JP4516508B2 - ディスク洗浄装置 - Google Patents

Description

この発明は、ディスク洗浄装置に関し、詳しくは、ウエハやハードディスク、光ディスクようなディスク（円板）をスクラブ洗浄するディスク洗浄装置において、バッチ方式で複数のディスクを同時にスクラブ洗浄することが可能であり、洗浄処理のスループットを向上させることができ、装置の小型化に適したディスク洗浄装置に関する。

例えば、ハードディスクのサブストレートなどでは、研削、研磨、スパッタリング、メッキ等の工程の後にディスクの洗浄が行われている。このようなハードディスクや、ウエハのようなディスクの洗浄には、複数の洗浄工程と洗浄後の乾燥工程とがある。
洗浄工程では、通常、垂直に複数枚のディスクを配列したキャリア（あるいはトレイ）を洗浄液の槽に浸けて超音波等により洗浄する装置が知られている。この場合には、洗浄後のディスクの乾燥は、キャリア（あるいはトレイ）を乾燥室に搬送してそこで行われる。
このようなキャリア洗浄に換えて、シャワー槽、薬液槽、超音波槽、純水槽それぞれにコンベアを設けて、ディスクを各槽においてコンベア搬送して順次各槽間を移動させて洗浄するスクラブ洗浄装置も公知である（特許文献１）。
これらとは別に、ブラシ洗浄（スクラブ洗浄）、ジェット洗浄、シャワー洗浄という複数の洗浄室を放射状に配置して、ディスクを垂直にターンテーブルに保持してディスクを回転移動させて、ディスクの汚れ度合いに応じて洗浄手段を選択して洗浄する技術が公知である（特許文献２）。
特開２００１−９６２４５号公報 特開２００１−２９９０５号公報

また、多数の円板ブラシを間隙を持って一軸に連続的に挿着して組立て、円板ブラシの間隙にディスクの一部を挟み込むようにして多数のディスクを同時にスクラブ洗浄する技術も公知である（特許文献３）。
なお、ブラシ洗浄では、通常のブラシに換えてこれに類するものとして多孔質のスポンジを回転ディスクの表面に接触させて洗浄することが行われている。この明細書および特許請求の範囲では、このようなスポンジもブラシの概念に含めるものである。
特開平１１−１２９３４９号公報

ハードディスクは、現在では自動車製品や家電製品、音響製品の分野にまで浸透し、２．５インチから１．８インチに、さらには１．０インチ以下のハードディスク駆動装置が内蔵され、使用されてきている。ハードディスク駆動装置は、さらに小型化される傾向にある。しかも、ハードディスク駆動装置自体の製品単価は低下しかつ多量のハードディスク駆動装置をコストダウンして製造することがメーカには要請されている。
そのため、ディスク洗浄装置にあっても多量のディスクを同時に洗浄することの要請がある。しかし、前記したような従来のディスク洗浄装置は、全体的にはバッチ処理ができてもスクラブ洗浄部分だけは枚葉式となっていて、ディスクを個別的に洗浄することになる。そのため、２．５インチ以下の小型のディスクを多数同時に処理する点では適してはいない。
また、スポンジを含めて、スクラブ洗浄の回転ブラシは、ディスク表面の両面に接触させるために、通常、ディスクと回転ブラシとにそれぞれに独立した回転軸が必要になり、回転洗浄機構が大型化する問題がある。
多数の円板ブラシを間隙を持って一軸に挿着してスクラブ洗浄をする特許文献３の場合であってもディスクと円板ブラシとの回転軸がそれぞれ必要となり、大きな径の円板ブラシを独立に設けてディスクに外側からその先端部を接触しなければならないので、やはり回転洗浄機構が大型化し、小型のディスク洗浄には適していない。
この発明の目的は、このような従来技術の問題点を解決するものであって、バッチ方式でスクラブ洗浄することが可能であり、洗浄処理のスループットを向上させることができ、装置の小型化に適したディスク洗浄装置を提供することにある。

