JP4495568B2 - 硬質皮膜 - Google Patents
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Description
0.05≦a≦0.7 ----------------------式(1)
0.05≦b≦0.5 ------------------- 式(2)
0<1−a−b --------------------- 式(3)
ただし、上記M(Ba Cb N1-a-b )、上記式(1) 〜(3) において、aはBの原子比、bはCの原子比、1−a−bはNの原子比を示すものである。
金属元素MおよびBを含有するターゲットを使用し、アーク蒸発源およびスパッタ蒸発源を有する成膜装置にて表1のNo.4〜2Oに示す組成の皮膜を作製した。即ち、基板上に表1のNo.4〜2Oに示す組成の皮膜を形成(成膜)させた材料(以下、皮膜形成材ともいう)を得た。
Claims (2)
- M(Ba Cb N1-a-b )からなる硬質皮膜であって、MはWおよびVであると共に、下記の式(1) 〜(3) を満たすことを特徴とする硬質皮膜。
0.05≦a≦0.7 ----------------------式(1)
0.05≦b≦0.5 ------------------- 式(2)
0<1−a−b --------------------- 式(3)
ただし、上記M(Ba Cb N1-a-b )、上記式(1) 〜(3) において、aはBの原子比、bはCの原子比、1−a−bはNの原子比を示すものである。 - 前記皮膜の厚みが1〜10μmである請求項1記載の硬質皮膜。
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