JP2004101427A - 干渉計装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】簡単な構成でありながら、入射する光ビームのアライメント作業を容易に行なえる干渉計装置を提供する。
【解決手段】干渉計装置は、干渉計装置本体1と、その上部に取り付けられたCCDカメラ10と、干渉計装置本体1の下部に取り付けられたスライド機構22と、スライド機構22により移動可能に支持されたピンホール21とを有している。ピンホール21はスライド機構22によって光ビームの光路上に適宜配置され得る。干渉計装置本体1は、入射する光ビームを二つに分割するビームスプリッタ3と、ビームスプリッタ3で反射された光ビームの方向を変えるミラー8とミラー9と、ビームスプリッタ3を透過した光ビームから収差を取り除くためのレンズ4とピンホール5とレンズ6と、分割された二つの光ビームを結合させるビームスプリッタ7とを有している。
【選択図】 図1
【解決手段】干渉計装置は、干渉計装置本体1と、その上部に取り付けられたCCDカメラ10と、干渉計装置本体1の下部に取り付けられたスライド機構22と、スライド機構22により移動可能に支持されたピンホール21とを有している。ピンホール21はスライド機構22によって光ビームの光路上に適宜配置され得る。干渉計装置本体1は、入射する光ビームを二つに分割するビームスプリッタ3と、ビームスプリッタ3で反射された光ビームの方向を変えるミラー8とミラー9と、ビームスプリッタ3を透過した光ビームから収差を取り除くためのレンズ4とピンホール5とレンズ6と、分割された二つの光ビームを結合させるビームスプリッタ7とを有している。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、レンズやミラー等の光学部品の特性(例えば面形状)や、光ピックアップ等の光学系の特性を調べるために、光学部品や光学系からの光ビームの波面を測定する干渉計装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
このような光ビームの波面を測定するタイプの干渉計装置は数社から製品として発売されている。その代表的な製品の構成の概略を図5に示す。
【0003】
干渉計装置は、入射してくる光ビームを二つに分割するビームスプリッタ3と、ビームスプリッタ3で反射された光ビームの方向を変えるためのミラー8とミラー9と、ビームスプリッタ3で反射された光ビームとビームスプリッタ3を透過した光ビームとを結合させるビームスプリッタ7と、ビームスプリッタ3からビームスプリッタ7に至る光路上に配置されたレンズ4とピンホール5とレンズ6と、干渉縞を観測するためのCCDカメラ10とを有している。
【0004】
レンズ4とレンズ6は、同じ焦点距離を有しており、焦点距離の二倍の距離を置いて位置し、それらの中央にピンホール5が位置している。このようなレンズ4とピンホール5とレンズ6の組み合わせは、ビームスプリッタ3からの光ビームから収差を取り除く。この種の干渉計装置では、通常、レンズ4とピンホール5とレンズ6を通過して収差の取り除かれた光ビームを参照光ビームと呼び、ビームスプリッタ3で反射された光ビームを測定光ビームと呼んでいる。
【0005】
このような干渉計装置においては、内部で参照光ビームを生成している関係上、参照光ビームと測定光ビームを結合させるためのアライメント作業は、干渉計装置へ入射する光ビームの位置と角度の調整作業となっており、他のフィゾー型の干渉計装置などと比べて非常に難しい。このため、アライメント作業を簡単に行なうためのアライメント支援機能を搭載しているのが普通である。
【0006】
アライメントには、光ビームの位置ずれを調整するためのシフト調整と、光ビームの傾きを調整するためのチルト調整とがある。ここで特に重要なのは、チルト調整の方である。シフトが多少ずれていても、光ビームはレンズの焦点位置に集まるため、ピンホールを通過し得る。しかし、チルトが少しでもずれていると、光がレンズの焦点位置に集まらないため、ピンホールを通り抜ける光は極端に減少してしまう。従って、アライメント作業においては、チルトを合せることが重要である。
【0007】
アライメント支援機構は、例えば、図5の干渉計装置では、レンズ4とピンホール5の間に配置されたビームスプリッタ17と、ビームスプリッタ17で反射された光ビームを集光させるレンズ18と、ピンホール5に対して共役な位置に配置されたフォトディテクタ19とで構成されている。
【0008】
正しくアライメントされていない状態では、レンズ4からの光ビームは、ピンホール5の穴を通過できず、ピンホール5を構成する部材の表面で反射される。ピンホール5で反射された光ビームは、ビームスプリッタ17で反射され、レンズ19によりフォトディテクタ19上に結像される。ピンホール5を通過する光量が最大となる(つまり正しくアライメントされた)ときのフォトディテクタ19上での結像位置を予め調べておき、その位置に結像するように光ビームのチルトを調整することにより、ピンホールを通過する光量が最大になるようにアライメントされる。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、このようにピンホール5とレンズ4の間にビームスプリッタ17を配置し、ピンホール5に対してフォトディテクタ19が共役な位置関係になるように、レンズ18とフォトディテクタ19を配置することは、装置を複雑で大型なものとし、また高価なものとする。
