JP4482179B2 - 粒子ビーム装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、粒子ビーム装置、特に、電子ビーム装置(例えば、ラスタ電子顕微鏡)に関する。
【0002】
【従来の技術】
イオンまたは電子の粒子ビーム装置は、特に、試料表面の結像、分析および処理に使用される。像形成の場合、フォーカシングした粒子ビームを試料表面にわたってラスタ状に案内し、1次粒子と試料との交互作用時に生ずる信号を検知し、当該の発生箇所に割付ける。試料面における粒子ビームの小さい径によって達成される高い位置分解能が必要で、かつ各種信号のできる限り高い検知能率が必要である。
【0003】
粒子線装置の分解能は、基本的に、試料が対物レンズの極く近傍にあるか、更には、上記レンズ内にある場合に最良である。このためには、2次粒子および/または反射散乱粒子を検知する検知系を対物レンズ内にまたは対物レンズと粒子発生源との間の無電界範囲に配設しなければならない。特に粒子エネルギが低い場合、最良の分解能は、ビーム発生系において粒子を高エネルギに加速し、対物レンズの粒子光学系の端部においてまたは対物レンズと試料との間の範囲において所望の最終エネルギに減速する装置によって達成される。
【0004】
対応する粒子ビーム装置は、例えば、米国特許第4,831,266号および米国特許第4,926,054号に記載されている。対物レンズ内の静電界と磁界との組合せによって、粒子エネルギが低い場合も、極めて高い分解能が達成される。更に、試料から反射散乱されたあるいは試料から放射された粒子は、静電界とは逆の方向へ加速され、対物レンズの上方の環状シンチレーション検知器上に結像される。米国特許第4,896,036号には、同じく環状の検知器を有し、対物レンズが、もちろん、静電レンズである類似の装置が記載されている。
【0005】
この公知の系の場合、シンチレータおよびガラス製光伝送体を有する環状検知器は、1次粒子ビームが環状検知器によって妨害されないよう、約2−3mmの比較的大きい開口を有していなければならないという欠点があることが判っている。計算および実験から、試料に生じた粒子の最大約80%が、検知器の中心開口を通過し、従って、検知されないということが判明している。従って、検知された信号は、極めて弱い。更に、検知された粒子は、積分して始めて検知され、従って、エネルギおよび出発角度にもとづき分離することは不可能である。
【0006】
Nuclear Instruments & Methods in Physics Research A,Vol.363,p31−42,(1995)の論文には、2つのウィーン・フィルタの適切な配置によって、1次粒子に顕著な影響を与えることなく、試料から放射されたまたは試料において反射散乱された粒子を軸線から遠い範囲に方向変更することが記載されている。この対策によって、検知能率は改善されるが、この場合も、検知された信号を出発角度その他にもとづき区別することは不可能である。
【0007】
米国特許公開第5,644,132号には、環状検知器が複数の環状分割部分を有するラスタ電子顕微鏡が記載されている。この分割によって、試料において反射散乱され、軸線に近い範囲において2次電子に比して重点的により強く検知できる電子を軸線から遠い2次電子と分離することを意図する。この場合、実施例に関連して、組立上の理由から、内側の環状検知器および外側の環状検知器を光軸の方向へ僅かにずらして配置できる方式も挙げられる。検知器のこのような環状分割によって、基本的に、検知された電子を試料からの放射時の出発角度にもとづき分離できる。しかしながら、2次電子および反射散乱電子の大半が、中心の空間の範囲を通過し、従って、全く検知されないという問題は、検知器のこの環状分割によっては解決されない。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の課題は、粒子ビーム装置において、試料から放射された2次粒子および試料で反射散乱された粒子の検知を改善することにある。更に、粒子の出発角度にもとづく検知された粒子の選択または割付を可能とすることを意図する。
【0009】
【課題を解決するための手段】
上記課題は、本発明にもとづき、請求項1および10の特徴を有する粒子ビーム装置によって解決される。本発明の有利な構成は、従属請求項の特徴から明らかであろう。
【0010】
本発明に係る粒子ビーム装置の場合、試料から反射散乱された粒子または試料から放射された粒子のための二つの検知器は、粒子ビーム装置の光軸の方向へ相互にずらして配置してある。この場合、双方の検知器の間の光軸方向の間隔は、試料側の検知器と粒子ビームを試料にフォーカシングする対物レンズの焦面との間の間隔の少なくとも25%である。この場合、試料側検知器は、試料から比較的大きい立体角度で出る粒子の検知に役立ち、一方、発生源側検知器は、試料から比較的小さい立体角度で出て、試料側検知器を介して1次粒子ビームを引出すために設けた開口を介して上記検知器を通過する粒子の検知に役立つ。双方の検知器を軸線方向へずらして配置したことによって、双方の検知器が径の等しい中心開口を有している場合は、発生源側検知器で、試料側検知器の中心孔を通過した粒子を検知できる。しかしながら、発生源側検知器の1次粒子ビームを引出すための中心開口は、試料側検知器の中心孔の1/3以下であれば好ましい。発生源側検知器を、高エネルギ粒子の照射時にそれ自体で再び2次粒子を生ずる変換絞りとして構成すれば、上記検知器の比較的小さい、例えば、0,2mm以下の孔径が可能である。この場合、変換絞りから出る2次粒子は、変換絞りから出る2次粒子の吸引静電界を形成する側方に設けた通常の検知器によって検知される。変換絞りの材料は、原子番号≦20の比較的軽い元素(例えば、アルミニウムまたは炭素)とすべきである。なぜならば、このように軽い元素は、比較的大きい2次電子収量を有するからである。
【0011】
冒頭に述べた先行技術の場合と同様、双方の検知器は、光軸に関して対称に構成された環状検知面を有する。しかしながら、冒頭に述べた先行技術とは異なり、発生源側検知器の検知面の外径は、試料側検知器の中心孔の径よりも大きくする。
【0012】
発生源側検知器が、1次ビームのアパーチャを限定する極めて小さい1次ビーム通過用孔のみを有する限り、この検知器は、光軸に垂直な方向で両側へ検知器を調整できる調整装置に受容する。
【0013】
双方の検知器で検知した信号の評価のために、双方の検知器信号の線形組合せに対応する出力信号を検知器信号から形成する信号処理電子装置を設けることができる。対応する線形組合せの形成によって、試料の表面形状の影響を増幅でき、電荷コントラスト像を形成できる。これは、マトリックスとは異なる伝導度を有する薄層を粒子ビーム装置で調べる場合に特に有利である。この場合、線形組合せの係数は、粒子ビーム装置の利用者が任意に選択できる。
【0014】
以下に、ラスタ電子顕微鏡の図示の実施形態を参照して本発明を詳細に説明する。
【0015】
【発明の実施の形態】
本実施形態に係る粒子ビーム装置の粒子ビーム発生器は、粒子を放射する陰極1と、抽出電極2と、陽極3とからなる。本発明に係る粒子ビーム装置をラスタ電子顕微鏡として構成した場合、陰極1が、電界エミッタであれば好ましい。陰極1から出る粒子は、陰極1と陽極3との間の電位差(図1には示してない)によって陽極電位で加速される。
【0016】
陽極3は、同時に、ビーム案内管4の発生源側の端部ともなっている。導電性材料からなるこのビーム案内管4は、対物レンズとして作用する磁気レンズの磁極片5の空間の中を案内され、試料側の端部8は、パイプレンズとして厚く構成されている。ビーム案内管4の試料側のこの厚い端部は、磁気レンズの磁極片間隙5aの後ろで終わる。磁気レンズのコイルを6で示した。ビーム案内管の後段には、ビーム案内管4の管電極8とともに静電遅延装置を形成する単一電極9が設けてある。管電極8は、ビーム案内管4とともに陽極電位にあり、他方、単一電極9および試料10は、陽極電位よりも低い電位にあり、従って、粒子は、ビーム案内管から出た後、所望の低いエネルギに減速される。
【0017】
対物レンズの磁極片5の空間には、磁極片間隙5aの高さに、更に、対物レンズ5によって試料10にフォーカシングされた1次電子ビームを、試料10を走査するため、光軸(鎖線で示した)に対して垂直に偏向する偏向系7が設けてある。
【0018】
上述の如く、図1に示したラスタ電子顕微鏡は、ドイツ特許出願19732093.7に記載の如き構造を有する。陰極1、抽出電極2、陽極3および制動電極9の電位負荷に関しても、この先願を参照する。
【0019】
図1の実施形態の代わりに、ビーム案内管4は、磁極片間隙5aの高さで終わってよく、減速電極9は、ほぼ磁極片間隙5aの高さに設置できる。この場合、対物レンズ内で既に、1次粒子は所望の衝突エネルギに減速されるので、対物レンズの磁界および遅延静電界が、立体的に重畳する。
【0020】
試料10から出る粒子、反射散乱された電子および2次電子の検知のため、ビーム案内管4内には、ビーム発生器と対物レンズ5,6との間に、2つの検知器が光軸の方向へ相互にずらして配置してある。双方の検知器は、本質的に光軸に関して対称に配置された環状検知面を有する。この場合、試料側検知器は、公知の態様で、ガラス製光伝送体11および光学的検知器を有するシンチレータとして構成されている。この場合、ガラス製光伝送体11は、生ずる電子を光子に変換するのに役立つと同時に、光子を光学的検知器に導くのに役立つ。光伝送の高能率のためのガラス製光伝送体は、光軸方向へ約5−7mmの比較的大きい厚さを有するので、1次ビームの通過のためのガラス製光伝送体の孔は、2−3mmの径を有し、従って、1次ビームは、ガラス製光伝送体によって影響されない。試料側の検知器11,12は、試料10から比較的大きい立体角で出る粒子の検知に役立つ。この場合、第1に、試料10から出る際に2−4eVにピークを有する1−50eVの範囲にある運動エネルギを有する2次電子が対象となる。他方、試料10で反射散乱され試料10から出る際に2次電子に比して比較的大きい運動エネルギを有する電子は、検知器11によって極めて僅かな割合で検知されるに過ぎない。なぜならば、光軸に対して0−5°の立体角で試料から反射散乱されて出る電子は、検知器11の穴を通過し、角度>15°で試料から出る電子は、磁極片範囲において既に、ビーム案内管にぶっかり、上記案内管に吸収されるからである。
【0021】
発生源側検知器は、試料側検知器11から明らかに光軸の方向へ離隔して調整装置14に受容された変換絞り13を有する。調整装置14によって、変換絞り13を光軸に垂直な方向へ調整できる。変換絞りは、原子番号が20以下の材料からなる厚さ0,1−1mmの薄いプレートであり、1次電子ビームの通過のための小さい穴を中心に有する。この場合、穴径は、約200−400μmである。穴径が小さいので、変換絞り13は、1次電子ビームについてアパーチャを制限し、従って、同時にアパーチャ絞りとして作用する。
【0022】
変換絞りは、原子番号の小さい材料(例えば、アルミニウム)からなり、従って、変換絞り13にぶつかった電子は、高能率で2次電子を放出する。変換絞りから放出された上記2次電子の検知のために、変換絞り13の試料側には、光軸の側方に、エバーハルト・トーネイ・検知器15が設置してある。このエバーハルト・トーネイ・検知器は、格子電極上で、陽極電位にある変換絞り13の電位よりも約6−10kV高い電位にある。この電位差によって、変換絞り13から出る2次電子は、検知器15の方向へ吸引、加速される。
【0023】
試料側検知器11の検知面と変換絞り13との間の光軸に沿う間隔は、試料側検知器11の検知面と試料10との間の間隔の少なくとも25%(好ましくは、約50−75%)である。同時に、変換絞り13の外径は、試料側検知器11の開口の径よりも大きい。この幾何学的配置によって、試料10から出て試料側検知器11の開口を通過する電子20の大半は、発生源側検知器13によって確実に検知される。
【0024】
図2を参照して、光軸方向へずらして配置した2つの検知器によって得られる作用を説明する。同図には、試料にぶつかる1次電子ビームのエネルギが1keVであり且つ試料と対物レンズとの間の間隔が5mmである事例について、試料から各種角度で且つ3eVの運動エネルギで出る2次電子の軌道をプロットした。判り易いよう、光軸からの電子軌道の距離を50倍に拡大し、光軸と交差した後の電子の軌道を鏡像対称に示した。試料側検知器11の検知面と試料との間の間隔は、100mmである。試料側検知器11の中心開口の半径は、1mmである。軌道推移を示すグラフから明らかな如く、試料側検知器11は、試料から角度<約35°で出るような2次電子のみを検知する。試料表面が平坦な導電性試料の場合、試料から出る際の可能な各種出発角度は、ランベルトの余弦分布に対応して分布する。従って、試料から出る2次電子の約40%は、試料から出る際に光軸に対して約30°以下の角度を有するので、試料から出る2次電子の約40%は、試料側の検知器によって検知できない。非導電性試料表面の場合、実際に、局部的帯電効果にもとづき、ほぼすべての電子は、表面法線に対して極めて小さい角度で放射され、従って、実際に極めて重要なこの事例では、試料から出る2次電子のうち試料側検知器11によって検知できるのは20%未満に過ぎない。
【0025】
本発明に係る装置の場合、試料側検知器11の開口を通過する2次電子の大半が、発生源側検知器13によって検知される。図2に示した如く、この発生源側検知器13は、試料側検知器11の検知面から70mm離れている。この場合、発生源側検知器13の径または検知面は、試料側検知器11の中心開口の径よりも大きい。更に、発生源側検知器13の中心開口は、極めて小さく、その半径は0,1mmに過ぎないので、この検知器の絞りは、1次電子ビームについて、アパーチャを制限するよう作用する、
【0026】
図2の軌道推移から明らかな如く、発生源側検知器によって、試料から35°以下の角度で出るような2次電子を検知できる。双方の検知器11,13によって総合して検知される2次電子をまとめた場合、検知器の本発明に係る配置によって、試料から角度>2−3°で出るすべての2次電子が検知されることが知られる。試料側検知器のみの配置に比して発生源側の第2検知器による信号利得は、平坦な導電性試料表面の場合、約40%であり、非導電性試料表面の場合、80%以下である。
【0027】
更に、双方の検知器11,13の出力信号の適切な混合、特に、和および差の形成によって、表面形状を増幅し、電荷コントラストを形成できる。双方の検知器信号a,bの上記の混合のため、図1に示した如く、粒子ビーム装置は、双方の検知器信号a,bの任意に設定できる線形組合せを形成する信号処理系17を有する。この場合、線形組合せの係数は、図1に小文字のアルファベツトm,nを含む矢印で示した如く、利用者サイドで任意に選択できる。信号処理系17の出力信号は、次いで、試料10上の位置の関数としてモニタ18上にディスプレーされるか、以降の像処理のため像メモリ(図示してない)にファイルされる。
【0028】
光軸方向へ明確にずらして配置した2つの環状検知器を有し、試料から遠い方の検知器にのみ極めて小さい中心開口を設けた上述の装置は、特に、電子の1次エネルギが、5keV以上の平均エネルギに対して、上記平均値から試料にぶつかった際の200eV以下の最低1次エネルギ間で変化する場合に有用である。即ち、1次エネルギが200eV以下の場合、特に、20−100eVの1次エネルギ範囲において、2次電子の大部分は、試料からのその放射角度とは無関係に、対物レンズによって偏向されて、その軌道は、試料側検知器の範囲において光軸の直近に延び、従って、上記検知器によっては検知されないということが判明した。上記2次電子は、発生源側検知器によって有効に検知される。1次エネルギがより大きい場合、同時に、試料側検知器によって、光軸に対して大きい角度で試料から出る2次電子を検知できる。
【0029】
本発明によって、試料からの放射角度にもとづき2次電子を分離できるのみならず、試料から出る際のそのエネルギにもとづき2次電子を分離できる。なぜならば、低エネルギの2次電子の軌道は、放射角度とは無関係に、高エネルギの2次電子の軌道よりも光軸の近くに延びるので、発生源側検知器によって、第1に、低エネルギの2次電子が検知され試料側検知器によって、第1に、高エネルギの2次電子が検知されるからである。
【0030】
図示の実施形態を参照して、1次粒子が電子である事例について本発明を説明した。正に帯電した粒子に本発明を適用する場合、粒子電荷の符号変化に各種電位の極性を適合させるだけでよい。
【0031】
