JP4513330B2 - 光部品の製造方法 - Google Patents
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- 基材に設けられる光信号の出射面又は入射面の上側にマイクロレンズを配置してなる光部品の製造方法であって、
複数の前記光部品のそれぞれの基材となるべき母基材を用意する第1工程と、
前記母基材の一方面であって、前記入射面又は出射面に対応する複数箇所のそれぞれにマイクロレンズを形成する第2工程と、
前記母基材の一方面上の複数箇所に、前記マイクロレンズの最上部よりも高さの大きい突起部材を形成する第3工程と、
前記母基材の一方面上に複数の前記突起部材に接しかつ複数の前記マイクロレンズに接しないで前記突起部材及び前記マイクロレンズを覆うように前記マイクロレンズを保護するためのシート状部材を配置する第4工程と、
前記母基材を複数の前記光部品のそれぞれに対応する領域ごとに分割する亀裂を前記母基材に形成する第5工程と、
前記母基材から前記シート状部材を分離する第6工程と、
を含む、光部品の製造方法。 - 前記第4工程に先立って、
前記母基材を複数の前記光部品のそれぞれに対応する領域ごとに区分けするスクライブ線を形成する第7工程を更に含む、請求項1に記載の光部品の製造方法。 - 前記第2工程は、前記母基材上に液滴吐出法によって液状材料を滴下し、当該滴下した液状材料を硬化させることにより前記マイクロレンズを形成する、請求項1に記載の光部品の製造方法。
- 前記第3工程は、複数の前記マイクロレンズのそれぞれの周囲に一又は複数の前記突起部材を形成する、請求項1に記載の光部品の製造方法。
- 前記第3工程は、前記突起部材として、ワイヤボンディング法によりスタッドバンプを形成する、請求項1に記載の光部品の製造方法。
- 前記第3工程は、前記母基材上に液滴吐出法によって液状材料を滴下し、当該滴下した液状材料を硬化させることにより前記突起部材を形成する、請求項1に記載の光部品の製造方法。
- 前記第4工程は、前記シート状部材として粘着性を有するものを用い、前記突起部材を覆うとともに当該突起部材と前記シート状部材とを粘着させ、
前記第6工程は、前記母基材から前記シート状部材を分離する際に併せて前記突起部材を前記母基材から除去する、請求項1に記載の光部品の製造方法。
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