を被検面2aにより反射させるとともに、その反射された+1次光と波面分割手段12を透過した0次光とを波面合成手段14によって重ね合わせて干渉させるようにしている。
【0015】
ここで、本実施形態の斜入射干渉計装置の結像光学系1は、図示されるように、焦点距離の互いに異なるテレセントリックな2枚のレンズ3、4よりなり、被検面側より順に、相対的に焦点距離の大きなレンズ3、相対的に焦点距離の小さなレンズ4がアフォーカルに配された第1の結像光学系、中間結像面であるスクリーン5、および焦点距離の互いに異なるテレセントリックな2枚のレンズ7、8よりなり、被検面側より順に、相対的に焦点距離の大きなレンズ7、相対的に焦点距離の小さなレンズ8がアフォーカルに配された第2の結像光学系からなる。
【0016】
波面合成手段14から出射された測定光と参照光との合成光は、第1の結像光学系を介し、スクリーン5に被検面2aの像10を結像させ、この被検面像10に干渉縞が重畳される。ここで、第1の結像光学系は、レンズ4の焦点距離はレンズ3の焦点距離よりも小さいので縮小結像光学系とされる。また、被検面2aが第1の結像光学系の光軸に対し所定の角度を有するように配置されていることに対応し、スクリーン5も結像される被検面像10が焦点の合った像となるように、第1の結像光学系の光軸に対し所定の角度を有するように配置されている。これによりスクリーン5上には、被検面2aに対し所定の縦横変形比率を有し被検面2aより縮小された第1の被検面像10が結像される。
【0017】
スクリーン5に結像された干渉縞が重畳された被検面像10は、第2の結像光学系を介し、撮像面9に再結像され撮像される。第2の結像光学系も、レンズ8の焦点距離はレンズ7の焦点距離よりも小さいので縮小結像光学系とされる。この第2の結像光学系は、この第2の結像光学系により撮像面9に結像される被検面像11が、スクリーン上の被検面像10より縮小されかつ被検面2aに対し略等しい縦横比率となるよう補正された被検面像11として結像されるよう、スクリーン5に対し所定の角度を有するように配置されている。また、撮像面9は第2の結像光学系の光軸に対し所定の角度を有するように配置されており、これにより撮像面9上には、被検面像10に対し所定の縦横変形比率を有し被検面像10より縮小された被検面像11が焦点の合った像として結像され、撮像される。
【0018】
すなわち、本実施形態の結像光学系によれば、第1の結像光学系によりスクリーン5上には、被検面2aに対して所定の縦横変形比率を有し被検面2aより縮小された第1の被検面像10が結像され、第2の結像光学系はこの所定の縦横変形比率を補正するようにスクリーン5に対して配置されているので、撮像面9上には、スクリーン上の被検面像10より縮小されかつ被検面2aに対し略等しい縦横比率となるよう補正された被検面像11が結像され、撮像される。
【0019】
このように本実施形態の結像光学系によれば、スクリーン5に結像される被検面像10は被検面サイズよりも縮小されているので、スクリーン5の小型化を可能とするとともに、撮像面9には被検面2aに対し略等しい縦横倍率の被検面像11を結像させることができる。また、本実施形態によれば、レンズ4およびスクリーン5の小型化を図ることができるとともにレンズ3とレンズ4との間隔も短くすることができるので、装置としての小型化も可能となる。また、本実施形態によれば撮像面9に結像される被検面像11とこれに重畳される干渉縞は、台形歪みもなく、被検面2aに対し略等しい縦横倍率の被検面像11とされているので、画像処理の必要もなく迅速な測定が可能となる。
【0020】
ここで、本実施形態による結像光学系を図5に示した従来の結像光学系と比較する。被検面側のレンズ3、106のサイズは、入射光束の光束径をカバーする必要があるので本実施形態も従来の結像光学系も略同様となるが、従来例のようにレンズ112がレンズ106と同サイズのレンズからなる結像光学系の場合はレンズ間隔がより広くなる。さらに、従来例では被検面2aとスクリーン110の位置が共役となるように配置しているので、被検面像は被検面2aと同サイズになりスクリーン110も被検面2aと同サイズ以上のものが必要となる。一方、本実施形態によれば、図1は説明のために被検面2aに比べ被検面像10や後段の部材をかなり大きく描いているが、実際には後述する実施例のように被検面サイズに比べ被検面像10を1/10以下にまで縮小することが可能であり、この被検面像10を結像させるためのスクリーン5のサイズも従来例に比べ格段に小型化が可能である。
【0021】
