JP2007059606A - 縦型ウエハボート及び縦型熱処理炉 - Google Patents
縦型ウエハボート及び縦型熱処理炉 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007059606A JP2007059606A JP2005242800A JP2005242800A JP2007059606A JP 2007059606 A JP2007059606 A JP 2007059606A JP 2005242800 A JP2005242800 A JP 2005242800A JP 2005242800 A JP2005242800 A JP 2005242800A JP 2007059606 A JP2007059606 A JP 2007059606A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vertical
- cover plate
- boat
- wafer
- heat treatment
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Abstract
【解決手段】 複数のウエハを熱処理するための処理ガスが上方から下方に向けて導入される炉芯管11に収容され、前記複数のウエハWを上下方向に載置する縦型ウエハボート1において、前記複数のウエハWの載置手段2aを有するボート本体2と、前記ボート本体2に着脱可能に設けられ、上面が平坦面に形成された板状のカバープレート3とを備える。
【選択図】 図1
Description
また、前記炉芯管11の出入口の温度を均一に保つための保温筒14と、ウエハWに対して処理ガスを炉芯管11の頂部より内部空間に向けて供給するガス供給管16と、炉芯管11内の処理ガスを排出する排気管15とを備えている。
また、このダミーウエハDWは、製品用ウエハWと同様に、一般的にシリコン板から構成されており、また、その他の材質としてはアルミナ単結晶板、石英板またはSiC膜板が、従来から用いられている。そして、各種のダミーウエハは、処理温度や炉内の雰囲気により使い分けられている。
また、前記カバープレートは、ボート本体に対し着脱可能に設けられているため、カバープレート上に不純物が蓄積されたときには、容易に新たなプレートに交換することで対応することができる。
このように形成することにより、より効果的に処理ガス中の金属不純物を捕集することができる。
このようにカバープレートの下面が形成されることで、カバープレートをボート本体に対し設置するときの位置合わせが容易になり、位置ずれに起因する乱流発生を防止することができる。
このように構成することによって、より効果的にカバープレートで不純物を捕集することができる。
このように構成することにより、カバープレートにより処理ガス中の不純物を捕集し、ガス中の不純物濃度を従来よりも大幅に低減することができる。その結果、製品向けウエハへの不純物汚染を抑制することができる。
前記ボート本体2には、ウエハWを支持載置する溝部(載置手段)2aが複数設けられ、この溝2aにウエハWを載置することによって、ウエハWを支持するように構成されている。尚、図1において、前記溝2aは上部及び下部が記載され、その中間部は省略されている。
また、このカバープレート3は円板上に形成されると共に、その上面が平坦面に形成され、表面凹凸による乱流発生が抑制されるようになされている。
このようにカバープレート3の下面に凹部が形成されることで、カバープレート3をボート本体2に対して容易に取り付けることができ、特に設置する際の位置合わせが容易になり、カバープレート3の位置ずれに起因する乱流発生を抑制することができる。
また、このカバープレート3は、それ自身が不純物を発生しないようにSiC(炭化シリコン)、SiN(窒化シリコン)、SiO(酸化シリコン)、Si(シリコン)のいずれか、若しくはそれらの複合物により形成されている。
このとき、カバープレート3により不純物を効果的に捕集するためには、一旦、カバープレート3に捕集された不純物が再度、カバープレート3から放出されないよう厚さを調整する必要がある。拡散係数の比較的早いFe等の重金属の場合は、ダミーウエハDWやウエハWのプレート厚さ(600〜800μm)よりも厚さが必要となる。
その場合、デバイス特性への影響が大きいFe等を少なくとも除去するために、図3(b)の側面図に示すように、厚さ1mm以上に形成される。
さらに、ウエハボート1は、炉芯管11内において、カバープレート3の上面とガス供給管16の供給口16aとの間の距離が10mm〜300mmの範囲となるように設置される。
また、カバープレート3は、ボート本体2に対し着脱可能に設けられているため、カバープレート3上に不純物が蓄積されたときには、容易に新たなプレートに交換することで対応することができる。
実施例1では、本発明に係る縦型ウエハボートのカバープレートとして、直径200mmのCZ(チョクラルスキー)法により形成されたSiウエハ(ボロンドープ、拡散長480μm)を用い、更に以下の表1の条件で熱処理を行った。また、比較例として、従来の縦型ウエハボートを用いた場合についても表1の条件で熱処理を行った。
これに対し、本発明の縦型ウエハボートによれば、従来に対し、4.6〜17.4%程度、拡散長が改善されることが分かった。
