JPH05152231A - 縦型拡散・ｃｖｄ装置における炉内温度分布プロフアイル測定方法 - Google Patents
縦型拡散・ｃｖｄ装置における炉内温度分布プロフアイル測定方法Info
- Publication number
- JPH05152231A JPH05152231A JP33999791A JP33999791A JPH05152231A JP H05152231 A JPH05152231 A JP H05152231A JP 33999791 A JP33999791 A JP 33999791A JP 33999791 A JP33999791 A JP 33999791A JP H05152231 A JPH05152231 A JP H05152231A
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- temperature
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- temperature distribution
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 炉内温度分布プロファイルをより一層正確に
しかもウェーハ実装状態で測定し、炉内の清浄度を保持
してウェーハ面内の膜付分布均一性を向上する。 【構成】 反応管１とボート２との間の周部に通ずる複
数個の差込み口３を炉口蓋４及びキャップ５等に等角度
おきに設け、これらの差込み口３にそれぞれ測温素子６
を挿設し、これらの測温素子６により炉内温度分布プロ
ファイルを測定することを特徴とする。
しかもウェーハ実装状態で測定し、炉内の清浄度を保持
してウェーハ面内の膜付分布均一性を向上する。 【構成】 反応管１とボート２との間の周部に通ずる複
数個の差込み口３を炉口蓋４及びキャップ５等に等角度
おきに設け、これらの差込み口３にそれぞれ測温素子６
を挿設し、これらの測温素子６により炉内温度分布プロ
ファイルを測定することを特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は半導体素子製造装置、特
に縦型拡散・ＣＶＤ装置における炉内温度分布プロファ
イル測定方法に関する。
に縦型拡散・ＣＶＤ装置における炉内温度分布プロファ
イル測定方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】図３は従来の拡散装置の炉口部を示す縦
断面図、図４は従来の縦型ＣＶＤ装置の炉口部を示す縦
断面図である。図３，図４において１は反応管、２は反
応管１内に下方炉口より挿設されたボートで、多数のウ
ェーハが載置される。４は炉口蓋、５はキャップ、７は
均熱管、８はヒータ、９は反応ガス導入口、１０は排気
口である。
断面図、図４は従来の縦型ＣＶＤ装置の炉口部を示す縦
断面図である。図３，図４において１は反応管、２は反
応管１内に下方炉口より挿設されたボートで、多数のウ
ェーハが載置される。４は炉口蓋、５はキャップ、７は
均熱管、８はヒータ、９は反応ガス導入口、１０は排気
口である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】図３の従来例は、反応
管１と均熱管７との間にカスケード熱電対６を差込み、
この熱電対６により反応管１の外側温度を屋内温度（反
応管１内側でウェーハ付近の温度）として測定している
ため、ボート２にウェーハを実装したまでの測温が可能
であるが、炉内温度を正確に把握できないという課題が
ある。
管１と均熱管７との間にカスケード熱電対６を差込み、
この熱電対６により反応管１の外側温度を屋内温度（反
応管１内側でウェーハ付近の温度）として測定している
ため、ボート２にウェーハを実装したまでの測温が可能
であるが、炉内温度を正確に把握できないという課題が
ある。
【０００４】図４の従来例は、アウタチューブ１ｂと共
に反応管１を構成するインナチューブ１ａの内側に通じ
る１個の差込み口３を炉口蓋４等に設け、この差込み口
３に熱電対６を挿設し、この１本の熱電対６により炉内
温度を１点で測定しているため、炉内温度分布プロファ
イルを測定できず、かつ炉内での温度差を検知できない
ばかりでなく、ボート２にウェーハを実装したままでの
炉内温度プロファイルの測定ができないという課題があ
る。
に反応管１を構成するインナチューブ１ａの内側に通じ
る１個の差込み口３を炉口蓋４等に設け、この差込み口
３に熱電対６を挿設し、この１本の熱電対６により炉内
温度を１点で測定しているため、炉内温度分布プロファ
イルを測定できず、かつ炉内での温度差を検知できない
ばかりでなく、ボート２にウェーハを実装したままでの
炉内温度プロファイルの測定ができないという課題があ
る。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明方法は、上記の課
題を解決するため、図１に示すように反応管１とボート
２との間の周部に通ずる複数個の差込み口３を炉口蓋４
及びキャップ５等に等角度おきに設け、これらの差込み
口３にそれぞれ測温素子６を挿設し、これらの測温素子
６により炉内温度分布プロファイルを測定することを特
徴とする。
題を解決するため、図１に示すように反応管１とボート
２との間の周部に通ずる複数個の差込み口３を炉口蓋４
及びキャップ５等に等角度おきに設け、これらの差込み
口３にそれぞれ測温素子６を挿設し、これらの測温素子
６により炉内温度分布プロファイルを測定することを特
徴とする。
【０００６】
【作用】本発明方法は上記のように反応管１とボート２
との間の周部に等角度おきに複数個の測温素子６を挿設
して、これらの測温素子６により炉内温度を複数点で測
定するようにしたので、炉内温度分布プロファイルをよ
り正確にしかもボート２にウェーハを実装したまま測定
し制御することができ、かつ炉内での温度差を検知でき
ることになる。
との間の周部に等角度おきに複数個の測温素子６を挿設
して、これらの測温素子６により炉内温度を複数点で測
定するようにしたので、炉内温度分布プロファイルをよ
り正確にしかもボート２にウェーハを実装したまま測定
し制御することができ、かつ炉内での温度差を検知でき
ることになる。
【０００７】又、炉口蓋４及びキャップ５等に設けた複
数個の差込み口３にそれぞれ測温素子６を挿設したの
で、炉口を開閉することなく測温素子６を抜き差し可能
になり、炉内の清浄度を保持することができ、ウェーハ
面内の膜付け分布均一性を向上することができることに
なる。
数個の差込み口３にそれぞれ測温素子６を挿設したの
で、炉口を開閉することなく測温素子６を抜き差し可能
になり、炉内の清浄度を保持することができ、ウェーハ
面内の膜付け分布均一性を向上することができることに
なる。
【０００８】
【実施例】図１は本発明方法を実施する縦型拡散装置の
炉口部を示す簡略横断平面図、図２はその縦断面図であ
る。本実施方法では、反応管１とボート２との間の周部
に通ずる４個の差込み口３を炉口蓋４及びキャップ５等
に９０°おきに設け、これらの差込み口３にそれぞれ熱
電対６を挿設し、これらの熱電対６により炉内温度分布
プロファイルを測定するようにする。なお、本発明方法
は縦型ＣＶＤ装置の炉口部に同様に実施することができ
る。
炉口部を示す簡略横断平面図、図２はその縦断面図であ
る。本実施方法では、反応管１とボート２との間の周部
に通ずる４個の差込み口３を炉口蓋４及びキャップ５等
に９０°おきに設け、これらの差込み口３にそれぞれ熱
電対６を挿設し、これらの熱電対６により炉内温度分布
プロファイルを測定するようにする。なお、本発明方法
は縦型ＣＶＤ装置の炉口部に同様に実施することができ
る。
【０００９】本実施方法は、反応管１とボート２との間
の周部に９０°おきに４個の熱電対６を挿設して、これ
らの熱電対６により炉内温度を４点で測定するようにし
たので、炉内温度分布プロファイルをより正確にしかも
ボート２にウェーハを実装したまま測定し制御すること
ができ、かつ炉内での温度差を検知できることになる。
の周部に９０°おきに４個の熱電対６を挿設して、これ
らの熱電対６により炉内温度を４点で測定するようにし
たので、炉内温度分布プロファイルをより正確にしかも
ボート２にウェーハを実装したまま測定し制御すること
ができ、かつ炉内での温度差を検知できることになる。
【００１０】又、炉口蓋４及びキャップ５等に設けた複
数個の差込み口３にそれぞれ熱電対６を挿設したので、
炉口を開閉することなく熱電対６を抜き差し可能にな
り、炉内の清浄度を保持することができ、ウェーハ面内
の膜付け分布均一性を向上することができることにな
る。
数個の差込み口３にそれぞれ熱電対６を挿設したので、
炉口を開閉することなく熱電対６を抜き差し可能にな
り、炉内の清浄度を保持することができ、ウェーハ面内
の膜付け分布均一性を向上することができることにな
る。
【００１１】
【発明の効果】上述のように本発明によれば、反応管１
とボート２との間の周部に等角度おきに複数個の測温素
子６を挿設して、これらの測温素子６により炉内温度を
複数点で測定するようにしたので、炉内温度分布プロフ
ァイルをより一層正確にしかもボート２にウェーハを実
装したまま測定し制御することができ、かつ炉内での温
度さを検知することができる。
とボート２との間の周部に等角度おきに複数個の測温素
子６を挿設して、これらの測温素子６により炉内温度を
複数点で測定するようにしたので、炉内温度分布プロフ
ァイルをより一層正確にしかもボート２にウェーハを実
装したまま測定し制御することができ、かつ炉内での温
度さを検知することができる。
【００１２】又、炉口蓋４及びキャップ５等に設けた複
数個の差込み口３にそれぞれ測温素子６を挿設したの
で、炉口を開閉することなく測温素子６を抜き差し可能