【0010】
本発明の目的は、簡単な構成でありながら、入射する光ビームのアライメント作業を容易に行なえる干渉計装置を提供することである。
【0011】
【課題を解決するための手段】
本発明は、光学部品や光学系の特性を調べるために、光学部品や光学系からの光ビームの波面を測定する干渉計装置であり、入射する光ビームを二つに分割するための光ビーム分割手段と、光ビーム分割手段で分割された一方の光ビームから収差を取り除いて、収差のない参照光ビームを作り出すための収差除去手段と、光ビーム分割手段で分割されたもう一方の光ビームである測定光ビームと収差除去手段により作り出された参照光ビームとを結合して干渉させるための光ビーム結合手段と、参照光ビームと測定光ビームの結合により生じた干渉縞を観測するための干渉縞観測手段と、収差除去手段を経由しない光路上において、光ビームを部分的に遮って、光ビームの形状を変更するための光ビーム形状変更手段を備えており、干渉縞観測手段上に投影される測定光ビームのスポット像の位置に基づいて、装置に入射する光ビームのチルト調整が行なわれ得る。
【0012】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しながら本発明の実施の形態について説明する。
【0013】
第一実施形態
本発明の第一実施形態による干渉計装置を図1に示す。干渉計装置は、干渉計装置本体1と、干渉計装置本体1を支持するスタンド11と、スタンド11のベース板の上に設けられた光ビームの傾き調整用の二軸のチルトテーブル12と、チルトテーブル12の上に設けられた光ビームのシフト調整用の二軸のシフトテーブル13とを備えている。
【0014】
シフトテーブル13の上には、レーザー光源ユニット14が載置される。レーザー光源ユニット14は、レーザーダイオードとコリメートレンズとを含んでいる。レーザーダイオードはレーザー電源15により駆動されて発散性の光ビームを発し、コリメートレンズはレーザーダイオードからの光ビームを平行光ビームに変える。一般に、レーザー光源ユニット14から射出される光ビームの波面は理想的な平面波とはならず、コリメートレンズの収差を含んでいる。
【0015】
本実施形態においては、レーザー光源ユニット14内のコリメートレンズが、被検物すなわち特性(例えば表面形状)を調べたい光学部品である。
【0016】
干渉計装置本体1は、レーザー光源ユニット14からの光ビームを二つに分割するための光ビーム分割手段であるビームスプリッタ3と、ビームスプリッタ3で反射された光ビームの方向を変えるためのミラー8とミラー9と、ビームスプリッタ3からビームスプリッタ7に至る光路上に配置されたレンズ4とピンホール5とレンズ6と、ビームスプリッタ3で反射された光ビームとビームスプリッタ3を透過した光ビームとを結合させる光ビーム結合手段であるビームスプリッタ7とを有している。
【0017】
レンズ4とレンズ6は、同じ焦点距離を有しており、焦点距離の二倍の距離を置いて位置し、それらの中央にピンホール5が位置している。このようなレンズ4とピンホール5とレンズ6の組み合わせは、一般に収差のある平行光ビームから収差のない平行光ビームを作り出す空間フィルターとして知られており、ビームスプリッタ3からの光ビームから収差を取り除いて、収差のない光ビームを作り出すための収差除去手段を構成している。
【0018】
以下では、レンズ4とピンホール5とレンズ6を通過して収差の取り除かれた光ビームを参照光ビームと呼び、また、ビームスプリッタ3で反射された光ビームを測定光ビームと呼ぶことにする。
【0019】
干渉計装置は更に、干渉計装置本体1の上部に取り付けられたCCDカメラ10と、CCDカメラ10からの情報を処理し処理結果を表示するパソコン16とを有しており、これらは、ビームスプリッタ7による参照光ビームと測定光ビームの結合により生じた干渉縞を観測するための干渉縞観測手段を構成している。
【0020】
さらに、干渉計装置は、干渉計装置本体1の下部に取り付けられたスライド機構22と、スライド機構22により移動可能に支持されたピンホール21とを有している。ピンホール21の穴径は干渉計装置本体1に入射する光ビームの径に対して十分に小さく設定されている。ピンホール21は、スライド機構22によって、光ビームの光路上に適宜配置され得、また光ビームの光路から適宜退避され得る。これらのピンホール21とスライド機構22は、光ビームを部分的に遮って、光ビームの形状を変更するための光ビーム形状変更手段を構成している。
【0021】
ピンホール21とスライド機構22は、本実施形態では、レーザー光源ユニット14からビームスプリッタ3に至る光路に対して設けられているが、その位置はこれに限定されない。ピンホール21とスライド機構22は、ビームスプリッタ3からミラー8とミラー9とビームスプリッタ7を経由してCCDカメラ10に至る光路のいずれの位置に対して設けられてもよい。
【0022】
結局、例示的にピンホール21とスライド機構22とで構成される光ビーム形状変更手段は、レンズ4とピンホール5とレンズ6とで構成される空間フィルターつまり収差除去手段を経由しない光路上の何処の位置に対して設けられてもよい。
