JP4485303B2 - 透過型表示装置の作製方法 - Google Patents
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Description
通常TFT基板作製工程中、自然酸化膜除去や酸化珪素、窒化珪素、アルミナ等のエッチングでは、市販の50%フッ酸と40%フッ化アンモニウムを1:6から1:100程度に混合したバッファ−ドフッ酸(BHF)または酢酸を含んだBHF(ABHF)を用いる方法が検討されてきた。フッ酸は通常シリコン酸化膜除去等に用いられ、フッ化アンモニウムはレジスト剥離防止のために添加される。
低アルカリ、高耐熱性ガラス基板上に形成された自然酸化膜、酸化珪素、窒化珪素、アルミナ等のエッチング時に上記に示した突起物の発生がなく、その結果安定なTFTを再現性良く作製することが可能なエッチャントを提供することである。
y<−2x+10 (0<x≦5、0<y≦10)
を満たすような範囲の混合比となっていることを特徴とするエッチング材料にてエッチングを行う。フッ酸は市販の50%フッ化水素酸であり、フッ化アンモニウムは40%のフッ化アンモニウム水溶液である。
また、この溶液に界面活性剤が入っていても構わない。
従来のBHFの成分であるフッ化アンモニウムの濃度を抑えた比率のものをエッチャントとして用いることにより、基板上に突起物の発生が無くエッチングする事が可能である。
その後、基板を電解溶液中に置き、陽極酸化用配線に電流を通じてゲイト線109(109’)およびゲイト電極110(110’)の陽極酸化をおこなった。この時電解溶液として、3%の酒石酸を含有するエチレングリコール溶液をアンモニア水で中和したものを用いた。
さらに、レーザー照射による応力歪みを緩和するために、再び、熱アニールをおこなった。本実施例では、550℃、4時間の熱アニールとした。
その後、シリコン膜をエッチングして島状の活性層203、204を形成した。そして、スパッタ法によって,厚さ1200Åの酸化珪素膜205をゲイト絶縁膜として形成した。
そして、スパッタ法によって、チタン500Å/アルミニウム4000Å/チタン500Åの3層金属膜を堆積し、これをエッチングして、電極・配線228、229、230、231を形成した。
次に、P型不純物をドーピングするためのマスク315を形成し、同じくイオンドーピング法によって、P型不純物(硼素)を導入し、P型不純物領域316を形成した。条件は実施例1と同様とした。なお、硼素が燐よりも低濃度となるようにドーピング条件を調整すれば、このドーピングに際しては、マスク315を用いることなくドーピングできる。(図6(E)、図7(C))
さらに、第2の層間絶縁物として、プラズマCVD法によって厚さ2000Åの酸化珪素膜323を堆積し、実施例1の分断パターニングで用いたものと同じエッチャントを用いて酸化珪素膜323をエッチングし、画素TFTのドレイン側電極にコンタクトホールを形成して、ITOによる画素電極324を形成した。このようにして、モノリシック型アクティブマトリクス回路を形成することができた。(図6(F)、図7(D)))
102 下地膜
103〜105 活性層(シリコン)
106 ゲイト絶縁膜(酸化珪素)
107〜110 ゲイト電極・ゲイト線
111、112 陽極酸化物
113〜115 N/P型領域
116 層間絶縁物
117〜119 コンタクトホール
120 ホール
121 コンタクトホール
122〜126 金属配線・電極
127 画素電極
128 パッシベーション膜
129 陽極酸化用配線
130 陽極酸化用配線とゲイト線の分断部
Claims (4)
- 酸化アルミニウムを組成比で16.7%以上含有する透光性のガラス基板を有する透過型表示装置の作製方法であって、
前記ガラス基板上に、下地絶縁膜を形成し、
前記下地絶縁膜上に、半導体膜を形成し、
前記半導体膜上に、ゲイト絶縁膜を形成し、
前記ゲイト絶縁膜上に、ゲイト電極を形成し、
前記ゲイト電極上に、層間絶縁膜を形成し、
前記層間絶縁膜及び前記ゲイト絶縁膜を、フッ酸とフッ化アンモニウムとを含む水溶液であって、重量比で、水溶液全体を100、水溶液中のフッ酸をx、フッ化アンモニウムをy、水を100−x−yとしたとき、y<―2x+10(0<x≦5、0<y≦10)を満たすような範囲の混合比水溶液を用いてエッチングすることによって、前記層間絶縁膜及び前記ゲイト絶縁膜にコンタクトホールを形成し、
前記エッチング時において前記ガラス基板と前記混合比水溶液とは接触することを特徴とする透過型表示装置の作製方法。 - 請求項1において、
前記透過型表示装置は、画素電極を有し、
前記画素電極はITOからなることを特徴とする透過型表示装置の作製方法。 - 酸化アルミニウムを組成比で16.7%以上含有する透光性のガラス基板を有する透過型表示装置の作製方法であって、
前記ガラス基板上に、下地絶縁膜を形成し、
前記下地絶縁膜上に、半導体膜を形成し、
前記半導体膜上に、ゲイト絶縁膜を形成し、
前記ゲイト絶縁膜上に、ゲイト電極を形成し、
前記ゲイト電極上に、第1の層間絶縁膜を形成し、
前記第1の層間絶縁膜及び前記ゲイト絶縁膜を、フッ酸とフッ化アンモニウムとを含む水溶液であって、重量比で、水溶液全体を100、水溶液中のフッ酸をx、フッ化アンモニウムをy、水を100−x−yとしたとき、y<―2x+10(0<x≦5、0<y≦10)を満たすような範囲の第1の混合比水溶液を用いて第1のエッチングをすることによって、前記第1の層間絶縁膜及び前記ゲイト絶縁膜に第1のコンタクトホールを形成し、
前記第1の層間絶縁膜上に、前記第1のコンタクトホールを介して前記半導体層と電気的に接続される配線を形成し、
前記配線上に、第2の層間絶縁膜を形成し、
