JP4508787B2

JP4508787B2 - 液晶パネルの生産設備

Info

Publication number: JP4508787B2
Application number: JP2004251848A
Authority: JP
Inventors: 博行松本
Original assignee: Hitachi Plant Technologies Ltd
Current assignee: Hitachi Plant Technologies Ltd
Priority date: 2004-08-31
Filing date: 2004-08-31
Publication date: 2010-07-21
Anticipated expiration: 2024-08-31
Also published as: JP2006069684A

Description

本発明は、液晶パネルの生産設備に係り、特に、洗浄・製膜工程、露光工程及びエッチング工程を１加工サイクルとし、同様の加工サイクルを複数回繰り返して行うことによりパネル面上にトランジスタを形成するようにした液晶パネルの生産設備に関するものである。

液晶パネルの製造工場においては、図３（ａ）に示すように、洗浄・製膜工程（本明細書において、「洗浄・製膜工程」という。）、レジスト塗布・露光・現像工程（本明細書において、「露光工程」という。）及びエッチング・アッシング・検査工程（本明細書において、「エッチング工程」という。）を１加工サイクルとし、同様の加工サイクルを複数回繰り返して行うことにより、具体的には、（１）ゲート形成、（２）Ｎ型膜、（３）ソース形成、（４）電極形成、（５）保護膜形成の各加工サイクルを行うことにより、パネル面上にトランジスタを形成するようにしている。

ところで、このような液晶パネルの製造工場における液晶パネルの生産設備においては、従来、図３（ｂ）に示すように、洗浄・製膜工程、露光工程及びエッチング工程をそれぞれ実施する製造装置との間でパネルの受け渡しを行う位置に、パネルを収容するカセットを保管するカセット保管設備Ｂｚを配設し、このカセット保管設備Ｂｚと製造装置との間のパネルの受け渡しを、パネル移載装置（図示省略）を用いて、パネル単位で行うようにするとともに、各カセット保管設備Ｂｚ間におけるパネルの移送を、カセット搬送装置（図示省略）を用いて、パネルを収容したカセット単位で行うようにしていた。

しかしながら、このように、洗浄・製膜工程、露光工程及びエッチング工程をそれぞれ実施する製造装置に対応してカセット保管設備Ｂｚを配設し、各カセット保管設備Ｂｚ間におけるパネルの移送を、カセット搬送設備（図示省略）を用いて、パネルを収容したカセット単位で行うようにすると、製造する液晶パネルのパネルサイズの大形化に伴い、製造工場におけるカセット保管設備Ｂｚやカセット搬送設備が占める面積が増大し、製造工場が大形化するとともに、搬送効率を始めとする生産効率を低下させ、これらによって、液晶パネルの生産コストが上昇するという問題があった。

本発明は、上記従来の液晶パネルの生産設備の有する問題点に鑑み、製造する液晶パネルのパネルサイズが大形化しても、製造工場におけるカセット保管設備やカセット搬送設備が占める面積が増大せず、搬送効率を始めとする生産効率を向上することができる液晶パネルの生産設備を提供することを目的とする。

上記目的を達成するため、本発明の液晶パネルの生産設備は、洗浄・製膜工程、露光工程及びエッチング工程を１加工サイクルとし、同様の加工サイクルを複数回繰り返して行うことによりパネル面上にトランジスタを形成するようにした液晶パネルの生産設備において、以下（１）−（３）の製造装置の設置条件の下で、洗浄・製膜工程へパネルを受け渡すパネル供給位置及びエッチング工程からパネルを受け取るパネル受容位置に、パネルを収容するカセットを保管するカセット保管設備を配設し、前の加工サイクルのパネル受容位置に配設したカセット保管設備とそれに続く加工サイクルのパネル供給位置に配設したカセット保管設備との間におけるパネルの移送を、パネルを収容したカセット単位で行うようにするとともに、同一加工サイクル内のパネルの移送を、パネル単位で行うようにしたこと特徴とする。
（１）前の加工サイクルのパネルの移送方向とそれに続く加工サイクルのパネルの移送方向とが逆方向になるように各加工サイクルの洗浄・製膜工程、露光工程及びエッチング工程をそれぞれ実施する製造装置を平行かつ逆方向に設置し、前の加工サイクルのパネル受容位置に配設したカセット保管設備とそれに続く加工サイクルのパネル供給位置に配設したカセット保管設備とを共通化するようにする。
（２）前の加工サイクルの洗浄・製膜工程、露光工程及びエッチング工程をそれぞれ実施する製造装置と、それに続く加工サイクルの洗浄・製膜工程、露光工程及びエッチング工程をそれぞれ実施する製造装置とを、上下階に階を違えて設置する。
（３）複数の加工サイクルの洗浄・製膜工程、露光工程及びエッチング工程をそれぞれ実施する製造装置を同一階に設置するに当たり、各加工サイクルのパネルの移送方向が同方向になるように各加工サイクルの洗浄・製膜工程、露光工程及びエッチング工程をそれぞれ実施する製造装置を平行かつ同方向に設置する。

この場合において、異なる加工サイクル間で洗浄・製膜工程、露光工程及びエッチング工程をそれぞれ実施する製造装置の少なくとも一部を共用できるようにすることができる。

また、通常は使用せずに、製造装置の故障や製造装置の稼働頻度の調整の際に使用する補助の製造装置を、通常使用する製造装置と並列して設置するようにすることができる。

本発明の液晶パネルの生産設備によれば、洗浄・製膜工程へパネルを受け渡すパネル供給位置及びエッチング工程からパネルを受け取るパネル受容位置に、パネルを収容するカセットを保管するカセット保管設備を配設し、前の加工サイクルのパネル受容位置に配設したカセット保管設備とそれに続く加工サイクルのパネル供給位置に配設したカセット保管設備との間におけるパネルの移送を、パネルを収容したカセット単位で行うようにするとともに、同一加工サイクル内のパネルの移送を、パネル単位で行うようにすることにより、製造する液晶パネルのパネルサイズが大形化しても、製造工場におけるカセット保管設備やカセット搬送設備が占める面積が増大せず、搬送効率を始めとする生産効率を向上することができ、液晶パネルの生産コストを低廉にできる。

そして、前の加工サイクルのパネルの移送方向とそれに続く加工サイクルのパネルの移送方向とが逆方向になるように各加工サイクルの洗浄・製膜工程、露光工程及びエッチング工程をそれぞれ実施する製造装置を平行かつ逆方向に設置し、前の加工サイクルのパネル受容位置に配設したカセット保管設備とそれに続く加工サイクルのパネル供給位置に配設したカセット保管設備とを共通化するようにすることにより、カセット保管設備を簡略化することができる。

また、前の加工サイクルの洗浄・製膜工程、露光工程及びエッチング工程をそれぞれ実施する製造装置と、それに続く加工サイクルの洗浄・製膜工程、露光工程及びエッチング工程をそれぞれ実施する製造装置とを、上下階に階を違えて設置するようにすることにとり、カセット保管設備を簡略化することができる。

また、複数の加工サイクルの洗浄・製膜工程、露光工程及びエッチング工程をそれぞれ実施する製造装置を同一階に設置するに当たり、各加工サイクルのパネルの移送方向が同方向になるように各加工サイクルの洗浄・製膜工程、露光工程及びエッチング工程をそれぞれ実施する製造装置を平行かつ同方向に設置するようにすることにより、製造装置のメンテナンス作業等を簡略化することができる。

さらに、異なる加工サイクル間で洗浄・製膜工程、露光工程及びエッチング工程をそれぞれ実施する製造装置の少なくとも一部を共用できるようにすることにより、製造装置の故障や製造装置の稼働頻度の調整等に容易に対応することができる。

また、通常は使用せずに、製造装置の故障や製造装置の稼働頻度の調整の際に使用する補助の製造装置を、通常使用する製造装置と並列して設置するようにすることにより、製造装置の故障や製造装置の稼働頻度の調整等に容易に対応することができる。

以下、本発明の液晶パネルの生産設備の実施の形態を、図面に基づいて説明する。

図１〜図２に、本発明の液晶パネルの生産設備の一実施例を示す。

この液晶パネルの生産設備は、従来の液晶パネルの生産設備と同様、図３（ａ）に示すように、洗浄・製膜工程（洗浄・製膜工程）、レジスト塗布・露光・現像工程（露光工程）及びエッチング・アッシング・検査工程（エッチング工程）を１加工サイクルとし、同様の加工サイクルを複数回繰り返して行うことにより、具体的には、一例として、（１）ゲート形成、（２）Ｎ型膜、（３）ソース形成、（４）電極形成、（５）保護膜形成の各加工サイクルを行うことにより、パネル面上にトランジスタを形成するものである。