このような目的を達成するための第１の発明のディスク洗浄装置の特徴は、回転ブラシを所定の長さの円筒状あるいは円板状のブラシとして回転ブラシが複数個挿着された回転軸を有し隣接する前後の回転ブラシのブラシ面の間にディスクが挿入されて保持され回転ブラシを回転させる回転ブラシユニットと、回転ブラシの回転による回転軸を中心とする保持したディスクの公転を阻止し自転を許容するためのディスク公転防止ストッパとを有し、前記ディスク公転防止ストッパと前記回転軸とに前記ディスクの外周が当接しかつ前記回転ブラシの回転とにより前記ディスクの自転がなされるものである。

このように、この発明にあっては、所定の長さの円筒状あるいは円板状のブラシ（スポンジあるいはスポンジブラシ）を回転軸に複数連続的に挿着してこれら円筒状あるいは円板状のブラシの隣接する前後の回転ブラシのブラシ面の間にディスクを挿着して保持するようにしている。これにより、ディスクが回転ブラシユニットに保持状態になるので、回転ブラシの回転による回転軸を中心とする保持したディスクの公転をディスク公転防止ストッパで阻止すれば、ディスクの公転は阻止されてディスクは、摩擦接触による回転ブラシの回転に応じて自転することができる。これによりディスクの洗浄が可能になる。しかも、ディスクを回転させる回転軸が不要となるので、小型のディスク洗浄装置を実現することができる。
特に、ディスクを複数枚として挿入される各ディスクの位置に対応して回転軸側に溝を設けて回転軸による駆動を加えてディスクをより回転し易くし、公転防止ストッパをローラあるいは同様に対応する位置に溝を付けたローラとすることで、ディスクの位置が一定となるので、回転ブラシとの摩擦力を安定させることができる。これにより、ディスクに傷がつかないように摩擦力を小さく調整することができる。
しかも、この発明にあっては、回転軸を回転したときには同時に回転ブラシによるディスクのスクラブ洗浄が開始状態に入っているので、回転軸を回転させるだけでスクラブ洗浄状態に短時間で入ることができ、スループットが向上する。
また、隣接する円筒状あるいは円板状のブラシの前側の底部ブラシ面と後側の頭部ブラシ面との間にはディスクが挿着され保持されるので、２．５インチ以下の小型のディスクほど保持し易く、回転ブラシを駆動する回転軸を１本として円筒状あるいは円板状のブラシを複数個連続的に挿着する構造を採るので、装置全体を小型化することができる。
その結果、バッチ方式でディスクをスクラブ洗浄することが可能となり、複数枚のディスクも同時に洗浄することも可能であり、洗浄処理のスループットを向上させることができる。さらに装置の小型化に適したディスク洗浄装置を実現することができる。
なお、隣接する円筒状あるいは円板状のブラシの前側の底部ブラシ面と後側のブラシの頭部ブラシ面との間に多数の孔あきブラシクリーナ円板を挿入するようにすると、円筒状あるいは円板状のブラシの隣接する前後のブラシ面の間に挿入するディスクの挿入位置に案内溝（間隙）が形成され易くなり、複数のディスクが同時に挿入し易くなる利点がある。

図１は、この発明の一実施例のディスク洗浄装置の主要部の構成概要図であり、図２は、洗浄装置へのディスクロード状態の説明図、図３は、洗浄機構へのディスク挿着状態の説明図、図４は、洗浄機構のディスクチャックの説明図、そして図５は、ディスクを３点チャックするこの発明の他の実施例である。なお、同一の構成要素は同一の符号で示す。
図１（ａ）は、ディスク洗浄装置の洗浄機構部の概要斜視図であり、図１（ｂ）は、図１（ａ）における縦断面図である。
これら図１（ａ）、図１（ｂ）において、１０は、ディスク洗浄装置（そのスクラブ洗浄室の内部）であって、１は洗浄されるディスク、２はその洗浄機構部、３は、回転ブラシユニット、４は、所定の長さｍの多孔質のスポンジ製の円筒（以下円筒ブラシ）であってローラ３ａに連続的に多数挿着されて回転ブラシユニット３を構成している。
ローラ３ａは、回転軸３ｂにスリーブが密着挿着されてスリーブが回転軸３ｂの回転とともに回転するローラである。これによりスリーブと回転軸３ｂとにより１本のローラ３ａが形成されている。ローラ３ａには図２（ｂ）に示されるように、隣接する前後の円筒ブラシ４のブラシ面が接触してできる各接触部Ｓ（図２（ｂ）参照）の位置に対応して溝３ｃが設けられている。回転軸３ｂは、摩擦接触による回転ブラシ４の回転とこの溝３ｃとを介してディスク１を回転駆動する。
このように、回転軸３ｂ側にディスクの位置に対応して各溝３ｃを設けて回転軸３ｂによる駆動でディスクをより回転し易くし、後述する公転防止ストッパをディスク公転防止ローラ６とすることで、ディスク１と回転ブラシ４との摩擦力を傷がつかないように小さく調整することができる。特に、ディスク公転防止ローラ６も同様に対応する位置に溝を付けたローラとすることで、ディスクの位置が一定となるので、回転ブラシとの摩擦力を安定させることができる。これにより、ディスクに傷がつかないように摩擦力を小さく調整することができる。