前記第2の層間絶縁膜を、フッ酸とフッ化アンモニウムとを含む水溶液であって、重量比で、水溶液全体を100、水溶液中のフッ酸をx、フッ化アンモニウムをy、水を100−x−yとしたとき、y<―2x+10(0<x≦5、0<y≦10)を満たすような範囲の第2の混合比水溶液を用いて第2のエッチングをすることによって、前記第2の層間絶縁膜に第2のコンタクトホールを形成し、
前記第2の層間絶縁膜上に、前記第2のコンタクトホールを介して前記配線と電気的に接続される透光性の画素電極を形成し、
前記第1のエッチング時において前記ガラス基板と前記第1の混合比水溶液とは接触し、
前記第2のエッチング時において前記ガラス基板と前記第2の混合比水溶液とは接触することを特徴とする透過型表示装置の作製方法。 - 請求項3において、
前記透光性の画素電極は、ITOであることを特徴とする透過型表示装置の作製方法。
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Citations (10)
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---|---|---|---|---|
JPS63176332A (ja) * | 1987-01-16 | 1988-07-20 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 電子機器の基板用ガラス |
JPH0198231A (ja) * | 1987-10-09 | 1989-04-17 | New Japan Radio Co Ltd | 半導体装置 |
JPH03179737A (ja) * | 1989-06-26 | 1991-08-05 | Hashimoto Kasei Kogyo Kk | 微細加工表面処理剤 |
JPH05114724A (ja) * | 1991-08-26 | 1993-05-07 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 絶縁ゲイト型半導体装置およびその作製方法 |
JPH05211147A (ja) * | 1991-09-30 | 1993-08-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | アルミニウム配線およびその形成方法 |
JPH06167722A (ja) * | 1992-11-30 | 1994-06-14 | Sharp Corp | アクティブマトリクス基板及びその製造方法 |
JPH06232129A (ja) * | 1992-12-09 | 1994-08-19 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 電子回路 |
JPH0766415A (ja) * | 1993-08-23 | 1995-03-10 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体装置の製造方法及び薄膜トランジスタ |
JPH0794751A (ja) * | 1993-09-16 | 1995-04-07 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置およびその作製方法 |
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Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63176332A (ja) * | 1987-01-16 | 1988-07-20 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 電子機器の基板用ガラス |
JPH0198231A (ja) * | 1987-10-09 | 1989-04-17 | New Japan Radio Co Ltd | 半導体装置 |
JPH03179737A (ja) * | 1989-06-26 | 1991-08-05 | Hashimoto Kasei Kogyo Kk | 微細加工表面処理剤 |
JPH05114724A (ja) * | 1991-08-26 | 1993-05-07 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 絶縁ゲイト型半導体装置およびその作製方法 |
JPH05211147A (ja) * | 1991-09-30 | 1993-08-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | アルミニウム配線およびその形成方法 |
JPH06167722A (ja) * | 1992-11-30 | 1994-06-14 | Sharp Corp | アクティブマトリクス基板及びその製造方法 |
JPH06232129A (ja) * | 1992-12-09 | 1994-08-19 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 電子回路 |
JPH0799323A (ja) * | 1993-07-31 | 1995-04-11 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置の作製方法 |
JPH0766415A (ja) * | 1993-08-23 | 1995-03-10 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体装置の製造方法及び薄膜トランジスタ |
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