JPH04204032A - レンズ光学性能測定装置 - Google Patents
レンズ光学性能測定装置Info
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- JPH04204032A JPH04204032A JP32931490A JP32931490A JPH04204032A JP H04204032 A JPH04204032 A JP H04204032A JP 32931490 A JP32931490 A JP 32931490A JP 32931490 A JP32931490 A JP 32931490A JP H04204032 A JPH04204032 A JP H04204032A
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- light
- lens
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Landscapes
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は光の干渉性を用いたレンズ光学性能測定装置に
関する。
関する。
従来の横ずらし干渉、いわゆるシアリング干渉を用いた
レンズ光学性能測定装置を第３図に示す。
レンズ光学性能測定装置を第３図に示す。
被測定レンズ８を透過した光束を補正レンズ２８によっ
て平行光束（物体光２７）にした後、ビームスプリッタ
３１によって二つに分ける。これら二つの光束は別々の
経路を通った後、再び、ビームスプリッタ３４によって
重ね合わせる。このとき二つの光束は僅かに光軸をずら
せた状態にする。
て平行光束（物体光２７）にした後、ビームスプリッタ
３１によって二つに分ける。これら二つの光束は別々の
経路を通った後、再び、ビームスプリッタ３４によって
重ね合わせる。このとき二つの光束は僅かに光軸をずら
せた状態にする。
被測定レンズに誤差があると、その誤差の光軸をずらせ
た方向の方向微分に移動量を乗じた干渉縞が現れる。
た方向の方向微分に移動量を乗じた干渉縞が現れる。
観測の光軸２３−２３に垂直な面内（ｘ、ｙ）で、ビー
ムスプリッタ３１で反射した波面をＷ０＝Ｗ（ｘ、ｙ） Ｚ３’−Ｚ、’ とＺ ｓ ｚ ３（７）ずれをΔＸ
とすると、ビームスプリンタ３１を透過した波面をＷ
ｚ （Ｘ ｔ ３’ ） ＝ Ｗ （ｘ＋ΔＸｔ ｙ
）これらが重なって生じる干渉縞は、 δ Ｘ （ｎは整数） となる。
ムスプリッタ３１で反射した波面をＷ０＝Ｗ（ｘ、ｙ） Ｚ３’−Ｚ、’ とＺ ｓ ｚ ３（７）ずれをΔＸ
とすると、ビームスプリンタ３１を透過した波面をＷ
ｚ （Ｘ ｔ ３’ ） ＝ Ｗ （ｘ＋ΔＸｔ ｙ
）これらが重なって生じる干渉縞は、 δ Ｘ （ｎは整数） となる。
上記従来技術は光束を二つに分割して再び重ね合わせる
ためにビームスプリッタやミラーなどの光学要素を用い
ており、また、これらの光学系を使用するために補正レ
ンズを必要とし、干渉させる光束のそれぞれにその経路
に使った光学要素の製作誤差が含ま九、干渉させる時点
で被測定レンズの誤差によって与えられた位相変化のみ
を分離することが困難という問題があった。また、分割
された光束の経路に違いがあると光束の状態によっては
誤差を引き起こすという問題があった。
ためにビームスプリッタやミラーなどの光学要素を用い
ており、また、これらの光学系を使用するために補正レ
ンズを必要とし、干渉させる光束のそれぞれにその経路
に使った光学要素の製作誤差が含ま九、干渉させる時点
で被測定レンズの誤差によって与えられた位相変化のみ
を分離することが困難という問題があった。また、分割
された光束の経路に違いがあると光束の状態によっては
誤差を引き起こすという問題があった。
本発明の目的は、経路による誤差を生じなくしたレンズ
光学性能測定装置を提供することにある。
光学性能測定装置を提供することにある。
上記目的を達成するため、本発明は、被測定レンズの透
過光を直接写真乾板に参照光と共に記録し、次に、写真
乾板（ホログラム）と参照光を両者の空間的関係が崩れ
ないように透過光に対して垂直な面内でシア量だけ移動
させ、再び、透過光を参照光と共に写真乾板に記録しく
二重露出ホログラム）、この写真乾板を現像処理し位相
の揃った光を照射して再生される二つの光が干渉して生
じる干渉縞を解析する。
過光を直接写真乾板に参照光と共に記録し、次に、写真
乾板（ホログラム）と参照光を両者の空間的関係が崩れ
ないように透過光に対して垂直な面内でシア量だけ移動
させ、再び、透過光を参照光と共に写真乾板に記録しく
二重露出ホログラム）、この写真乾板を現像処理し位相
の揃った光を照射して再生される二つの光が干渉して生
じる干渉縞を解析する。
光束を分割する光学系の代わりにホログラムを用い、光
束の光軸に垂直に被測定レンズに対して適当な位置に置
き、参照光によって被測定レンズの透過光を記録する（
第一の露光）。次に、このホログラムとホログラム作成
のための参照光を被測定レンズに対して目的のシアリン
グ量だけ光束の光軸に垂直な面内で横ずらしくシアリン
グ）させて、ホログラムとともに移動した参照光によっ
て再び記録する（第二の露光）。このホログラムを位相
のそろった光波で再生すると、第一の露光による波面と
第二の露光による波面が再生されてこれら二つが干渉し
シアリング干渉縞が観測される。この場合には、干渉し
た二つの光束間の違いは干渉時の場所の違いしかなく、
従来の光束を分割させる光学系による誤差は生じないこ
とになる。
束の光軸に垂直に被測定レンズに対して適当な位置に置
き、参照光によって被測定レンズの透過光を記録する（
第一の露光）。次に、このホログラムとホログラム作成
のための参照光を被測定レンズに対して目的のシアリン
グ量だけ光束の光軸に垂直な面内で横ずらしくシアリン
グ）させて、ホログラムとともに移動した参照光によっ
て再び記録する（第二の露光）。このホログラムを位相
のそろった光波で再生すると、第一の露光による波面と
第二の露光による波面が再生されてこれら二つが干渉し
シアリング干渉縞が観測される。この場合には、干渉し
た二つの光束間の違いは干渉時の場所の違いしかなく、
従来の光束を分割させる光学系による誤差は生じないこ
とになる。
以下、本発明を実施例に基づいて説明する。第２図に本
発明の一実施例を示す。Ｈｅ−Ｎｅレーザー１から呂だ
光線は光アイソレータ２を通過した後、ビームスプリッ
タ３によって二つに分割される。透過光は顕微鏡の対物
レンズ６によってピンホール７に絞り込まれ不要な光線
を取り除かれた後、コリメータレンズ２６で平行光にさ
れる。
発明の一実施例を示す。Ｈｅ−Ｎｅレーザー１から呂だ
光線は光アイソレータ２を通過した後、ビームスプリッ
タ３によって二つに分割される。透過光は顕微鏡の対物
レンズ６によってピンホール７に絞り込まれ不要な光線
を取り除かれた後、コリメータレンズ２６で平行光にさ
れる。
被測定レンズ８を透過した光束は補正レンズ２８によっ
て、再び、平行光（物体光２７）に直され、別のテーブ
ル２５上にあるホログラム用乾板９上に投影される。ビ
ームスプリッタ３で反射された光線は１／２波長板１０
を透過して顕微鏡の対物レンズ１１によって単一モード
ファイバ１２に導入される。単一モードファイバ１２の
射出端のファイバホルダ１３はテーブル２５上に固定さ
れており、物体光２７に対して参照光１５となる。こ／