このように、縮小結像光学系(第1の結像光学系)を介して干渉縞が重畳された被検面像10をスクリーン5に結像させるという本実施形態の構成は、従来にはない発想である。縮小結像光学系によりスクリーン5に結像された被検面像10は縦横変形比率を有するため、従来のようにスクリーン5に対し垂直に配置されたテレビカメラで撮像した場合には干渉縞画像は画像処理が必要となり、測定の迅速化を妨げる虞がある。本実施形態によれば、スクリーン5と撮像面9との間に第2の結像光学系を配し、縦横変形比率を有する被検面像10が被検面2aに対し略等しい縦横比率となるよう補正されて撮像面9に結像されるように構成されている。したがって、撮像された干渉縞画像は画像処理が不要で、迅速な測定が可能となる。
【0022】
なお、第1の結像光学系によりスクリーン5上に結像される被検面2aに対し縦横変形比率を有するように縮小された被検面像10が、第2の結像光学系によりこの縦横変形比率を補正されるために、本実施形態の結像光学系は上述したとおり、被検面2aおよびスクリーン5が第1の結像光学系の光軸に対し各々所定の角度を有するように配置され、スクリーン5および撮像面9が第2の結像光学系の光軸に対し各々所定の角度を有するように配置されている。本実施形態の結像光学系は下記条件式(1)〜(3)を満足するように構成されていることが望ましく、これらの条件式(1)〜(3)により、上述した角度関係を規定することができる。
【0023】
tanθ2=β1tanθ1 ……(1)
tanθ4=β2tanθ3 ……(2)
cosθ1/cosθ2=cosθ3/cosθ4 ……(3)
ただし、
θ1:被検面2aの法線が第1の結像光学系の光軸となす角
θ2:スクリーン5の法線が第1の結像光学系の光軸となす角
θ3:スクリーン5の法線が第2の結像光学系の光軸となす角
θ4:撮像面9の法線が第2の結像光学系の光軸となす角
β1:第1の結像光学系の倍率の絶対値
β2:第2の結像光学系の倍率の絶対値
【0024】
上記条件式(1)〜(3)について、図2および図3を用いて説明する。図2は第1の結像光学系による被検面2aと被検面像10との縮小関係を説明するための図である。図2(a)は被検面2aからスクリーン上の被検面像10までを、被検面2aの法線およびスクリーン5の法線を含む面に直交する方向から見た図であり、図2(b)は同部分を図2(a)の紙面上方向から見た図である。また、図3は第2の結像光学系によるスクリーン上の被検面像10と撮像面上の被検面像11との縮小関係を説明するための図である。図3(a)は被検面像10から被検面像11までを、スクリーン5の法線および撮像面9の法線を含む面に直交する方向から見た図であり、図3(b)は同部分を図3(a)の紙面上方向から見た図である。
【0025】
まず、図2を用いて第1の結像光学系による縮小関係について説明する。この光学系は斜入射干渉計装置の結像光学系であるので、図示されるとおり、被検面2aはこの光学系の光軸に対し斜めに配置されている。前述したとおり第1の結像光学系は、焦点距離の互いに異なる2枚のテレセントリックなレンズ3、4がアフォーカルに配されている。一般にこのような結像光学系に関し、斜めに配置された物体平面がピントのボケなく結像面に結像されているとき、下記の関係式が成立することが知られている。
【0026】
A´=Aβ2……(4)
tanθ´=βtanθ ……(5)
ω=cosθ/cosθ´ ……(6)
ただし、
A:物体平面の縦方向長さの光軸方向成分/2
A´:結像面上の像の縦方向長さの光軸方向成分/2
θ:物体平面の法線が結像光学系の光軸となす角
θ´:結像面の法線が結像光学系の光軸となす角
β:結像光学系の倍率の絶対値
ω:結像面上の像の縦方向長さの圧縮率
【0027】
なお、上記「結像面上の像の縦方向長さの圧縮率」とは、物体平面と結像面が結像光学系の光軸に対し斜めに配されていることにより光軸の延びる方向にのみ生じる物体平面の縦横比に対する結像面上の像の縦横変形比率のことで、像の横方向長さに対する縦方向長さの圧縮率を示している。なお、「横方向長さ」とは、結像光学系の光軸と結像面の法線を含む面が結像面と交わる線と結像面内において直交する方向の結像面の長さのことを表すものであり、例えば図2においては、(b)の被検面像10の楕円長軸L1に相当するものである。また、「縦方向長さ」とは、結像光学系の光軸と結像面の法線を含む面内における結像面の長さのことを表すものであり、例えば図2においては、(a)の被検面像10の楕円短軸ωL1に相当するものである。
【0028】
すなわち、本実施形態の第1の結像光学系においてこの結像関係が成立するときには、図2に示す各角度および各長さは下記式(4´)〜(6´)を満足していることになる。
A2=A1β1 2……(4´)
tanθ2=β1tanθ1 ……(5´)
ω=cosθ1/cosθ2 ……(6´)
ただし、
A1:被検面2aの縦方向長さLSの光軸方向成分/2
A2:被検面像10の縦方向長さL1の光軸方向成分/2
θ1:被検面2aの法線が第1の結像光学系の光軸となす角
θ2:スクリーン5の法線が第1の結像光学系の光軸となす角
β1:第1の結像光学系の倍率の絶対値(L1/LS)
ω:被検面像10の縦方向長さの圧縮率
【0029】
ここで、上記θ1はこの斜入射干渉計装置において被検面2aへの測定光の入射角と等しい。また、上記式(5´)に示されるように、この第1の結像光学系に対しピントのボケがなく被検面像10を結像するようにスクリーン5が配置される角度θ2は、被検面2aへの測定光の入射角θ1とこの第1の結像光学系の倍率の絶対値β1が特定されれば一義的に決まる値である。また、0<θ1<90度、0<θ2<90度、および第1の結像光学系が縮小系であることから0<β1<1は前提条件であるので、上記式(5´)よりθ2<θ1となる。
【0030】
このようにして図2に示されるように、第1の結像光学系により直径LSの円形状の被検面2aは、スクリーン上で被検面2aに対し縦横変形比率を有し、スクリーン5の法線ならびに第1の結像光学系の光軸を含む面内における長さ(短軸)がωL1(=ωβ1LS)、これに直交する方向の長さ(長軸)がL1(=β1LS)の楕円形状に縮小された被検面像10として結像される。
【0031】
つぎに本実施形態の第2の結像光学系において上記結像関係が成立するときには、図3に示す各角度および各長さは下記式(4″)〜(6″)を満足していることになる。
A4=A3β2 2……(4″)
tanθ4=β2tanθ3 ……(5″)
ω´=cosθ3/cosθ4 ……(6″)
ただし、
A3:被検面像10の縦方向長さL1の光軸方向成分/2
A4:被検面像11の縦方向長さL2の光軸方向成分/2
θ3:スクリーン5の法線が第2の結像光学系の光軸となす角
θ4:撮像面9の法線が第2の結像光学系の光軸となす角
β2:第2の結像光学系の倍率の絶対値(L2/ωL1)
ω´:被検面像11の縦方向長さの圧縮率
【0032】
前述したようにこの第2の結像光学系は、この第2の結像光学系により撮像面9に結像される被検面像11が、スクリーン上の被検面像10より縮小されかつ被検面2aに対し略等しい縦横比率となるよう補正された被検面像11として結像されるように、配置される。この補正は、スクリーン5に結像された一方の方向のみ圧縮率ωが乗算された楕円形状の被検面像10に対して、この第2の結像光学系によりこれと直交する方向にのみ同じωの圧縮率を乗算するようにして行われ得る。第2の結像光学系はその光軸が、スクリーン上の楕円形状の被検面像10の長軸とスクリーン5の法線とを含む面に対して平行となるように配されることにより、楕円形状の被検面像10の長軸方向にのみ圧縮率ω´を乗算させることができる。
【0033】
そして、第2の結像光学系の光軸が上記面に対して平行で、かつ、スクリーン面と結像面とがこの光軸に対し各々所定の角度を有するように配置されているときに、撮像面9において、被検面2aに対し略等しい縦横比率となるよう補正された被検面像11を焦点の合った状態で得ることができる。
【0034】
上述のとおり上記式(6″)に示される圧縮率ω´は第1の結像光学系の圧縮率ωと等しいので、上記式(5″)および(6″)から、この第2の結像光学系に対しピントのボケがなく結像面上で被検面像11を結像するようにスクリーン5および撮像面9が配置される角度θ3、θ4は、ωの他にこの第2の結像光学系の倍率の絶対値β2が特定されれば一義的に決まる値である。また、上記第1の結像光学系と略同様に0<θ3<90度、0<θ4<90度、および第2の結像光学系が縮小系であることから0<β2<1は前提条件であるので、上記式(5″)よりθ4<θ3となる。
【0035】
このようにして図3に示されるように、スクリーン5の法線ならびに第2の結像光学系の光軸を含む面内における長さ(長軸)がL1(=β1LS)、これに直交する方向の長さ(短軸)がωL1(=ωβ1LS)の楕円形状の被検面像10は、第2の結像光学系により撮像面上で、直径L2(=ωβ1β2LS)の、被検面2aが縦横等倍率で縮小された円形状の被検面像11として結像される。
【0036】
