JP4510533B2 - マイクロバンプの形成方法 - Google Patents
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Description
で表されるピリジニウムプロピルスルホネートまたはその誘導体を含有するニッケルめっき浴により電気めっきし、前記微小開口部部分にニッケルめっき皮膜を析出させることを特徴とするマイクロバンプの形成方法である。
で表されるピリジニウムプロピルスルホネートまたはその誘導体(以下、「PPS誘導体」という)を含有するニッケルめっき浴で電気めっきする。
一般的範囲 好ましい範囲
ニッケルイオン 10〜120g/l 50〜100g/l
スルファミン酸イオン 80〜600g/l 200〜500g/l
ホウ酸 20〜 50g/l 30〜 40g/l
塩素イオン 0.5〜 3g/l 1〜 2g/l
pH 3.5〜4.5 4.0〜4.2
一般的範囲 好ましい範囲
ニッケルイオン 10〜120g/l 50〜 80g/l
硫酸イオン 30〜400g/l 60〜120g/l
ホウ酸 20〜 50g/l 30〜 40g/l
塩素イオン 5〜 30g/l 10〜 20g/l
pH 3.5〜4.5 4.0〜4.2
プローブ用ニッケルバンプのめっきによる作成(1):
バンプ用めっき基板として、ニッケルを蒸着したSiウェハ上に厚さ20μmのフォトレジスト(東京応化工業(株)製)でパターン形成したものを、表1に示す組成のスルファミン酸ニッケルめっき浴にピリジニウムプロピルスルホネート(PPS)を0.1g/lを加えためっき液(本発明浴)使用し、プローブ用ニッケルバンプを作成した。レジストパターンの開口部サイズは30μm×30μmとした。
バンプめっき皮膜の形状および表面観察:
実施例1で得た各バンプについて、そのめっき皮膜の形状測定および表面観察を行った。この測定ないし観察には、超深度形状測定顕微鏡(VK8550キーエンス社製)および走査型電子顕微鏡(JSM−5200 JEOL製)を用いた。
ニッケルめっき皮膜応力の測定:
本発明浴、比較浴1および2と、表1の組成から有機添加剤を全く取り去った浴(無添加浴)について、それらのめっき後の皮膜応力を測定した。
プローブ用ニッケルバンプのめっきによる作成(2):
下記表2のワット浴をベースとする浴を基本液とし、これにピリジニウムプロピルスルホネート(PPS)を0.1g/lを加えたニッケルめっきを使用し、めっき浴温50℃とする以外は実施例1と同様にしてバンプを作成した。このバンプの析出外観は、図1とほぼ同様であった。
Claims (7)
- 微小開口部を有するフォトレジストで被めっき基板を被覆し、次いで当該被めっき基板を、添加剤として次の式(I)、
で表されるピリジニウムプロピルスルホネートまたはその誘導体を含有するニッケルめっき浴により電気めっきし、前記微小開口部部分にニッケルめっき皮膜を析出させることを特徴とするマイクロバンプの形成方法。 - フォトレジストの微小開口部が、一辺が10から100μmの正方形または直径が10から100μmの円形である請求項第1項記載のマイクロバンプの形成方法。
- 微小開口部に析出されたニッケルめっき皮膜のアスペクト比(高さ/幅)が、0.2ないし10である請求項第1項または第2項記載のマイクロバンプの形成方法。
- ニッケルめっき液が、更にナフタレンスルホン酸塩および/またはサッカリン塩を含有するものである請求項第1項ないし第3項の何れかの項記載のマイクロバンプの形成方法。
- ニッケルめっき液のピリジニウムプロピルスルホネートまたはその誘導体の含有量が、1×10−4molないし3×10−3molである請求項第1項ないし第4項の何れかの項記載のマイクロバンプの形成方法。
- ニッケルめっき液が、ニッケルイオンとして10ないし120g/l、スルファミン酸イオンとして80ないし600g/l、塩素イオンとして0.5ないし3g/l、ホウ酸として20ないし50g/l含有するスルファミン酸ニッケルめっき液である請求項第1項ないし第5項の何れかの項記載のマイクロバンプの形成方法。
- ニッケルめっき液が、ニッケルイオンとして10ないし120g/l、硫酸イオンとして30ないし400g/l、塩素イオンとして5ないし30g/l、ホウ酸として20ないし50g/l含有するワット浴である請求項第1項ないし第5項の何れかの項記載のマイクロバンプの形成方法。
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