７’Ｖ＊鮨−７′−物汰専９７シ矢昭専ＩＦＩＬこよ１
て生じる干渉縞をホログラム用乾板９に記録する（第一
の露光）。次に、ホログラム用乾板９と参照光１５を両
者の空間的関係が崩れないように物体光２７に対して垂
直な面内で必要とするシア量だけ移動させ、再び、物体
光２７と参照光１５とで生じる干渉縞を、再び、ホログ
ラム用乾板９に記録する（第二の露光）。
て、再び、平行光（物体光２７）に直され、別のテーブ
ル２５上にあるホログラム用乾板９上に投影される。ビ
ームスプリッタ３で反射された光線は１／２波長板１０
を透過して顕微鏡の対物レンズ１１によって単一モード
ファイバ１２に導入される。単一モードファイバ１２の
射出端のファイバホルダ１３はテーブル２５上に固定さ
れており、物体光２７に対して参照光１５となる。こ／
７’Ｖ＊鮨−７′−物汰専９７シ矢昭専ＩＦＩＬこよ１
て生じる干渉縞をホログラム用乾板９に記録する（第一
の露光）。次に、ホログラム用乾板９と参照光１５を両
者の空間的関係が崩れないように物体光２７に対して垂
直な面内で必要とするシア量だけ移動させ、再び、物体
光２７と参照光１５とで生じる干渉縞を、再び、ホログ
ラム用乾板９に記録する（第二の露光）。
記録されたホログラム用乾板９を現像処理してテーブル
上の元の位置に戻し、参照光１５によって再生された二
つの波面が干渉して生じる干渉縞を結像レンズ１６を介
してＣＣＤカメラ１７で観察すると第３図の従来の光学
系で得られるのと同じ干渉縞が観測され、この信号をＡ
／Ｄコンバータ１８を介してマイクロコンピュータに干
渉縞の輝度データとして取り込み演算処理することで被
測定レンズ８の波面収差が測定できる。
上の元の位置に戻し、参照光１５によって再生された二
つの波面が干渉して生じる干渉縞を結像レンズ１６を介
してＣＣＤカメラ１７で観察すると第３図の従来の光学
系で得られるのと同じ干渉縞が観測され、この信号をＡ
／Ｄコンバータ１８を介してマイクロコンピュータに干
渉縞の輝度データとして取り込み演算処理することで被
測定レンズ８の波面収差が測定できる。
ホログラム用乾板９上の座標（ｘ、ｙ）で第一の露光時
の物体光２７の位相分布を、 Ｗ０＝Ｗ（ＸＩｙ） とすると、ホログラム用乾板９上の複素振幅はａｅｘｐ
（ｉｋＷ。（ｘ、ｙ）） （ａは強度、ｋは波数） 参照光１５の複素振幅が ｂｅｘｐ （ｉ ｋＷｒ（ｘ、ｙ）） （ｂは強度
）であったとすると、これらはホログラム用乾板９上で ■。＝ａ２＋ｂ２ ＋ ２ ａ ｂ ｃｏｓ ［ｋ （Ｗｏ（Ｘ＋
ｙ ） Ｗｒ（ｘ Ｈｙ ））コの強度分布とな
る。次に、第二の露光時の物体光２７は移動後のホログ
ラム用乾板９上の座標でＷ工＝Ｗ（ｘ＋Δｘ ＋ ｙ
） となり、複素振幅は ａｅＸＰ （ｉ ｋＷ、（ｘ、ｙ）） これによってこの物体光２７のホログラム用乾板９上に
おける強度分布は Ｉ、＝ａ”＋ｂ２ ＋ ２ ａ ｂｃｏｓ ［ｋ（Ｗｌ（ｘ、ｙ）
−Ｗｒ（ｘ、ｙ））コとなる。これら二つの強度分布か
ら観測される干渉縞は Ｉ（ｘ、ｙ）＝（ａ２＋ｂ２）＋２ａｂ（ａ２＋ｂ２）
Ｘ［ｃｏｓ［ｋ（Ｗｏ（ｘ、ｙ） Ｗｒ（ｘ、ｙ）
）コ＋ｃｏ＋（ｋ（Ｗｚ（ｘ、ｙ） Ｗｒ（ｘ−ｙ）
）］）＋４ａ”ｂ２ｃｏｓ［ｋ（Ｗｏ（ｘ＋ｙ）
Ｗｒ（ｘ、ｙ））コＸｃｏｓ［ｋ（Ｗ、（ｘ ｔ ｙ
） Ｗｒ （ｘ ？ ｙ ））］上式において、定常
的に観測されるのは周波数の値から第三項のみであり、
この式を変形すると２ ａ”ｂ２ｃｏｓ［２ｋ（Ｗｏ
（ｘ 、ｙ）−Ｗｒ（ｘ、ｙ））コつまり、 ａｘ ２ となる場所に干渉縞が観測されていることになる。
の物体光２７の位相分布を、 Ｗ０＝Ｗ（ＸＩｙ） とすると、ホログラム用乾板９上の複素振幅はａｅｘｐ