実施例2では、本発明に係る縦型ウエハボートのカバープレートとして、直径200mmのPタイプSiウエハ(拡散長480μm)を用い、更に以下の表2の条件で熱処理を行った。
図5の結果により、カバープレートの材質がSiの場合、カバープレートの厚さが1mm以上であれば、拡散長の低下を抑制できることが分かった。
実施例3では、本発明に係るウエハボートのカバープレートとして、直径200mmのPタイプSiウエハ(拡散長480μm)を用い、更に以下の表3の条件で熱処理を行った。
図6の結果により、カバープレートの材質がSiの場合、供給口とカバープレート上面との距離が10〜300mmであれば、拡散長の低下を抑制できることが分かった。
実施例4では、本発明に係るウエハボートのカバープレートとして、直径200mmのPタイプSiウエハ(拡散長480μm)を用い、更に以下の表4の条件で熱処理を行った。
図7の結果により、カバープレートの材質がSiの場合、カバープレート上面と製品向けウエハとの距離が90mm以上であれば、拡散長の低下を抑制できることが分かった。
2 ボート本体
2a 溝部(載置手段)
3 カバープレート
11 炉芯管
12 均熱管
13 加熱部材
14 保温筒
15 排気管
16 ガス供給管(処理ガス供給手段)
16a ガス供給口
100 縦型熱処理炉
DW ダミーウエハ
W ウエハ
Claims (8)
- 複数のウエハを熱処理するための処理ガスが上方から下方に向けて導入される炉芯管に収容され、前記複数のウエハを上下方向に載置する縦型ウエハボートにおいて、
前記複数のウエハの載置手段を有するボート本体と、前記ボート本体の上部に着脱可能に設けられた、上面が平坦面の板状のカバープレートとを備えることを特徴とする縦型ウエハボート。 - 前記カバープレートは円板状であって、直径が前記ボート本体に載置されるウエハの直径よりも大きく形成されることを特徴とする請求項1に記載された縦型ウエハボート。
- 前記カバープレートの下面に、前記ボート本体の上端形状に対応した凹部が形成され、前記凹部にボート本体の上端が嵌合することを特徴とする請求項1または請求項2に記載された縦型ウエハボート。
- 前記カバープレートは、SiC(炭化シリコン)、SiN(窒化シリコン)、SiO(酸化シリコン)、Si(シリコン)のいずれか、またはそれらの複合物により形成されることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載された縦型ウエハボート。
- 前記カバープレートは、前記カバープレートの上面と、前記ボート本体において最上位置に載置される製品向けウエハの上面との距離が、90mm以上となるよう前記ボート本体の上部に設置されることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれかに記載された縦型ウエハボート。
- 前記カバープレートはSi(シリコン)により形成されると共に、厚さが1mm以上に形成されることを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載された縦型ウエハボート。
- 複数のウエハの載置手段を有するボート本体と、前記ボート本体の上部に着脱可能に設けられた、上面が平坦面の板状のカバープレートとを備える縦型ウエハボートを収納する縦型熱処理炉であって、前記縦型ウエハボートが収容される炉芯管と、前記炉芯管の上方から下方に向けて処理ガスを導入する処理ガス供給手段とを備え、
前記処理ガス供給手段によって前記炉芯管内に導入された処理ガスが、前記カバープレートの上面に直接当たるように、前記縦型ウエハボートが設置されることを特徴とする縦型熱処理炉。 - 前記カバープレートの上面と、前記処理ガス供給手段のガス供給口との距離が10mm〜300mmの範囲内となるように、前記縦型ウエハボートが前記炉芯管内に設置されることを特徴とする請求項7に記載された縦型熱処理炉。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005242800A JP2007059606A (ja) | 2005-08-24 | 2005-08-24 | 縦型ウエハボート及び縦型熱処理炉 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005242800A JP2007059606A (ja) | 2005-08-24 | 2005-08-24 | 縦型ウエハボート及び縦型熱処理炉 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007059606A true JP2007059606A (ja) | 2007-03-08 |
Family
ID=37922832
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005242800A Pending JP2007059606A (ja) | 2005-08-24 | 2005-08-24 | 縦型ウエハボート及び縦型熱処理炉 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2007059606A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109844922A (zh) * | 2016-10-11 | 2019-06-04 | 索泰克公司 | 具有用于俘获污染物的装置的竖炉 |
