JPH07229721A - 非球面波発生装置及びそれを用いた非球面形状測定方法 - Google Patents
非球面波発生装置及びそれを用いた非球面形状測定方法Info
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- JPH07229721A JPH07229721A JP4199794A JP4199794A JPH07229721A JP H07229721 A JPH07229721 A JP H07229721A JP 4199794 A JP4199794 A JP 4199794A JP 4199794 A JP4199794 A JP 4199794A JP H07229721 A JPH07229721 A JP H07229721A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 計算機ホログラムを用いて非球面形状を高精
度に測定することが出来る非球面波発生装置及びそれを
用いた非球面形状測定方法を得ること。 【構成】 基板面に球面波を非球面波に変換させる非球
面波発生用の計算機ホログラムと、該基板の非球面波発
生用の計算機ホログラムを設けた面又はその反対側の面
に球面波を該球面波の曲率半径とは異なった曲率半径の
球面波に変換させる球面波発生用の計算機ホログラムを
設けたこと。
度に測定することが出来る非球面波発生装置及びそれを
用いた非球面形状測定方法を得ること。 【構成】 基板面に球面波を非球面波に変換させる非球
面波発生用の計算機ホログラムと、該基板の非球面波発
生用の計算機ホログラムを設けた面又はその反対側の面
に球面波を該球面波の曲率半径とは異なった曲率半径の
球面波に変換させる球面波発生用の計算機ホログラムを
設けたこと。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は計算機ホログラムを用い
て光学的に被検物体、特に非球面形状の測定を行う場合
に好適な非球面波発生装置及びそれを用いた非球面形状
測定方法に関するものである。
て光学的に被検物体、特に非球面形状の測定を行う場合
に好適な非球面波発生装置及びそれを用いた非球面形状
測定方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、光学系に新しい機能が求められる
のに伴い光学系への非球面の適用が盛んになってきてい
る。特にコンパクトビデオカメラ、走査光学系等、新し
く開発された光学分野では非球面が積極的に活用されて
いる。
のに伴い光学系への非球面の適用が盛んになってきてい
る。特にコンパクトビデオカメラ、走査光学系等、新し
く開発された光学分野では非球面が積極的に活用されて
いる。
【０００３】非球面を用いる場合の問題点の１つに、で
き上がった非球面形状の検査がある。非球面形状の検査
方法としては従来より、所謂ヌルテスト法が多く用いら
れている。
き上がった非球面形状の検査がある。非球面形状の検査
方法としては従来より、所謂ヌルテスト法が多く用いら
れている。
【０００４】このヌルテスト法では予めヌルレンズと呼
ばれる基準マスターを製作し、この基準マスターが理想
となる非球面の形状に対して垂直入射する光線群、即ち
理想非球面形状をなぞるような波面を形成し、該波面と
被検非球面からの反射波面との差を干渉縞の形で測定し
て非球面形状を測定している。
ばれる基準マスターを製作し、この基準マスターが理想
となる非球面の形状に対して垂直入射する光線群、即ち
理想非球面形状をなぞるような波面を形成し、該波面と
被検非球面からの反射波面との差を干渉縞の形で測定し
て非球面形状を測定している。
【０００５】このヌルレンズとして最近ではＣＧＨ（計
算機作成ホログラム）レンズが理想非球面波作成に多く
用いられている。
算機作成ホログラム）レンズが理想非球面波作成に多く
用いられている。
【０００６】図５はヌルレンズとしてＣＧＨレンズを用
いた非球面形状測定方法の要部概略図、図６は図５の球
面波−非球面波変換用のＣＧＨ２のＣＧＨ面３Ａのパタ
ーンの説明図である。