このようにして、本実施形態の結像光学系において各面と各結像光学系の光軸との角度関係が規定されることにより、撮像面9には被検面2aが縦横等倍率で縮小された被検面像11が、焦点が合った状態で結像される。なお、上記条件式(1)および(2)は第1の結像光学系の結像関係を規定する式(5´)および第2の結像光学系の結像関係を規定する式(5″)であり、上記条件式(3)は第1の結像光学系の結像関係を規定する式(6´)および第2の結像光学系の結像関係を規定する式(6″)から、上述したとおりω=ω´となるように規定したものである。
【0037】
また、本実施形態の結像光学系において、図1に示されるように第1の結像光学系により被検面像10が結像されるスクリーン5は、被検面像10が結像される部分またはその延長面上に回転中心を有して回転するディフューザよりなることが好ましい。図1においてスクリーン5は、円板状の摺りガラスよりなるディフューザとされ、中心部6にモータの軸部を固定してモータの回転を伝達して回転させ、周辺部の所定位置に干渉縞情報を担持した合成光を入射させて干渉縞が重畳された被検面像10を結像させるように構成されている。
【0038】
このような回転ディフューザよりなるスクリーン5を用いることにより、スクリーン5から発生する二次スペックルをあたかも発生していないかのように平均化し、後段で撮像される干渉縞画像に重畳されるスペックルノイズを低減させることができる。従来の結像光学系を用いた場合には、被検面2aと同サイズ以上の大きさのスクリーン110を配設する必要があったために、これをシャッタスピード(サンプリング期間)に対し十分高速に回転させることは困難であった。しかし本実施形態の結像光学系によればスクリーン5を小型にすることができるので、このような回転ディフューザよりなるスクリーン5を用いることが可能となる。
【0039】
本実施形態においてこのようなスクリーン5の材料としては、摺りガラスやホログラフィックスクリーン、液晶の動的散乱モードを用いた液晶スクリーン等、散乱光を発生させ得る材料が好適である。特に出射する散乱光に指向性を併せ持たせたホログラフィックスクリーンは、光量利得の面から、また動的散乱モードを利用した液晶スクリーンが二次スペックルの低減の面から望ましい。本実施形態の結像光学系において第2の結像光学系の光軸はスクリーン5に対し斜めになるように配されており、この散乱光により撮像面上に被検面像11を結像させるように構成されている。
【0040】
また、本実施形態において撮像面9の位置に第2のスクリーンを配し、この第2のスクリーン上に結像された被検面像11をズームレンズを備えたテレビカメラで撮像することにより、干渉縞が重畳された被検面像11を倍率を変化させて撮像することが可能となる。
【0041】
【実施例】
以下、本発明にかかる斜入射干渉計装置の結像光学系の実施例を具体的な数値に基づいて説明する。
【0042】
この実施例において、斜入射干渉計装置の光源のレーザー波長λ、この光源光を被検面2aに斜入射させることにより得られる縞感度λ´、円形状の被検面2aの直径(以下、被検面サイズと称する)LS、および撮像面9における円形状の被検面像11の直径(以下、撮像面サイズと称する)L2は下記のように設定されている。
【0043】
λ=1.064μm(YAGレーザー)
λ´=2.0μm
Ls=300mm
L2=2.0mm
【0044】
上記設定により、波長λの光を縞感度λ´となるように被検面2aに斜入射させた場合の被検面2aへの斜入射測定光の入射角度は下記式(7)により規定され、この式により被検面2aの法線と第1の結像光学系の光軸とがなす角θ1は、θ1≒74.6゜と求められる。
cosθ1=λ/(2λ´) ……(7)
【0045】
ここで、この斜入射干渉計装置の結像光学系は被検面サイズL1を撮像面サイズL2として結像する光学系であり、上述したとおり、L2=ωβ1β2LSの関係が成り立っている。LS、L2は上記設定のとおりであり、ω、β1、β2は縮小系の条件として0<ω<1、0<β1<1、0<β2<1を満足する範囲で、上記関係に基づく相関関係を満足するように任意に設定しうる。ただし、これらにより規定される角度θ1〜θ4は入射角または出射角であるので、0より大きく90度より小さい範囲となる必要がある。また、結像倍率の絶対値β1およびβ2は、一方が極端に小さい値となるよりも双方にある程度配分され、被検面サイズLS、スクリーン上の被検面像サイズL1、撮像面上の被検面サイズL2が順に縮小されることが好ましい。
【0046】