【0023】
以下、本実施形態の干渉計装置に入射する光ビームのアライメント作業ついて説明する。
【0024】
アライメント作業の際、ピンホール21はスライド機構22により光ビームの光路上に配置される。レーザー電源15によりレーザー光源ユニット14内部のレーザーダイオードが点灯される。レーザーダイオードは発散性の光ビームを射出する。発散性の光ビームは同ユニット内のコリメートレンズにより平行光ビームに変えられ、同ユニットの外へ射出される。
【0025】
レーザー光源ユニット14から射出された平行光ビームは、その光路上に配置されたピンホール21に到達する。平行光ビームはピンホール21によってその一部が遮断される結果、ピンホール21の穴径に応じたビーム径の平行光ビームとなって干渉計装置本体1の中に入る。
【0026】
干渉計装置本体1に入射した平行光ビームは、ビームスプリッタ3で二つの平行光ビームに分割される。ビームスプリッタ3で反射された平行光ビームすなわち測定光ビームは、ミラー8とミラー9とビームスプリッタ7とで順次反射されてCCDカメラ10に到達する。
【0027】
一方、ビームスプリッタ3を透過した平行光ビームは、レンズ4を経てピンホール5に到達するが、正しくアライメントされていない限り、ピンホール5の穴を通過し得ない。
【0028】
従って、ピンホール21が光路上に配置されたアライメント作業時の状態では、実質的に測定光ビームだけがCCDカメラ10に到達し得る。
【0029】
ピンホール21の穴径は干渉計装置本体1に入射する平行光ビームの径に対して十分に小さいため、ピンホール21を通過した平行光ビームは、平行光ビームのシフトに影響されることなく、そのチルトに応じたCCDカメラ10上の座標位置にスポット像を写し出す。
【0030】
この様子をモデル化したものを図2に示す。図2(A)は入射光ビームにシフトもチルトもない状態を示しており、この場合、CCDカメラのほぼ中央にスポット像が投影される。図2(B)はシフトはないがチルトがある状態を示しており、この場合、チルトに応じてCCDの中心位置から離れた場所にスポット像が投影される。図2(C)はシフトもチルトもある状態を示しており、ピンホールを通過した光はシフトの影響は受けず図2(B)と同様な位置にスポット像が投影される。
【0031】
従って、ピンホール5を通過する光ビームの光量が最大になるときのCCDカメラ10上における測定光ビームのスポット像の座標位置を予め調べておき、測定光ビームのスポット像がその位置に投影されるようにチルトテーブル12で平行光ビームのチルトを調整することにより、干渉計装置に対する光ビームのアライメント作業を容易に行なうことができる。
【0032】
続いて、入射する光ビームの波面の測定について説明する。
【0033】
測定の際、ピンホール21はスライド機構22により光ビームの光路から外れた位置に移動される。従って、レーザー光源ユニット14から射出された平行光ビームは、ビーム径が変えられることなく、そのまま干渉計装置本体1の中に入る。干渉計装置本体1に入射した平行光ビームは、ビームスプリッタ3で二つの平行光ビームに分割される。
【0034】
ビームスプリッタ3で分割された一方の平行光ビーム、すなわちビームスプリッタ3を透過した光ビームは、レンズ4とピンホール5とレンズ6を順次透過することにより収差が取り除かれ、参照光ビームとなり、ビームスプリッタ7に到達する。
【0035】
また、ビームスプリッタ3で分割されたもう一方の平行光ビーム、すなわちビームスプリッタ3で反射された測定光ビームは、ミラー8とミラー9で順に反射された後、ビームスプリッタ7に到達する。
【0036】
参照光ビームはビームスプリッタ7を透過してCCDカメラ10に向かい、一方、測定光ビームはビームスプリッタ7で反射されてCCDカメラ10に向かう。つまり、参照光ビームと測定光ビームはビームスプリッタ7で結合されてCCDカメラ10に到達する。
【0037】
参照光ビームと測定光ビームは互いに干渉してCCDカメラ10上に干渉縞を形成する。CCDカメラ10上に形成される干渉縞は、レーザー光源ユニット14内部のコリメートレンズにより与えられた収差に依存している。言い換えれば、干渉縞は、コリメートレンズの表面形状を反映している。
【0038】
干渉縞はCCDカメラ10で撮像され、その情報はパソコン16に取り込まれて解析され、干渉縞の画像と解析結果が表示される。
【0039】
本実施形態の干渉計装置では、アライメント作業の際にピンホール21を光ビームの光路上に適宜配置する、ピンホール21とスライド機構22から成る簡単な機構によって、入射する光ビームのアライメント作業を容易にするアライメント支援機能を実現している。従って、本実施形態によれば、装置の複雑化や大型化や高価格化を招くことなく、入射する光ビームのアライメント作業を容易に行なえる干渉計装置が提供される。
【0040】
本実施形態では、光ビームを部分的に遮って光ビームの形状を変更するための光ビーム形状変更手段はピンホール21とスライド機構22とで構成されているが、スライド機構22により光ビームの光路上に適宜配置される部材はピンホール21に限定されるものではなく、光ビームを部分的に遮る部材であればどのようなものであってもよい。
【0041】
例えば、ピンホール21に代えて、図3に示すように、光学的に透明な部材に光学的指標が描かれたチャート23が光ビームの光路上に適宜配置されてもよい。この場合、チャート23に描かれた光学的指標の模様がCCDカメラ10上に映し出され、この模様の中心が特定な座標位置に来るようにチルト調整することによりアライメントが行なえる。
【0042】
また、このようなチャート23を利用した場合には次のような利点もある。最初に、光ビームの中心がCCDカメラ10から外れるほど大きくチルトがずれていた場合であっても(ピンホール21を利用した場合に同様の状況ではそのスポット像をCCDカメラ10で確認できないが)、模様は比較的大きいので、部分的にではあるがCCDカメラ10で模様を確認することができ、確認された模様の部分からチルトの調整方向が分かるという利点がある。
【0043】
第二実施形態
本発明の第二実施形態による干渉計装置を図4に示す。図中、第一実施形態の部材と同一の参照符号を付した部材は同等の部材を示しており、その詳しい説明は記載の重複を避けるために省略する。
【0044】
本実施形態の干渉計装置は、第一実施形態の干渉計装置からピンホール21とスライド機構22を取り除き、代わりに、光学的開口の径を連続的に変更できる可変絞り24をミラー8とミラー9の間の光路上に配置した構成を有している。可変絞り24は、その開口径がアライメント作業時に小さく絞られ、測定時に大きく開放される。
【0045】
本実施形態の干渉計装置において、アライメント作業と測定は第一実施形態の干渉計装置と全く同様にして行なわれる。つまり、開口径が絞られた可変絞り24は、第一実施形態の干渉計装置における光路上に配置されたピンホール21と同様の働きをし、開口径が開放された可変絞り24は、第一実施形態の干渉計装置においてピンホール21が光路上から外されたことと同様の状態を提供する。従って、本実施形態の干渉計装置は、第一実施形態の干渉計装置と同様の利点を有している。
【0046】
ただし、本実施形態の干渉計装置では、第一実施形態の干渉計装置におけるピンホール21の位置と比較して、可変絞り24がCCDカメラ10の近くに位置しているので、その分、光ビームのチルト変化に対するCCDカメラ10上でのスポット画像の位置変化は鈍感であり、その反面、検出範囲は広い。
【0047】
また、可変絞り24がミラー8とミラー9の間の光路上に位置しているため、可変絞り24は、アライメント作業の際に、測定光ビームを部分的に遮るだけで、参照光ビームに対しては何の働きもしない。従って、参照光ビームの径は細くなっていないので、正しくアライメントされたときに、十分な光量の参照光ビームがCCDカメラ10上に投影される。これに応じて、CCDカメラ10で撮像された画像上では急に明るくなる。つまり、参照光ビームによって正しくアライメントされたことをCCDカメラ10の画像上で確認できる。
【0048】
本実施形態では、可変絞り24はミラー8とミラー9の間の光路上に配置されているが、可変絞り24の配置位置はこれに限定されるものではない。可変絞り24は、レーザー光源ユニット14からビームスプリッタ3とミラー8とミラー9とビームスプリッタ7を経由してCCDカメラ10に至る光路上の何処に配置されてもよい。
【0049】
これまで、図面を参照しながら本発明の実施の形態を述べたが、本発明は、これらの実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において様々な変形や変更が施されてもよい。
【0050】
【発明の効果】
本発明によれば、入射する光ビームのアライメント作業を容易にするアライメント支援機能が簡単な機構で実現された干渉計装置が提供される。従って、本発明の干渉計装置では、複雑でも大型でも高価でもないにも関わらず、入射する光ビームのアライメント作業を容易に行なえる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第一実施形態による干渉計装置を示している。
【図2】アライメント作業時に、光ビームのチルトに応じたCCDカメラ上の座標位置にスポット像が投影される様子をモデル化して示している。
【図3】図1の干渉計装置において、ピンホールの代わりに光路上に適宜配置される光学的指標が描かれたチャートを示している。
【図4】本発明の第二実施形態による干渉計装置を示している。
【図5】光ビームの波面を測定するタイプの干渉計装置の代表的な製品の構成を概略的に示している。
【符号の説明】
1 干渉計装置本体
3 ビームスプリッタ
4 レンズ
5 ピンホール
6 レンズ
7 ビームスプリッタ
8 ミラー
9 ミラー
10 CCDカメラ
12 チルトテーブル
13 シフトテーブル
14 レーザー光源ユニット
16 パソコン
21 ピンホール
22 スライド機構
23 チャート
24 可変絞り
【発明の属する技術分野】
本発明は、レンズやミラー等の光学部品の特性(例えば面形状)や、光ピックアップ等の光学系の特性を調べるために、光学部品や光学系からの光ビームの波面を測定する干渉計装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
このような光ビームの波面を測定するタイプの干渉計装置は数社から製品として発売されている。その代表的な製品の構成の概略を図5に示す。
【0003】
干渉計装置は、入射してくる光ビームを二つに分割するビームスプリッタ3と、ビームスプリッタ3で反射された光ビームの方向を変えるためのミラー8とミラー9と、ビームスプリッタ3で反射された光ビームとビームスプリッタ3を透過した光ビームとを結合させるビームスプリッタ7と、ビームスプリッタ3からビームスプリッタ7に至る光路上に配置されたレンズ4とピンホール5とレンズ6と、干渉縞を観測するためのCCDカメラ10とを有している。
【0004】
レンズ4とレンズ6は、同じ焦点距離を有しており、焦点距離の二倍の距離を置いて位置し、それらの中央にピンホール5が位置している。このようなレンズ4とピンホール5とレンズ6の組み合わせは、ビームスプリッタ3からの光ビームから収差を取り除く。この種の干渉計装置では、通常、レンズ4とピンホール5とレンズ6を通過して収差の取り除かれた光ビームを参照光ビームと呼び、ビームスプリッタ3で反射された光ビームを測定光ビームと呼んでいる。
【0005】
このような干渉計装置においては、内部で参照光ビームを生成している関係上、参照光ビームと測定光ビームを結合させるためのアライメント作業は、干渉計装置へ入射する光ビームの位置と角度の調整作業となっており、他のフィゾー型の干渉計装置などと比べて非常に難しい。このため、アライメント作業を簡単に行なうためのアライメント支援機能を搭載しているのが普通である。
【0006】
アライメントには、光ビームの位置ずれを調整するためのシフト調整と、光ビームの傾きを調整するためのチルト調整とがある。ここで特に重要なのは、チルト調整の方である。シフトが多少ずれていても、光ビームはレンズの焦点位置に集まるため、ピンホールを通過し得る。しかし、チルトが少しでもずれていると、光がレンズの焦点位置に集まらないため、ピンホールを通り抜ける光は極端に減少してしまう。従って、アライメント作業においては、チルトを合せることが重要である。
【0007】
アライメント支援機構は、例えば、図5の干渉計装置では、レンズ4とピンホール5の間に配置されたビームスプリッタ17と、ビームスプリッタ17で反射された光ビームを集光させるレンズ18と、ピンホール5に対して共役な位置に配置されたフォトディテクタ19とで構成されている。
【0008】
正しくアライメントされていない状態では、レンズ4からの光ビームは、ピンホール5の穴を通過できず、ピンホール5を構成する部材の表面で反射される。ピンホール5で反射された光ビームは、ビームスプリッタ17で反射され、レンズ19によりフォトディテクタ19上に結像される。ピンホール5を通過する光量が最大となる(つまり正しくアライメントされた)ときのフォトディテクタ19上での結像位置を予め調べておき、その位置に結像するように光ビームのチルトを調整することにより、ピンホールを通過する光量が最大になるようにアライメントされる。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、このようにピンホール5とレンズ4の間にビームスプリッタ17を配置し、ピンホール5に対してフォトディテクタ19が共役な位置関係になるように、レンズ18とフォトディテクタ19を配置することは、装置を複雑で大型なものとし、また高価なものとする。
【0010】
本発明の目的は、簡単な構成でありながら、入射する光ビームのアライメント作業を容易に行なえる干渉計装置を提供することである。
【0011】
【課題を解決するための手段】
本発明は、光学部品や光学系の特性を調べるために、光学部品や光学系からの光ビームの波面を測定する干渉計装置であり、入射する光ビームを二つに分割するための光ビーム分割手段と、光ビーム分割手段で分割された一方の光ビームから収差を取り除いて、収差のない参照光ビームを作り出すための収差除去手段と、光ビーム分割手段で分割されたもう一方の光ビームである測定光ビームと収差除去手段により作り出された参照光ビームとを結合して干渉させるための光ビーム結合手段と、参照光ビームと測定光ビームの結合により生じた干渉縞を観測するための干渉縞観測手段と、収差除去手段を経由しない光路上において、光ビームを部分的に遮って、光ビームの形状を変更するための光ビーム形状変更手段を備えており、干渉縞観測手段上に投影される測定光ビームのスポット像の位置に基づいて、装置に入射する光ビームのチルト調整が行なわれ得る。
【0012】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しながら本発明の実施の形態について説明する。
【0013】
第一実施形態
本発明の第一実施形態による干渉計装置を図1に示す。干渉計装置は、干渉計装置本体1と、干渉計装置本体1を支持するスタンド11と、スタンド11のベース板の上に設けられた光ビームの傾き調整用の二軸のチルトテーブル12と、チルトテーブル12の上に設けられた光ビームのシフト調整用の二軸のシフトテーブル13とを備えている。
【0014】
シフトテーブル13の上には、レーザー光源ユニット14が載置される。レーザー光源ユニット14は、レーザーダイオードとコリメートレンズとを含んでいる。レーザーダイオードはレーザー電源15により駆動されて発散性の光ビームを発し、コリメートレンズはレーザーダイオードからの光ビームを平行光ビームに変える。一般に、レーザー光源ユニット14から射出される光ビームの波面は理想的な平面波とはならず、コリメートレンズの収差を含んでいる。
【0015】
本実施形態においては、レーザー光源ユニット14内のコリメートレンズが、被検物すなわち特性(例えば表面形状)を調べたい光学部品である。
【0016】
干渉計装置本体1は、レーザー光源ユニット14からの光ビームを二つに分割するための光ビーム分割手段であるビームスプリッタ3と、ビームスプリッタ3で反射された光ビームの方向を変えるためのミラー8とミラー9と、ビームスプリッタ3からビームスプリッタ7に至る光路上に配置されたレンズ4とピンホール5とレンズ6と、ビームスプリッタ3で反射された光ビームとビームスプリッタ3を透過した光ビームとを結合させる光ビーム結合手段であるビームスプリッタ7とを有している。
【0017】
レンズ4とレンズ6は、同じ焦点距離を有しており、焦点距離の二倍の距離を置いて位置し、それらの中央にピンホール5が位置している。このようなレンズ4とピンホール5とレンズ6の組み合わせは、一般に収差のある平行光ビームから収差のない平行光ビームを作り出す空間フィルターとして知られており、ビームスプリッタ3からの光ビームから収差を取り除いて、収差のない光ビームを作り出すための収差除去手段を構成している。
【0018】
以下では、レンズ4とピンホール5とレンズ6を通過して収差の取り除かれた光ビームを参照光ビームと呼び、また、ビームスプリッタ3で反射された光ビームを測定光ビームと呼ぶことにする。
【0019】
干渉計装置は更に、干渉計装置本体1の上部に取り付けられたCCDカメラ10と、CCDカメラ10からの情報を処理し処理結果を表示するパソコン16とを有しており、これらは、ビームスプリッタ7による参照光ビームと測定光ビームの結合により生じた干渉縞を観測するための干渉縞観測手段を構成している。
【0020】
さらに、干渉計装置は、干渉計装置本体1の下部に取り付けられたスライド機構22と、スライド機構22により移動可能に支持されたピンホール21とを有している。ピンホール21の穴径は干渉計装置本体1に入射する光ビームの径に対して十分に小さく設定されている。ピンホール21は、スライド機構22によって、光ビームの光路上に適宜配置され得、また光ビームの光路から適宜退避され得る。これらのピンホール21とスライド機構22は、光ビームを部分的に遮って、光ビームの形状を変更するための光ビーム形状変更手段を構成している。
【0021】
ピンホール21とスライド機構22は、本実施形態では、レーザー光源ユニット14からビームスプリッタ3に至る光路に対して設けられているが、その位置はこれに限定されない。ピンホール21とスライド機構22は、ビームスプリッタ3からミラー8とミラー9とビームスプリッタ7を経由してCCDカメラ10に至る光路のいずれの位置に対して設けられてもよい。
【0022】
結局、例示的にピンホール21とスライド機構22とで構成される光ビーム形状変更手段は、レンズ4とピンホール5とレンズ6とで構成される空間フィルターつまり収差除去手段を経由しない光路上の何処の位置に対して設けられてもよい。
【0023】
以下、本実施形態の干渉計装置に入射する光ビームのアライメント作業ついて説明する。
【0024】
アライメント作業の際、ピンホール21はスライド機構22により光ビームの光路上に配置される。レーザー電源15によりレーザー光源ユニット14内部のレーザーダイオードが点灯される。レーザーダイオードは発散性の光ビームを射出する。発散性の光ビームは同ユニット内のコリメートレンズにより平行光ビームに変えられ、同ユニットの外へ射出される。
【0025】
レーザー光源ユニット14から射出された平行光ビームは、その光路上に配置されたピンホール21に到達する。平行光ビームはピンホール21によってその一部が遮断される結果、ピンホール21の穴径に応じたビーム径の平行光ビームとなって干渉計装置本体1の中に入る。
【0026】
干渉計装置本体1に入射した平行光ビームは、ビームスプリッタ3で二つの平行光ビームに分割される。ビームスプリッタ3で反射された平行光ビームすなわち測定光ビームは、ミラー8とミラー9とビームスプリッタ7とで順次反射されてCCDカメラ10に到達する。
【0027】
一方、ビームスプリッタ3を透過した平行光ビームは、レンズ4を経てピンホール5に到達するが、正しくアライメントされていない限り、ピンホール5の穴を通過し得ない。
【0028】
従って、ピンホール21が光路上に配置されたアライメント作業時の状態では、実質的に測定光ビームだけがCCDカメラ10に到達し得る。
【0029】
ピンホール21の穴径は干渉計装置本体1に入射する平行光ビームの径に対して十分に小さいため、ピンホール21を通過した平行光ビームは、平行光ビームのシフトに影響されることなく、そのチルトに応じたCCDカメラ10上の座標位置にスポット像を写し出す。
【0030】
この様子をモデル化したものを図2に示す。図2(A)は入射光ビームにシフトもチルトもない状態を示しており、この場合、CCDカメラのほぼ中央にスポット像が投影される。図2(B)はシフトはないがチルトがある状態を示しており、この場合、チルトに応じてCCDの中心位置から離れた場所にスポット像が投影される。図2(C)はシフトもチルトもある状態を示しており、ピンホールを通過した光はシフトの影響は受けず図2(B)と同様な位置にスポット像が投影される。