（ｉｋＷ。（ｘ、ｙ）） （ａは強度、ｋは波数） 参照光１５の複素振幅が ｂｅｘｐ （ｉ ｋＷｒ（ｘ、ｙ）） （ｂは強度
）であったとすると、これらはホログラム用乾板９上で ■。＝ａ２＋ｂ２ ＋ ２ ａ ｂ ｃｏｓ ［ｋ （Ｗｏ（Ｘ＋
ｙ ） Ｗｒ（ｘ Ｈｙ ））コの強度分布とな
る。次に、第二の露光時の物体光２７は移動後のホログ
ラム用乾板９上の座標でＷ工＝Ｗ（ｘ＋Δｘ ＋ ｙ
） となり、複素振幅は ａｅＸＰ （ｉ ｋＷ、（ｘ、ｙ）） これによってこの物体光２７のホログラム用乾板９上に
おける強度分布は Ｉ、＝ａ”＋ｂ２ ＋ ２ ａ ｂｃｏｓ ［ｋ（Ｗｌ（ｘ、ｙ）
−Ｗｒ（ｘ、ｙ））コとなる。これら二つの強度分布か
ら観測される干渉縞は Ｉ（ｘ、ｙ）＝（ａ２＋ｂ２）＋２ａｂ（ａ２＋ｂ２）
Ｘ［ｃｏｓ［ｋ（Ｗｏ（ｘ、ｙ） Ｗｒ（ｘ、ｙ）
）コ＋ｃｏ＋（ｋ（Ｗｚ（ｘ、ｙ） Ｗｒ（ｘ−ｙ）
）］）＋４ａ”ｂ２ｃｏｓ［ｋ（Ｗｏ（ｘ＋ｙ）
Ｗｒ（ｘ、ｙ））コＸｃｏｓ［ｋ（Ｗ、（ｘ ｔ ｙ
） Ｗｒ （ｘ ？ ｙ ））］上式において、定常
的に観測されるのは周波数の値から第三項のみであり、
この式を変形すると２ ａ”ｂ２ｃｏｓ［２ｋ（Ｗｏ
（ｘ 、ｙ）−Ｗｒ（ｘ、ｙ））コつまり、 ａｘ ２ となる場所に干渉縞が観測されていることになる。
これは従来の方法と同じ結果である。
次に、光学系をより簡単にした方法を示す。第１図にお
いて、ホログラム用乾板は銀塩写真乾板に代えてフォト
サーモプラスチック３５であり実時間干渉に利用する。
いて、ホログラム用乾板は銀塩写真乾板に代えてフォト
サーモプラスチック３５であり実時間干渉に利用する。
Ｈｅ −Ｎ ｅレーザ１から出た光線は光アイソレータ
２を通過した後ビームスプリッタ３によって二つに分割
される。ビームスプリッタ３を透過した光線はバビネ補
正板４を透過し顕微鏡の対物レンズ６によってピンホー
ル７に絞り込まれ不要な光線を取り除かれ、そのまま被
測定レンズ８に入射する。被測定レンズ８からの透過光
（物体光１４）と参照光１５とにより生じる干渉縞はフ
ォトサーモプラスティック３５に記録される。次に、フ
ォトサーモプラスティック３５に再生処理を行う。次に
、フォトサーモプラスティック３５の固定されたテーブ
ル２５を物体光１４の光軸Ｚ□に対して垂直な面内で先
妻とするシア量だけ移動させ、参照光１５によってフォ
トサーモプラスティック３５に記録されている物体光を
再生する。これと同時に物体光１４を導入させて、再生
物体光とによって生じる干渉縞を結像レンズ１６を介し
てＣＣＤカメラ１７で観察する。このとき、結像レンズ
はＣＣＤカメラ１７に対して無限遠点にピントが合った
状態に置く。
２を通過した後ビームスプリッタ３によって二つに分割
される。ビームスプリッタ３を透過した光線はバビネ補
正板４を透過し顕微鏡の対物レンズ６によってピンホー
ル７に絞り込まれ不要な光線を取り除かれ、そのまま被
測定レンズ８に入射する。被測定レンズ８からの透過光
（物体光１４）と参照光１５とにより生じる干渉縞はフ
ォトサーモプラスティック３５に記録される。次に、フ
ォトサーモプラスティック３５に再生処理を行う。次に
、フォトサーモプラスティック３５の固定されたテーブ
ル２５を物体光１４の光軸Ｚ□に対して垂直な面内で先
妻とするシア量だけ移動させ、参照光１５によってフォ
トサーモプラスティック３５に記録されている物体光を
再生する。これと同時に物体光１４を導入させて、再生
物体光とによって生じる干渉縞を結像レンズ１６を介し
てＣＣＤカメラ１７で観察する。このとき、結像レンズ
はＣＣＤカメラ１７に対して無限遠点にピントが合った
状態に置く。
ＣＣＤカメラ１７によって観測されるのは、フォトサー
モプラスティック３５が置かれた場所における被測定レ
ンズ８の透過光を、フォトサーモプラスティック３５の
移動量だけシアリングした干渉縞であり、この信号をＡ
／Ｄコンバータ１８を介してマイクロコンピュータに干
渉縞の輝度データとして取り込み演算処理することで物
体光１４の波面収差が測定できる。この波面収差と予め
記憶しである被測定レンズ８の設計データによる波面収
差と比較することで被測定レンズ８の透過波面収差を決
定できる。このときには、スペイシャルフィルタ７から
被測定レンズ８までの距離、被測定レンズ８からフォト
サーモプラスティック３５までの距離、そして、被測定
レンズ８の設計値は既知であるものとする。
モプラスティック３５が置かれた場所における被測定レ
ンズ８の透過光を、フォトサーモプラスティック３５の
移動量だけシアリングした干渉縞であり、この信号をＡ
／Ｄコンバータ１８を介してマイクロコンピュータに干
渉縞の輝度データとして取り込み演算処理することで物
体光１４の波面収差が測定できる。この波面収差と予め
記憶しである被測定レンズ８の設計データによる波面収
差と比較することで被測定レンズ８の透過波面収差を決
定できる。このときには、スペイシャルフィルタ７から
被測定レンズ８までの距離、被測定レンズ８からフォト
サーモプラスティック３５までの距離、そして、被測定
レンズ８の設計値は既知であるものとする。
次に、このシアリング干渉で物体光１４の相対位相を求
める方法を示す。第１図において、ソレイユ・バビネ位
相補正板４によって、被測定レンズ８に入射するレーザ
光の位相に０．１／２π。
める方法を示す。第１図において、ソレイユ・バビネ位
相補正板４によって、被測定レンズ８に入射するレーザ
光の位相に０．１／２π。
π、３／２πと位相補正をかけ、それぞれの場合に、シ
アリング干渉縞を記録する。これは、干渉測定における
縞走査と同じ原理であり、四つの干渉縞の輝度分布から
位相分布が計算できる。
アリング干渉縞を記録する。これは、干渉測定における
縞走査と同じ原理であり、四つの干渉縞の輝度分布から
位相分布が計算できる。
次に、フォトサニモプラスティック３５を移動させるこ
とによる誤差について説明する。第１図のように、フォ
トサーモプラスティック３５とファイバホルダ１３はス
テージ２５上に固定されており、移動の前後で相対的な
位置がずれることはない。つまり、フォトサーモプラス
ティック３５上の座標系で参照光が変化しない。同じよ
うに、ピンホール７と被測定レンズ８もステージ２４上
に固定されており、移動の前後で相対的な位置がずれる
ことはない。つまり、移動の前後で被測定レンズ８の透
過光は変化しない。これらから、フォトサーモプラステ
ィック３５の移動によってシアリング干渉させる二つの
波面には移動の前後で変化が無く、理想的なシアリング
干渉が実現される。
とによる誤差について説明する。第１図のように、フォ
トサーモプラスティック３５とファイバホルダ１３はス
テージ２５上に固定されており、移動の前後で相対的な
位置がずれることはない。つまり、フォトサーモプラス
ティック３５上の座標系で参照光が変化しない。同じよ
うに、ピンホール７と被測定レンズ８もステージ２４上
に固定されており、移動の前後で相対的な位置がずれる
ことはない。つまり、移動の前後で被測定レンズ８の透
過光は変化しない。これらから、フォトサーモプラステ
ィック３５の移動によってシアリング干渉させる二つの
波面には移動の前後で変化が無く、理想的なシアリング
干渉が実現される。
次に、ステージ２５の移動に物体光１４の光軸に垂直な
面内での平行移動以外の回転が生じた場合について説明
する。平行移動によって形成される干渉縞は無限遠に局
在するが、回転移動によって形成される干渉縞は有限距
離に局在する。そこで、形成されるシアリング干渉縞を
