JP4498082B2 - 光学分析装置およびその粒子カウント方法 - Google Patents
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- 239000002245 particle Substances 0.000 title claims description 432
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 104
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 31
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 98
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 15
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 8
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 8
- 239000000284 extract Substances 0.000 description 4
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000004044 response Effects 0.000 description 2
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 210000002381 plasma Anatomy 0.000 description 1
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
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- G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume, or surface-area of porous materials
- G01N15/02—Investigating particle size or size distribution
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume, or surface-area of porous materials
- G01N15/10—Investigating individual particles
- G01N15/14—Electro-optical investigation, e.g. flow cytometers
- G01N2015/1486—Counting the particles
Description
前記分析用光学ディスクを回転するディスク回転手段と、前記分析用光学ディスクに光ビームを照射する光照射手段と、前記光照射手段を駆動して、前記分析用光学ディスクに照射された前記光ビームを走査する走査手段と、前記分析用光学ディスクを挟んで前記光照射手段と反対側に配置され、前記光照射手段より前記分析用光学ディスクに照射された光ビームの通過光を受光する、前記光ビームを走査する方向に対して略直角方向を境界とした少なくとも2つ以上の受光部を有する光検出手段と、前記光ビームが粒子を通過する際に、前記光検出手段の各受光部から得られる通過光の各信号を差分して得られる差動信号を抽出する差動信号検出手段と、差動信号用メモリと、第1の閾値を粒子が存在する判定基準とし、前記差動信号検出手段により抽出された差動信号から前記分析用光学ディスクのある特定領域に粒子が存在するかを判断して、その結果を前記差動信号用メモリに格納する差動信号判定手段と、前記差動信号用メモリを、測定対象物となる一定範囲のサイズの粒子に対応する第1走査ウィンドウで走査して、測定対象物となる一定範囲のサイズの粒子の有無を判定する粒子存在判定手段と、前記光ビームが粒子を通過する際に、前記光検出手段の各受光部から得られる通過光の和信号を抽出する和信号検出手段と、和信号用メモリと、第2の閾値を粒子としてカウントしてよいか判定する基準とし、前記和信号検出手段により抽出された和信号から前記分析用光学ディスクにカウントできる粒子があるかを判断して、その結果を前記和信号用メモリに格納する和信号判定手段と、前記和信号用メモリを、粒子のカウントの有効性を判定する第2走査ウィンドウで走査して、粒子のカウントの有効性を判定する粒子有効性判定手段と、前記粒子存在判定手段と前記粒子有効性判定手段により、測定対象物となる一定範囲のサイズの粒子の中で最小値サイズを含む粒子が存在し、かつ、カウントすることが有効な粒子であると判定されるとき、最小値サイズを含む粒子の検出数を求め、前記一定範囲のサイズの粒子の中で最大値より1走査単位分大きなサイズを含む粒子が存在し、かつ、カウントすることが有効な粒子であると判定されるとき、最大値より1走査単位分大きなサイズを含む粒子の検出数を求め、求めた最小値サイズを含む粒子の検出数と最大値より1走査単位分大きなサイズを含む粒子の検出数の差分から、前記一定範囲のサイズの粒子の検出数を求める粒子検出手段を備えたことを特徴とするものである。
前記分析用光学ディスクに光ビームを照射させて、前記分析用光学ディスクに照射された前記光ビームを走査して、前記光ビームが粒子を通過する際に検出される通過光を、前記光ビームを走査する方向に対して略直角方向を境界とした少なくとも2つ以上に分けて配置された受光部で受光し、これら受光した信号の差動信号と和信号を抽出し、前記差動信号からは第1の閾値を粒子が存在する判定基準として前記分析用光学ディスクに粒子が存在するかを判断してその結果を記憶し、前記和信号からは第2の閾値を粒子としてカウントしてよいか判定する基準として前記分析用光学ディスクにカウントできる粒子があるかを判断してその結果を記憶し、前記光ビームの走査が終了した後、記憶された粒子の存在判断結果を、測定対象物となる一定範囲のサイズの粒子の中で最小値に対応する第1走査ウィンドウで走査して粒子の有無を判定し、同時に記憶された粒子のカウントの有効・無効の判断結果を粒子のカウントの有効性に対応する第2走査ウィンドウで走査して粒子のカウントの有効性を判定し、一定範囲のサイズの粒子の中で最小値のサイズを含む粒子が有り、かつ、カウントすることが有効な粒子と判定されるとき、最小値サイズを含む粒子としてカウントを行い、このときの粒子の検出数を記憶し、続いて、記憶された粒子の存在判断結果を、測定対象物となる一定範囲のサイズの粒子の中で最大値より1走査単位分大きなサイズに対応する第1走査ウィンドウで走査して粒子の有無を判定し、同時に記憶された粒子のカウントの有効・無効の判断結果を、粒子のカウントの有効性に対応する第2走査ウィンドウで走査して粒子のカウントの有効性を判定し、一定範囲のサイズの粒子の中で最大値より1走査単位分大きなサイズを含む粒子が有り、かつ、カウントすることが有効な粒子と判定されるとき、最大値より1走査単位分大きなサイズを含む粒子のカウントを行い、このときの粒子の検出数を記憶し、続いて記憶した最小値サイズを含む粒子の検出数と最大値より1走査単位分大きなサイズを含む粒子の検出数との差分から、一定範囲のサイズの粒子の検出数を求めることを特徴としたものである。
図1は本発明の実施の形態における光学分析装置の構成図である。
図5のA1、B1、C1の“1”は、図4の差動信号用メモリ113において3×Aの第1走査ウィンドウ41(M=3,N=A)内の各該当行に少なくともひとつの“1(粒子存在)”があることを示し、また“0”は、差動信号用メモリ113において3×Aの第1走査ウィンドウ41内の各該当行が全て“0(粒子の存在なし)”であることを示している。すなわち、3×Aの第1走査ウィンドウ41内の各該当行のデータが論理和回路(OR回路)に入力された結果を示している。図5のX1は、前記A1、B1、C1の結果を受けて、図4に示すように、それらのデータを論理積回路(AND回路)117に入力された結果を示している。このX1が“1”であるならば、粒子存在判定手段123によりトレースしたトラック上に粒子が存在すると判定する。この粒子存在判定手段123による粒子の存在判定結果が、粒子検出回路114へ出力される。
ステップ−1
ディスクモータ制御回路104によりディスクモータ102を駆動して分析用光学ディスク101を回転させるとともに、送りモータ制御回路107により送りモータ103を駆動してピックアップ装置110およびフォトディテクタ111を水平方向へ移動させて、ピックアップ装置110から照射される光ビームを分析用光学ディスク101のトラックに沿ってトレースさせる。
ステップ−2
前記トレース中に、分析用光学ディスク101に照射された光ビームが粒子を通過する際、その通過光を2分割のフォトディテクタ111により受光する。各フォトディテクタ111の通過光の信号より差動信号検出回路112により差動信号22,23を抽出し、抽出した差動信号22,23から、特定の閾値(第1の閾値)を粒子の存在判定基準として、粒子の存在を判断してその結果を差動信号用メモリ113に記憶する。同時に、各フォトディテクタ111の通過光の信号より和信号検出回路115により和信号25,24を抽出し、抽出した和信号25,24から、特定の閾値(第2の閾値)を粒子としてカウントしてよいのかを判定する有効性判定基準として、粒子の有効性を判断してその結果を和信号用メモリ116に記憶する。
ステップ−3
前記トレースが終了した後、差動信号検出回路112において、検出する一定範囲のサイズの粒子の中で最小値に対応したM×Nの第1走査ウィンドウにより、差動信号用メモリ113を走査させて粒子の有無を判定する。同時に、和信号検出回路115において、“0”から“1”への変化抽出を捕らえるm×nの第2走査ウィンドウにより、和信号用メモリ116を走査させて粒子のカウントの有効性を判定する。それぞれの結果から、粒子が有り、かつ粒子が有効と判定されるとき、一定範囲の最小値サイズを含む粒子と判定してカウントし、このときの粒子検出数を記憶する。
ステップ−4
次に、差動信号検出回路112において、検出する一定範囲のサイズの粒子の中で最大値より1トラック分大きなサイズに対応したM’×Nの第1走査ウィンドウにより、差動信号用メモリ113を走査させて粒子の有無を判定する。同時に、和信号検出回路115において、“0”から“1”への変化抽出を捕らえるm×nの第2走査ウィンドウにより、和信号用メモリ116を走査させて粒子のカウントの有効性を判定する。それぞれの結果から、粒子が有り、かつ粒子が有効と判定されるとき、一定範囲の最大値より1トラック分大きなサイズを含む粒子と判定してカウントし、このときの粒子検出数を記憶する。
ステップ−5
次に、ステップ−3で記憶した粒子の最小値サイズを含む粒子検出数と、ステップ−4で記憶した粒子の最大値より1トラック分大きなサイズを含む粒子検出数との差分から、一定範囲のサイズの粒子の検出数を求める。
22 差動信号(光ビームを透過する粒子が存在する場合)
23 差動信号(光ビームを透過しない粒子が存在する場合)