【0031】
従って、ピンホール5を通過する光ビームの光量が最大になるときのCCDカメラ10上における測定光ビームのスポット像の座標位置を予め調べておき、測定光ビームのスポット像がその位置に投影されるようにチルトテーブル12で平行光ビームのチルトを調整することにより、干渉計装置に対する光ビームのアライメント作業を容易に行なうことができる。
【0032】
続いて、入射する光ビームの波面の測定について説明する。
【0033】
測定の際、ピンホール21はスライド機構22により光ビームの光路から外れた位置に移動される。従って、レーザー光源ユニット14から射出された平行光ビームは、ビーム径が変えられることなく、そのまま干渉計装置本体1の中に入る。干渉計装置本体1に入射した平行光ビームは、ビームスプリッタ3で二つの平行光ビームに分割される。
【0034】
ビームスプリッタ3で分割された一方の平行光ビーム、すなわちビームスプリッタ3を透過した光ビームは、レンズ4とピンホール5とレンズ6を順次透過することにより収差が取り除かれ、参照光ビームとなり、ビームスプリッタ7に到達する。
【0035】
また、ビームスプリッタ3で分割されたもう一方の平行光ビーム、すなわちビームスプリッタ3で反射された測定光ビームは、ミラー8とミラー9で順に反射された後、ビームスプリッタ7に到達する。
【0036】
参照光ビームはビームスプリッタ7を透過してCCDカメラ10に向かい、一方、測定光ビームはビームスプリッタ7で反射されてCCDカメラ10に向かう。つまり、参照光ビームと測定光ビームはビームスプリッタ7で結合されてCCDカメラ10に到達する。
【0037】
参照光ビームと測定光ビームは互いに干渉してCCDカメラ10上に干渉縞を形成する。CCDカメラ10上に形成される干渉縞は、レーザー光源ユニット14内部のコリメートレンズにより与えられた収差に依存している。言い換えれば、干渉縞は、コリメートレンズの表面形状を反映している。
【0038】
干渉縞はCCDカメラ10で撮像され、その情報はパソコン16に取り込まれて解析され、干渉縞の画像と解析結果が表示される。
【0039】
本実施形態の干渉計装置では、アライメント作業の際にピンホール21を光ビームの光路上に適宜配置する、ピンホール21とスライド機構22から成る簡単な機構によって、入射する光ビームのアライメント作業を容易にするアライメント支援機能を実現している。従って、本実施形態によれば、装置の複雑化や大型化や高価格化を招くことなく、入射する光ビームのアライメント作業を容易に行なえる干渉計装置が提供される。
【0040】
本実施形態では、光ビームを部分的に遮って光ビームの形状を変更するための光ビーム形状変更手段はピンホール21とスライド機構22とで構成されているが、スライド機構22により光ビームの光路上に適宜配置される部材はピンホール21に限定されるものではなく、光ビームを部分的に遮る部材であればどのようなものであってもよい。
【0041】
例えば、ピンホール21に代えて、図3に示すように、光学的に透明な部材に光学的指標が描かれたチャート23が光ビームの光路上に適宜配置されてもよい。この場合、チャート23に描かれた光学的指標の模様がCCDカメラ10上に映し出され、この模様の中心が特定な座標位置に来るようにチルト調整することによりアライメントが行なえる。
【0042】
また、このようなチャート23を利用した場合には次のような利点もある。最初に、光ビームの中心がCCDカメラ10から外れるほど大きくチルトがずれていた場合であっても(ピンホール21を利用した場合に同様の状況ではそのスポット像をCCDカメラ10で確認できないが)、模様は比較的大きいので、部分的にではあるがCCDカメラ10で模様を確認することができ、確認された模様の部分からチルトの調整方向が分かるという利点がある。
【0043】
第二実施形態
本発明の第二実施形態による干渉計装置を図4に示す。図中、第一実施形態の部材と同一の参照符号を付した部材は同等の部材を示しており、その詳しい説明は記載の重複を避けるために省略する。
【0044】
本実施形態の干渉計装置は、第一実施形態の干渉計装置からピンホール21とスライド機構22を取り除き、代わりに、光学的開口の径を連続的に変更できる可変絞り24をミラー8とミラー9の間の光路上に配置した構成を有している。可変絞り24は、その開口径がアライメント作業時に小さく絞られ、測定時に大きく開放される。
【0045】
本実施形態の干渉計装置において、アライメント作業と測定は第一実施形態の干渉計装置と全く同様にして行なわれる。つまり、開口径が絞られた可変絞り24は、第一実施形態の干渉計装置における光路上に配置されたピンホール21と同様の働きをし、開口径が開放された可変絞り24は、第一実施形態の干渉計装置においてピンホール21が光路上から外されたことと同様の状態を提供する。従って、本実施形態の干渉計装置は、第一実施形態の干渉計装置と同様の利点を有している。
【0046】
ただし、本実施形態の干渉計装置では、第一実施形態の干渉計装置におけるピンホール21の位置と比較して、可変絞り24がCCDカメラ10の近くに位置しているので、その分、光ビームのチルト変化に対するCCDカメラ10上でのスポット画像の位置変化は鈍感であり、その反面、検出範囲は広い。
【0047】
