JP4510148B2 - プロセス伝送器の圧力センサ診断方法 - Google Patents
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Description
本発明は、プロセス制御産業に関する。より詳細には、本発明はプロセス流体の圧力を測定するためにプロセス制御産業において使用される、ある型式の圧力センサの診断方法に関する。
圧力伝送器は、プロセス制御産業において、遠隔位置でプロセスの圧力を測定し、その圧力情報を2線式プロセス制御ループを経由してプロセスが制御される制御室へ伝送するために用いられる。伝送器は、プロセスの絶対圧力あるいは差圧を感知するために用いられる圧力センサを含む。差圧は、例えば、くびれ部分の圧力の変化を監視することによってプロセス流量を測定するために用いられる。
圧力センサは苛酷な作動環境にさらされるので、時間と共にその精度が低下する傾向がある。したがって、圧力測定の精度を維持するためには、定期的なセンサの交換あるいは較正が必要である。較正のためには、作業者が現場に入り、圧力センサを取りはずし、そして試験圧力を供給することが要求される。このことは、時間の浪費であり、危険で、かつ較正の間プロセスを休止させなければならないことがある。配線を取り外したり、プロセスから分離されたりすることなく、圧力センサを診断できる機能を有する圧力伝送器は、プロセス制御産業に有効に貢献するであろう。
発明の概要
本発明の1つの特徴は、プロセス制御システムにおける伝送器が圧力センサを診断する機能を有するということである。伝送器は、プロセスの圧力を受けるための圧力応答構造体を有する圧力センサ、および、ある実施態様においては、前記圧力応答構造体に連結され、その静電容量がプロセス圧力に応答して変化するようなコンデンサを含む。測定回路は前記静電容量を測定し、静電容量は出力回路を用い、プロセス制御ループを経由して伝送される。診断回路は、圧力センサに接続され、診断入力を圧力センサへ提供することによって圧力センサを診断する機能を有する。診断回路は、診断入力に応答し、測定回路によって決定される静電容量の変化を監視する。静電容量の変化に基づいて、圧力センサの状態が判断される。
【図面の簡単な説明】
図1は、本発明による診断回路を含む伝送器を示す断面図である。
図2は、本発明に用いられる型のセンサを示す一部破断透視図である。
図3は、本発明による診断回路を含む、図1の伝送器に使用される回路を示すブロック図である。
図4は、1つの実施態様による、時間対静電容量の関係を示すグラフである。
図5は、他の実施態様による、時間対静電容量の関係を示すグラフである。
好ましい実施態様の詳細な説明
本発明は圧力センサの診断機能を有するプロセス制御伝送器を提供する。本発明は特に脆性物質で作られたセンサにとって有効である。好適な物質としてはセラミック、サファイア、シリコン、石英、ルビー、およびダイヤモンドを含む。
図1は、伝送器本体52、センサ本体54、およびフランジ55を有する圧力伝送器50を示す。センサ本体54は、プロセス流体の絶対圧力P1およびP2をそれぞれ測定する圧力センサ70Aおよび70Bを含む。伝送器本体52は、4〜20mA電流ループなどの2線式プロセス制御ループ経由で、圧力P1およびP2に関する情報を伝達する伝送器(I/O)回路60を含む。回路基板57は、センサ回路基板58を圧力センサ70Aおよび70Bに接続し、圧力P1およびP2に関する電気信号を受信する。センサ回路基板58上の回路は、これらの信号をデジタル化および処理し、データバス62を経由して伝送器回路60に圧力情報を伝達する。インサート(挿入部)67Aおよび67Bは、圧力センサ70Aおよび70Bを保持する。プロセス障壁71は空洞75を形成し、インサート67Aまたは67Bが損傷したとき、センサ本体54から圧力P1およびP2が漏れるのを防止する。空洞75は真空にされるか、不活性気体で満たされている。フィードスルー73A、73Bおよび73Cは、回路基板57および58の間の障壁71を横切る電気的通路を提供する。図2は、圧力センサ70Aを保持するインサート67Aの破断透視図である。ある実施態様においては、インサート67Aは酸化アルミニウムで作られる。
本発明は、脆性物質で構成される圧力センサに用いられる。ある実施態様では、単結晶材料で構成される圧力感知構造体が使用され、連結部は測定精度を劣化させる可能性のある異物をほとんど含まないように、融合接合を用いて構成されることができる。当該構造体は、その構造体に圧力を加えるプロセス流体で取り囲まれるようにすることができる。このことは、その構造体が耐腐食性物質よりなるので可能である。脆性物質で構成されたセンサは圧縮によって変形させられ、より高い作用ストレス対誤差ストレス比および、その結果としてのより高い信号対ノイズ比(S/N)を提供する。
このことは、脆性物質は、伸張状態においてよりも圧縮状態において、より大きな強度を呈することによる。この構造により、センサはより腐食されにくくなる。プロセス流体内にその構造体を設置すると、隔離ダイヤフラムおよび充填オイルが省略できるので信頼性が向上する。細長いシャフトはストレス分離を提供し、ストレス伝達誤差が低減するように、同じ単結晶材料で構成される。電気リード線は細長いシャフトを貫通して配設され、プロセス流体から隔離される。シャフトを通る通路はまた、参照(基準)圧力を印加するために用いられることもできる。
センサ技術が発達してきたので、伝送器の測定の正確さは大きく向上してきている。この結果、より良好で、より正確な診断技術が必要になってきた。本発明は、圧力センサ診断のための正確な技術を提供する。本発明においては、診断入力が圧力センサに加えられる。診断入力は圧力センサの出力に変化を生じさせる。この変化が監視され、センサの状態を決定するために用いられる。
図1において、圧力センサ70Aおよび70Bと隣接して設けられている支柱102上に、光源100が取り付けられている。圧力センサ70Aおよび70Bが光源100からの放射光で照らされると、圧力センサ70Aおよび70Bからの出力が変化することが見い出されている。より詳細には、圧力センサ70Aおよび70Bがコンデンサ極板104を内包し、圧力がコンデンサ極板104間の静電容量を測定することによって決定される場合、圧力センサ70Aおよび70Bが照らされる時に静電容量の増大が起こる。
光源100の配置と強さは、光源100からの放射がコンデンサ極板104に達する程度が好ましい。さらにこの現象はコンデンサ極板104間の真空の度合いに比例することが観察されている。その効果は真空度の低下に伴って低下する。本発明は絶対圧センサ内の参照(基準)真空を直接評価する技術を提供する。静電容量の変化は極めて小さく、100aFのオーダであり、高精度の測定電子技術を要求する。本実施態様は特に圧力センサ内の真空度の低下を測定するのに好適である。
図3は、本発明のある実施態様による伝送器50内の回路を示す。伝送器50は、インタフェース回路110、マイクロプロセッサ112および静電容量測定/補償回路114を含む。マイクロプロセッサ112は、インタフェース回路110に接続され、メモリ116およびシステムクロック118にも接続される。図3は、ある実施態様による光源100に接続されたマイクロプロセッサを示す。光源100は、例えば発光ダイオード(LED)で構成される。
作動中、伝送器50はループ電流Iを伝送するプロセス制御ループ120に接続される。典型的には、伝送器50がプロセスを遠隔検知するために現場に設置される一方、プロセス制御ループは制御室内に設置された装置に接続される。インタフェース回路110は、端子119でプロセス制御ループ120に接続され、伝送器50に給電するために用いられる電流Iを用いて生成される電力出力を提供する。静電容量測定/補償回路114は、圧力センサ70A(および図3には図示されない70B)のコンデンサ極板104間の静電容量を測定する。静電容量の誤差の変動は静電容量測定/補償回路114を用いて補償され、この回路が、マイクロプロセッサ112へプロセス圧力を表わす圧力出力を提供する。