このような条件を満足する一例として、本実施例においてはスクリーン上の楕円形状の被検面像10の長軸(以下、被検面像長軸と称する)L1を、L1=30mmとした場合を例示する。この被検面像長軸は前述したとおり、第1の結像光学系の光軸とスクリーン法線とを含む面がスクリーン面と交わる線とスクリーン面上において直交する方向の、被検面像10の長さのことである。
【0047】
L1とLSの値よりβ1=0.1となり、このβ1と上記θ1により上記条件式(1)からθ2の値θ2≒19.9°を求めることができる。また、このθ1およびθ2により、上記条件式(3)の左辺であるところの被検面像10の縦方向の圧縮率ωはω≒0.283となる。
【0048】
第2の結像光学系は、スクリーン上に結像された長軸L1、短軸ωL1の楕円形状の被検面像10を、撮像面9で直径L2の円形状の被検面像11に補正して結像するように配設される。この第2の結像光学系の光軸は、スクリーン法線と被検面像10の長軸L1とを含む面に対して平行となる面内に存在する。この第2の結像光学系による縦方向の圧縮率ω´はωと等しくなるので、β2=L2/(ωL1)よりβ2≒0.236を求めることができる。また、上記条件式(3)の右辺はωと等しいので、このω=cosθ3/cosθ4と上記条件式(2)からθ3≒80.7°、θ4≒55.3°を求めることができる。以上説明した本実施例にかかる各数値を下記表にまとめて示す。
【0049】
レーザー波長λ:1.064μm(YAGレーザー)
被検面直径LS:300mm
測定感度λ´:2μm
被検面と第1の結像光学系の光軸がなす角度θ1:74.6度
被検面像10の縦方向長さの圧縮率ω:0.283
スクリーン法線と第1の結像光学系の光軸がなす角度θ2:19.9度
スクリーン上の被検面像長軸L1:30mm
スクリーン法線と第2の結像光学系の光軸がなす角度θ3:80.7度
被検面像11の縦方向長さの圧縮率ω´:0.283
撮像面法線と第2の結像光学系の光軸がなす角度θ4:55.3度
撮像面上の被検面像サイズL2:2mm
【0050】
以上、実施例1として示したように、本発明の結像光学系においてはθ1、Ls、およびL2の値が設定された場合には、L1、θ2、θ3およびθ4は互いに相関関係を持たせながら任意に選択することができる。実際の設計にあたっては被検面像長軸L1に適応したスクリーン5のサイズや、各部材の配設位置等の条件を勘案し、妥当な構成を選択すればよい。
【0051】
なお、本発明に係る斜入射干渉計装置の結像光学系としては上記実施例のものに限られるものではなく、種々の態様の変更が可能である。例えば上記実施例においては固定値としたλ、λ´、Ls、およびL2の各値についても、実施例中の値に限られず任意に設定することができる。また、被検面は一般的な形状として円形の場合について説明したがこれ以外の形状の被検面にも勿論適用し得る。
【0052】
また、本発明にかかる斜入射干渉計装置の結像光学系は、その前段の波面分割手段(または光束分割手段)および波面合成手段(または光束合成手段)の構成を特に限定するものではなく、これらの手段として例えばハーフミラーやハーフプリズムを用いた斜入射干渉計装置の結像光学系としても勿論好適である。また斜入射干渉計装置の構成として、測定光が被検面で反射され参照光が参照面で反射されるような構成とされていてもよい。
【0053】
また、本発明にかかる斜入射干渉計装置の結像光学系において、第2の結像光学系はスクリーンを透過した散乱光による被検面像を撮像面に結像させるように配されているが、これに限られるものではなく、第2の結像光学系がスクリーンで反射された散乱光による被検面像を撮像面に結像させるような構成とされていてもよい。
【0054】
また、本発明にかかる斜入射干渉計装置の結像光学系において、第1の結像光学系および第2の結像光学系を構成するテレセントリックなレンズの枚数や形状は、上述したものに限られない。
【0055】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の斜入射干渉計装置の結像光学系によれば、被検面、2群のテレセントリックレンズ群よりなる第1の結像光学系、中間結像面、2群のテレセントリックレンズ群よりなる第2の結像光学系および結像面の位置関係により、中間結像面に、被検面に対し縦横変形比率を有し被検面より縮小された第1の被検面像が結像され、この第1の被検面像が結像面に、第1の被検面像より縮小されかつ被検面に対し略等しい縦横比率となるよう補正された第2の被検面像として結像される。したがって、結像面に結像される被検面像とこれに重畳される干渉縞は、被検面に対し略等しい縦横倍率で縮小された像となり、かつ、第1の結像光学系が縮小系とされているので中間結像面となるスクリーンの小型化が可能となり、被検面から結像面に至る結像光学系の小型化も可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明にかかる斜入射干渉計装置の結像光学系の構成を模式的に示す図