また、可変絞り24がミラー8とミラー9の間の光路上に位置しているため、可変絞り24は、アライメント作業の際に、測定光ビームを部分的に遮るだけで、参照光ビームに対しては何の働きもしない。従って、参照光ビームの径は細くなっていないので、正しくアライメントされたときに、十分な光量の参照光ビームがCCDカメラ10上に投影される。これに応じて、CCDカメラ10で撮像された画像上では急に明るくなる。つまり、参照光ビームによって正しくアライメントされたことをCCDカメラ10の画像上で確認できる。
【0048】
本実施形態では、可変絞り24はミラー8とミラー9の間の光路上に配置されているが、可変絞り24の配置位置はこれに限定されるものではない。可変絞り24は、レーザー光源ユニット14からビームスプリッタ3とミラー8とミラー9とビームスプリッタ7を経由してCCDカメラ10に至る光路上の何処に配置されてもよい。
【0049】
これまで、図面を参照しながら本発明の実施の形態を述べたが、本発明は、これらの実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において様々な変形や変更が施されてもよい。
【0050】
【発明の効果】
本発明によれば、入射する光ビームのアライメント作業を容易にするアライメント支援機能が簡単な機構で実現された干渉計装置が提供される。従って、本発明の干渉計装置では、複雑でも大型でも高価でもないにも関わらず、入射する光ビームのアライメント作業を容易に行なえる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第一実施形態による干渉計装置を示している。
【図2】アライメント作業時に、光ビームのチルトに応じたCCDカメラ上の座標位置にスポット像が投影される様子をモデル化して示している。
【図3】図1の干渉計装置において、ピンホールの代わりに光路上に適宜配置される光学的指標が描かれたチャートを示している。
【図4】本発明の第二実施形態による干渉計装置を示している。
【図5】光ビームの波面を測定するタイプの干渉計装置の代表的な製品の構成を概略的に示している。
【符号の説明】
1 干渉計装置本体
3 ビームスプリッタ
4 レンズ
5 ピンホール
6 レンズ
7 ビームスプリッタ
8 ミラー
9 ミラー
10 CCDカメラ
12 チルトテーブル
13 シフトテーブル
14 レーザー光源ユニット
16 パソコン
21 ピンホール
22 スライド機構
23 チャート
24 可変絞り
Claims (4)
- 光学部品や光学系の特性を調べるために、光学部品や光学系からの光ビームの波面を測定する干渉計装置であり、
入射する光ビームを二つに分割するための光ビーム分割手段と、
光ビーム分割手段で分割された一方の光ビームから収差を取り除いて、収差のない参照光ビームを作り出すための収差除去手段と、
光ビーム分割手段で分割されたもう一方の光ビームである測定光ビームと、収差除去手段により作り出された参照光ビームとを結合して干渉させるための光ビーム結合手段と、
参照光ビームと測定光ビームの結合により生じた干渉縞を観測するための干渉縞観測手段と、
収差除去手段を経由しない光路上において、光ビームを部分的に遮って、光ビームの形状を変更するための光ビーム形状変更手段を備えており、
干渉縞観測手段によって観測される測定光ビームのスポット像の位置に基づいて、装置に入射する光ビームのチルト調整が行なわれ得る、干渉計装置。 - 請求項1の干渉計装置において、光ビーム形状変更手段は、微小な光学的開口を持つピンホールであり、このピンホールは、収差除去手段を経由しない光路上に適宜配置される、干渉計装置。
- 請求項1の干渉計装置において、光ビーム形状変更手段は、光学的指標の描かれたチャートであり、このチャートは、収差除去手段を経由しない光路上に適宜配置される、干渉計装置。
- 請求項1の干渉計装置において、光ビーム形状変更手段は、収差除去手段を経由しない光路上に配置された可変絞りである、干渉計装置。
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JP2011503526A (ja) * | 2007-10-09 | 2011-01-27 | ダンマークス テクニスク ユニバーシテット | 半導体レーザと増幅器とに基づくコヒーレントライダーシステム |
JP2011237206A (ja) * | 2010-05-07 | 2011-11-24 | Mitsutoyo Corp | 斜入射干渉計 |
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2002
- 2002-09-11 JP JP2002265722A patent/JP2004101427A/ja active Pending
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JP2015092184A (ja) * | 2007-10-09 | 2015-05-14 | ウインダー フォトニクス エー/エスWindar Photonics A/S | 半導体レーザと増幅器とに基づくコヒーレントライダーシステム |
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