JP6809901B2 - 撮影装置、検査装置、および撮影装置の制御プログラム - Google Patents
撮影装置、検査装置、および撮影装置の制御プログラム Download PDFInfo
- Publication number
- JP6809901B2 JP6809901B2 JP2016256011A JP2016256011A JP6809901B2 JP 6809901 B2 JP6809901 B2 JP 6809901B2 JP 2016256011 A JP2016256011 A JP 2016256011A JP 2016256011 A JP2016256011 A JP 2016256011A JP 6809901 B2 JP6809901 B2 JP 6809901B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- image
- photographing
- region
- division
- imaging
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 title claims description 56
- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims description 20
- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims description 9
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 6
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 50
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 29
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 16
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 16
- 238000000034 method Methods 0.000 description 15
- 239000000284 extract Substances 0.000 description 14
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 13
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 6
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 5
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 4
- 230000006870 function Effects 0.000 description 3
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- 230000001186 cumulative effect Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 2
- 206010047571 Visual impairment Diseases 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 230000005693 optoelectronics Effects 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 230000011218 segmentation Effects 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
10 X線受光装置
20 イメージインテンシファイア
21 入力蛍光面
22 光電面
23 集束電極
24 陽極
25 出力蛍光面
26 筐体
27 集束電源
28 加速電源
30 光学レンズ
40 検出部
40a〜40l 画像素子列
41 受光素子
42 基板
43 走査回路
44a〜44l アンプ
60 搬送部
61 テーブル
70 X線照射装置
80 制御部
81 X線発生制御部
82 テーブル制御部
83 画像生成部
84 表示部
85 操作部
400 TDI(Time Delay Integration)カメラ
e1 ワーク下部
e2 ワーク中央部
e3 ワーク上部
IM1〜IM8 画像
IM11〜IM16,IM21〜IM26,IM31〜IM36,IM41〜IM46,IM51〜IM56,IM61〜IM66,IM71〜IM76,IM81〜IM86 区分画像
LN1〜LNn 受光素子の列
OI 出力画像
PA 撮影領域
s1〜s6 区分領域
WK ワーク
Claims (8)
- 撮影領域からの電磁波を受信する複数の受信素子を備え、前記撮影領域を一の方向に移動する対象物を撮影する撮影装置であって、
前記撮影領域は、前記一の方向に沿って複数の区分領域に仮想的に区分されており、
前記複数の区分領域のうち第1の区分領域に前記対象物が存在するタイミングで、前記複数の受信素子を用いて受信した前記電磁波に基づく前記撮影領域の画像を撮影する第1の撮影手段と、
前記第1の撮影手段にて撮影した前記撮影領域の画像から前記第1の区分領域の画像である第1の区分画像を抽出する第1の抽出手段と、
前記複数の区分領域のうち前記第1の区分領域とは異なる第2の区分領域に前記対象物が存在するタイミングで、前記複数の受信素子を用いて受信した前記電磁波に基づく前記撮影領域の画像を撮影する第2の撮影手段と、
前記第2の撮影手段にて撮影した前記撮影領域の画像から前記第2の区分領域の画像である第2の区分画像を抽出する第2の抽出手段と、
少なくとも前記第1の区分画像と前記第2の区分画像とを重ね合わせる重ね合わせ手段と、
前記重ね合わせ手段にて重ね合わせることで得られた出力画像を出力する出力手段とをさらに備えた、撮影装置。 - 前記重ね合わせ手段は、前記複数の区分領域のうち前記一の方向に沿った両端部の区分領域に前記対象物が存在するタイミングで撮影した前記撮影領域の画像を重ね合わせない、請求項1に記載の撮影装置。
- 前記撮影領域からの前記電磁波を集束させる集束手段をさらに備え、
前記第1および第2の撮影手段の各々は、前記集束手段にて集束された前記電磁波に基づく前記撮影領域の画像を撮影する、請求項1または2に記載の撮影装置。 - 前記電磁波は、X線、赤外線、および紫外線のうち少なくともいずれかを含み、
前記電磁波を可視光に変換する変換手段をさらに備えた、請求項1〜3のいずれかに記載の撮影装置。 - 前記変換手段は、イメージインテンシファイアである、請求項4に記載の撮影装置。
- 前記複数の受信素子は、受光光に応じた電子を発生し、
前記第1の区分画像の撮影に用いられる受信素子で発生した電子は、前記第2の区分画像の撮影に用いられる受信素子に移動しない、請求項1〜5のいずれかに記載の撮影装置。 - 前記電磁波を発生する電磁波発生源と、
請求項1〜6のいずれかに記載の撮影装置とを備えた、検査装置。 - 撮影領域からの電磁波を受信する複数の受信素子を備え、前記撮影領域を一の方向に移動する対象物を撮影する撮影装置の制御プログラムであって、
前記撮影領域は、前記一の方向に沿って複数の区分領域に仮想的に区分されており、
前記複数の区分領域のうち第1の区分領域に前記対象物が存在するタイミングで、前記複数の受信素子を用いて受信した前記電磁波に基づく前記撮影領域の画像を撮影する第1の撮影ステップと、
前記第1の撮影ステップにて撮影した前記撮影領域の画像から前記第1の区分領域の画像である第1の区分画像を抽出する第1の抽出ステップと、
前記複数の区分領域のうち前記第1の区分領域とは異なる第2の区分領域に前記対象物が存在するタイミングで、前記複数の受信素子を用いて受信した前記電磁波に基づく前記撮影領域の画像を撮影する第2の撮影ステップと、
前記第2の撮影ステップにて撮影した前記撮影領域の画像から前記第2の区分領域の画像である第2の区分画像を抽出する第2の抽出ステップと、
少なくとも前記第1の区分画像と前記第2の区分画像とを重ね合わせる重ね合わせステップと、
前記重ね合わせステップにて重ね合わせることで得られた出力画像を出力する出力ステップとをコンピューターに実行させる、撮影装置の制御プログラム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016256011A JP6809901B2 (ja) | 2016-12-28 | 2016-12-28 | 撮影装置、検査装置、および撮影装置の制御プログラム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016256011A JP6809901B2 (ja) | 2016-12-28 | 2016-12-28 | 撮影装置、検査装置、および撮影装置の制御プログラム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018105839A JP2018105839A (ja) | 2018-07-05 |
JP6809901B2 true JP6809901B2 (ja) | 2021-01-06 |
Family
ID=62787746
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016256011A Active JP6809901B2 (ja) | 2016-12-28 | 2016-12-28 | 撮影装置、検査装置、および撮影装置の制御プログラム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6809901B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20230366836A1 (en) * | 2020-09-10 | 2023-11-16 | Beamsense Co., Ltd. | X-ray radioscope |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4715986B2 (ja) * | 2001-07-17 | 2011-07-06 | 株式会社島津製作所 | X線透視装置 |
JP4490864B2 (ja) * | 2005-04-28 | 2010-06-30 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 画像形成方法 |
JP5452081B2 (ja) * | 2009-06-04 | 2014-03-26 | アンリツ産機システム株式会社 | X線検査装置 |
US8027427B2 (en) * | 2009-08-31 | 2011-09-27 | Morpho Detection, Inc. | Systems and method for scanning a continuous stream of objects |
JP6506629B2 (ja) * | 2015-01-30 | 2019-04-24 | 松定プレシジョン株式会社 | X線受光装置およびこれを備えたx線検査装置 |
-
2016
- 2016-12-28 JP JP2016256011A patent/JP6809901B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2018105839A (ja) | 2018-07-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP2721828B1 (en) | High resolution multispectral image capture | |
JP7283394B2 (ja) | 撮像装置、および撮像方法、並びに撮像素子 | |
CN109155323A (zh) | 拍摄元件以及拍摄装置 | |
JP2006284183A (ja) | 検査装置及び撮像装置 | |
US20200174222A1 (en) | Image processing method, image processing device, and image pickup apparatus | |
JP2014219549A (ja) | 焦点調節装置、焦点調節方法およびプログラム、並びに撮像装置 | |
JP2004045266A (ja) | 3次元情報検出方法及び装置 | |
JP6809901B2 (ja) | 撮影装置、検査装置、および撮影装置の制御プログラム | |
CN110753950B (zh) | 利用模拟接口的高速二维事件检测和成像 | |
CN109313384B (zh) | 用于光学接收屏幕的设备 | |
US20220137328A1 (en) | Image processing method, image processing device, and image pickup apparatus | |
JP2017102637A5 (ja) | ||
US20180306931A1 (en) | Radiation image acquisition system and radiation image acquisition method | |
JP2018084556A (ja) | 放射線検出装置、放射線画像取得装置、及び放射線画像の取得方法。 | |
JP5775948B2 (ja) | 荷電粒子顕微鏡装置および画像撮像方法 | |
CN105635560B (zh) | 一种拍摄方法及装置 | |
KR20150058946A (ko) | 이미지센서를 이용한 플라즈마 전자온도 측정장치 및 그 방법 | |
JP5557272B2 (ja) | 放射線検査装置、放射線検査方法および放射線検査プログラム | |
JP2011036393A (ja) | 放射線画像撮影システム | |
JP6506629B2 (ja) | X線受光装置およびこれを備えたx線検査装置 | |
JP6497977B2 (ja) | 画像処理装置、撮像装置、画像処理方法、画像処理プログラム、および、記憶媒体 | |
JP4840124B2 (ja) | 放射線撮影装置 | |
JP7094161B2 (ja) | 高速度放射線撮像装置および撮像方法 | |
JP6819428B2 (ja) | 画像撮像装置 | |
JP4661606B2 (ja) | 屈曲光学系及び電子撮像装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20191224 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20200812 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200818 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200914 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20201117 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20201210 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6809901 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |