JP2000249524A - 斜入射干渉計装置 - Google Patents
斜入射干渉計装置Info
- Publication number
- JP2000249524A JP2000249524A JP11049448A JP4944899A JP2000249524A JP 2000249524 A JP2000249524 A JP 2000249524A JP 11049448 A JP11049448 A JP 11049448A JP 4944899 A JP4944899 A JP 4944899A JP 2000249524 A JP2000249524 A JP 2000249524A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- interference fringe
- mirror
- observation
- screen
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 干渉縞観察用光線束を逆進させる折り返しミ
ラーを備えた斜入射干渉計装置において、干渉縞観察ス
クリーンとアライメントスクリーンとの間に所定の切換
えミラーを設けることにより、干渉縞画像の観察とアラ
イメント調整とを１台の観察カメラで行えるようにす
る。 【構成】 第２回折格子１４から斜め上方へ射出される
物体光の０次回折光と参照光の−１次回折光との光干渉
により生じる干渉縞を干渉縞観察スクリーン１８に形成
させ、その干渉縞画像を観察カメラで撮像する構成とし
た上で、その結像光学系２０を構成する結像レンズ２２
の像面側に、第２回折格子１４から水平方向に射出され
る物体光の＋１次回折光Ｂをスポット像として形成する
アライメントスクリーン４０を設ける。そして、干渉縞
観察スクリーン１８とアライメントスクリーン４０との
間に、干渉縞画像とスポット像とのいずれか一方を選択
的に観察カメラに入射させる切換えミラー３４を設け
る。
ラーを備えた斜入射干渉計装置において、干渉縞観察ス
クリーンとアライメントスクリーンとの間に所定の切換
えミラーを設けることにより、干渉縞画像の観察とアラ
イメント調整とを１台の観察カメラで行えるようにす
る。 【構成】 第２回折格子１４から斜め上方へ射出される
物体光の０次回折光と参照光の−１次回折光との光干渉
により生じる干渉縞を干渉縞観察スクリーン１８に形成
させ、その干渉縞画像を観察カメラで撮像する構成とし
た上で、その結像光学系２０を構成する結像レンズ２２
の像面側に、第２回折格子１４から水平方向に射出され
る物体光の＋１次回折光Ｂをスポット像として形成する
アライメントスクリーン４０を設ける。そして、干渉縞
観察スクリーン１８とアライメントスクリーン４０との
間に、干渉縞画像とスポット像とのいずれか一方を選択
的に観察カメラに入射させる切換えミラー３４を設け
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、干渉縞観察用光線
束を逆進させる折り返しミラーを備えた斜入射干渉計装
置に関するものである。
束を逆進させる折り返しミラーを備えた斜入射干渉計装
置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来より、可干渉光を被検面に対して斜
めに入射し測定感度を低下させることにより、ある程度
凹凸の大きい被検面の表面形状を測定可能とした斜入射
干渉計装置が知られている。
めに入射し測定感度を低下させることにより、ある程度
凹凸の大きい被検面の表面形状を測定可能とした斜入射
干渉計装置が知られている。
【０００３】この斜入射干渉計装置の代表的な構成とし
ては、図３に示すようなものが知られている。
ては、図３に示すようなものが知られている。
【０００４】この斜入射干渉計装置は、可干渉光を波面
分割手段１０２に入射させて２方向に波面分割し、一方
の光線束を被検面２ａに対して斜めに入射させてその反
射光を物体光とするとともに他方の光線束を参照光と
し、これら物体光および参照光を波面合成手段１０４に
入射させて波面合成し、この波面合成手段１０４から同
一方向に射出される物体光と参照光との光干渉により生
じる干渉縞を、結像レンズ１０６を介して観察カメラ１
０８で撮像し、その干渉縞画像に基づいて被検面２ａの
形状を測定するようになっている。
分割手段１０２に入射させて２方向に波面分割し、一方
の光線束を被検面２ａに対して斜めに入射させてその反
射光を物体光とするとともに他方の光線束を参照光と
し、これら物体光および参照光を波面合成手段１０４に
入射させて波面合成し、この波面合成手段１０４から同
一方向に射出される物体光と参照光との光干渉により生
じる干渉縞を、結像レンズ１０６を介して観察カメラ１
０８で撮像し、その干渉縞画像に基づいて被検面２ａの
形状を測定するようになっている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の斜入射干渉計装置においては、被検面２ａの各位置