更に、対物レンズは、磁気レンズとして構成する必要はない。更に、特に、1次粒子として重い粒子(例えば、イオン)を使用する場合、粒子のフォーカシングのため静電レンズを使用すれば有利である。このような静電レンズは、公知の態様で、3つの連続の電極から構成でき、このうち双方の外側電極は、ビーム案内管の電位にあり、この場合、中心電極は、極性に関しては陰極電位に対応するが数値的には陰極電位よりも幾分小さい電位にある。このような静電レンズによって誘起される粒子エネルギの変化は、含浸静電レンズとは異なり、小さい。
【0032】
更に、粒子ビーム装置は、別の粒子光学結像系(例えば、粒子発生源と発生源側検知器との間に配設され、試料上のゾンデ寸法または粒子ビームのアパーチャを変更する単段または多段コンデンサ)を有することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係るラスタ電子顕微鏡の略断面図である。
【図2】試料表面の出発角度に依存する2次電子の軌道を示すグラフである。
【符号の説明】
1,2,3 ビーム発生器
5,5a,6 対物レンズ
10 試料
11,12,13,15,16 検知器
19,20 粒子
Claims (7)
- 光軸を有し、
ビーム発生器(1,2,3)と;
試料(10)上に1次粒子ビームをフォーカシングする焦面を有する対物レンズ(5,5a,6)と;
上記試料上に飛来する1次粒子ビームのエネルギを5Keボルト以上の1次エネルギから200eボルト以下の最低1次エネルギまでに変化させる静電遅延装置と;
上記ビーム発生器(1,2,3)と対物レンズ(5,5a,6)の焦面との間に配設された、試料(10)から反射散乱されたまたは放射された粒子(19)を検知する、光軸に対称に配置された環状検知面を有する試料側検知器(11、12)と;
試料(10)から反射散乱されたまたは放射された粒子(20)を検知する、光軸に対称に配置された環状検知面を有する変換絞り(13)を具えた発生側検知器と;
から構成された粒子ビーム装置において、
上記試料側検知器および発生側検知器の環状検知面は、光軸の方向へ相互にずらして配設されており、これらの2つの環状検知面は、1次粒子ビームのエネルギが5Keボルト以上の領域に配置され、前記静電遅延装置は、1次粒子ビームのエネルギを200eボルト以下に低減する減速電極(9)を具え、減速電極(9)は、試料側検知器(11,12)と試料との間に配置され、
上記試料側検知器および発生側検知器の環状検知面の間隔は、試料側検知器(11,12)の環状検知面と対物レンズの焦面との間隔の50%〜75%の範囲にあり、
発生源側検知器の環状検知面の1次ビームを通過させるための中心開口が、試料側検知器(11,12)の環状検知面の中心開口の1/3以下であることを特徴とする粒子ビーム装置。 - 発生源側検知器は、前記変換絞り(13)から出る帯電粒子の吸引電界を有するエバーハルト・トーネイ・検知器(15、16)を具えることを特徴とする請求項1に記載の粒子ビーム装置。
- 変換絞り(13)が、原子番号が20以下の材料からなることを特徴とする請求項1又は2に記載の粒子ビーム装置。
- 変換絞り(13)が、これを光軸に垂直な方向へ調整する調整装置(14)に受容されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の粒子ビーム装置。
- 試料側検知器および発生側検知器の出力信号のために、双方の検知器信号線形組合せに対応する出力信号を検知器信号から形成する信号処理系(17)が設けてあることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の粒子ビーム装置。
- 線形組合せの係数(m,n)は、利用者が自由に選択できることを特徴とする請求項5に記載の粒子ビーム装置。
- 対物レンズの磁極片(5)の空間に、対物レンズ5によって試料(10)にフォーカシングされた1次電子ビームを、試料(10)を走査するため、光軸に対して垂直に偏向する偏向系7が設けられていることを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載の粒子ビーム装置。
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