になり、炉内の清浄度を保持することができ、ウェーハ
面内の膜付け分布均一性を向上することができる。
数個の差込み口３にそれぞれ測温素子６を挿設したの
で、炉口を開閉することなく測温素子６を抜き差し可能
になり、炉内の清浄度を保持することができ、ウェーハ
面内の膜付け分布均一性を向上することができる。
【図１】本発明方法を実施する縦型拡散装置の炉口部を
示す簡略横断平面図である。
示す簡略横断平面図である。
【図２】その縦断面図である。
【図３】従来の拡散装置の炉口部を示す縦断面図であ
る。
る。
【図４】従来の縦型ＣＶＤ装置の炉口部を示す縦断面図
である。
である。
１ 反応管 ２ ボート ３ 差込み口 ４ 炉口蓋 ５ キャップ ６ 測温素子（熱電対）
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 21/66 Ｔ 8406−4Ｍ
Claims (1)
- 【請求項１】 反応管（１）とボート（２）との間の周
部に通ずる複数個の差込み口（３）を炉口蓋（４）及び
キャップ（５）等に等角度おきに設け、これらの差込み
口（３）にそれぞれ測温素子（６）を挿設し、これらの
測温素子（６）により炉内温度分布プロファイルを測定
することを特徴とする縦型拡散・ＣＶＤ装置における炉
内温度分布プロファイル測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33999791A JPH05152231A (ja) | 1991-11-28 | 1991-11-28 | 縦型拡散・ｃｖｄ装置における炉内温度分布プロフアイル測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33999791A JPH05152231A (ja) | 1991-11-28 | 1991-11-28 | 縦型拡散・ｃｖｄ装置における炉内温度分布プロフアイル測定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05152231A true JPH05152231A (ja) | 1993-06-18 |
Family
ID=18332761
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33999791A Pending JPH05152231A (ja) | 1991-11-28 | 1991-11-28 | 縦型拡散・ｃｖｄ装置における炉内温度分布プロフアイル測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05152231A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003282466A (ja) * | 2002-03-25 | 2003-10-03 | Seiko Instruments Inc | 拡散炉用熱電対 |
| CN103471966A (zh) * | 2013-08-01 | 2013-12-25 | 中国石油天然气股份有限公司 | 油气藏孔隙介质内流体索瑞特参数的测试装置及方法 |
| CN110455426A (zh) * | 2019-09-02 | 2019-11-15 | 国核宝钛锆业股份公司 | 一种炉温测量坯料及炉温均匀性测量方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01309318A (ja) * | 1988-02-24 | 1989-12-13 | Tel Sagami Ltd | 熱処理装置及び熱処理方法 |
-
1991
- 1991-11-28 JP JP33999791A patent/JPH05152231A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01309318A (ja) * | 1988-02-24 | 1989-12-13 | Tel Sagami Ltd | 熱処理装置及び熱処理方法 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003282466A (ja) * | 2002-03-25 | 2003-10-03 | Seiko Instruments Inc | 拡散炉用熱電対 |
| CN103471966A (zh) * | 2013-08-01 | 2013-12-25 | 中国石油天然气股份有限公司 | 油气藏孔隙介质内流体索瑞特参数的测试装置及方法 |
| CN110455426A (zh) * | 2019-09-02 | 2019-11-15 | 国核宝钛锆业股份公司 | 一种炉温测量坯料及炉温均匀性测量方法 |
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