マイクロプロセッサ112は、システムクロック118によって決定される速度で、メモリ116に記憶されている命令にしたがって作動する。マイクロプロセッサ112は、静電容量測定/補償回路114からの圧力出力に基づいて、プロセス流量あるいは生産物の高さなどのプロセス変数を測定する。マイクロプロセッサ112は、プロセス制御ループ120上への伝達のための情報をフォーマットするインタフェース回路110へ、プロセス変数を供給する。プロセス制御ループ120は、プロセス制御産業において用いられる、いかなる通信プロトコルによっても作動するであろう。例えば、プロセス変数は、ループ電流Iを、4mAの信号によって代表されるゼロレベルの電流と20mA電流レベルによって代表されるフルスケール・レベルの電流との間で制御することによって伝達されることができる。
デジタル情報は、同時にあるいは選択的に、HART(登録商標)通信プロトコルあるいはフィールドバスプロトコルに示されるような、いかなる既知のデジタル伝送技術でも、それを用いて伝達されることができる。典型的には、図3に示すような、マイクロプロセッサ112、インタフェース回路110、メモリ116、およびシステムクロック118が図1の伝送器回路60の内部に設置される一方、静電容量測定/補償回路114はセンサ回路基板58上に配置される。さらに、静電容量測定/補償回路114は、アナログ−デジタル変換器を有する。
この実施態様においては、光源100はマイクロプロセッサ112に接続されるように示されている。しかしながら光源100は、静電容量測定/補償回路114の制御によって、あるいは図示されない独立の診断回路の制御によって作動することができる。定期的に、あるいはプロセス制御ループ120を経由して受信する制御命令により、診断テストが光源100を用いて実施される。光源100は、圧力センサ70Aのコンデンサ極板104間の領域を照らすように、瞬時の間付勢される。スイッチ126は、コンデンサ極板104を静電容量測定/補償回路114に接続する。スイッチ126の作用は、より詳細に後述されるであろう。
静電容量測定/補償回路114は、コンデンサ極板104間の静電容量を監視する。図4は、コンデンサ極板104間の静電容量の時間に対する変化を示すグラフである。静電容量は、光源100が点灯するときに段状(ステップ状)に増大し、光源100が消灯するまで比較的一定に保たれることに注意しなければならない。光源が消灯するときに、静電容量は同じような段状(ステップ状)に降下する。段状応答(ステップ応答)128の大きさは、コンデンサ極板104間に存在する気体分子の数に比例すると考えられる。
マイクロプロセッサ112は、段状応答128の振幅を監視する。段状応答128の振幅が合理的な範囲で小さい場合には、圧力測定は補償されることができる。例えば、圧力測定は段状応答の振幅に基づいてわずかに低減されることができる。この低減は、1次式的な低減、多項式的な低減、あるいは圧力センサ70A内の真空低下を補償するために用いられるその他の曲線であってよい。さらに、段状応答128の振幅が、予め決められた限度より大きい場合には、圧力センサ70Aまたは70Bが故障したことを示す警報状態が開始されることができる。警報状態はインタフェース回路110からプロセス制御ループ120を介して伝送される。
スイッチ126は、本発明のある実施態様にしたがって用いられる。圧力センサ70Aおよび70Bが圧力の変化に正しく応答していることを証明するのが好ましい。スイッチ126は、電源130によって生成されるステップ電圧入力を印加することによって、圧力センサに摂動(perturbation)を起こさせるために用いられる。ステップ状の電圧変化がセンサに加えられ、センサの応答が監視される。印加される電圧に起因する実効(有効)圧力は次の式によって与えられる。
式1において、△Pは印加される電圧Vに起因する実効圧力の変化分である。Gはコンデンサ極板104間の公称間隔である。イプシロン(ε0)は前記間隔の誘電定数である。ある実施態様において、Gはおよそ0.5ミクロンである。5ボルトのステップ電圧入力が適用される場合には、圧力の有効変化はおよそ0.064PSIである。
本発明は、圧力センサのための診断情報を得るために、多くの異なる方法で上述の技術を用いることを含む。ある実施態様では、既知の電圧がコンデンサ極板104間に印加され、圧力変化に起因する静電容量の変化が監視される。このことは、マイクロプロセッサ112の制御に基づいて、スイッチ126を極く短時間電源130と接触する位置にした後、静電容量測定/補償回路114がコンデンサ極板104に再び接続されることによって達成される。作動中のセンサは、予め決められたオフセットに応答するであろう。測定回路が圧力センサ70AにDCオフセット電圧を印加する場合に、適用される追加のDCオフセット電圧の大きさには限度があることに注意しなければならない。
他の実施態様においては、電圧インパルスがコンデンサ極板104に極く短時間印加される。このことは、スイッチ126がすばやく作動することによって達成される。このことは、時間対静電容量のグラフである図5に示されるように、コンデンサ極板104にリンギング(ringing)(過渡的振動又は減衰振動)を起こさせる。出力信号は、振幅、およびリンギング信号の周波数と該信号の減衰の形式での動的情報の双方を含んでいる。該リンギング信号の初期振幅は、前述と同じ情報を与える。リンギングの周波数は、追加の情報をもたらすために測定されることができる。減衰率の情報は、プロセス流体の状態を示す。例えば減衰率は、伝送器が詰まったり、こびりついたりしたことに関する警報を提供するのに用いることができる。リンギングは次の式によって与えられる。
A=A0Cos(2πf0)e-t/(2Q/πf0) …… 式2
ここで、A0は初期振幅、f0は共振周波数、およびQはセンサのQである。本実施態様において、マイクロプロセッサ112は、静電容量測定/補償回路114から受信される信号を処理する機能を有し、そのことによって、信号の周波数、振幅および減衰率が決定される。この技術は、周波数応答を決定するために、比較的高い周波数帯の回路を必要とする。この技術は、真空式センサあるいは、オイルまたは不活性気体充填式のような非真空基準レベルを保持するセンサに用いられる。
初期振幅、周波数およびQに基づいて、センサはその有効寿命を延長するように補償されることができる。さらに、これらの要素のいずれかが予め決められた限度を超えた場合には、警報状態が始動され、プロセス制御ループ120を経由して警報信号が伝達されるようにすることができる。
ここで用いたように、センサへの放射、電圧、インパルスなどの入力は「摂動起動入力」である。
Claims (1)
- 4〜20mA2線電流ループに接続されるように構成されたプロセス制御システムにおける伝送器であって、
光を導くことのできる脆性物質で構成され、プロセス圧力を加えられる圧力応答構造体と、該圧力応答構造体に連結かつ内包されたコンデンサ極板間にプロセス圧力に応じた静電容量を有するコンデンサとよりなる圧力センサと、
前記コンデンサに接続され、静電容量に関する圧力出力を提供する測定回路と、
前記2線電流ループから受信したループ電流により前記伝送器の全電力を得るようにした入力回路と、前記2線ループ上に圧力出力を伝送する出力回路と、
前記圧力センサの圧力応答構造体に接続又は近接して配置され、前記入出力回路によって受信された前記ループ電流からのみ電力を供給され、該電力で生成された発光ダイオードからの放射光である摂動起動入力を前記圧力センサの圧力応答構造体へ供給し、および該摂動起動入力に応答する静電容量の変化によって生じる圧力出力の変化に基づいてセンサ診断出力を発生する診断回路とを具備する伝送器。
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US6434504B1 (en) | 1996-11-07 | 2002-08-13 | Rosemount Inc. | Resistance based process control device diagnostics |
US6754601B1 (en) | 1996-11-07 | 2004-06-22 | Rosemount Inc. | Diagnostics for resistive elements of process devices |