図１（ｂ）に示すように、回転軸３ｂが反時計方向に回転して多数の円筒ブラシ４が同様に反時計方向に回転すると、円筒ブラシ４と摩擦係合してディスク１が逆に時計方向に回転する。溝３ｃは、さらにこのときのディスク１の回転を安定させる役割も果たす。
溝３ｃに換えて、ローラ３ａにおいて接触部Ｓ（図２（ｂ）参照）に挿着された各ディスク１の位置に対応する部分だけ回転軸３ｂに対してスリーブに換えて回転可能なリングを設けてもよい。この場合のスリーブリングは、円筒ブラシ４によるディスク１の回転駆動に応じて回転する。
なお、回転軸３ｂにスリーブを装着することなく、直接各溝３ｃを各接触部Ｓに対応して回転軸３ｂに谷溝としてローラ３ａを形成してもよい。
ここでの円筒ブラシ４の内径から外形までの幅は、図示するように、ディスク１の内径に達するとともに回転軸３ｂの外側においてディスク１を部分的に狭持して保持する幅を確保できるものである。これにより広範囲にわたりディスクの十分な洗浄ができる。
５は、多数の開孔を有するブラシクリーナ円板、６は、ディスク公転防止ローラであって、回転軸３ｂに沿ってこれと平行に設けられた軸６ａに沿ってかつ接触部Ｓ（図２（ｂ）参照）に挿着された各ディスク１の外周に当接されるように各ディスク１に対応してそれぞれにローラが設けられて構成される。

ディスク公転防止ローラ６は、回転軸３ｂが回転して多数の円筒ブラシ４が反時計方向に回転したときに、ディスク１が回転軸３ｂの回りを公転するのを阻止してディスク１をその位置で自転させる役割を果たす。このディスク公転防止ローラ６は、図示するような連続する１本のローラとしてもよいし、単なる軸であってもよい。
ｎ個（ｎ＞＝２５）のディスク１の一部（下側）は、回転軸３ｂの中心より上側において隣接する前後の円筒ブラシ４の底部ブラシ面と頭部ブラシ面との間にそれぞれに挿着されて保持されている。ｎ個のブラシクリーナ円板５の一部（上側）は、回転軸３ｂの中心より下側において同様に隣接する前後の円筒ブラシ４の底部ブラシ面と頭部ブラシ面との間にそれぞれに挿入されている。各ブラシクリーナ円板５もそれぞれ挿着されたｎ個のディスク１の位置に対応して軸５ａに固定され、この軸５ａが回転することで回転可能に設けられている。
このように隣接する前の円筒状ブラシ４の底部ブラシ面と後の円筒状ブラシ４の頭部ブラシ面との間にブラシクリーナ円板５の一部を挿入すると、円筒状ブラシ４の隣接する前後のブラシ面の間に挿入するディスク１の挿入位置に案内溝（間隙）が形成され易くなり、複数のディスク４が同時に挿入し易くなる利点がある。
なお、図示する都合上、図１（ａ）では、５個のディスクを示し、円筒ブラシ４を比較的長さの長い円筒状としているが、図２〜図４では、円筒ブラシ４の装着する数がｎ＞＝２５とし、多くなるので、長さの短い円板状としている。