そして、本実施例の液晶パネルの生産設備においては、洗浄・製膜工程へパネルを受け渡すパネル供給位置及びエッチング工程からパネルを受け取るパネル受容位置に、パネルを収容するカセットを保管するカセット保管設備Ｂｘ１、Ｂｘ２を配設し、前の加工サイクルのパネル受容位置に配設したカセット保管設備Ｂｘ２とそれに続く加工サイクルのパネル供給位置に配設したカセット保管設備Ｂｘ１との間におけるパネルの移送を、パネルを収容したカセット単位で行うようにするとともに、同一加工サイクル内のパネルの移送、すなわち、洗浄・製膜工程、露光工程及びエッチング工程をそれぞれ実施する製造装置１、２、３の間でのパネルの受け渡しを、パネル移載装置４を用いて、パネル単位で行うようにするようにしている。

この場合において、洗浄・製膜工程、露光工程及びエッチング工程をそれぞれ実施する製造装置１、２、３の間でのパネルの受け渡しは、製造装置１、２、３間に、パネルを一時的に保管するパネル保管設備Ｂｙを配設し、パネル移載装置４を用いて行うことができる。

また、パネルを収容したカセット単位で行う前の加工サイクルのパネル受容位置に配設したカセット保管設備Ｂｘ２とそれに続く加工サイクルのパネル供給位置に配設したカセット保管設備Ｂｘ１との間におけるパネルの移送は、カセット搬送装置（図示省略）を用いて行うほか、前の加工サイクルのパネルの移送方向とそれに続く加工サイクルのパネルの移送方向とが逆方向になるように各加工サイクルの洗浄・製膜工程、露光工程及びエッチング工程をそれぞれ実施する製造装置１、２、３を平行かつ逆方向に設置し、さらに、前の加工サイクルのパネル受容位置に配設したカセット保管設備Ｂｘ２とそれに続く加工サイクルのパネル供給位置に配設したカセット保管設備Ｂｘ１とを共通化することにより、カセット搬送装置として、スタッカークレーン（図示省略）を用いて行うこともでき、これにより、カセット保管設備及びカセット搬送装置を簡略化することができる。

この場合、図２に示すように、前の加工サイクルの洗浄・製膜工程、露光工程及びエッチング工程をそれぞれ実施する製造装置１、２、３と、それに続く加工サイクルの洗浄・製膜工程、露光工程及びエッチング工程をそれぞれ実施する製造装置１、２、３とを、上下階に階を違えて設置するようにすることもでき、これにより、カセット保管設備及びカセット搬送装置を簡略化することができる。

また、複数の加工サイクルの洗浄・製膜工程、露光工程及びエッチング工程をそれぞれ実施する製造装置１、２、３を同一階に設置するに当たり、各加工サイクルのパネルの移送方向が同方向になるように各加工サイクルの洗浄・製膜工程、露光工程及びエッチング工程をそれぞれ実施する製造装置１、２、３を平行かつ同方向に設置するようにすることができ、これにより、製造装置１、２、３のメンテナンス作業等を簡略化することができる。

また、異なる加工サイクル間で洗浄・製膜工程、露光工程及びエッチング工程をそれぞれ実施する製造装置１、２、３の少なくとも一部を共用できるようにすることができる。
この場合、図２（ａ）に示すように、通常は使用せずに、製造装置の故障や製造装置の稼働頻度の調整等の際に使用する補助の製造装置１ａ、２ａ、３ａ、３ｂ、３ｃを、通常使用する製造装置１、２、３と並列して設置するようにすることができる。
これにより、製造装置の故障や製造装置の稼働頻度の調整等に容易に対応することができる。

