JP4513540B2 - バイオセンサアレイ及びその製造方法 - Google Patents
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- 絶縁性基板と、
該絶縁性基板上にマトリクス状に配置した多数のヒーター膜からなる加熱装置と、
該加熱装置に電流を供給する電力配線と、
前記加熱装置に対応してマトリクス状に配列された薄膜トランジスターと、
該薄膜トランジスターに制御信号を与えるゲート配線と、
上記加熱装置及び上記薄膜トランジスターに対応する位置にマトリクス状に形成されたDNAプローブを担持したセンサを有することを特徴とするバイオセンサアレイ。 - 絶縁性基板と、
該絶縁性基板上にマトリクス状に配置した多数のヒーター膜からなる加熱装置と、
該加熱装置に電流を供給する電力配線と、
該加熱装置に対応してマトリクス状に配列された薄膜トランジスターと、
該薄膜トランジスターに制御信号を与えるゲート配線と、
上記加熱装置及び上記薄膜トランジスターに対応する位置にマトリクス状に形成されDNAプローブを担持するためのセンサ領域を有することを特徴とするバイオセンサアレイ。 - 前記ヒーター膜が前記薄膜トランジスターよりも前記基板側に配置されていることを特徴とする請求項1又は2記載のバイオセンサアレイ。
- 前記ヒーター膜がTaN膜又はTaSi 2 膜で形成されることを特徴とする請求項1又は2に記載のバイオセンサアレイ。
- 該薄膜トランジスターを介してセンサからの電気信号を測定し温度を計測することを特徴とする請求項1又は2記載のバイオセンサアレイ。
- 上記薄膜トランジスターが、逆スタガ構造、正スタガ構造及びコプラナ構造のいずれかであることを特徴とする請求項1又は2記載のバイオセンサアレイ。
- 上記薄膜トランジスターがSiを含む半導体材料からなることを特徴とする請求項1又は2記載のバイオセンサアレイ。
- 上記薄膜トランジスターの半導体層が結晶質又は非晶質であることを特徴とする請求項1又は2記載のバイオセンサアレイ。
- 上記薄膜トランジスターを介して上記センサからの電気信号を計測し、さらに別の薄膜トランジスターを介して上記加熱装置に電流を流し温度を制御することを特徴とする請求項1又は2記載のバイオセンサアレイ。
- 上記加熱装置上にさらに均熱層を設けたことを特徴とする請求項1又は2記載のバイオセンサアレイ。
- 上記均熱層が金属膜からなることを特徴とする請求項10記載のバイオセンサアレイ。
- 上記均熱層が炭素を含む物質からなることを特徴とする請求項10記載のバイオセンサア
レイ。 - 各センサの周辺の領域に溝を形成したことを特徴とする請求項1又は2記載のバイオセンサアレイ。
- 基板面にマトリクス状にヒーター膜からなる加熱装置アレイを形成するステップ、前記加熱装置アレイのヒーター膜を熱処理するステップ、前記加熱装置アレイ上に薄膜トランジスターアレイを形成するステップ、必要な配線を形成するステップ、前記加熱装置アレイ及び前記薄膜トランジスターアレイ上にセンサアレイを形成するステップ、及び該センサアレイ面にDNAプローブを担持するステップを有するバイオセンサアレイの製造方法。
- 更に前記センサアレイの周辺の空き領域に断熱溝を加工するステップを有することを特徴とする請求項14記載のバイオセンサアレイの製造方法。
- 前記加熱装置アレイを形成した後、他の要素を形成する前に、他の要素を形成する温度よりも高い温度で前記加熱装置アレイを熱処理するステップを有することを特徴とする請求項14記載のバイオセンサアレイの製造方法。
- 500℃以上の熱プロセスを用いて加熱装置アレイを形成した後、前記薄膜トランジスターアレイを形成することを特徴とする請求項14記載のバイオセンサアレイの製造方法。
- 前記薄膜トランジスターアレイを形成した後、各センサ周辺の配線の無い領域に溝を形成するステップを有することを特徴とする請求項14記載のバイオセンサアレイの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004359637A JP4513540B2 (ja) | 2004-12-13 | 2004-12-13 | バイオセンサアレイ及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004359637A JP4513540B2 (ja) | 2004-12-13 | 2004-12-13 | バイオセンサアレイ及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006170642A JP2006170642A (ja) | 2006-06-29 |
JP4513540B2 true JP4513540B2 (ja) | 2010-07-28 |
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4513540B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104637938A (zh) * | 2013-11-14 | 2015-05-20 | 台湾积体电路制造股份有限公司 | 半导体器件及其选择性加热 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1999272B1 (en) * | 2006-03-21 | 2017-11-01 | Koninklijke Philips N.V. | Microelectronic sensor device with sensor array |
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JP2009087928A (ja) | 2007-09-13 | 2009-04-23 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置およびその作製方法 |
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-
2004
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CN104637938B (zh) * | 2013-11-14 | 2018-09-11 | 台湾积体电路制造股份有限公司 | 半导体器件及其选择性加热 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006170642A (ja) | 2006-06-29 |
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A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070402 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Written amendment |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100503 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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