US6519546B1 (en) | 1996-11-07 | 2003-02-11 | Rosemount Inc. | Auto correcting temperature transmitter with resistance based sensor |
US6449574B1 (en) | 1996-11-07 | 2002-09-10 | Micro Motion, Inc. | Resistance based process control device diagnostics |
US6601005B1 (en) | 1996-11-07 | 2003-07-29 | Rosemount Inc. | Process device diagnostics using process variable sensor signal |
EP1023650B1 (en) | 1997-10-13 | 2003-09-24 | Rosemount Inc. | Communication technique for field devices in industrial processes |
US6611775B1 (en) | 1998-12-10 | 2003-08-26 | Rosemount Inc. | Electrode leakage diagnostics in a magnetic flow meter |
US6615149B1 (en) | 1998-12-10 | 2003-09-02 | Rosemount Inc. | Spectral diagnostics in a magnetic flow meter |
US6356191B1 (en) | 1999-06-17 | 2002-03-12 | Rosemount Inc. | Error compensation for a process fluid temperature transmitter |
EP1247268B2 (en) | 1999-07-01 | 2009-08-05 | Rosemount Inc. | Low power two-wire self validating temperature transmitter |
US6505517B1 (en) | 1999-07-23 | 2003-01-14 | Rosemount Inc. | High accuracy signal processing for magnetic flowmeter |
US6701274B1 (en) | 1999-08-27 | 2004-03-02 | Rosemount Inc. | Prediction of error magnitude in a pressure transmitter |
US6556145B1 (en) | 1999-09-24 | 2003-04-29 | Rosemount Inc. | Two-wire fluid temperature transmitter with thermocouple diagnostics |
US6571132B1 (en) | 1999-09-28 | 2003-05-27 | Rosemount Inc. | Component type adaptation in a transducer assembly |
US6765968B1 (en) | 1999-09-28 | 2004-07-20 | Rosemount Inc. | Process transmitter with local databus |
WO2001024594A2 (en) | 1999-09-28 | 2001-04-05 | Rosemount Inc. | Environmentally sealed instrument loop adapter |
US6484107B1 (en) | 1999-09-28 | 2002-11-19 | Rosemount Inc. | Selectable on-off logic modes for a sensor module |
US6487912B1 (en) | 1999-09-28 | 2002-12-03 | Rosemount Inc. | Preinstallation of a pressure sensor module |
US6510740B1 (en) | 1999-09-28 | 2003-01-28 | Rosemount Inc. | Thermal management in a pressure transmitter |
US7134354B2 (en) | 1999-09-28 | 2006-11-14 | Rosemount Inc. | Display for process transmitter |
US6546805B2 (en) | 2000-03-07 | 2003-04-15 | Rosemount Inc. | Process fluid transmitter with an environmentally sealed service block |
US6662662B1 (en) | 2000-05-04 | 2003-12-16 | Rosemount, Inc. | Pressure transmitter with improved isolator system |
US6504489B1 (en) | 2000-05-15 | 2003-01-07 | Rosemount Inc. | Process control transmitter having an externally accessible DC circuit common |
US6480131B1 (en) | 2000-08-10 | 2002-11-12 | Rosemount Inc. | Multiple die industrial process control transmitter |
US6735484B1 (en) | 2000-09-20 | 2004-05-11 | Fargo Electronics, Inc. | Printer with a process diagnostics system for detecting events |
US20040063710A1 (en) * | 2000-11-22 | 2004-04-01 | Tomiya Mano | Ophthalmological preparations |
US6629059B2 (en) | 2001-05-14 | 2003-09-30 | Fisher-Rosemount Systems, Inc. | Hand held diagnostic and communication device with automatic bus detection |
US6516672B2 (en) | 2001-05-21 | 2003-02-11 | Rosemount Inc. | Sigma-delta analog to digital converter for capacitive pressure sensor and process transmitter |
US6684711B2 (en) | 2001-08-23 | 2004-02-03 | Rosemount Inc. | Three-phase excitation circuit for compensated capacitor industrial process control transmitters |
US6772036B2 (en) | 2001-08-30 | 2004-08-03 | Fisher-Rosemount Systems, Inc. | Control system using process model |
AU2002364717A1 (en) | 2001-12-06 | 2003-06-23 | Fisher-Rosemount Systems, Inc. | Intrinsically safe field maintenance tool |
US20030229472A1 (en) * | 2001-12-06 | 2003-12-11 | Kantzes Christopher P. | Field maintenance tool with improved device description communication and storage |
US7426452B2 (en) * | 2001-12-06 | 2008-09-16 | Fisher-Rosemount Systems. Inc. | Dual protocol handheld field maintenance tool with radio-frequency communication |
US20030204373A1 (en) * | 2001-12-06 | 2003-10-30 | Fisher-Rosemount Systems, Inc. | Wireless communication method between handheld field maintenance tools |
US7039744B2 (en) * | 2002-03-12 | 2006-05-02 | Fisher-Rosemount Systems, Inc. | Movable lead access member for handheld field maintenance tool |
US7027952B2 (en) * | 2002-03-12 | 2006-04-11 | Fisher-Rosemount Systems, Inc. | Data transmission method for a multi-protocol handheld field maintenance tool |
US6839546B2 (en) | 2002-04-22 | 2005-01-04 | Rosemount Inc. | Process transmitter with wireless communication link |
US7109883B2 (en) | 2002-09-06 | 2006-09-19 | Rosemount Inc. | Low power physical layer for a bus in an industrial transmitter |
US7773715B2 (en) | 2002-09-06 | 2010-08-10 | Rosemount Inc. | Two wire transmitter with isolated can output |
US10261506B2 (en) * | 2002-12-05 | 2019-04-16 | Fisher-Rosemount Systems, Inc. | Method of adding software to a field maintenance tool |
DE112004000385T5 (de) * | 2003-03-06 | 2006-02-16 | Fisher-Rosemount Systems Inc. | Wärmefluss-regulierende Abdeckung für eine elektrische Speicherzelle |
US7512521B2 (en) * | 2003-04-30 | 2009-03-31 | Fisher-Rosemount Systems, Inc. | Intrinsically safe field maintenance tool with power islands |
US7054695B2 (en) | 2003-05-15 | 2006-05-30 | Fisher-Rosemount Systems, Inc. | Field maintenance tool with enhanced scripts |
US7036386B2 (en) * | 2003-05-16 | 2006-05-02 | Fisher-Rosemount Systems, Inc. | Multipurpose utility mounting assembly for handheld field maintenance tool |
US6925419B2 (en) * | 2003-05-16 | 2005-08-02 | Fisher-Rosemount Systems, Inc. | Intrinsically safe field maintenance tool with removable battery pack |
US7199784B2 (en) * | 2003-05-16 | 2007-04-03 | Fisher Rosemount Systems, Inc. | One-handed operation of a handheld field maintenance tool |
US7526802B2 (en) | 2003-05-16 | 2009-04-28 | Fisher-Rosemount Systems, Inc. | Memory authentication for intrinsically safe field maintenance tools |
US8874402B2 (en) * | 2003-05-16 | 2014-10-28 | Fisher-Rosemount Systems, Inc. | Physical memory handling for handheld field maintenance tools |
WO2005086331A2 (en) | 2004-03-02 | 2005-09-15 | Rosemount, Inc. | Process device with improved power generation |
US8538560B2 (en) | 2004-04-29 | 2013-09-17 | Rosemount Inc. | Wireless power and communication unit for process field devices |
US8145180B2 (en) | 2004-05-21 | 2012-03-27 | Rosemount Inc. | Power generation for process devices |
US7036381B2 (en) | 2004-06-25 | 2006-05-02 | Rosemount Inc. | High temperature pressure transmitter assembly |
US7262693B2 (en) * | 2004-06-28 | 2007-08-28 | Rosemount Inc. | Process field device with radio frequency communication |
US8160535B2 (en) | 2004-06-28 | 2012-04-17 | Rosemount Inc. | RF adapter for field device |
US6993954B1 (en) | 2004-07-27 | 2006-02-07 | Tekscan, Incorporated | Sensor equilibration and calibration system and method |
US20070157457A1 (en) * | 2004-09-10 | 2007-07-12 | Lance Fried | Assembly Method and Machinery for Waterproof Testing of Electronic Devices |
US7216048B2 (en) * | 2004-12-30 | 2007-05-08 | Honeywell International Inc. | Calibrated pressure sensor |
US7680460B2 (en) * | 2005-01-03 | 2010-03-16 | Rosemount Inc. | Wireless process field device diagnostics |
US9184364B2 (en) | 2005-03-02 | 2015-11-10 | Rosemount Inc. | Pipeline thermoelectric generator assembly |
CN101156119B (zh) * | 2005-04-04 | 2011-04-13 | 费希尔-罗斯蒙德系统公司 | 工业过程控制系统中的诊断 |
US8112565B2 (en) | 2005-06-08 | 2012-02-07 | Fisher-Rosemount Systems, Inc. | Multi-protocol field device interface with automatic bus detection |
EP1896910A1 (en) | 2005-06-27 | 2008-03-12 | Rosemount, Inc. | Field device with dynamically adjustable power consumption radio frequency communication |
US20070068225A1 (en) | 2005-09-29 | 2007-03-29 | Brown Gregory C | Leak detector for process valve |
US7525419B2 (en) | 2006-01-30 | 2009-04-28 | Rosemount Inc. | Transmitter with removable local operator interface |
DE102006004582B4 (de) * | 2006-02-01 | 2010-08-19 | Siemens Ag | Verfahren zur Diagnose einer Verstopfung einer Impulsleitung bei einem Druckmessumformer und Druckmessumformer |
US8032234B2 (en) * | 2006-05-16 | 2011-10-04 | Rosemount Inc. | Diagnostics in process control and monitoring systems |
US7913566B2 (en) | 2006-05-23 | 2011-03-29 | Rosemount Inc. | Industrial process device utilizing magnetic induction |
EP2044406B1 (de) * | 2006-07-20 | 2011-11-30 | Siemens Aktiengesellschaft | Verfahren zur diagnose einer verstopfung einer impulsleitung bei einem druckmessumformer sowie druckmessumformer |
US7953501B2 (en) | 2006-09-25 | 2011-05-31 | Fisher-Rosemount Systems, Inc. | Industrial process control loop monitor |
US8788070B2 (en) | 2006-09-26 | 2014-07-22 | Rosemount Inc. | Automatic field device service adviser |
US8188359B2 (en) * | 2006-09-28 | 2012-05-29 | Rosemount Inc. | Thermoelectric generator assembly for field process devices |
CN101517377B (zh) | 2006-09-29 | 2012-05-09 | 罗斯蒙德公司 | 带有校验的磁流量计 |
US8898036B2 (en) | 2007-08-06 | 2014-11-25 | Rosemount Inc. | Process variable transmitter with acceleration sensor |
US8250924B2 (en) | 2008-04-22 | 2012-08-28 | Rosemount Inc. | Industrial process device utilizing piezoelectric transducer |
US8847571B2 (en) | 2008-06-17 | 2014-09-30 | Rosemount Inc. | RF adapter for field device with variable voltage drop |
US8929948B2 (en) | 2008-06-17 | 2015-01-06 | Rosemount Inc. | Wireless communication adapter for field devices |
CN102084307B (zh) | 2008-06-17 | 2014-10-29 | 罗斯蒙特公司 | 用于具有低压本质安全钳的现场设备的rf适配器 |
EP2294765B1 (en) | 2008-06-17 | 2017-01-18 | Rosemount Inc. | Rf adapter for field device with loop current bypass |
US8694060B2 (en) | 2008-06-17 | 2014-04-08 | Rosemount Inc. | Form factor and electromagnetic interference protection for process device wireless adapters |
US8387463B2 (en) * | 2008-10-06 | 2013-03-05 | Rosemount Inc. | Pressure-based diagnostic system for process transmitter |
US7918134B2 (en) * | 2008-10-06 | 2011-04-05 | Rosemount Inc. | Thermal-based diagnostic system for process transmitter |
US7977924B2 (en) | 2008-11-03 | 2011-07-12 | Rosemount Inc. | Industrial process power scavenging device and method of deriving process device power from an industrial process |
US7921734B2 (en) | 2009-05-12 | 2011-04-12 | Rosemount Inc. | System to detect poor process ground connections |
US8626087B2 (en) | 2009-06-16 | 2014-01-07 | Rosemount Inc. | Wire harness for field devices used in a hazardous locations |
US9674976B2 (en) | 2009-06-16 | 2017-06-06 | Rosemount Inc. | Wireless process communication adapter with improved encapsulation |
US8334788B2 (en) | 2010-03-04 | 2012-12-18 | Rosemount Inc. | Process variable transmitter with display |
US10761524B2 (en) | 2010-08-12 | 2020-09-01 | Rosemount Inc. | Wireless adapter with process diagnostics |
US9207670B2 (en) | 2011-03-21 | 2015-12-08 | Rosemount Inc. | Degrading sensor detection implemented within a transmitter |
US9310794B2 (en) | 2011-10-27 | 2016-04-12 | Rosemount Inc. | Power supply for industrial process field device |
US8813572B2 (en) * | 2011-12-06 | 2014-08-26 | Rosemount Inc. | Ferrofluid modified fill fluid for pressure transmitters |
US9010191B2 (en) | 2011-12-22 | 2015-04-21 | Rosemount Inc. | Pressure sensor module for sub-sea applications |
AU2013230135B2 (en) | 2012-03-06 | 2015-09-24 | Rosemount Inc. | Remote seal pressure measurement system for subsea use |
US9121743B2 (en) * | 2012-05-31 | 2015-09-01 | Rosemount Inc. | Process variable transmitter system with analog communication |
US9052240B2 (en) | 2012-06-29 | 2015-06-09 | Rosemount Inc. | Industrial process temperature transmitter with sensor stress diagnostics |
US9207129B2 (en) | 2012-09-27 | 2015-12-08 | Rosemount Inc. | Process variable transmitter with EMF detection and correction |
US9602122B2 (en) | 2012-09-28 | 2017-03-21 | Rosemount Inc. | Process variable measurement noise diagnostic |
US8997548B2 (en) * | 2013-01-29 | 2015-04-07 | Reno Technologies, Inc. | Apparatus and method for automatic detection of diaphragm coating or surface contamination for capacitance diaphragm gauges |
US9048901B2 (en) | 2013-03-15 | 2015-06-02 | Rosemount Inc. | Wireless interface within transmitter |
US9442031B2 (en) | 2013-06-28 | 2016-09-13 | Rosemount Inc. | High integrity process fluid pressure probe |
US9689769B2 (en) * | 2013-07-19 | 2017-06-27 | Rosemount Inc. | Pressure transmitter having an isolation assembly with a two-piece isolator plug |
US10663931B2 (en) * | 2013-09-24 | 2020-05-26 | Rosemount Inc. | Process variable transmitter with dual compartment housing |
US9234776B2 (en) | 2013-09-26 | 2016-01-12 | Rosemount Inc. | Multivariable process fluid transmitter for high pressure applications |
US9459170B2 (en) | 2013-09-26 | 2016-10-04 | Rosemount Inc. | Process fluid pressure sensing assembly for pressure transmitters subjected to high working pressure |
US10260980B2 (en) | 2013-09-27 | 2019-04-16 | Rosemount Inc. | Pressure sensor with mineral insulated cable |
RU2636814C2 (ru) | 2013-09-30 | 2017-11-28 | Роузмаунт Инк | Передатчик переменной процесса с корпусом с двумя отделениями |
US9638600B2 (en) | 2014-09-30 | 2017-05-02 | Rosemount Inc. | Electrical interconnect for pressure sensor in a process variable transmitter |
US10015899B2 (en) | 2015-06-29 | 2018-07-03 | Rosemount Inc. | Terminal block with sealed interconnect system |
US9915167B2 (en) * | 2015-11-20 | 2018-03-13 | Ansaldo Energia Switzerland AG | Detection of deficient sensors in a gas turbine system |
US10598559B2 (en) | 2017-06-29 | 2020-03-24 | Rosemount Inc. | Pressure sensor assembly |
Family Cites Families (62)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB1069435A (en) * | 1963-05-21 | 1967-05-17 | G V Planer Ltd | Electromechanical transducer device |
US3405559A (en) * | 1966-11-07 | 1968-10-15 | United Aircraft Corp | Pressure transducer |
US3743552A (en) * | 1970-01-30 | 1973-07-03 | North American Rockwell | Process for coplanar semiconductor structure |
IL38468A (en) * | 1971-02-02 | 1974-11-29 | Hughes Aircraft Co | Electrical resistance device and its production |
JPS4938911A (ja) * | 1972-08-18 | 1974-04-11 | ||
US4084438A (en) * | 1976-03-29 | 1978-04-18 | Setra Systems, Inc. | Capacitive pressure sensing device |
JPS53112468A (en) * | 1977-03-11 | 1978-09-30 | Meidensha Electric Mfg Co Ltd | Device for measuring degree of vacuum of vacuum switch |