いた非球面形状測定方法の要部概略図、図６は図５の球
面波−非球面波変換用のＣＧＨ２のＣＧＨ面３Ａのパタ
ーンの説明図である。
【０００７】図５において２はＣＧＨ用の基板であり、
一方の面に球面波から非球面波への変換用のＣＧＨ面３
Ａが形成されている。
一方の面に球面波から非球面波への変換用のＣＧＨ面３
Ａが形成されている。
【０００８】一般にＣＧＨ面３Ａへの入射光１は０次反
射光のノイズを回避する為に球面波１を用いている。こ
の球面波１がＣＧＨ面３Ａで非球面波４に変換され、被
検面６に垂直に入射して被検面６からの反射光が元の来
た光路を逆に戻る構成となっている。そして元の来た光
路とのずれ量を干渉を利用して求め、これより被検面６
の形状を測定している。
射光のノイズを回避する為に球面波１を用いている。こ
の球面波１がＣＧＨ面３Ａで非球面波４に変換され、被
検面６に垂直に入射して被検面６からの反射光が元の来
た光路を逆に戻る構成となっている。そして元の来た光
路とのずれ量を干渉を利用して求め、これより被検面６
の形状を測定している。
【０００９】図５に示す測定方法ではＣＧＨ面３Ａの光
軸方向のセッティング精度が重要となっている。従来は
この光軸方向のセッティングは光学系を構成する所定の
部品位置から機械的に寸法測定をして位置決めして行っ
ていた。
軸方向のセッティング精度が重要となっている。従来は
この光軸方向のセッティングは光学系を構成する所定の
部品位置から機械的に寸法測定をして位置決めして行っ
ていた。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】非球面形状測定のヌル
テスト法においては光学系のセッティングを入射波面に
対するＣＧＨ面の位置を光学部品を精度的に押えている
機械部品の位置等から間接的に行っている。この為波長
オーダーの高い精度（ホログラムは波面と波面の干渉縞
なので高い位置合わせ精度が必要）を出すのが大変難し
かった。
テスト法においては光学系のセッティングを入射波面に
対するＣＧＨ面の位置を光学部品を精度的に押えている
機械部品の位置等から間接的に行っている。この為波長
オーダーの高い精度（ホログラムは波面と波面の干渉縞
なので高い位置合わせ精度が必要）を出すのが大変難し
かった。
【００１１】これに対して本出願人は特願平５−１５７
５３２号公報において、図７，図８に示すように球面波
１を非球面波４に変換するＣＧＨ３Ａの他に入射光の位
相共役波発生用の反射型のＣＧＨ３ＣをＣＧＨ用の基板
２の同一面に設けて位相共役波を発生させて、該ＣＧＨ
面３Ａの位置を反射回折波として戻ってくる位相共役波
によって行う方法を提案している。
５３２号公報において、図７，図８に示すように球面波
１を非球面波４に変換するＣＧＨ３Ａの他に入射光の位
相共役波発生用の反射型のＣＧＨ３ＣをＣＧＨ用の基板
２の同一面に設けて位相共役波を発生させて、該ＣＧＨ
面３Ａの位置を反射回折波として戻ってくる位相共役波
によって行う方法を提案している。
【００１２】この方法では位相共役波発生用の反射型の
ＣＧＨは波面変換量が大きくなり、計算機作成ホログラ
ムのパターンの本数が多くなり、又パターンの間隔も細
くなり、精度あわせに必要な高ＮＡの計算機作成ホログ
ラムの作成には計算量・描画量が多くなり困難性も増加
してくる傾向があった。
ＣＧＨは波面変換量が大きくなり、計算機作成ホログラ
ムのパターンの本数が多くなり、又パターンの間隔も細
くなり、精度あわせに必要な高ＮＡの計算機作成ホログ
ラムの作成には計算量・描画量が多くなり困難性も増加
してくる傾向があった。
【００１３】本発明は本出願人が先に提案した非球面波
発生装置を改良し、非球面波発生用のＣＧＨ面の光軸方
向の位置合わせを波面変換量の多い位相共役反射波を用
いることなく高精度かつ容易に行うことができ、非球面
形状を高精度に測定することのできる非球面波発生装置
及びそれを用いた非球面形状測定方法の提供を目的とす
る。
発生装置を改良し、非球面波発生用のＣＧＨ面の光軸方
向の位置合わせを波面変換量の多い位相共役反射波を用
いることなく高精度かつ容易に行うことができ、非球面
形状を高精度に測定することのできる非球面波発生装置