から結像レンズ１０６までの光路長が異なるので、観察
カメラ１０８に撮像された干渉縞画像に台形歪みが生じ
てしまい、被検面２ａの形状測定を正確に行うことがで
きないという問題がある。
来の斜入射干渉計装置においては、被検面２ａの各位置
から結像レンズ１０６までの光路長が異なるので、観察
カメラ１０８に撮像された干渉縞画像に台形歪みが生じ
てしまい、被検面２ａの形状測定を正確に行うことがで
きないという問題がある。
【０００６】これに対し、図４に示すように、被検面２
ａと共役の位置に干渉縞観察スクリーン１１０を配置
し、この干渉縞観察スクリーン１１０に形成される干渉
縞画像を観察カメラ１０８で撮像するようにすれば、干
渉縞画像に台形歪みが生じてしまうのを防止することで
きる。同図においては、結像レンズ１０６がその第１焦
点を被検面２ａに位置させるようにして配置されるとと
もに、この結像レンズ１０６とアフォーカルにコリメー
タレンズ１１２が配置され、その第２焦点位置に干渉縞
観察スクリーン１１０が配置されている。
ａと共役の位置に干渉縞観察スクリーン１１０を配置
し、この干渉縞観察スクリーン１１０に形成される干渉
縞画像を観察カメラ１０８で撮像するようにすれば、干
渉縞画像に台形歪みが生じてしまうのを防止することで
きる。同図においては、結像レンズ１０６がその第１焦
点を被検面２ａに位置させるようにして配置されるとと
もに、この結像レンズ１０６とアフォーカルにコリメー
タレンズ１１２が配置され、その第２焦点位置に干渉縞
観察スクリーン１１０が配置されている。
【０００７】このような構成を採用した場合において、
図５に示すように、結像レンズ１０６の第２焦点位置に
折り返しミラー１１４を設けて干渉縞観察用光線束を逆
進させるとともに、結像レンズ１０６と波面合成手段１
０４との間にハーフミラー１１６を設けてその偏向反射
光路内に干渉縞観察スクリーン１１０を配置するように
すれば、干渉計装置の全長が長くなってしまうのを防止
することができる。
図５に示すように、結像レンズ１０６の第２焦点位置に
折り返しミラー１１４を設けて干渉縞観察用光線束を逆
進させるとともに、結像レンズ１０６と波面合成手段１
０４との間にハーフミラー１１６を設けてその偏向反射
光路内に干渉縞観察スクリーン１１０を配置するように
すれば、干渉計装置の全長が長くなってしまうのを防止
することができる。
【０００８】ところで、正確な干渉縞画像を得るために
は、被検面２ａを所定位置に正確に位置決めすることが
重要である。このため従来より、結像レンズ１０６の像
面側に、波面合成手段から干渉縞観察用光線束とは異な
る方向に射出される物体光をスポット像として形成する
アライメントスクリーン１１８を設け、このスポット像
を観察カメラ１２０で撮像することにより上記スポット
像に基づいて被検面２ａのアライメント調整を行う工夫
がなされている。
は、被検面２ａを所定位置に正確に位置決めすることが
重要である。このため従来より、結像レンズ１０６の像
面側に、波面合成手段から干渉縞観察用光線束とは異な
る方向に射出される物体光をスポット像として形成する
アライメントスクリーン１１８を設け、このスポット像
を観察カメラ１２０で撮像することにより上記スポット
像に基づいて被検面２ａのアライメント調整を行う工夫
がなされている。
【０００９】しかしながら、このような干渉計装置にお
いては、干渉縞画像観察用の観察カメラ１０８とアライ
メント調整用の観察カメラ１２０とが必要になる。
いては、干渉縞画像観察用の観察カメラ１０８とアライ
メント調整用の観察カメラ１２０とが必要になる。
【００１０】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たものであって、干渉縞観察用光線束を逆進させる折り
返しミラーを備えた斜入射干渉計装置において、干渉縞
画像の観察とアライメント調整とを１台の観察カメラで
行うことができる斜入射干渉計装置を提供することを目
的とするものである。
たものであって、干渉縞観察用光線束を逆進させる折り
返しミラーを備えた斜入射干渉計装置において、干渉縞
画像の観察とアライメント調整とを１台の観察カメラで
行うことができる斜入射干渉計装置を提供することを目
的とするものである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明は、干渉縞観察ス
クリーンとアライメントスクリーンとの間に所定の切換
えミラーを設けることにより、上記目的達成を図るよう
にしたものである。
クリーンとアライメントスクリーンとの間に所定の切換
えミラーを設けることにより、上記目的達成を図るよう
にしたものである。
【００１２】すなわち、本発明に係る斜入射干渉計装置
は、可干渉光を波面分割手段に入射させて２方向に波面
分割し、一方の光線束を被検面に対して斜めに入射させ
てその反射光を物体光とするとともに他方の光線束を参
照光とし、これら物体光および参照光を波面合成手段に