24 和信号(光ビームが透過しない粒子が存在する場合)
25 和信号(光ビームを透過する粒子が存在する場合)
31 トラック6本分の粒子
32 トラック5本分の粒子
33 トラック
34 光ビームの経路
41 差動信号用3×Aの第1走査ウィンドウ
42 和信号用2×Aの第2走査ウィンドウ
91 検出不可能な粒子
92 差動信号(粒子不在時の差動信号)
101 分析用光学ディスク
102 ディスクモータ
103 送りモータ
104 ディスクモータ制御回路
105 フォーカス制御回路
106 トラッキング制御回路
107 送りモータ制御回路
108 マイクロコンピュータ
109 レーザ制御回路
110 ピックアップ装置
111 フォトディテクタ
112 差動信号検出回路
113 差動信号用メモリ
114 粒子検出回路
115 和信号検出回路
116 和信号用メモリ
117、118、119 論理積回路(AND回路)
121 差動信号検出手段
122 差動信号判定手段
123 粒子存在判定手段
126 和信号検出手段
127 和信号判定手段
128 粒子有効性判定手段
1001 トラック3本分の粒子
1002 トラック4本分の粒子
1003 3×A走査ウィンドウ
1004 4×A走査ウィンドウ
1102 トラック7本分の粒子
1105 7×A走査ウィンドウ
1106 6×A走査ウィンドウ
Claims (4)
- 分析用光学ディスクのある特定領域に配置される、多種サイズの粒子の中から、測定対象物となる一定範囲のサイズの粒子の数を求める光学分析装置であって、
前記分析用光学ディスクを回転するディスク回転手段と、
前記分析用光学ディスクに光ビームを照射する光照射手段と、
前記光照射手段を駆動して、前記分析用光学ディスクに照射された前記光ビームを走査する走査手段と、
前記分析用光学ディスクを挟んで前記光照射手段と反対側に配置され、前記光照射手段より前記分析用光学ディスクに照射された光ビームの通過光を受光する、前記光ビームを走査する方向に対して略直角方向を境界とした少なくとも2つ以上の受光部を有する光検出手段と、
前記光ビームが粒子を通過する際に、前記光検出手段の各受光部から得られる通過光の各信号を差分して得られる差動信号を抽出する差動信号検出手段と、
差動信号用メモリと、
第1の閾値を粒子が存在する判定基準とし、前記差動信号検出手段により抽出された差動信号から前記分析用光学ディスクのある特定領域に粒子が存在するかを判断して、その結果を前記差動信号用メモリに格納する差動信号判定手段と、
前記差動信号用メモリを、測定対象物となる一定範囲のサイズの粒子に対応する第1走査ウィンドウで走査して、測定対象物となる一定範囲のサイズの粒子の有無を判定する粒子存在判定手段と、
前記光ビームが粒子を通過する際に、前記光検出手段の各受光部から得られる通過光の和信号を抽出する和信号検出手段と、
和信号用メモリと、
第2の閾値を粒子としてカウントしてよいか判定する基準とし、前記和信号検出手段により抽出された和信号から前記分析用光学ディスクにカウントできる粒子があるかを判断して、その結果を前記和信号用メモリに格納する和信号判定手段と、
前記和信号用メモリを、粒子のカウントの有効性を判定する第2走査ウィンドウで走査して、粒子のカウントの有効性を判定する粒子有効性判定手段と、
前記粒子存在判定手段と前記粒子有効性判定手段により、測定対象物となる一定範囲のサイズの粒子の中で最小値サイズを含む粒子が存在し、かつ、カウントすることが有効な粒子であると判定されるとき、最小値サイズを含む粒子の検出数を求め、前記一定範囲のサイズの粒子の中で最大値より1走査単位分大きなサイズを含む粒子が存在し、かつ、カウントすることが有効な粒子であると判定されるとき、最大値より1走査単位分大きなサイズを含む粒子の検出数を求め、求めた最小値サイズを含む粒子の検出数と最大値より1走査単位分大きなサイズを含む粒子の検出数の差分から、前記一定範囲のサイズの粒子の検出数を求める粒子検出手段
を備えたことを特徴とする光学分析装置。 - 前記差動信号判定手段では、前記分析用光学ディスクの走査単位ごとに粒子が存在すると判断された場合は前記差動信号用メモリに粒子が存在することを意味するマークを格納し、粒子が存在しないと判断された場合は前記差動信号用メモリに粒子が存在しないことを意味するマークを格納して二次元のメモリ配列を構成する存在結果格納処理を有し、
前記和信号判定手段では、前記分析用光学ディスクの走査単位ごとにカウントできる粒子があると判断された場合は前記和信号用メモリにカウント可能な粒子があることを意味するマークを格納し、カウントできない粒子であると判断された場合は前記和信号用メモリにカウント可能な粒子がないことを意味するマークを格納して二次元のメモリ配列を構成する有効性結果格納処理を有すること
を特徴とする請求項1に記載の光学分析装置。 - 前記粒子存在判定手段では、前記存在結果格納処理によって格納された二次元のメモリ配列からM×Nの前記第1走査ウィンドウ(Mは測定する前記粒子のサイズ,Nは前記分析用光学ディスクの検出位置のズレに対応した大きさ)を使用して粒子が存在することを意味するマークの並びを検出して粒子の有無を判定し、
前記粒子有効性判定手段では、前記有効性結果格納処理によって格納された二次元のメモリ配列からm×nの前記第2走査ウィンドウ(mはマークの変化を捕える値,nはNと同じ値)を使用してカウント可能な粒子がないことを意味するマークからカウント可能な粒子があることを意味するマークへの変化を検出して粒子のカウントの有効性を判定すること
を特徴とする請求項2に記載の光学分析装置。 - 分析用光学ディスクのある特定領域に配置される、多種サイズの粒子の中から、測定対象物となる一定範囲のサイズの粒子の数を求める粒子カウント方法であって、
前記分析用光学ディスクに光ビームを照射させて、前記分析用光学ディスクに照射された前記光ビームを走査して、前記光ビームが粒子を通過する際に検出される通過光を、前記光ビームを走査する方向に対して略直角方向を境界とした少なくとも2つ以上に分けて配置された受光部で受光し、これら受光した信号の差動信号と和信号を抽出し、前記差動信号からは第1の閾値を粒子が存在する判定基準として前記分析用光学ディスクに粒子が存在するかを判断してその結果を記憶し、前記和信号からは第2の閾値を粒子としてカウントしてよいか判定する基準として前記分析用光学ディスクにカウントできる粒子があるかを判断してその結果を記憶し、
前記光ビームの走査が終了した後、記憶された粒子の存在判断結果を、測定対象物となる一定範囲のサイズの粒子の中で最小値に対応する第1走査ウィンドウで走査して粒子の有無を判定し、同時に記憶された粒子のカウントの有効・無効の判断結果を、粒子のカウントの有効性に対応する第2走査ウィンドウで走査して粒子のカウントの有効性を判定し、一定範囲のサイズの粒子の中で最小値のサイズを含む粒子が有り、かつ、カウントすることが有効な粒子と判定されるとき、最小値サイズを含む粒子としてカウントを行い、このときの粒子の検出数を記憶し、
続いて、記憶された粒子の存在判断結果を、測定対象物となる一定範囲のサイズの粒子の中で最大値より1走査単位分大きなサイズに対応する第1走査ウィンドウで走査して粒子の有無を判定し、同時に記憶された粒子のカウントの有効・無効の判断結果を、粒子のカウントの有効性に対応する第2走査ウィンドウで走査して粒子のカウントの有効性を判定し、一定範囲のサイズの粒子の中で最大値より1走査単位分大きなサイズを含む粒子が有り、かつ、カウントすることが有効な粒子と判定されるとき、最大値より1走査単位分大きなサイズを含む粒子のカウントを行い、このときの粒子の検出数を記憶し、
続いて記憶した最小値サイズを含む粒子の検出数と最大値より1走査単位分大きなサイズを含む粒子の検出数との差分から、一定範囲のサイズの粒子の検出数を求めること
を特徴とする粒子カウント方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004276266A JP4498082B2 (ja) | 2003-10-30 | 2004-09-24 | 光学分析装置およびその粒子カウント方法 |
US10/973,399 US6999170B2 (en) | 2003-10-30 | 2004-10-27 | Optical analysis apparatus and particle counting method |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003369741 | 2003-10-30 | ||
JP2004276266A JP4498082B2 (ja) | 2003-10-30 | 2004-09-24 | 光学分析装置およびその粒子カウント方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005156538A JP2005156538A (ja) | 2005-06-16 |
JP4498082B2 true JP4498082B2 (ja) | 2010-07-07 |
Family
ID=34554738
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004276266A Active JP4498082B2 (ja) | 2003-10-30 | 2004-09-24 | 光学分析装置およびその粒子カウント方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6999170B2 (ja) |
JP (1) | JP4498082B2 (ja) |
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- 2004-09-24 JP JP2004276266A patent/JP4498082B2/ja active Active
- 2004-10-27 US US10/973,399 patent/US6999170B2/en active Active
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JPH0543267B2 (ja) |
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RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
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A977 | Report on retrieval |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
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S533 | Written request for registration of change of name |
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