【図2】第1の結像光学系による被検面とスクリーン上の被検面像との縮小関係を説明する図
【図3】第2の結像光学系によるスクリーン上の被検面像と撮像面上の被検面像との縮小関係を説明する図
【図4】従来の斜入射干渉計装置の構成を示す概略図
【図5】従来の斜入射干渉計装置の構成を示す概略図
【符号の説明】
1 結像光学系
2a 被検面
3、4、7、8 テレセントリックレンズ
5、110 スクリーン
6 スクリーン中心部
9 撮像面
10 スクリーン上の被検面像
11 撮像面上の被検面像
12、102 波面分割手段
14、104 波面合成手段
18、108 テレビカメラ
106 結像レンズ
112 コリメータレンズ
Claims (3)
- 光源光の一部を平行光とし被検体の被検面に対して斜め入射される測定光とし、前記光源光のその余の一部を平行光よりなる参照光とし、前記測定光と前記参照光とを合成させ互いに干渉させて、結像面に結像された被検面像に干渉縞を重畳させる斜入射干渉計装置の結像光学系において、
焦点距離の互いに異なる2群のテレセントリックレンズG1、G2よりなり、前記被検面側より順に、相対的に焦点距離の大きな該テレセントリック群G1および相対的に焦点距離の小さな該テレセントリック群G2がアフォーカルに配された第1の結像光学系、中間結像面、ならびに焦点距離の互いに異なる2群のテレセントリックレンズG3、G4よりなり、前記被検面側より順に、相対的に焦点距離の大きな該テレセントリック群G3および相対的に焦点距離の小さな該テレセントリック群G4がアフォーカルに配された第2の結像光学系よりなり、
前記測定光と前記参照光との前記合成光により前記第1の結像光学系を介して、前記中間結像面に、前記被検面に対し縦横変形比率を有し前記被検面より縮小された第1の被検面像が結像され、
この第1の被検面像が、前記第2の結像光学系により前記結像面に、該第1の被検面像より縮小されかつ前記被検面に対し略等しい縦横比率となるよう補正された第2の被検面像として結像されるように、前記第2の結像光学系が前記中間結像面に対して配置されたことを特徴とする斜入射干渉計装置の結像光学系。 - 下記条件式(1)〜(3)を満足するように構成されたことを特徴とする請求項1記載の斜入射干渉計装置の結像光学系。
tanθ2=β1tanθ1 ……(1)
tanθ4=β2tanθ3 ……(2)
cosθ1/cosθ2=cosθ3/cosθ4 ……(3)
ただし、
θ1:被検面の法線が第1の結像光学系の光軸となす角
θ2:中間結像面の法線が第1の結像光学系の光軸となす角
θ3:中間結像面の法線が第2の結像光学系の光軸となす角
θ4:結像面の法線が第2の結像光学系の光軸となす角
β1:第1の結像光学系の倍率の絶対値
β2:第2の結像光学系の倍率の絶対値 - 前記中間結像面が、該中間結像面またはその延長面上に回転中心を有して回転するディフューザよりなることを特徴とする請求項1または2記載の斜入射干渉計装置の結像光学系。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001099010A JP4518360B2 (ja) | 2001-03-30 | 2001-03-30 | 斜入射干渉計装置の結像光学系 |
US10/105,371 US6744523B2 (en) | 2001-03-30 | 2002-03-26 | Imaging optical system for oblique incidence interferometer |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001099010A JP4518360B2 (ja) | 2001-03-30 | 2001-03-30 | 斜入射干渉計装置の結像光学系 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002296004A JP2002296004A (ja) | 2002-10-09 |
JP4518360B2 true JP4518360B2 (ja) | 2010-08-04 |
