JP4497785B2 - 拡散炉用熱電対 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は半導体製造装置における拡散炉に関し、特に拡散炉内に設けられる炉心管の内部実温度を管理する熱電対に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体装置における拡散炉は、拡散源と半導体ウエハとを炉心管の中に収容し、炉心管全体を加熱して拡散不純物をウエハにドープする。図5は拡散炉の一例を示す斜視図である。
【0003】
図5において、拡散炉51には、図1の炉心管101の挿入および抜き出しを行うための出入口53が、上段、中段および下段の3段に設けられている。出入口53の前方領域には、清浄な空間を形成するクリーンベンチ52となっている。拡散炉51の一側部側には、図示しないボートに載せられた半導体ウエハの挿入および引き出しを自動的に行うボートローダ54が設けられている。更に、拡散炉51には、ドーピング系55、ボートローダ制御系56、炉温制御系57等がそれぞれ設置されている。上記の拡散炉51では、拡散炉51に挿入された炉心管101の全端を所定の温度に加熱して、炉心管101内に収容された半導体ウエハWヘの不純物拡散を行う。炉心管101の加熱温度は、たとえば、1000℃程度であり、半導体ウエハWへの不純物拡散を所定通りに行うためには、所定時間の間、炉心管の加熱温度を精度良く一定に保持する必要がある。
【0004】
このため従来においては、図1の様に、拡散炉51内に設けられた炉心管101の中に熱電対(内部サーモカップ)501を1本設け、炉心管101の温度管理を行っていた。この温度管理機構は、たとえば、図1、2に示すように炉心管内に熱電対501を有している。この熱電対501の計測温度によりヒーター201にフイードバックし、炉心管101内全体の温度管理を行っている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、従来の拡散炉装置においては、図1、2における熱電対501により、炉心管101内のガス導入側101bからウエハ導入側101aまでの温度管理を行っている。たとえば、熱電対501はウエハ導入口から見て、炉心管101内の左下方部に設けられている。半導体ウエハWを炉心管101の中に収容し熱処理する場合、半導体ウエハW面内の各ポイントの温度管理(ウエハ面内温度分布の確認)は行われていない。このため、半導体ウエハWは炉心管101内での熱処理によりウエハ面内の不純物拡散や酸化膜成長にバラツキが生じる危険性がある。しかしながら、半導体ウエハW面内での温度バラツキを確認するためには、たとえばIC(半導体集積回路)の電気的特性など間接的な方法でしか面内温度分布を確認することができなかった。しかし、上記方法では炉心管101内での熱処理時のウエハ面内温度分布のバラツキのみではなく、不純物のドープバラツキなど他のプロセスでのウエハ面内バラツキもICの電気的特性に起因するため上記方法の結果から容易に拡散炉での温度面内分布を判断することは困難であった。
【0006】
本発明は、半導体ウエハWが拡散炉の炉心管101内に収容した位置でのウエハW面内温度確認を可能とし、半導体ウエハヘの不純物拡散を精度良く行うことのできる拡散炉を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明は、半導体ウエハを内部に収容し、不純物拡散や酸化膜成長させる拡散炉装置において、複数の熱電対が一組で構成されている熱電対を有することによって、全体が所定の温度に加熱される筒形状の炉心管101の内部温度分布を確認できる。さらに、前記複数熱電対において、各々の熱電対をつなぐ治具を備えている。
【0008】
【実施例】
以下に、この発明の実施例を図面に基づいて説明する。従来の図である図1及び図2を用いて説明する。図1は、拡散炉51の炉心管101のウエハ導入口部を示す縦断面図である。図2は、拡散炉51の内部構成の一例を示す横断面図である。さらに、図3は、本発明に係る複数熱電対101によって構成された温度管理治具の斜視図である。拡散炉51は半導体ウエハWに不純物を熱拡散させるため、もしくは拡散と同時に酸化膜を成長させるための装置であり、炉心管101の配置方向によって横型拡散炉と縦型拡散炉とがある。
【0009】
図2は、炉心管101は横方向に配置されており、横型拡散炉を示している。図2に示すように、横型拡散炉では、拡散炉51内に炉心管101が横に設けられており、この炉心管101は、たとえば、耐熱のガラス材料等から形成される筒状の部材からなる。炉心管101の一端部が半導体ウエハWを載置しているボートを出し入れするためのウエハ導入口101aが設けられている。また、炉心管101の他端部には、不純物ガスやH2、N2等のキャリアガス等の各種ガスGを導入する導入口101bが形成されている。
【0010】
炉心管101の外周には、たとえば高周波コイル201aあるいは抵抗加熱ヒーター等を内蔵した炉体201が設けられ、炉心管101はこの炉体201によって外周から加熱される。高周波コイル201aは、複数に分割されており、それぞれの高周波コイル201aは分割されて制御されている。また、炉心管101内には、半導体ウエハWが、たとえば、図3の石英製のボート12に載置されて収容される。
