JP2012186177A - 電子線応用装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】高分解能観察の為に電子光学系の対物レンズに電磁重畳型対物レンズ103を用い、その対物レンズを用いて電子ビームを細く絞り、対物レンズ内にアシスト電極106と左・右検出器110、111を設け、その電子ビームを試料104に照射することで発生する二次電子の速度成分を選別し、さらに方位角成分を選別して検出する。
【選択図】図6
Description
本実施例では、走査電子顕微鏡への実施例について説明する。
図9は、第2の実施例である荷電粒子ビーム装置の基本構成を示す。本実施例の荷電粒子ビーム装置は、反射部材を持たない構成であって、実施例1で説明した装置構成に比べて、単純な構成で同じ機能を実現することを目的としたものである。以下、図9に従って装置の各構成を説明するが、動作・機能あるいは配置などが同じ構成要素については説明を省略する。
図10に、本実施例の第3の実施例である荷電粒子ビーム装置の基本構成を示す。本実施例の荷電粒子ビーム装置は、反射部材に加えてE×B偏向器を供え、かつSEとBSEとの軌道分離手段として、アシスト電極に換えて磁極を用いた装置構成である。以下、図10に従って装置の各構成を説明するが、動作・機能あるいは配置などが実施例1と同じ構成要素については説明を省略する。
本実施例は、欠陥レビュー用の検査装置の構成例について説明する。欠陥レビュー装置においては、試料の帯電により発生するシェーディングが問題となる場合が多い。そこで本実施例では、初めにシェーディングの発生原因について説明する。
本実施例では、図13に示した電子光学系の変形例について説明する。図16に、本実施例の第5の実施例である荷電粒子ビーム装置の基本構成を示す。なお、以下の説明において、図13の構成と共通する機能・動作については説明を省略する。
Claims (4)
- 試料を載せるステージと、電子光学系とを備えた電子線応用装置において、
前記電子光学系は、
一次電子ビームを生成する電子銃と、
前記一次電子ビームを前記試料上に集束する電磁重畳型対物レンズと、
前記一次電子ビームの前記試料への照射により生じる二次粒子を前記一次電子ビームの光軸から分離するE×B偏向器と、
前記二次粒子を衝突させるための反射部材と、
前記反射部材の下方に配置されたアシスト電極と、
前記二次粒子の前記反射部材への衝突により生じる三次粒子を用いて速度成分と方位角成分を選別して検出する複数の粒子検出器と、
前記反射部材の上方に配置された中央検出器と、を有することを特徴とする電子線応用装置。 - 請求項1記載の電子線応用装置において、
前記E×B偏向器は、前記アシスト電極の下方に配置されていることを特徴とする電子線応用装置。 - 情報処理装置と、表示手段と、被検査試料である試料基板に対して一次電子ビームを照射して二次粒子信号あるいは二次粒子信号に起因する二次元強度分布データを検出する電子光学カラムと、前記試料基板を格納する試料室と、前記試料室内に前記試料基板を搬送・搬出するための予備室と、前記予備室に前記試料基板を搬送するためのロボットと、を備えて前記試料室内の前記試料基板を自動的に交換することができる電子線応用装置において、
前記情報処理装置は、
表示制御部と、
ビーム走査制御部とカラム制御部とステージ制御部とポンプ制御部とロボット制御部とを有する電子顕微鏡制御部と、
レシピ制御部と画像処理部と欠陥座標制御部とを有する表示データ演算部と、を含み、
前記レシピ制御部は、前記表示制御部を介して登録された検査レシピに基づき、前記表示制御部、前記画像処理部、前記欠陥座標制御部、前記ビーム走査制御部、前記カラム制御部、前記ステージ制御部、前記ポンプ制御部、及び前記ロボット制御部と高速に通信を行い、
前記表示手段は、欠陥マップ、分類マップ、形成画像、観察倍率、欠陥・異物の検出に用いる観察像を取得する際の前記電子光学カラムの動作モードである検査モード、前記欠陥・異物の詳細な観察像を取得する際の前記電子光学カラムの動作モードである観測モード、前記検査モード又は前記観察モードに付随する一次電子ビーム照射の設定条件である通常モード又は帯電モードの表示と選択の画面を有すると共に、欠陥の分類結果を表示するものであることを特徴とする電子線応用装置。 - 請求項3記載の電子線応用装置において、
前記レシピ制御部は、各動作モードに対応する引数情報が格納されたビームモード切替条件フィールドと、アシスト電極および電磁重畳型対物レンズ下部電極への印加電圧を格納した電圧設定値フィールドにより構成され、
前記ビームモード切替条件フィールドは、更に、大分類フィールドと小分類フィールドに分けられ、前記検査モードと前記観察モード、前記通常モード或いは前記帯電モードに対応する引数情報が格納され、
前記電圧設定値フィールドには、前記大分類フィールドと前記小分類フィールドに格納された前記引数情報の組合せにより構成される各条件に対応する前記アシスト電極および前記電磁重畳型対物レンズ下部電極へ印加される電圧値が格納されていることを特徴とする電子線応用装置。
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