入射させて波面合成し、この波面合成手段から同一方向
に射出される前記物体光と前記参照光との光干渉により
生じる干渉縞を干渉縞観察スクリーンに形成させ、この
干渉縞観察スクリーンに形成された干渉縞画像を観察カ
メラで撮像するように構成された斜入射干渉計装置にお
いて、前記干渉縞を前記干渉縞観察スクリーンに形成す
る結像光学系が、前記同一方向に射出される干渉縞観察
用光線束を逆進させる折り返しミラーと、この折り返し
ミラーと前記波面合成手段との間に、前記被検面および
前記折り返しミラーに第１および第２焦点を位置させる
ようにして設けられた結像レンズと、この結像レンズと
前記波面合成手段との間に設けられ、前記折り返しミラ
ーからの逆進光の少なくとも一部を偏向反射させるハー
フミラーとを備えてなり、前記干渉縞観察スクリーン
が、前記ハーフミラーからの偏向反射光路内における前
記被検面と共役の位置に配置されており、前記結像レン
ズの像面側に、前記波面合成手段から前記干渉縞観察用
光線束とは異なる方向に射出される前記物体光をスポッ
ト像として形成するアライメントスクリーンが設けられ
ており、前記干渉縞観察スクリーンと前記アライメント
スクリーンとの間に、前記干渉縞画像と前記スポット像
とのいずれか一方を選択的に前記観察カメラに入射させ
る切換えミラーが設けられていることを特徴とするもの
である。
は、可干渉光を波面分割手段に入射させて２方向に波面
分割し、一方の光線束を被検面に対して斜めに入射させ
てその反射光を物体光とするとともに他方の光線束を参
照光とし、これら物体光および参照光を波面合成手段に
入射させて波面合成し、この波面合成手段から同一方向
に射出される前記物体光と前記参照光との光干渉により
生じる干渉縞を干渉縞観察スクリーンに形成させ、この
干渉縞観察スクリーンに形成された干渉縞画像を観察カ
メラで撮像するように構成された斜入射干渉計装置にお
いて、前記干渉縞を前記干渉縞観察スクリーンに形成す
る結像光学系が、前記同一方向に射出される干渉縞観察
用光線束を逆進させる折り返しミラーと、この折り返し
ミラーと前記波面合成手段との間に、前記被検面および
前記折り返しミラーに第１および第２焦点を位置させる
ようにして設けられた結像レンズと、この結像レンズと
前記波面合成手段との間に設けられ、前記折り返しミラ
ーからの逆進光の少なくとも一部を偏向反射させるハー
フミラーとを備えてなり、前記干渉縞観察スクリーン
が、前記ハーフミラーからの偏向反射光路内における前
記被検面と共役の位置に配置されており、前記結像レン
ズの像面側に、前記波面合成手段から前記干渉縞観察用
光線束とは異なる方向に射出される前記物体光をスポッ
ト像として形成するアライメントスクリーンが設けられ
ており、前記干渉縞観察スクリーンと前記アライメント
スクリーンとの間に、前記干渉縞画像と前記スポット像
とのいずれか一方を選択的に前記観察カメラに入射させ
る切換えミラーが設けられていることを特徴とするもの
である。
【００１３】また、前記結像レンズと折り返しミラーと
の間に、前記干渉縞観察用光線束および前記スポット像
を形成する光線束を、前記ハーフミラーによる前記干渉
縞観察用光線束の偏向反射方向と略同一方向へ偏向反射
させる偏向ミラーが設けられていることが好ましい。
の間に、前記干渉縞観察用光線束および前記スポット像
を形成する光線束を、前記ハーフミラーによる前記干渉
縞観察用光線束の偏向反射方向と略同一方向へ偏向反射
させる偏向ミラーが設けられていることが好ましい。
【００１４】さらに、前記アライメントスクリーンが、
前記切換えミラーによる切換え動作と連動して、前記ス
ポット像を形成する光線束の光路内のアライメント位置
と該光路外の退避位置との間を移動するように構成され
ていることが好ましい。
前記切換えミラーによる切換え動作と連動して、前記ス
ポット像を形成する光線束の光路内のアライメント位置
と該光路外の退避位置との間を移動するように構成され
ていることが好ましい。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態について
図面を参照しながら説明する。
図面を参照しながら説明する。
【００１６】図１は、本発明の一実施形態に係る斜入射
干渉計装置１０を示す側面図であり、図２はその平面図
である。
干渉計装置１０を示す側面図であり、図２はその平面図
である。
【００１７】これらの図に示すように、この斜入射干渉
計装置１０は、水平方向に所定間隔を置いて対向配置さ
れた第１および第２回折格子１２、１４の中央下方位置
に被検体２を支持する被検体支持部材１６が設けられて
なるバーチ型の斜入射干渉計装置であって、図示しない
光源から射出されて平行光とされた可干渉光を第１回折
格子１２（波面分割手段）に入射させて複数の回折光に
波面分割し、＋１次回折光を被検体２の被検面２ａに対
して斜めに入射させてその反射光を物体光とするととも
に０次回折光を参照光とし、これら物体光および参照光
を第２回折格子１４（波面合成手段）に入射させて波面
合成するようになっている。
計装置１０は、水平方向に所定間隔を置いて対向配置さ
れた第１および第２回折格子１２、１４の中央下方位置
に被検体２を支持する被検体支持部材１６が設けられて
なるバーチ型の斜入射干渉計装置であって、図示しない
光源から射出されて平行光とされた可干渉光を第１回折
格子１２（波面分割手段）に入射させて複数の回折光に
波面分割し、＋１次回折光を被検体２の被検面２ａに対
して斜めに入射させてその反射光を物体光とするととも
に０次回折光を参照光とし、これら物体光および参照光
を第２回折格子１４（波面合成手段）に入射させて波面
合成するようになっている。
【００１８】そして、この斜入射干渉計装置１０におい
ては、第２回折格子１４から斜め上方へ射出される物体
光の０次回折光と参照光の−１次回折光との光干渉によ
り生じる干渉縞を、結像光学系２０により干渉縞観察ス
クリーン１８に形成させるようになっている。
ては、第２回折格子１４から斜め上方へ射出される物体
光の０次回折光と参照光の−１次回折光との光干渉によ
り生じる干渉縞を、結像光学系２０により干渉縞観察ス
クリーン１８に形成させるようになっている。
【００１９】上記結像光学系２０は、結像レンズ２２
と、偏向ミラー２４と、折り返しミラー２６と、偏光ハ
ーフミラー２８（ハーフミラー）とを備えてなってい
る。
と、偏向ミラー２４と、折り返しミラー２６と、偏光ハ
ーフミラー２８（ハーフミラー）とを備えてなってい
る。
【００２０】また、結像レンズ２２は、第１焦点距離お
よび第２焦点距離が等しい両凸レンズであって、その第
１焦点を被検面２ａに位置させるようにして、物体光の
０次回折光および参照光の−１次回折光からなる干渉縞
観察用光線束Ａの光路内に設けられている。
よび第２焦点距離が等しい両凸レンズであって、その第
１焦点を被検面２ａに位置させるようにして、物体光の
０次回折光および参照光の−１次回折光からなる干渉縞
観察用光線束Ａの光路内に設けられている。
【００２１】また、偏向ミラー２４は、この結像レンズ
２２の像面側に設けられており、干渉縞観察用光線束Ａ
を鉛直下方へ偏向反射させるようになっている。
２２の像面側に設けられており、干渉縞観察用光線束Ａ
を鉛直下方へ偏向反射させるようになっている。
【００２２】さらに、折り返しミラー２６は、結像レン
ズ２２の第２焦点に位置するようにして上向きに設けら
れており、干渉縞観察用光線束Ａを逆進させるようにな
っている。この折り返しミラー２６は、干渉縞観察用光
線束Ａを透過させる窓部材３２を有する防塵筐体３０に
収容されている。窓部材３２は、１／４波長板からな
り、折り返しミラー２６と非平行になるように配置され
ている。
ズ２２の第２焦点に位置するようにして上向きに設けら
れており、干渉縞観察用光線束Ａを逆進させるようにな
っている。この折り返しミラー２６は、干渉縞観察用光
線束Ａを透過させる窓部材３２を有する防塵筐体３０に
収容されている。窓部材３２は、１／４波長板からな
り、折り返しミラー２６と非平行になるように配置され
ている。
【００２３】また、偏光ハーフミラー２８は、結像レン
ズ２２と第２回折格子１４との間に設けられており、折
り返しミラー２０からの逆進光を下方へ偏向反射させる
ようになっている。この偏光ハーフミラー２８へ入射す
る逆進光は、１／４波長板３２により９０°回転してい
るので、偏光ハーフミラー２８を透過することなくすべ
て下方へ偏向反射することとなる。
ズ２２と第２回折格子１４との間に設けられており、折
り返しミラー２０からの逆進光を下方へ偏向反射させる
ようになっている。この偏光ハーフミラー２８へ入射す
る逆進光は、１／４波長板３２により９０°回転してい
るので、偏光ハーフミラー２８を透過することなくすべ
て下方へ偏向反射することとなる。
【００２４】干渉縞観察スクリーン１８は、偏光ハーフ
ミラー２８により偏向された偏向反射光路内における被
検面２ａと共役の位置に配置されている。その際、干渉
縞観察スクリーン１８が鉛直面上に配置されるよう、偏
光ハーフミラー２８の傾斜角度が設定されている。そし
て、この干渉縞観察スクリーン１８に形成される干渉縞
画像を、切換えミラー３４および固定ミラー３６を介し
てＣＣＤ撮像素子を有する観察カメラ３８で撮像するよ
うになっている。この観察カメラ３８は、ズーム機能お
よび倍率切換え機能を有している。
ミラー２８により偏向された偏向反射光路内における被
検面２ａと共役の位置に配置されている。その際、干渉
縞観察スクリーン１８が鉛直面上に配置されるよう、偏
光ハーフミラー２８の傾斜角度が設定されている。そし
て、この干渉縞観察スクリーン１８に形成される干渉縞
画像を、切換えミラー３４および固定ミラー３６を介し
てＣＣＤ撮像素子を有する観察カメラ３８で撮像するよ
うになっている。この観察カメラ３８は、ズーム機能お
よび倍率切換え機能を有している。
【００２５】また、結像レンズ２２の像面側には、第２
回折格子１４から水平方向に射出される物体光の＋１次
回折光Ｂをスポット像として形成するアライメントスク
リーン４０が設けられている。そして、物体光の＋１次
回折光Ｂは、偏向ミラー２４により下方へ偏向反射した
後、該偏向ミラー２４の下方に設けられたスポット像調
整ミラー４２により干渉縞観察スクリーン１８へ向けて
水平方向に偏向反射し、干渉縞観察スクリーン１８と対
向するように鉛直に配置されたアライメントスクリーン
４０に入射し、上記スポット像を形成するようになって
いる。スポット像調整ミラー４２は、＋１次回折光Ｂの
光軸を観察カメラ３８の光軸と一致させるように位置決
めがなされている。
回折格子１４から水平方向に射出される物体光の＋１次
回折光Ｂをスポット像として形成するアライメントスク
リーン４０が設けられている。そして、物体光の＋１次
回折光Ｂは、偏向ミラー２４により下方へ偏向反射した
後、該偏向ミラー２４の下方に設けられたスポット像調
整ミラー４２により干渉縞観察スクリーン１８へ向けて
水平方向に偏向反射し、干渉縞観察スクリーン１８と対
向するように鉛直に配置されたアライメントスクリーン
４０に入射し、上記スポット像を形成するようになって
いる。スポット像調整ミラー４２は、＋１次回折光Ｂの
光軸を観察カメラ３８の光軸と一致させるように位置決
めがなされている。
【００２６】また、切換えミラー３４は、干渉縞観察ス
クリーン１８とアライメントスクリーン４０との間にお
いて、ミラー支持部材４４に鉛直軸線回りに回動可能に
支持されており、干渉縞画像とスポット像とのいずれか
一方を選択的に観察カメラ３８に入射させるようになっ
ている。
クリーン１８とアライメントスクリーン４０との間にお
いて、ミラー支持部材４４に鉛直軸線回りに回動可能に
支持されており、干渉縞画像とスポット像とのいずれか
一方を選択的に観察カメラ３８に入射させるようになっ
ている。
【００２７】さらに、アライメントスクリーン４０は、
切換えミラー３４による切換え動作と連動して、図示し
ない駆動機構により、＋１次回折光Ｂの光路内のアライ
メント位置と該光路外の退避位置との間を移動するよう
に構成されている。
切換えミラー３４による切換え動作と連動して、図示し
ない駆動機構により、＋１次回折光Ｂの光路内のアライ
メント位置と該光路外の退避位置との間を移動するよう
に構成されている。
【００２８】次に、本実施形態の作用効果について説明
する。
する。
【００２９】本実施形態に係る斜入射干渉計装置１０
は、第２回折格子１４から斜め上方へ射出される物体光
の０次回折光と参照光の−１次回折光との光干渉により
生じる干渉縞を干渉縞観察スクリーン１８に形成させ、
その干渉縞画像を観察カメラ３８で撮像するようになっ
ており、また、その結像光学系２０を構成する結像レン
ズ２２の像面側には、第２回折格子１４から水平方向に
射出される物体光の＋１次回折光Ｂをスポット像として
形成するアライメントスクリーン４０が設けられている
が、干渉縞観察スクリーン１８とアライメントスクリー
ン４０との間には、干渉縞画像とスポット像とのいずれ
か一方を選択的に観察カメラ３８に入射させる切換えミ
ラー３４が設けられているので、干渉縞画像の観察とア
ライメント調整とを１台の観察カメラ３８で行うことが
できる。
は、第２回折格子１４から斜め上方へ射出される物体光
の０次回折光と参照光の−１次回折光との光干渉により
生じる干渉縞を干渉縞観察スクリーン１８に形成させ、
その干渉縞画像を観察カメラ３８で撮像するようになっ
ており、また、その結像光学系２０を構成する結像レン
ズ２２の像面側には、第２回折格子１４から水平方向に
射出される物体光の＋１次回折光Ｂをスポット像として
形成するアライメントスクリーン４０が設けられている
が、干渉縞観察スクリーン１８とアライメントスクリー
ン４０との間には、干渉縞画像とスポット像とのいずれ
か一方を選択的に観察カメラ３８に入射させる切換えミ
ラー３４が設けられているので、干渉縞画像の観察とア
ライメント調整とを１台の観察カメラ３８で行うことが
できる。
【００３０】すなわち、図２において実線で示す位置に
切換えミラー３４を配置し、干渉縞画像を観察カメラ３
８に入射させることにより、干渉縞画像の観察を行うこ
とができ、一方、同図において２点鎖線で示す位置に切
換えミラー３４を配置し、スポット像を観察カメラ３８
に入射させることにより、被検面２ａのアライメント調
整を行うことができる。
切換えミラー３４を配置し、干渉縞画像を観察カメラ３
８に入射させることにより、干渉縞画像の観察を行うこ
とができ、一方、同図において２点鎖線で示す位置に切
換えミラー３４を配置し、スポット像を観察カメラ３８
に入射させることにより、被検面２ａのアライメント調
整を行うことができる。
【００３１】特に、本実施形態においては、干渉縞観察
スクリーン１８を被検面２ａと共役の位置に配置するた
め、結像レンズ２２と第２回折格子１４との間に、折り
返しミラー２６からの逆進光を下方へ偏向反射させる偏
光ハーフミラー２８が設けられているが、結像レンズ２
２と折り返しミラー２６との間には、干渉縞観察用光線
束Ａおよび物体光の＋１次回折光Ｂを下方へ偏向反射さ
せる偏向ミラー２４が設けられているので、干渉縞観察
スクリーン１８とアライメントスクリーン４０とを比較
的近距離において対向配置することが可能となる。この
ため、切換えミラー３４を、干渉縞観察スクリーン１８
およびアライメントスクリーン４０の各々と観察カメラ
３８との間の光路長が互いに略等しくなる位置に容易に
配置することができ、しかも装置全長を短縮することが
できる。
スクリーン１８を被検面２ａと共役の位置に配置するた
め、結像レンズ２２と第２回折格子１４との間に、折り
返しミラー２６からの逆進光を下方へ偏向反射させる偏
光ハーフミラー２８が設けられているが、結像レンズ２
２と折り返しミラー２６との間には、干渉縞観察用光線
束Ａおよび物体光の＋１次回折光Ｂを下方へ偏向反射さ
せる偏向ミラー２４が設けられているので、干渉縞観察
スクリーン１８とアライメントスクリーン４０とを比較
的近距離において対向配置することが可能となる。この
ため、切換えミラー３４を、干渉縞観察スクリーン１８
およびアライメントスクリーン４０の各々と観察カメラ
３８との間の光路長が互いに略等しくなる位置に容易に
配置することができ、しかも装置全長を短縮することが
できる。
【００３２】ところで、このように干渉縞観察スクリー
ン１８とアライメントスクリーン４０とを比較的近距離
に配置した場合、アライメントスクリーン４０に形成さ
れるスポット像からの散乱光が干渉縞画像の観察に悪影
響を及ぼすおそれがあるが、本実施形態においては、ア
ライメントスクリーン４０が、切換えミラー３４による
切換え動作と連動して、物体光の＋１次回折光Ｂの光路
内のアライメント位置と該光路外の退避位置との間を移
動するように構成されているので、切換えミラー３４が
干渉縞画像の観察を行う位置にあるときにはアライメン
トスクリーン４０を上記退避位置に位置せしめることに
より、スポット像からの散乱光発生のおそれをなくすこ
とができる。
ン１８とアライメントスクリーン４０とを比較的近距離
に配置した場合、アライメントスクリーン４０に形成さ
れるスポット像からの散乱光が干渉縞画像の観察に悪影
響を及ぼすおそれがあるが、本実施形態においては、ア
ライメントスクリーン４０が、切換えミラー３４による
切換え動作と連動して、物体光の＋１次回折光Ｂの光路
内のアライメント位置と該光路外の退避位置との間を移
動するように構成されているので、切換えミラー３４が
干渉縞画像の観察を行う位置にあるときにはアライメン
トスクリーン４０を上記退避位置に位置せしめることに
より、スポット像からの散乱光発生のおそれをなくすこ
とができる。
【００３３】本実施形態においては、第２回折格子１４
から斜め上方へ射出される物体光の０次回折光と参照光
の−１次回折光との光干渉により生じる干渉縞を干渉縞
観察スクリーン１８に形成するように構成されている
が、第２回折格子１４から水平方向に射出される物体光
の＋１次回折光と参照光の０次回折光との光干渉により
生じる干渉縞を干渉縞観察スクリーン１８に形成するよ
うにしてもよい。このようにした場合には、物体光の０
次回折光（あるいは物体光の−１次回折光）をスポット
像として形成するようにアライメントスクリーン４０を
設けるようにすればよい。
から斜め上方へ射出される物体光の０次回折光と参照光
の−１次回折光との光干渉により生じる干渉縞を干渉縞
観察スクリーン１８に形成するように構成されている
が、第２回折格子１４から水平方向に射出される物体光
の＋１次回折光と参照光の０次回折光との光干渉により
生じる干渉縞を干渉縞観察スクリーン１８に形成するよ
うにしてもよい。このようにした場合には、物体光の０
次回折光（あるいは物体光の−１次回折光）をスポット
像として形成するようにアライメントスクリーン４０を
設けるようにすればよい。
【００３４】また、本実施形態においては、波面分割手
段および波面合成手段が回折格子１２、１４で構成され
ているが、これらをハーフミラー、プリズム等で構成す
るようにしてもよい。
段および波面合成手段が回折格子１２、１４で構成され
ているが、これらをハーフミラー、プリズム等で構成す
るようにしてもよい。
【００３５】
【発明の効果】本発明に係る斜入射干渉計装置は、波面
合成手段から同一方向に射出される物体光と参照光との
光干渉により生じる干渉縞を干渉縞観察スクリーンに形
成させ、その干渉縞画像を観察カメラで撮像するように
なっており、また、その結像光学系を構成する結像レン
ズの像面側には、波面合成手段から干渉縞観察用光線束
とは異なる方向に射出される物体光をスポット像として
形成するアライメントスクリーンが設けられているが、
干渉縞観察スクリーンとアライメントスクリーンとの間
には、干渉縞画像とスポット像とのいずれか一方を選択
的に観察カメラに入射させる切換えミラーが設けられて
いるので、干渉縞画像の観察とアライメント調整とを１
台の観察カメラで行うことができる。
合成手段から同一方向に射出される物体光と参照光との
光干渉により生じる干渉縞を干渉縞観察スクリーンに形
成させ、その干渉縞画像を観察カメラで撮像するように
なっており、また、その結像光学系を構成する結像レン
ズの像面側には、波面合成手段から干渉縞観察用光線束
とは異なる方向に射出される物体光をスポット像として
形成するアライメントスクリーンが設けられているが、
干渉縞観察スクリーンとアライメントスクリーンとの間
には、干渉縞画像とスポット像とのいずれか一方を選択
的に観察カメラに入射させる切換えミラーが設けられて
いるので、干渉縞画像の観察とアライメント調整とを１
台の観察カメラで行うことができる。
【図１】本発明の一実施形態に係る斜入射干渉計装置を
示す側面図
示す側面図
【図２】図１の斜入射干渉計装置を示す平面図
【図３】従来例を示す側面図
【図４】他の従来例を示す側面図
【図５】さらに他の従来例を示す側面図
２ 被検体 ２ａ 被検面 １０ 斜入射干渉計装置 １２ 第１回折格子（波面分割手段） １４ 第２回折格子（波面合成手段） １６ 被検体支持部材 １８ 干渉縞観察スクリーン ２０ 結像光学系 ２２ 結像レンズ ２４ 偏向ミラー ２６ 折り返しミラー ２８ 偏光ハーフミラー（ハーフミラー） ３０ 防塵筐体 ３２ 窓部材 ３４ 切換えミラー ３６ 固定ミラー ３８ 観察カメラ ４０ アライメントスクリーン ４２ スポット像調整ミラー ４４ ミラー支持部材 Ａ 干渉縞観察用光線束 Ｂ 物体光の＋１次回折光（スポット像を形成する光線
束）
束）
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2F064 AA09 BB07 CC10 GG12 GG22 GG33 GG38 GG49 HH03 HH08 2F065 AA45 AA49 BB13 DD02 FF51 GG02 HH03 HH12 JJ03 JJ14 JJ26 LL12 LL32 LL36 LL37 LL42
Claims (3)
- 【請求項１】 可干渉光を波面分割手段に入射させて２
方向に波面分割し、一方の光線束を被検面に対して斜め
に入射させてその反射光を物体光とするとともに他方の
光線束を参照光とし、これら物体光および参照光を波面
合成手段に入射させて波面合成し、この波面合成手段か
ら同一方向に射出される前記物体光と前記参照光との光
干渉により生じる干渉縞を干渉縞観察スクリーンに形成
させ、この干渉縞観察スクリーンに形成された干渉縞画
像を観察カメラで撮像するように構成された斜入射干渉
計装置において、 前記干渉縞を前記干渉縞観察スクリーンに形成する結像
光学系が、前記同一方向に射出される干渉縞観察用光線
束を逆進させる折り返しミラーと、この折り返しミラー
と前記波面合成手段との間に、前記被検面および前記折
り返しミラーに第１および第２焦点を位置させるように
して設けられた結像レンズと、この結像レンズと前記波
面合成手段との間に設けられ、前記折り返しミラーから
の逆進光の少なくとも一部を偏向反射させるハーフミラ
ーとを備えてなり、 前記干渉縞観察スクリーンが、前記ハーフミラーからの
偏向反射光路内における前記被検面と共役の位置に配置
されており、 前記結像レンズの像面側に、前記波面合成手段から前記
干渉縞観察用光線束とは異なる方向に射出される前記物
体光をスポット像として形成するアライメントスクリー
ンが設けられており、 前記干渉縞観察スクリーンと前記アライメントスクリー
ンとの間に、前記干渉縞画像と前記スポット像とのいず
れか一方を選択的に前記観察カメラに入射させる切換え
ミラーが設けられていることを特徴とする斜入射干渉計
装置。 - 【請求項２】 前記結像レンズと折り返しミラーとの間
に、前記干渉縞観察用光線束および前記スポット像を形
成する光線束を、前記ハーフミラーによる前記干渉縞観
察用光線束の偏向反射方向と略同一方向へ偏向反射させ
る偏向ミラーが設けられていることを特徴とする請求項
１記載の斜入射干渉計装置。 - 【請求項３】 前記アライメントスクリーンが、前記切
換えミラーによる切換え動作と連動して、前記スポット
像を形成する光線束の光路内のアライメント位置と該光
路外の退避位置との間を移動するように構成されている
ことを特徴とする請求項１または２記載の斜入射干渉計
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11049448A JP2000249524A (ja) | 1999-02-26 | 1999-02-26 | 斜入射干渉計装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11049448A JP2000249524A (ja) | 1999-02-26 | 1999-02-26 | 斜入射干渉計装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000249524A true JP2000249524A (ja) | 2000-09-14 |
Family
ID=12831429
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11049448A Withdrawn JP2000249524A (ja) | 1999-02-26 | 1999-02-26 | 斜入射干渉計装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000249524A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002296004A (ja) * | 2001-03-30 | 2002-10-09 | Fuji Photo Optical Co Ltd | 斜入射干渉計装置の結像光学系 |
| CN111693733A (zh) * | 2020-06-05 | 2020-09-22 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 一种双视场近红外多普勒差分干涉仪 |
-
1999
- 1999-02-26 JP JP11049448A patent/JP2000249524A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002296004A (ja) * | 2001-03-30 | 2002-10-09 | Fuji Photo Optical Co Ltd | 斜入射干渉計装置の結像光学系 |
| JP4518360B2 (ja) * | 2001-03-30 | 2010-08-04 | フジノン株式会社 | 斜入射干渉計装置の結像光学系 |
| CN111693733A (zh) * | 2020-06-05 | 2020-09-22 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 一种双视场近红外多普勒差分干涉仪 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100474100B1 (ko) | 공초점 현미경 및 이것을 이용한 높이 측정방법 | |
| JP3970998B2 (ja) | 電動スキャニングテーブル付き共焦点顕微鏡 | |
| JP3440465B2 (ja) | マルチスリット走査撮像装置 | |
| JP3350918B2 (ja) | ２次元配列型共焦点光学装置 | |
| TWI500901B (zh) | 測量裝置 | |
| JPH05129182A (ja) | 面位置検出装置 | |
| JP2629948B2 (ja) | エンコーダー | |
| JP2001512232A (ja) | 画像生成フーリエ分光計に用いる光学装置とその使用方法 | |
| JP2000275027A (ja) | スリット共焦点顕微鏡とそれを用いた表面形状計測装置 | |
| NL8601278A (nl) | Inrichting voor het detekteren van een vergrotingsfout in een optisch afbeeldingssysteem. | |
| US4932781A (en) | Gap measuring apparatus using interference fringes of reflected light | |
| JPH11160018A (ja) | 非接触測定装置 | |
| JP3564210B2 (ja) | 共焦点光学装置 | |
| US6643026B2 (en) | Optical system for oblique incidence interferometer and apparatus using the same | |
| US5444536A (en) | Apparatus for measuring the curvature of a profile, such as an edge of a turbine blade | |
| JP2006105835A (ja) | 形状測定方法及び形状測定装置 | |
| JPH10239036A (ja) | ３次元計測用光学装置 | |
| JP2000249524A (ja) | 斜入射干渉計装置 | |
| JP2003004654A (ja) | 光学式走査装置及び欠陥検出装置 | |
| JP4148592B2 (ja) | 複屈折測定方法及び複屈折測定装置 | |
| JPH07239216A (ja) | 共焦点型三次元計測装置及び高さ計測方法 | |
| JP2550279B2 (ja) | 光学装置 | |
| JP2000249525A (ja) | 斜入射干渉計装置 | |
| JP2002286408A (ja) | 斜入射干渉計用光学系およびこれを用いた装置 | |
| JP2002296004A (ja) | 斜入射干渉計装置の結像光学系 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20060509 |