無限遠にピントを合わせた光学系で結像させ、無限遠に
対する焦点位置に置いたピンホールで平行光のみを選択
透過することで平行移動のみの干渉縞を取り畠すことが
できる。
面内での平行移動以外の回転が生じた場合について説明
する。平行移動によって形成される干渉縞は無限遠に局
在するが、回転移動によって形成される干渉縞は有限距
離に局在する。そこで、形成されるシアリング干渉縞を
無限遠にピントを合わせた光学系で結像させ、無限遠に
対する焦点位置に置いたピンホールで平行光のみを選択
透過することで平行移動のみの干渉縞を取り畠すことが
できる。
゛本発明によれば、従来の分割光学系を使用せずシアリ
ング計測ができるので装置の簡便化と振動対策に大きな
効果がある。また、ホログラムの位置を適当にすること
であらゆる光学系の透過波面収差を測定できる。
ング計測ができるので装置の簡便化と振動対策に大きな
効果がある。また、ホログラムの位置を適当にすること
であらゆる光学系の透過波面収差を測定できる。
第１・図は本発明の一実施例のブロック図、第２図はホ
ログラムシアリングの原理図、第３図は従来例の説明図
である。 １・・・Ｈｅ−Ｎｅレーザ、２・・・光アイソレータ、
３・・・ビームスプリッタ、４・・・バビネ補正板、５
・・・ミラー、６・・・顕微鏡対物レンズ、７・・・ピ
ンホール、８・・・被測定レンズ、９・・・ホログラム
用乾板、１０・・・１／２波長板、１１・・・顕微鏡対
物レンズ、１２・・・単一モードファイバ、１３・・・
ファイバホルダ、１４・・・透過光（物体光）、１５・
・・参照光、１６・・結像レンズ、１７・・・ＣＣＤカ
メラ、１８・・Ａ／Ｄコンバータ、１９−Ｉ １０．２
０ ・ＣＰ Ｕ、２１・・・メモリ、２２・・・モニタ
、２３・・・デイスプレィ、２４・・・テーブル、２５
・・・テーブル、２６・・・コリメータレンズ、２７・
・・平行光、２８・・・補正レンズ、２９・・・テーブ
ル、３ｏ・・・テーブル、３１〜３４・・・ビームスプ
リッタ、３５・・・フォトサーモプラスチ第 ＩＩ￥７
ログラムシアリングの原理図、第３図は従来例の説明図
である。 １・・・Ｈｅ−Ｎｅレーザ、２・・・光アイソレータ、
３・・・ビームスプリッタ、４・・・バビネ補正板、５
・・・ミラー、６・・・顕微鏡対物レンズ、７・・・ピ
ンホール、８・・・被測定レンズ、９・・・ホログラム
用乾板、１０・・・１／２波長板、１１・・・顕微鏡対
物レンズ、１２・・・単一モードファイバ、１３・・・
ファイバホルダ、１４・・・透過光（物体光）、１５・
・・参照光、１６・・結像レンズ、１７・・・ＣＣＤカ
メラ、１８・・Ａ／Ｄコンバータ、１９−Ｉ １０．２
０ ・ＣＰ Ｕ、２１・・・メモリ、２２・・・モニタ
、２３・・・デイスプレィ、２４・・・テーブル、２５
・・・テーブル、２６・・・コリメータレンズ、２７・
・・平行光、２８・・・補正レンズ、２９・・・テーブ
ル、３ｏ・・・テーブル、３１〜３４・・・ビームスプ
リッタ、３５・・・フォトサーモプラスチ第 ＩＩ￥７
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、被測定レンズを透過した光束を二つに分けた後に僅
かにずらして再び重ね合わせて生じる干渉縞を用いて測
定するレンズ光学性能測定装置において、 前記レンズを透過した光束を分割し重ね合わせる光学系
としてホログラフィによる実時間干渉を利用して光束の
横ずらしを行って干渉させることを特徴とするレンズ光