【0011】
本願発明では、半導体ウエハWをボート12に載置せず、図3の様に、複数熱電対は、例えば、熱電対501a、501b、501c、501d、501eを載置する。ボート12に載置された複数熱電対501a〜501eが炉心管101内に挿入される。挿入された複数熱電対501a〜501eにより炉心管101内の温度分布を容易に確認することができ、半導体ウエハ拡散炉処理における面内バラツキ異常時の炉心管内の温度分布管理を可能とする。なお、図示していないが、各熱電対501a〜501eは、それぞれ長さの異なる複数の熱電対を有している。このために、炉心管101の長手方向の温度分布を測定することができる。
【0012】
また、複数熱電対501a〜501eを炉心管101内の長手方向に平行に、そして、長手方向に対して垂直な面に均等に分布させて支持する複数の治具11および複数の垂直冶具11aが、ボート12に備えられる。そして、ボート12には、ボート脚部13が備えられている。それらは、ガラス系の材料もしくはセラミック系の材料を使用される。冶具11は、例えば各熱電対501a〜501eを夫々炉心管101の上下、左右及び中央に位置させるための枠状のものである。そして、複数の垂直冶具11aは、ボート12上に複数の冶具11を所定の位置に配置するためのものである。
【0013】
つまり、まずボート12に半導体ウエハWを載置する代わりに、各熱電対501a〜501eを保持している冶具11および垂直冶具11aを乗せ、開口部101aから炉心管101内に挿入し、所定の温度に加熱する。各熱電対にて、炉心管101内の温度分布を計測しながら、分割されている高周波コイル201aを、各位置の温度が一定(同じ)になるように夫々制御する。
【0014】
そして、熱電対501a〜501eに代えて、半導体ウエハWをボート12に載置し、元々備えられている熱電対501にて温度測定しながら、加熱する。その時、前に計測したときのように高周波コイル201aを夫々制御する。
【0015】
冶具11、垂直冶具11a、ボート12及びボート脚部13は、ガラス系の材料もしくはセラミック系材料を使用する。これらの材料はパーティクルが少なくコンタミの影響が少ない。セラミック系はガラス系の材料に比べ、耐熱性にすぐれる。たとえば、1200℃以上の熱処理の場合、ガラス系の材料では使用頻度により接続材料11が変形してしまう可能性がある。セラミック系の材料は耐熱性が良く、変形する可能性が少ない。
【0016】
本発明は用途やプロセス温度により熱電対501a〜501eを支持するための治具11の材質は、選ばれる。
【0017】
また、前記複数熱電対を接続している治具11とボート12を接続している垂直冶具11aおよびボート脚部13bは平地に対して垂直に設けられている。垂直に接続されていることにより垂直冶具11aの劣化を防ぐことでき、常に同条件(位置)での炉心管101内の温度確認が可能である。
【0018】
また、治具11および垂直冶具11aおよびボート脚部13は角ムク棒を使用する。上記角ムク棒はたとえば丸ムク棒に比べ、耐熱性が良く変形などの劣化の可能性が少なく、常に同条件(位置)での炉心管101内の温度確認が可能である。
【0019】
【発明の効果】
本発明は、半導体プロセスの拡散炉において複数熱電対治具により以下の効果を有する。
【0020】
炉心管内の温度分布を確認することが容易に可能である。
耐熱性の良いボートや熱電対接続治具の材質や形状、接続角度により劣化を防ぎ、常に同条件での温度管理が可能である。これらにより、本発明による複数熱の電対により温度管理が行われる拡散炉装置を用いて処理した半導体ウエハヘの不純物拡散の均一化、炉心管内の温度分布異常時の迅速な対応、また作製されたICの特性均一化、歩留まりの向上に効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1は、拡散炉の有する炉心管内をウエハ導入口部から見た図である。
【図2】図2は、拡散炉の内部構成の一例を示す槻略図である。
【図3】図3は、本発明に係る複数熱電対および接続治具およびボートの一例を示す斜視図である。
【図4】図4は、本発明に係る複数熱電対および接続治具およびボートの一例を示す正面図である。
【図5】図5は、拡散炉の外観の一例を斜視図である。
【符号の説明】
101 炉心管
101a ウエハ導入口部(ウエハ導入側)
101b ガス導入口
501 熱電対(サーモカップ)
501a〜501e 熱電対(サーモカップ)
11 冶具
11a 垂直冶具
13:ボート
Claims (2)
- 拡散炉の炉心管内の温度を測定する拡散炉用熱電対であって、
前記拡散炉用熱電対は長さの異なる複数の熱電対が前記炉心管長手方向に配置されたものを一組としたものが、前記炉心管の長手方向に対して垂直な面に均等に複数組配置されており、前記複数組の熱電対は炉心管内にあり、前記複数組の熱電対を均等に配置するように支える複数の支持冶具と、前記支持冶具を支える複数の垂直冶具とによりボート上に載置されている拡散炉用熱電対。 - 前記支持冶具および前記垂直冶具は、角ムク棒からなる請求項1記載の拡散炉用熱電対。
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