US4196632A (en) * | 1978-08-14 | 1980-04-08 | The Boeing Company | Dual capacitance type bonded pressure transducer |
JPS5937716Y2 (ja) * | 1979-01-31 | 1984-10-19 | 日産自動車株式会社 | 半導体差圧センサ |
US4301492A (en) * | 1980-01-28 | 1981-11-17 | Paquin Maurice J | Pressure-sensing transducer |
SE436936B (sv) * | 1981-01-29 | 1985-01-28 | Asea Ab | Integrerad kapacitiv givare |
US4544887A (en) * | 1982-10-21 | 1985-10-01 | Gte Laboratories Incorporated | Method of measuring photo-induced voltage at the surface of semiconductor materials |
DE3404262A1 (de) * | 1983-03-09 | 1984-09-13 | Fuji Electric Co., Ltd., Kawasaki | Kapazitiver messfuehler |
US4507973A (en) * | 1983-08-31 | 1985-04-02 | Borg-Warner Corporation | Housing for capacitive pressure sensor |
US4542436A (en) * | 1984-04-10 | 1985-09-17 | Johnson Service Company | Linearized capacitive pressure transducer |
JPS61204529A (ja) * | 1985-03-08 | 1986-09-10 | Hitachi Ltd | 半導体圧力センサ |
JPS622552A (ja) * | 1985-06-27 | 1987-01-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体検査装置および半導体検査方法 |
JPH0628318B2 (ja) * | 1986-05-02 | 1994-04-13 | 株式会社豊田中央研究所 | 半導体圧力変換器及びその製造方法 |
DE3616308C2 (de) * | 1986-05-14 | 1995-09-21 | Bosch Gmbh Robert | Sensor |
US4800758A (en) * | 1986-06-23 | 1989-01-31 | Rosemount Inc. | Pressure transducer with stress isolation for hard mounting |
US4837506A (en) * | 1986-10-02 | 1989-06-06 | Ultraprobe, Inc. | Apparatus including a focused UV light source for non-contact measuremenht and alteration of electrical properties of conductors |
DE3705900A1 (de) * | 1987-02-24 | 1988-09-01 | Siemens Ag | Verfahren zur selbstueberwachung von messwertaufnehmern |
DE3705901C2 (de) * | 1987-02-24 | 1996-12-12 | Siemens Ag | Druckmeßwandler |
JPS63285195A (ja) * | 1987-05-19 | 1988-11-22 | Yokogawa Electric Corp | 単結晶水晶体の接合方法 |
US4836011A (en) * | 1987-11-12 | 1989-06-06 | Fisher Controls International, Inc. | Zero and span adjustment circuit for current/pressure transducer |
US4859939A (en) * | 1987-12-21 | 1989-08-22 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army | Non-destructive testing of SOS wafers using surface photovoltage measurements |
DE3901492A1 (de) * | 1988-07-22 | 1990-01-25 | Endress Hauser Gmbh Co | Drucksensor und verfahren zu seiner herstellung |
EP0542719A3 (en) * | 1988-09-23 | 1993-06-02 | Automotive Systems Laboratory Inc. | A method for establishing a value for the sensitivity of an acceleration sensor |
US5287724A (en) * | 1988-09-23 | 1994-02-22 | Automotive Systems Laboratory, Inc. | Method for calibrating an accelerometer |
JP2862552B2 (ja) * | 1989-02-15 | 1999-03-03 | 能美防災株式会社 | 火災報知設備 |
JPH02299100A (ja) * | 1989-05-15 | 1990-12-11 | Mirai Biru Kenkyu Kaihatsu Kk | 環境検知システム |
JPH02311556A (ja) * | 1989-05-26 | 1990-12-27 | Kanegafuchi Chem Ind Co Ltd | 熱可塑性樹脂組成物の製造方法 |
US5253510A (en) * | 1989-06-22 | 1993-10-19 | I C Sensors | Self-testable micro-accelerometer |
US4972717A (en) * | 1989-09-18 | 1990-11-27 | Texas Instruments Incorporated | Pressure transducer apparatus and method for making same |
JP2853370B2 (ja) * | 1990-07-13 | 1999-02-03 | 三菱電機株式会社 | 圧力異常検出装置 |
US5326726A (en) * | 1990-08-17 | 1994-07-05 | Analog Devices, Inc. | Method for fabricating monolithic chip containing integrated circuitry and suspended microstructure |
JP2724419B2 (ja) * | 1990-08-28 | 1998-03-09 | 日本特殊陶業株式会社 | 圧力センサ |
JP3012297B2 (ja) * | 1990-09-03 | 2000-02-21 | 株式会社日立製作所 | 異常事象同定方法及び装置 |
US5198772A (en) * | 1991-03-12 | 1993-03-30 | Mks Instruments, Inc. | Removable discharge initiating means for cold cathode discharge ionization gauge |