学性能測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32931490A JPH04204032A (ja) | 1990-11-30 | 1990-11-30 | レンズ光学性能測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32931490A JPH04204032A (ja) | 1990-11-30 | 1990-11-30 | レンズ光学性能測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04204032A true JPH04204032A (ja) | 1992-07-24 |
Family
ID=18220079
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32931490A Pending JPH04204032A (ja) | 1990-11-30 | 1990-11-30 | レンズ光学性能測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04204032A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5432596A (en) * | 1992-06-30 | 1995-07-11 | Nidek Co., Ltd. | Lens measurement apparatus providing measurements of multiple lens characteristics |
| CN110914634A (zh) * | 2017-06-06 | 2020-03-24 | Rd 辛纳基有限公司 | 全息干涉度量的方法及系统 |
| US11719531B2 (en) | 2018-10-30 | 2023-08-08 | RD Synergy Ltd. | Methods and systems of holographic interferometry |
| US11892292B2 (en) | 2017-06-06 | 2024-02-06 | RD Synergy Ltd. | Methods and systems of holographic interferometry |
-
1990
- 1990-11-30 JP JP32931490A patent/JPH04204032A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5432596A (en) * | 1992-06-30 | 1995-07-11 | Nidek Co., Ltd. | Lens measurement apparatus providing measurements of multiple lens characteristics |
| CN110914634A (zh) * | 2017-06-06 | 2020-03-24 | Rd 辛纳基有限公司 | 全息干涉度量的方法及系统 |
| CN110914634B (zh) * | 2017-06-06 | 2022-02-18 | Rd 辛纳基有限公司 | 全息干涉度量的方法及系统 |
| US11892292B2 (en) | 2017-06-06 | 2024-02-06 | RD Synergy Ltd. | Methods and systems of holographic interferometry |
| US11719531B2 (en) | 2018-10-30 | 2023-08-08 | RD Synergy Ltd. | Methods and systems of holographic interferometry |
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