JP4490864B2 - 画像形成方法 - Google Patents
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Claims (9)
- 試料上を視野移動しながら複数枚の試料画像を取得する工程と、
前記複数枚の試料画像をそれぞれ連続して取得した複数枚の試料画像からなる複数のグループに分け、各グループ毎に当該グループに属する試料画像を積算してグループの数だけの積算画像を作成する工程と、
前記積算画像間における像の移動量を算出する工程と、
前記算出結果から試料画像取得時間と像の移動量の関係を求める工程と、
求めた関係を適用して、前記複数枚の試料画像それぞれに対する像の移動量を算出する工程と、
算出した像の移動量に基づいて前記複数枚の試料画像を位置補正したのち、積算して画像を再構成する工程と
を有することを特徴とする画像形成方法。 - 請求項1記載の画像形成方法において、前記試料画像取得時間と像の移動量の関係を求める工程では、像の移動量を試料画像取得時間の関数として求めることを特徴とする画像形成方法。
- 請求項1記載の画像形成方法において、前記複数枚の試料画像を一定の時間間隔で取得することを特徴とする画像形成方法。
- 請求項1記載の画像形成方法において、前記試料画像は走査型電子顕微鏡の出力画像であることを特徴とする画像形成方法。
- 請求項1記載の画像形成方法において、前記試料画像の取得範囲が、前記再構成後の画像範囲と異なることを特徴とする画像形成方法。
- 請求項1記載の画像形成方法において、前記複数枚の試料画像を位置補正したのち、積算して画像を再構成する工程では、各試料画像から目的とする領域を切り出し、切り出した複数の部分画像を積算することを特徴とする画像形成方法。
- 請求項1記載の画像形成方法において、前記複数枚の試料画像を位置補正したのち、積算して画像を再構成する工程では、各試料画像をその移動量分だけずらして積算し、そののち目的とする領域を切り出すことを特徴とする画像形成方法。
- 請求項1記載の画像形成方法において、前記視野移動を試料を保持しているステージの移動によって行うことを特徴とする画像形成方法。
- 請求項1記載の画像形成方法において、前記視野移動を、当該視野移動の方向と直交する方向にずらして複数回行い、目的の領域の再構成画像を分割して取得することを特徴とする画像形成方法。
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