ディスク公転防止ローラ６は、円筒ブラシ４に挿着されたｎ個のディスク１の位置に対応して軸６ａに回転可能に取付けられている。円筒ブラシ４は、ローラ３ａ（あるいは回転軸３ｂ）の径より小さい中心孔を持ち、ローラ３ａに連続的にｎ＋１個が円筒ブラシ４の中心孔を介して強制的に挿着され、かつ両端の円筒ブラシ４が回転軸３ｂの軸方向への移動ができないように挿着固定されることでローラ３ａと一体的なものにされる。これにより多数の円筒ブラシ４が回転軸３ｂの回転に応じて同時に回転する。
ところで、円筒ブラシ４を回転軸３ｂに強制的に挿着すると、挿着位置が正確でないために各ディスク１に対する接触圧力が均等にならないような場合も生じる。そこで、円筒状ブラシ４の中心部の開口孔の内側に回転軸３ｂの軸方向に沿って溝を切り、回転軸３ｂ側には筒状ブラシ４の内側の溝に嵌合する突起条を設けて回転軸３ｂの軸方向に沿っての円筒状ブラシ４の移動を許容する。
これにより、円筒状ブラシ４は、回転軸３ｂの回転方向には回転する方向に拘束されて回転し、回転軸３ｂの軸方向には移動することができる。このようにすることで、ブラシクリーナ円板５の一部が挿入されることにより、多数の円筒状ブラシ４の位置が回転軸３ｂに軸方向において適正な位置にシフトしてその位置が矯正される。
その結果、接触部Ｓに挿入された複数のディスク１に適正な接触圧力を持ってそれぞれのディスク１の面に円筒状ブラシ４のブラシ面を接触させることができ、ディスク１にテクスチャやその他の接触傷を付き難くすることができる。

１１は、回転軸３ｂを回転させるモータ等の駆動機構である。ｎ個のディスク１は、隣接する前後の円筒ブラシ４の底部ブラシ面と頭部ブラシ面との間で保持され、ディスク公転防止ローラ６により公転が阻止されることで円筒ブラシ４の回転に応じて自転する。
この自転により洗浄ノズル（図２〜図４参照）８の洗浄液のシャワーに曝された状態でｎ個のディスク１が回転軸に支持されることなく同時に回転して円筒ブラシ４の底部ブラシ面と頭部ブラシ面との間で擦られてシャワー洗浄される。これと同時にブラシクリーナ円板５も回転して多数の開孔５ｂによって円筒ブラシ４自体も同時に洗浄される。

次に図２〜図４を参照してｎ個のディスク１を同時にハンドリングして同時洗浄する動作について説明する。
図２（ａ）は、ディスク洗浄装置１０の内部構成を示す断面図であり、図１（ｂ）に対応している。図２（ｂ）は、ディスク洗浄装置１０の主要部の側面説明図であり、図１（ａ）に対応している。なお、図２（ｂ）おいては、円筒ブラシ４は、５個ではなく、ｎ個（ｎ＞＝２５）としてその一部を図示している。そこで、図では、その長さｍが短い円板ブラシとなっている。
１２は、ディスク洗浄装置１０の筐体（スクラブ洗浄室）であり、１２ａは、その洗浄液排気口である。
８ａは、ブラシクリーナ円板５に対する洗浄ノズルであり、９は、ローラ装填機構である。ローラ装填機構９は、ディスク公転防止ローラ６とこれの回転軸６ａが植設された回動アーム９ａと回動アーム９ａを回転させる回動軸９ｂ、そして回動アクチュエータ（図示せず）とからなる。回動アーム９ａは、図では１個しか示していないが回転軸６ａの前後（その先端部と最後部と）に設けられ、回転軸６ａを橋渡し状態で支持している。
ローラ装填機構９は、初期状態で回動軸９ｂが反時計方向に所定の角度回動している（ローラ待避位置）。これにより、ローラ装填機構９は、ディスク公転防止ローラ６をディスク受渡しハンド１３によるｎ個のディスク１の降下領域から邪魔にならない位置まで待避させる。ここから回動軸９ｂを中心にして回動アクチュエータが回動アーム９ａを時計方向に回動させて回転軸６ａを時計方向に回動させ、ディスク公転防止ローラ６を図４（ａ）に示す位置まで移動させる（ローラ装填位置）。