そして、この液晶パネルの生産設備によって、パネルサイズが１８００ｍｍ×１５００ｍｍ以上、さらには、２２００ｍｍ×１８００ｍｍ以上のパネルを取り扱うことができる。

この液晶パネルの生産設備によれば、洗浄・製膜工程へパネルを受け渡すパネル供給位置及びエッチング工程からパネルを受け取るパネル受容位置に、パネルを収容するカセットを保管するカセット保管設備Ｂｘ１、Ｂｘ２を配設し、前の加工サイクルのパネル受容位置に配設したカセット保管設備Ｂｘ２とそれに続く加工サイクルのパネル供給位置に配設したカセット保管設備Ｂｘ１との間におけるパネルの移送を、パネルを収容したカセット単位で行うようにするとともに、同一加工サイクル内のパネルの移送を、パネル単位で行うようにすることにより、製造する液晶パネルのパネルサイズが大形化しても、製造工場におけるカセット保管設備やカセット搬送設備が占める面積が増大せず、搬送効率を始めとする生産効率を向上することができ、工場建設の初期費用を低廉にできることと相俟って、液晶パネルの生産コストを低廉にできる。

以上、本発明の液晶パネルの生産設備について、その実施例に基づいて説明したが、本発明は上記実施例に記載した構成に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において適宜その構成を変更することができるものである。

本発明の液晶パネルの生産設備は、製造する液晶パネルのパネルサイズが大形化しても、製造工場におけるカセット保管設備やカセット搬送設備が占める面積が増大せず、搬送効率を始めとする生産効率を向上することができることから、大形のパネルサイズの液晶パネルの生産設備に好適に用いることができる。

本発明の液晶パネルの生産設備の一実施例を示す概略説明図である。同製造装置を、上下階に階を違えて設置する場合を示し、（ａ）は上下階の平面図、（ｂ）は正面図である。（ａ）は液晶パネルの生産工程を示す説明図、（ｂ）は従来の液晶パネルの生産設備の一実施例を示す概略説明図である。

Ｂｘ１カセット保管設備
Ｂｘ２カセット保管設備
Ｂｙパネル保管設備
１洗浄・製膜工程を実施する製造装置
２露光工程を実施する製造装置
３エッチング工程を実施する製造装置
４パネル移載装置

Claims

洗浄・製膜工程、露光工程及びエッチング工程を１加工サイクルとし、同様の加工サイクルを複数回繰り返して行うことによりパネル面上にトランジスタを形成するようにした液晶パネルの生産設備において、以下（１）−（３）の製造装置の設置条件の下で、洗浄・製膜工程へパネルを受け渡すパネル供給位置及びエッチング工程からパネルを受け取るパネル受容位置に、パネルを収容するカセットを保管するカセット保管設備を配設し、前の加工サイクルのパネル受容位置に配設したカセット保管設備とそれに続く加工サイクルのパネル供給位置に配設したカセット保管設備との間におけるパネルの移送を、パネルを収容したカセット単位で行うようにするとともに、同一加工サイクル内のパネルの移送を、パネル単位で行うようにしたこと特徴とする液晶パネルの生産設備。
（１）前の加工サイクルのパネルの移送方向とそれに続く加工サイクルのパネルの移送方向とが逆方向になるように各加工サイクルの洗浄・製膜工程、露光工程及びエッチング工程をそれぞれ実施する製造装置を平行かつ逆方向に設置し、前の加工サイクルのパネル受容位置に配設したカセット保管設備とそれに続く加工サイクルのパネル供給位置に配設したカセット保管設備とを共通化するようにする。
（２）前の加工サイクルの洗浄・製膜工程、露光工程及びエッチング工程をそれぞれ実施する製造装置と、それに続く加工サイクルの洗浄・製膜工程、露光工程及びエッチング工程をそれぞれ実施する製造装置とを、上下階に階を違えて設置する。
（３）複数の加工サイクルの洗浄・製膜工程、露光工程及びエッチング工程をそれぞれ実施する製造装置を同一階に設置するに当たり、各加工サイクルのパネルの移送方向が同方向になるように各加工サイクルの洗浄・製膜工程、露光工程及びエッチング工程をそれぞれ実施する製造装置を平行かつ同方向に設置する。
異なる加工サイクル間で洗浄・製膜工程、露光工程及びエッチング工程をそれぞれ実施する製造装置の少なくとも一部を共用できるようにしたことを特徴とする請求項１記載の液晶パネルの生産設備。
通常は使用せずに、製造装置の故障や製造装置の稼働頻度の調整の際に使用する補助の製造装置を、通常使用する製造装置と並列して設置するようにしたことを特徴とする請求項１又は２記載の液晶パネルの生産設備。