及びそれを用いた非球面形状測定方法の提供を目的とす
る。
【００１４】
【課題を解決するための手段】本発明の非球面波発生装
置は、基板面に球面波を非球面波に変換させる非球面波
発生用の計算機ホログラムと、該基板の非球面波発生用
の計算機ホログラムを設けた面又はその反対側の面に球
面波を該球面波の曲率半径とは異なった曲率半径の球面
波に変換させる球面波発生用の計算機ホログラムとを設
けたことを特徴としている。
置は、基板面に球面波を非球面波に変換させる非球面波
発生用の計算機ホログラムと、該基板の非球面波発生用
の計算機ホログラムを設けた面又はその反対側の面に球
面波を該球面波の曲率半径とは異なった曲率半径の球面
波に変換させる球面波発生用の計算機ホログラムとを設
けたことを特徴としている。
【００１５】本発明の非球面形状測定装置は、基板面に
球面波を非球面波に変換させる非球面波発生用の計算機
ホログラムと、該基板の非球面波発生用の計算機ホログ
ラムを設けた面又はその反対側の面に球面波を該球面波
の曲率半径とは異なった曲率半径の球面波に変換させる
球面波発生用の計算機ホログラムとを設けた非球面波発
生装置の該球面波発生用の計算機ホログラムを用いて、
該非球面波発生装置と被測定面との位置関係を設定した
後に該非球面波発生装置に球面波を入射させ、該非球面
波発生装置から射出する非球面波を該被測定面に垂直入
射させ、該被測定面からの反射光を該非球面波発生用の
計算機ホログラムを介して球面波に逆変換し、次いで参
照球面波と干渉させ、該干渉波面を利用して該被測定面
の面形状を測定していることを特徴としている。
球面波を非球面波に変換させる非球面波発生用の計算機
ホログラムと、該基板の非球面波発生用の計算機ホログ
ラムを設けた面又はその反対側の面に球面波を該球面波
の曲率半径とは異なった曲率半径の球面波に変換させる
球面波発生用の計算機ホログラムとを設けた非球面波発
生装置の該球面波発生用の計算機ホログラムを用いて、
該非球面波発生装置と被測定面との位置関係を設定した
後に該非球面波発生装置に球面波を入射させ、該非球面
波発生装置から射出する非球面波を該被測定面に垂直入
射させ、該被測定面からの反射光を該非球面波発生用の
計算機ホログラムを介して球面波に逆変換し、次いで参
照球面波と干渉させ、該干渉波面を利用して該被測定面
の面形状を測定していることを特徴としている。
【００１６】
【実施例】図１は本発明の非球面波発生装置の実施例１
の要部概略図、図２は図１の非球面波発生装置の説明図
である。
の要部概略図、図２は図１の非球面波発生装置の説明図
である。
【００１７】図中２は計算機作成ホログラム（ＣＧＨ）
用の基板である。基板２の一方の面２ｂには球面波−非
球面波変換用のＣＧＨ３Ａが形成され、同じ面２ｂには
球面波−球面波変換用のＣＧＨ３Ｂが形成されている。
用の基板である。基板２の一方の面２ｂには球面波−非
球面波変換用のＣＧＨ３Ａが形成され、同じ面２ｂには
球面波−球面波変換用のＣＧＨ３Ｂが形成されている。
【００１８】尚、本実施例では同一面にＣＧＨ３ＡとＣ
ＧＨ３Ｂを形成した例を示しているが、ＣＧＨ３Ｂは面
２ｂと反対側の面２ａであっても良い。
ＧＨ３Ｂを形成した例を示しているが、ＣＧＨ３Ｂは面
２ｂと反対側の面２ａであっても良い。
【００１９】本実施例においてこれらの各要素２，３
Ａ，３Ｂは非球面波発生装置の一要素を構成している。
６は被検面としての非球面である。１は入射する球面波
である。この球面波を基板２上に描かれた非球面波発生
用のＣＧＨ３Ａによって非球面波４に変換している。こ
のときの非球面波の被検面６への入射精度は球面波１と
非球面波発生用のＣＧＨ３Ａの位置合わせ精度で決まっ
てくる。
Ａ，３Ｂは非球面波発生装置の一要素を構成している。
６は被検面としての非球面である。１は入射する球面波
である。この球面波を基板２上に描かれた非球面波発生
用のＣＧＨ３Ａによって非球面波４に変換している。こ
のときの非球面波の被検面６への入射精度は球面波１と
非球面波発生用のＣＧＨ３Ａの位置合わせ精度で決まっ
てくる。
【００２０】そこで本実施例では基板２上にＣＧＨ３Ａ