ディスク受渡しハンド１３は、昇降機構１４によって上下方向に移動し、ｎ個のディスク１を対向する２点のチャック面で同時に両サイドから外周チャックをする。これは、円筒ブラシ４の所定の長さｍの間隔でｎ個のチャックを有している。
図２（ａ），（ｂ）において、ｎ個のディスク１は、そのロード位置（図２（ａ）参照）として、ディスク受渡しハンド１３により２点でサイドチャックされて保持され、ｎ個のディスク１の中心が実質的には回転軸３ｂの回転中心を通る垂直線Ｖ上に一致して洗浄機構部２の上部に位置決めされる。このとき、ｎ個のディスク１は、それぞれｎ＋１個の円筒ブラシ４が隣接するｎ個の接触部Ｓの上部の位置に対応して配置されている（図２（ｂ）参照）。接触部Ｓは、隣接する前後の円筒ブラシ４の底部ブラシ面と頭部ブラシ面との間にできている。

次に、昇降機構１４によってディスク受渡しハンド１３が図３（ａ）に示す位置まで降下してｎ個のディスク１をｎ個の接触部Ｓに挿入する。これにより図３（ｂ）に示すように、ｎ個のディスク１は、ｎ個の接触部Ｓを介して回転軸３ｂに保持される。なお、図３（ａ），（ｂ）は、それぞれ図２（ａ），（ｂ）に対応する図である。
次に、ディスク受渡しハンド１３は、ｎ個のディスク１のサイドチャックを同時に解除して上昇する。このとき、ローラ装填機構９は、回動アーム９ａを時計方向に回動させて、ｎ個のディスク１の外周にディスク公転防止ローラ６を接触させてｎ個のディスク１が自転できるようにする（図４（ａ），（ｂ）参照）。なお、図４（ａ），（ｂ）もそれぞれ図２（ａ），（ｂ）に対応する図である。

そこで、ｎ個のディスク１は、図４（ａ）に示す矢印の方向に回転軸３ｂが回転にすることでディスク公転防止ローラ６の作用で公転が阻止されて円筒ブラシ４の回転を受けて自転する。これと同時に洗浄ノズル８，８ａから洗浄液が噴射されて、回転軸３ｂの回転に応じてｎ個のディスク１が同時にシャワー洗浄される。また、必要に応じて続いてリンス処理も行われ、これらによりディスク１の汚れをよく落とすことができる。
こうして、ｎ個のディスク１の洗浄が終了すると、ｎ個のディスク１は、図４（ａ）の状態からローラ装填機構９が回動アーム９ａを反時計方向に回動させてディスク公転防止ローラ６を待避させて図３（ａ）の状態にする。そして、ディスク受渡しハンド１３が降下してｎ個のディスク１を同時にサイドチャックして上昇し、図２（ａ）の状態に戻る。このとき、洗浄されたｎ個のディスク１はアンロード位置になる。
なお、ここで洗浄され、アンロードされたｎ個のディスク１は、次に乾燥工程に送られる。

ところで、この実施例では、ローラ装填機構９を設けてディスク公転防止ローラ６をローラ待避位置とローラ装填位置との間で移動させるようにしているが、ディスク公転防止ローラ６をディスク受渡しハンド１３に邪魔にならないように、図３（ａ）において、円筒ブラシ４の外周近傍でディスク受渡しハンド１３のチャックの下側に軸あるいは小さい径のローラとして設けることができる（点線○部参照）。この場合には、円筒ブラシ４の反時計方向の回転に応じてディスク１が反時計方向に回転してディスク公転防止ローラ６と外周が係合してその位置でディスク１の公転が阻止される。したがって、ディスク公転防止ローラ６を固定にして、ローラ装填機構９を削除することができる。

次に図５は、ディスク１を３点チャックする他の実施例である。
図５（ａ）に示すように、ローラ３ａを第１のローラとして３点チャックの１点とし、ディスク公転防止ローラ６をガイドローラとして３点チャックの他の１点とする。そして、他のガイドローラ７を設けて３点チャックのさらに他の１点を追加する。
なお、図５（ａ）は、図１（ａ）に対応する図であり、７ａは、ガイドローラ７の回転軸である。図５（ｂ）に示すローラ装填機構９は、この実施例ではディスクチャック機構を構成している。
図５（ｂ）に示すように、ローラ装填機構９の回動アーム９ａは、ガイドローラ（図１の公転防止ローラ）６の軸６ａとガイドローラ７の軸７ａを所定の間隔で保持する。なお、ガイドローラ７は、回転軸３ｂに沿ってこれと平行に設けられた軸７ａに沿ってかつ接触部Ｓ（図２（ｂ）参照）に挿着された各ディスク１の外周に当接されるように各ディスク１に対応してそれぞれにローラが設けられて構成される。
図２（ａ）で説明したように、ローラ装填機構９の初期状態で回動軸９ｂが反時計方向に所定の角度回動していて、それにより回動アーム９ａが回動し、軸６ａと軸７ａとを反時計方向に回転させて、ガイドローラ（図１の公転防止ローラ）６，ガイドローラ７を図示する位置まで移動させている。これにより、ローラ装填機構９は、ガイドローラ６，ガイドローラ７をディスク受渡しハンド１３によるｎ個のディスク１の降下領域から邪魔にならない位置まで待避させる。

この実施例では、ディスク受渡しハンド１３は、ｎ個のディスク１のサイドチャックを同時に解除して上昇したときに、ローラ装填機構９は、回動アーム９ａを時計方向に回動させて、ｎ個のディスク１の外周にローラ６，７を接触させてｎ個のディスク１を回転できるようにローラ３ａとの間でチャックする（図５（ｂ）参照）。なお、図５（ｂ）は、図４（ａ）に対応する図である。
図５（ｂ）に示すように、ガイドローラ６，７の軸６ａと軸７ａとは、垂直線Ｖに対して反対側に位置していて、回転軸３ｂが垂直線Ｖ上にあるので、回転軸３ｂとガイドローラ６，ガイドローラ７の軸６ａと軸７ａとは、ｎ個のディスクに対して同時に３点チャックができる構成として配置されている。
なお、昇降機構１４とディスク受渡しハンド１３によるディスクハンドリング動作については、前記した図２〜図４と同様であるので、その詳細は割愛する。

以上説明してきたが、実施例では、ディスク受渡しハンド１３により洗浄装置１０の上部からディスク１を洗浄部に搬入し、洗浄部から搬出しているが、ディスクが隣接する前後円筒ブラシの底部ブラシ面と頭部ブラシ面との間で保持されるので、洗浄装置１０の上部に限定されるものではなく、側面からであってもよい。
ディスクが落ちない程度の力が回転ブラシのブラシ面に確保されていれば、質量の小さいディスクでは、下側にぶら下がるような状態あってもディスクの洗浄は可能である。したがって、ディスク公転防止ストッパの位置は、回転軸３ｂの周囲のどこであってもよい。
また、実施例では、各円筒ブラシ４の隣接する前後のブラシの底部ブラシ面と頭部ブラシ面との接触部Ｓにディスクを挿着しているが、前後円筒ブラシの底部ブラシ面と頭部ブラシ面との間に間隙を設けてディスクを間隙に挿着してから円筒ブラシの底部ブラシ面と頭部ブラシ面とをディスク面に接触させてディスクを保持するようにしてもよい。この場合には、各円筒ブラシ４を回転軸の軸方向に移動できるようにする。
さらに、実施例のスリーブを装着したローラ３ａは、１本となっているが、ｎ個のディスクを狭持する接触部Ｓの位置に対応して分割して設けられていてもよい。この場合には、円筒ブラシ４との交互にｎ個のローラ３ａを配置することになる。この場合、ローラ３ａは、回転軸３ｂに対して遊嵌状態で支持し、回転軸３ｂとは独立に回転し易いように取付けるとよい。
さらに、実施例では、円筒ブラシをスポンジ製としているが、円筒ブラシは、その底部ブラシ面と頭部ブラシ面との間にディスクを狭持できかつ回転軸３ｂに対して保持できるものであればスポンジ製のものに限定されない。

図１は、この発明の一実施例のディスク洗浄装置の主要部の構成概要図であり、図１（ａ）は、ディスク洗浄装置の洗浄機構部の斜視図、図１（ｂ）は、図１（ａ）における縦断面図である。 図１は、この発明の一実施例のディスク洗浄装置の構成図である。 図２は、洗浄装置へのディスクロード状態の説明図であって、図２（ａ）は、ディスク洗浄装置の内部構成を示す断面図、図２（ｂ）は、ディスク洗浄装置の主要部の側面説明図である。 図３は、洗浄機構へのディスク挿着状態の説明図であって、図３（ａ）は、ディスク洗浄装置の内部構成を示す断面図、図３（ｂ）は、ディスク洗浄装置の主要部の側面説明図である。 図４は、洗浄機構のディスクチャックの説明図であって、図４（ａ）は、ディスク洗浄装置の内部構成を示す断面図、図４（ｂ）は、ディスク洗浄装置の主要部の側面説明図である。 図５は、ディスクを３点チャックするこの発明の他の実施例の説明図であり、図５（ａ）は、ディスク洗浄装置の洗浄機構部の概要斜視図であり、図５（ｂ）は、縦断面説明図である。

符号の説明

１…ディスク、１０…ディスク洗浄装置、
２…洗浄機構部、３…回転ブラシユニット、
３ａ…スリーブ、３ｂ…回転軸、
４…円筒ブラシ、５…ブラシクリーナ円板、
６…ディスク公転防止ローラ、７…ガイドローラ、
６ａ，７ａ…軸、８，８ａ…洗浄ノズル、
９…ローラ装填機構、９ａ…回動アーム、９ｂ…回動軸、
１１…駆動機構、１２…筐体（スクラブ洗浄室）、
１２ａ…洗浄液排気口、１３…ディスク受渡しハンド、
１４…昇降機構。

Claims (9)

1. 回転ブラシをディスクの表面に両面から接触させてディスクを洗浄するディスク洗浄装置において、
   前記回転ブラシを所定の長さの円筒状あるいは円板状のブラシとして前記回転ブラシが複数個挿着された回転軸を有し隣接する前後の前記回転ブラシのブラシ面の間に前記ディスクが挿入されて保持され前記回転ブラシを回転させる回転ブラシユニットと、
   前記回転ブラシの回転による前記回転軸を中心とする保持した前記ディスクの公転を阻止し自転を許容するためのディスク公転防止ストッパとを有し、前記ディスク公転防止ストッパと前記回転軸とに前記ディスクの外周が当接しかつ前記回転ブラシの回転とにより前記ディスクの自転がなされるディスク洗浄装置。
2. 前記ディスクは複数であり、隣接する前後の前記回転ブラシのブラシ面の間に前記複数のディスクがそれぞれ挿入され、前記ディスク公転防止ストッパは、前記複数のディスクの外周に当接され前記ディスクの自転に応じて回転するローラである請求項１記載のディスク洗浄装置。
3. 前記ローラは回動アームに固定され、前記回動アームが回動することで前記ディスクの外周に当接される請求項２記載のディスク洗浄装置。
4. 前記ディスクは複数であり、前記回転軸には、前記ディスクが装着される位置に溝が設けられている請求項１記載のディスク洗浄装置。
5. 前記ディスクは複数であり、前記ディスクが挿入される位置とは重複しない隣接する前後の前記回転ブラシの前記ブラシ面の間に複数の孔開きブラシクリーナ円板が挿入され、前記ブラシクリーナ円板が回転して前記回転ブラシが清掃される請求項１記載のディスク洗浄装置。
6. 前記ローラは回動アームに固定され、前記回動アームの回動により前記複数のディスクに同時に当接され、前記回動アームの逆方向の回動により前記複数のディスクの当接が解除される請求項２記載のディスク洗浄装置。
7. 前記回転ブラシは多孔質のスポンジ製であり、前記ブラシクリーナ円板には多数の孔が設けられている請求項５記載のディスク洗浄装置。
8. 前記ディスクと前記ブラシクリーナ円板はそれぞれ多数設けられ、前記ディスク公転防止ストッパは、前記ディスクの外周に当接され前記ディスクの自転に応じて回転する第１および第２のローラであり、これら第１および第２のローラが各挿入される前記ディスクに対応して多数設けられ、前記多数のブラシクリーナ円板は、前記円筒状あるいは円板状のブラシの中心より下側において隣接する前後の前記回転ブラシの前記ブラシ面の間にその一部が挿入される請求項７記載のディスク洗浄装置。
9. 前記ディスクは多数であり、前記回転軸側を３点チャックの１点とし前記ローラが３点チャックの他の２点として第１、第２のローラからなる請求項２記載のディスク洗浄装置。

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