CN114506846A (zh) * | 2022-02-15 | 2022-05-17 | 厦门金鹭特种合金有限公司 | 一种超细碳化物的生产方法及生产装置 |
JP7380872B2 (ja) | 2020-06-04 | 2023-11-15 | 株式会社Sumco | 横型熱処理炉を用いたシリコンウェーハの熱処理方法 |
JP7400683B2 (ja) | 2020-10-07 | 2023-12-19 | 株式会社Sumco | 横型熱処理炉を用いたシリコンウェーハの熱処理方法 |
-
2005
- 2005-08-24 JP JP2005242800A patent/JP2007059606A/ja active Pending
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109844922A (zh) * | 2016-10-11 | 2019-06-04 | 索泰克公司 | 具有用于俘获污染物的装置的竖炉 |
US11219851B2 (en) | 2016-10-11 | 2022-01-11 | Soitec | Vertical furnace with device for trapping contaminants |
JP7380872B2 (ja) | 2020-06-04 | 2023-11-15 | 株式会社Sumco | 横型熱処理炉を用いたシリコンウェーハの熱処理方法 |
JP7400683B2 (ja) | 2020-10-07 | 2023-12-19 | 株式会社Sumco | 横型熱処理炉を用いたシリコンウェーハの熱処理方法 |
CN114506846A (zh) * | 2022-02-15 | 2022-05-17 | 厦门金鹭特种合金有限公司 | 一种超细碳化物的生产方法及生产装置 |
CN114506846B (zh) * | 2022-02-15 | 2023-06-06 | 厦门金鹭特种合金有限公司 | 一种超细碳化物的生产方法及生产装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100290047B1 (ko) | 열처리용보트 | |
JP3598032B2 (ja) | 縦型熱処理装置及び熱処理方法並びに保温ユニット | |
JP2007081372A (ja) | Iii−v族ウェーハの加熱装置およびプロセス、ならびにアニールiii−v族半導体単結晶ウェーハ | |
JP2007201417A (ja) | 熱処理用ボート及び縦型熱処理装置 | |
JP2007059606A (ja) | 縦型ウエハボート及び縦型熱処理炉 | |
JPH08148552A (ja) | 半導体熱処理用治具及びその表面処理方法 | |
KR102518977B1 (ko) | 횡형 열처리로를 이용한 실리콘 웨이퍼의 열처리 방법 | |
TWI517745B (zh) | 加熱裝置 | |
WO2002045141A1 (fr) | Procédé de fabrication de plaquettes à semi-conducteur | |
JP2006128316A (ja) | 熱処理用縦型ボートおよび熱処理方法 | |
JP2005328008A (ja) | 半導体ウェーハの熱処理用縦型ボート及び熱処理方法 | |
JP5440901B2 (ja) | シリコンウェーハの熱処理方法 | |
KR102105367B1 (ko) | 열처리방법 | |
KR101390799B1 (ko) | 흑연 도가니 | |
JPH0817753A (ja) | 半導体ウエハの熱処理用搭載治具及び熱処理装置 | |
JP3913404B2 (ja) | 半導体を熱処理する炉及び方法 | |
JP2003257881A (ja) | 熱処理用ボート及びウエーハの熱処理方法 | |
JP4342096B2 (ja) | 半導体製造装置、縦型ボート及び半導体の製造方法 | |
US11219851B2 (en) | Vertical furnace with device for trapping contaminants | |
JP3761646B2 (ja) | 縦型ウエハ処理治具 | |
JP2004327528A (ja) | 半導体処理装置 | |
JP4228347B2 (ja) | ウェーハ支持体 | |
JP2006005214A (ja) | シリコンウエーハの熱処理方法 | |
JPS5918673Y2 (ja) | 半導体装置用熱処理炉 | |
JPH0385725A (ja) | ウェーハの熱処理方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20070711 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080306 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20091019 |
|
A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20091022 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20100301 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |