JP4470419B2 - 薄膜パターン化用マスクおよびこれを用いた液晶表示装置用カラーフィルタ基板の製造方法 - Google Patents
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Description
(1)少なくとも有機高分子層を形成した基板上に薄膜をパターン形成するための開口部を有する薄膜パターン化用マスクにおいて、マスクの有機高分子層と接触する側の面に凹凸が形成され、かつ少なくとも凹凸境界部分に樹脂膜がコーティングされており、さらにマスクの開口部端から0.3mm以内の範囲には樹脂膜が形成されていないことを特徴とする薄膜パターン化用マスク。
(2)樹脂膜の厚さが5μm〜250μmの間であることを特徴とする(1)記載の薄膜パターン化用マスク。
(3)樹脂膜が少なくともポリイミド樹脂を含有することを特徴とする(1)または(2)記載の薄膜パターン化用マスク。
(4)マスクの有機高分子層と接触する側の面に凹凸を形成する際に、少なくともマスクの開口部端は有機高分子層と接触しない凹部とし、かつ少なくとも開口部端から0.5mm〜3mmの範囲内に凹凸境界部分が形成され、さらにその境界部上に前記樹脂膜がコーティングされていることを特徴とする(1)〜(3)のいずれかに記載の薄膜パターン化用マスク。
(5)(1)〜(4)のいずれかに記載の薄膜パターン化用マスクを用いて透明導電膜を成膜することを特徴とする液晶表示装置用カラーフィルタ基板の製造方法。
2 ガラス基板
3 透明導電膜
4 オーバーコート層
50 ブラックマトリックス
51,52,53 RGB各画素
6 ポリイミドコーティング層
Claims (5)
- 少なくとも有機高分子層を形成した基板上に薄膜をパターン形成するための開口部を有する薄膜パターン化用マスクにおいて、マスクの有機高分子層と接触する側の面に凹凸が形成され、かつ少なくとも凹凸境界部分に樹脂膜がコーティングされており、さらにマスクの開口部端から0.3mm以内の範囲には樹脂膜が形成されていないことを特徴とする薄膜パターン化用マスク。
- 樹脂膜の厚さが5μm〜250μmの間であることを特徴とする請求項1記載の薄膜パターン化用マスク。
- 樹脂膜が少なくともポリイミド樹脂を含有することを特徴とする請求項1または2記載の薄膜パターン化用マスク。
- マスクの有機高分子層と接触する側の面に凹凸を形成する際に、少なくともマスクの開口部端は有機高分子層と接触しない凹部とし、かつ少なくとも開口部端から0.5mm〜3mmの範囲内に凹凸境界部分が形成され、さらにその境界部上に前記樹脂膜がコーティングされていることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の薄膜パターン化用マスク。
- 請求項1〜4のいずれかに記載の薄膜パターン化用マスクを用いて透明導電膜を成膜することを特徴とする液晶表示装置用カラーフィルタ基板の製造方法。
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