の他に球面波の曲率半径だけを変える球面波−球面波変
換用のＣＧＨ３Ｂを基板２の厚みの影響から生じる収差
を補正しつつ設けている。そして該ＣＧＨ３Ｂにより入
射球面波１を被検非球面６の頂点に集光する球面波５に
変換した後、被検非球面６の頂点で反射させ、再び同じ
光路を戻した後、ＣＧＨ３Ｂで入射球面波と同じ曲率半
径の球面波となるように、即ち入射球面波との干渉縞が
ワンカラーになるように基板２と被検非球面６との光軸
方向の位置合わせを行っている。
の他に球面波の曲率半径だけを変える球面波−球面波変
換用のＣＧＨ３Ｂを基板２の厚みの影響から生じる収差
を補正しつつ設けている。そして該ＣＧＨ３Ｂにより入
射球面波１を被検非球面６の頂点に集光する球面波５に
変換した後、被検非球面６の頂点で反射させ、再び同じ
光路を戻した後、ＣＧＨ３Ｂで入射球面波と同じ曲率半
径の球面波となるように、即ち入射球面波との干渉縞が
ワンカラーになるように基板２と被検非球面６との光軸
方向の位置合わせを行っている。
【００２１】これにより基板２の光軸方向の位置合わせ
を被検非球面６の頂点の位置合わせと同時に行い、次い
で基板２を光軸と垂直方向に平行シフトさせ、ＣＧＨ３
Ａの光軸が先刻合わせた光軸に一致するようにしてい
る。そして球面波１が非球面波発生用のＣＧＨ３Ａで精
度良く非球面波４に変換されるようにしている。
を被検非球面６の頂点の位置合わせと同時に行い、次い
で基板２を光軸と垂直方向に平行シフトさせ、ＣＧＨ３
Ａの光軸が先刻合わせた光軸に一致するようにしてい
る。そして球面波１が非球面波発生用のＣＧＨ３Ａで精
度良く非球面波４に変換されるようにしている。
【００２２】今、被検非球面６に面作成誤差がなければ
変換した非球面波４は被検非球面６に垂直に入射する。
従ってその反射波は元の来た経路を戻る。そしてＣＧＨ
３Ａで再び入射球面波と同じ曲率半径の球面波となるの
で入射球面波との干渉縞はワンカラーとなる。
変換した非球面波４は被検非球面６に垂直に入射する。
従ってその反射波は元の来た経路を戻る。そしてＣＧＨ
３Ａで再び入射球面波と同じ曲率半径の球面波となるの
で入射球面波との干渉縞はワンカラーとなる。
【００２３】一方、被検非球面６が理想形状からずれて
いる場合には、そのずれ量に応じた干渉縞が入射球面波
とＣＧＨ３Ａで再び略球面波に戻された波面との間に生
じる。そこでこの干渉縞を検出することにより被検非球
面６の非球面形状を検出している。
いる場合には、そのずれ量に応じた干渉縞が入射球面波
とＣＧＨ３Ａで再び略球面波に戻された波面との間に生
じる。そこでこの干渉縞を検出することにより被検非球
面６の非球面形状を検出している。
【００２４】図３は図１に示した本発明の非球面波発生
装置を用いた非球面形状測定方法の概略図である。図３
において図１で示した要素と同一要素には同符番を付し
ている。
装置を用いた非球面形状測定方法の概略図である。図３
において図１で示した要素と同一要素には同符番を付し
ている。
【００２５】本実施例においては干渉縞の検出系をフィ
ゾー型干渉計より構成している。
ゾー型干渉計より構成している。
【００２６】同図においてレーザ光源７からのレーザ光
はコリメーターレンズ８により平行光とし、ビームスプ
リッター９に入射している。ビームスプリッター９を通
過した光束はＴＳレンズ１０で入射用の球面波１とし
て、即ち図１で示したのと同様の球面波として基板２の
ＣＧＨ３Ｂ、又はＣＧＨ３Ａに入射させている。このと
き基板２と被検面６との位置合わせを図１で説明したの
と同様に行った後にＣＧＨ３Ａで変換された非球面波４
を被検面６に入射させている。
はコリメーターレンズ８により平行光とし、ビームスプ
リッター９に入射している。ビームスプリッター９を通
過した光束はＴＳレンズ１０で入射用の球面波１とし
て、即ち図１で示したのと同様の球面波として基板２の
ＣＧＨ３Ｂ、又はＣＧＨ３Ａに入射させている。このと
き基板２と被検面６との位置合わせを図１で説明したの
と同様に行った後にＣＧＨ３Ａで変換された非球面波４
を被検面６に入射させている。
【００２７】一方、ＴＳレンズ１０の最終レンズ面で垂
直に反射して戻って来た光を参照光としている。位置合
わせ時又は非球面測定時に被検面６の頂点からの反射又
は被検面６に略垂直に入射して反射して来た光束はＣＧ
Ｈ３Ｂ又はＣＧＨ３Ａで再び逆向きの球面波に変換した
後、ＴＳレンズ１０で再び略平面波としてハーフミラー
９で反射している。
直に反射して戻って来た光を参照光としている。位置合
わせ時又は非球面測定時に被検面６の頂点からの反射又
は被検面６に略垂直に入射して反射して来た光束はＣＧ
Ｈ３Ｂ又はＣＧＨ３Ａで再び逆向きの球面波に変換した
後、ＴＳレンズ１０で再び略平面波としてハーフミラー
９で反射している。
【００２８】一方、ＴＳレンズ１０の最終レンズ面で反
射させた参照光もハーフミラーで反射させ、これにより
先の該平面波と重ね合わせている。このときの合成波面
より生じる干渉縞をレンズ１１により所定面上に結像さ
せ、高次回折光をカットする為のフィルター１２を通し
た後、カメラ１３で該干渉縞を観測している。
射させた参照光もハーフミラーで反射させ、これにより
先の該平面波と重ね合わせている。このときの合成波面
より生じる干渉縞をレンズ１１により所定面上に結像さ
せ、高次回折光をカットする為のフィルター１２を通し
た後、カメラ１３で該干渉縞を観測している。
【００２９】そして、該カメラ１３で観察される干渉縞
の状態より被検面６の非球面形状を検出している。
の状態より被検面６の非球面形状を検出している。
【００３０】図４は本発明の非球面波発生装置の実施例
２の要部概略図である。
２の要部概略図である。
【００３１】本実施例は図１の実施例１に比べて基板２
面上の球面波−非球面波変換用のＣＧＨ３Ａの周囲に球
面波−球面波変換用のＣＧＨ３Ｂ１〜ＣＧＨ３Ｂ４の４
つのＣＧＨを配列している点が異なっており、その他の
構成は同じである。
面上の球面波−非球面波変換用のＣＧＨ３Ａの周囲に球
面波−球面波変換用のＣＧＨ３Ｂ１〜ＣＧＨ３Ｂ４の４
つのＣＧＨを配列している点が異なっており、その他の
構成は同じである。
【００３２】本実施例ではＣＧＨ３Ａ（基板２）と被検
面６との光軸方向の位置合わせを４つのＣＧＨ３Ｂ１〜
３Ｂ４のうちの１つを用いて行うと共に、他の３つのＣ
ＧＨを用いて位置合わせの確認を行っている。これによ
りＣＧＨ３Ａの上下方向と左右方向の傾きについても確
認することが出来、より高精度な位置合わせを可能とし
ている。
面６との光軸方向の位置合わせを４つのＣＧＨ３Ｂ１〜
３Ｂ４のうちの１つを用いて行うと共に、他の３つのＣ
ＧＨを用いて位置合わせの確認を行っている。これによ
りＣＧＨ３Ａの上下方向と左右方向の傾きについても確
認することが出来、より高精度な位置合わせを可能とし
ている。
【００３３】尚、以上の各実施例１，２において球面波
を非球面波に変換するＣＧＨ３Ａは簡単の為に回転対称
の非球面波用の同心円の場合を示したが、回転非対称な
パターンであっても良い。例えば、球面波をトーリック
波等のアナモルフィックな非球面波に変換するものであ
っても良い。
を非球面波に変換するＣＧＨ３Ａは簡単の為に回転対称
の非球面波用の同心円の場合を示したが、回転非対称な
パターンであっても良い。例えば、球面波をトーリック
波等のアナモルフィックな非球面波に変換するものであ
っても良い。
【００３４】
【発明の効果】本発明によれば以上のように各要素を設
定することにより、非球面波発生用のＣＧＨ面の光軸方
向の位置合わせを波面変換量の多い位相共役反射波を用
いることがなくても高精度かつ容易に行うことができ、
非球面形状を高精度に測定することのできる非球面波発
生装置及びそれを用いた非球面形状測定方法を達成する
ことができる。
定することにより、非球面波発生用のＣＧＨ面の光軸方
向の位置合わせを波面変換量の多い位相共役反射波を用
いることがなくても高精度かつ容易に行うことができ、
非球面形状を高精度に測定することのできる非球面波発
生装置及びそれを用いた非球面形状測定方法を達成する
ことができる。
【００３５】特に、基板上に非球面波用のＣＧＨの他
に、基板の厚みによる収差補正も含めて球面波を別の曲
率半径の球面波に変換する別のＣＧＨを設けることによ
り、入射波面に対する非球面波変換ＣＧＨの位置設定の
精度を、より向上できるという効果がある。
に、基板の厚みによる収差補正も含めて球面波を別の曲
率半径の球面波に変換する別のＣＧＨを設けることによ
り、入射波面に対する非球面波変換ＣＧＨの位置設定の
精度を、より向上できるという効果がある。
【図１】 本発明の非球面波発生装置の実施例１の要部
概略図
概略図
【図２】 図１の非球面波発生装置の説明図
【図３】 本発明の非球面波発生装置を用いた非球面形
状測定方法の要部概略図
状測定方法の要部概略図
【図４】 本発明の非球面波発生装置の実施例２の要部
説明図
説明図
【図５】 従来のＣＧＨを用いたヌルテスト法の説明図
【図６】 図５のＣＧＨのパターンの説明図
【図７】 従来の位相共役発生反射型のＣＧＨを用いた
測定方法の説明図
測定方法の説明図
【図８】 図７のＣＧＨパターンの説明図
１ 入射球面波 ２ ＣＧＨ用基板 ３Ａ 球面波−非球面波変換用のＣＧＨ ３Ｂ 球面波−球面波変換用のＣＧＨ ４ 非球面波 ５ 球面波 ６ 被検面 ７ レーザ光源 ８ コリメーターレンズ ９ ビームスプリッター １０ ＴＳレンズ １１ レンズ １２ 高次回折光カットフィルター １３ カメラ
Claims (2)
- 【請求項１】 基板面に球面波を非球面波に変換させる
非球面波発生用の計算機ホログラムと、該基板の非球面
波発生用の計算機ホログラムを設けた面又はその反対側
の面に球面波を該球面波の曲率半径とは異なった曲率半
径の球面波に変換させる球面波発生用の計算機ホログラ
ムとを設けたことを特徴とする非球面波発生装置。 - 【請求項２】 基板面に球面波を非球面波に変換させる
非球面波発生用の計算機ホログラムと、該基板の非球面
波発生用の計算機ホログラムを設けた面又はその反対側
の面に球面波を該球面波の曲率半径とは異なった曲率半
径の球面波に変換させる球面波発生用の計算機ホログラ
ムとを設けた非球面波発生装置の該球面波発生用の計算
機ホログラムを用いて、該非球面波発生装置と被測定面
との位置関係を設定した後に該非球面波発生装置に球面
波を入射させ、該非球面波発生装置から射出する非球面
波を該被測定面に垂直入射させ、該被測定面からの反射
光を該非球面波発生用の計算機ホログラムを介して球面
波に逆変換し、次いで参照球面波と干渉させ、該干渉波
面を利用して該被測定面の面形状を測定していることを
特徴とする非球面形状測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4199794A JPH07229721A (ja) | 1994-02-16 | 1994-02-16 | 非球面波発生装置及びそれを用いた非球面形状測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4199794A JPH07229721A (ja) | 1994-02-16 | 1994-02-16 | 非球面波発生装置及びそれを用いた非球面形状測定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07229721A true JPH07229721A (ja) | 1995-08-29 |
Family
ID=12623850
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4199794A Pending JPH07229721A (ja) | 1994-02-16 | 1994-02-16 | 非球面波発生装置及びそれを用いた非球面形状測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07229721A (ja) |
Cited By (6)
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1994
- 1994-02-16 JP JP4199794A patent/JPH07229721A/ja active Pending
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