JPH05322921A (ja) * | 1992-05-19 | 1993-12-07 | Hitachi Ltd | 加速度センサ及びこれを用いたエアバッグシステム |
US5114664A (en) * | 1991-05-06 | 1992-05-19 | General Electric Company | Method for in situ evaluation of capacitive type pressure transducers in a nuclear power plant |
US5155061A (en) * | 1991-06-03 | 1992-10-13 | Allied-Signal Inc. | Method for fabricating a silicon pressure sensor incorporating silicon-on-insulator structures |
JP3091775B2 (ja) * | 1991-07-01 | 2000-09-25 | 豊田工機株式会社 | 容量型センサ |
US5178015A (en) * | 1991-07-22 | 1993-01-12 | Monolithic Sensors Inc. | Silicon-on-silicon differential input sensors |
US5227068A (en) * | 1991-10-25 | 1993-07-13 | Eco-Soil Systems, Inc. | Closed apparatus system for improving irrigation and method for its use |
JP2896725B2 (ja) * | 1991-12-26 | 1999-05-31 | 株式会社山武 | 静電容量式圧力センサ |
FR2687777B1 (fr) * | 1992-02-20 | 1994-05-20 | Sextant Avionique | Micro-capteur capacitif a faible capacite parasite et procede de fabrication. |
JP3206110B2 (ja) * | 1992-05-26 | 2001-09-04 | トヨタ自動車株式会社 | 車輌用衝突検知装置の故障検出装置 |
US5377524A (en) * | 1992-06-22 | 1995-01-03 | The Regents Of The University Of Michigan | Self-testing capacitive pressure transducer and method |
US5332469A (en) * | 1992-11-12 | 1994-07-26 | Ford Motor Company | Capacitive surface micromachined differential pressure sensor |
JP3203525B2 (ja) * | 1992-12-08 | 2001-08-27 | 株式会社トーキン | 加速度センサ |
JP2748079B2 (ja) * | 1993-04-12 | 1998-05-06 | 山武ハネウエル株式会社 | 静電容量式圧力センサ |
JPH0712667A (ja) * | 1993-06-29 | 1995-01-17 | Hitachi Ltd | 物理量センサおよび物理量センサシステム |
US5424650A (en) * | 1993-09-24 | 1995-06-13 | Rosemont Inc. | Capacitive pressure sensor having circuitry for eliminating stray capacitance |
JPH07146308A (ja) * | 1993-11-25 | 1995-06-06 | Hitachi Ltd | 加速度センサ |
JP2893233B2 (ja) * | 1993-12-09 | 1999-05-17 | 株式会社ユニシアジェックス | 筒内圧センサの診断装置 |
JPH07225244A (ja) * | 1994-02-10 | 1995-08-22 | Toyota Motor Corp | 加速度センサの故障検出装置 |
US5437189A (en) * | 1994-05-03 | 1995-08-01 | Motorola, Inc. | Dual absolute pressure sensor and method thereof |
JP3216955B2 (ja) * | 1994-05-31 | 2001-10-09 | 株式会社日立製作所 | 容量式センサ装置 |
US5471884A (en) * | 1994-07-05 | 1995-12-05 | Motorola, Inc. | Gain-adjusting circuitry for combining two sensors to form a media isolated differential pressure sensor |
JP3353214B2 (ja) * | 1994-08-03 | 2002-12-03 | 株式会社日立製作所 | 圧力伝送器 |
US5637802A (en) * | 1995-02-28 | 1997-06-10 | Rosemount Inc. | Capacitive pressure sensor for a pressure transmitted where electric field emanates substantially from back sides of plates |
-
1996
- 1996-02-23 US US08/605,941 patent/US5665899A/en not_active Expired - Lifetime
-
1997
- 1997-02-06 BR BR9707621A patent/BR9707621A/pt not_active Application Discontinuation
- 1997-02-06 EP EP97904263A patent/EP0882221B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1997-02-06 WO PCT/US1997/001957 patent/WO1997031252A1/en active IP Right Grant
- 1997-02-06 JP JP53019097A patent/JP4510148B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 1997-02-06 CN CN97192444.9A patent/CN1212052A/zh active Pending
- 1997-02-06 CA CA002246613A patent/CA2246613A1/en not_active Abandoned
- 1997-02-06 DE DE69723423T patent/DE69723423T2/de not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP0882221A1 (en) | 1998-12-09 |
EP0882221B1 (en) | 2003-07-09 |
BR9707621A (pt) | 1999-07-27 |
CA2246613A1 (en) | 1997-08-28 |
CN1212052A (zh) | 1999-03-24 |
DE69723423D1 (de) | 2003-08-14 |
JP2000509484A (ja) | 2000-07-25 |
US5665899A (en) | 1997-09-09 |
DE69723423T2 (de) | 2003-12-24 |
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