Family
ID=18952607
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001099010A Expired - Fee Related JP4518360B2 (ja) | 2001-03-30 | 2001-03-30 | 斜入射干渉計装置の結像光学系 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6744523B2 (ja) |
JP (1) | JP4518360B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5099319B2 (ja) * | 2007-07-17 | 2012-12-19 | 大日本印刷株式会社 | ホログラム撮影光学系 |
JP5158328B2 (ja) * | 2007-07-17 | 2013-03-06 | 大日本印刷株式会社 | ホログラム撮影光学系 |
US8155513B2 (en) * | 2008-04-12 | 2012-04-10 | Hien Tu Le | Off center motor, ground glass on center post with ball bearing(S), X-Y image position adjustment and on-the-fly back focus adjustment with lock down on 35mm spinning ground glass adapters |
JP5197198B2 (ja) * | 2008-07-04 | 2013-05-15 | キヤノン株式会社 | 結像光学系、露光装置、及びデバイス製造方法 |
JP2012145377A (ja) * | 2011-01-07 | 2012-08-02 | Mitsutoyo Corp | 斜入射干渉計 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6468611A (en) * | 1987-09-09 | 1989-03-14 | Nikon Corp | Displacement measuring instrument |
-
2001
- 2001-03-30 JP JP2001099010A patent/JP4518360B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2002
- 2002-03-26 US US10/105,371 patent/US6744523B2/en not_active Expired - Fee Related
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US6744523B2 (en) | 2004-06-01 |
US20020140944A1 (en) | 2002-10-03 |
JP2002296004A (ja) | 2002-10-09 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080324 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100430 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130528 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
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|
A072 | Dismissal of procedure [no reply to invitation to correct request for examination] |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130528 Year of fee payment: 3 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
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|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |