JPH09143677A - 透明導電膜の形成方法 - Google Patents
透明導電膜の形成方法Info
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- JPH09143677A JPH09143677A JP30106795A JP30106795A JPH09143677A JP H09143677 A JPH09143677 A JP H09143677A JP 30106795 A JP30106795 A JP 30106795A JP 30106795 A JP30106795 A JP 30106795A JP H09143677 A JPH09143677 A JP H09143677A
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- vapor deposition
- conductive film
- transparent conductive
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Abstract
(57)【要約】
【課題】カラーフィルターに透明導電膜をマスク蒸着法
にて形成する際、カラーフィルターに、擦り傷および放
電痕が生じない透明導電膜の形成方法を提供することを
目的としている。 【解決手段】液晶表示装置に用いられるカラーフィルタ
ーの表面に、透明導電膜をマスク蒸着法にて形成する方
法において、用いる蒸着マスクが、カラーフィルターと
接する面側が絶縁性の熱硬化性の樹脂よりなる樹脂シー
トおよび、その上に磁石に吸着可能な金属板を重ねた二
層構造であり、前記樹脂シートに所定の形状の開口部が
設けられ、前記金属板は、別途前記開口部領域より大き
い開口部を有する枠状としたことを特徴とする透明導電
膜の形成方法。
にて形成する際、カラーフィルターに、擦り傷および放
電痕が生じない透明導電膜の形成方法を提供することを
目的としている。 【解決手段】液晶表示装置に用いられるカラーフィルタ
ーの表面に、透明導電膜をマスク蒸着法にて形成する方
法において、用いる蒸着マスクが、カラーフィルターと
接する面側が絶縁性の熱硬化性の樹脂よりなる樹脂シー
トおよび、その上に磁石に吸着可能な金属板を重ねた二
層構造であり、前記樹脂シートに所定の形状の開口部が
設けられ、前記金属板は、別途前記開口部領域より大き
い開口部を有する枠状としたことを特徴とする透明導電
膜の形成方法。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、カラー液晶表示装
置等に用いられるカラーフィルターの表面に、金属や金
属酸化物の薄膜よりなる透明導電膜をマスク蒸着法にて
成膜する方法に係わる。
置等に用いられるカラーフィルターの表面に、金属や金
属酸化物の薄膜よりなる透明導電膜をマスク蒸着法にて
成膜する方法に係わる。
【０００２】
【従来の技術】従来、カラー液晶表示装置等に用いられ
るカラーフィルター５は、図７に示すように、ガラス等
の透明基板６上に、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）三色
の、例えば着色顔料を含有する感光性樹脂よりなる着色
画素層７、および、金属クロムまたは黒色樹脂等よりな
る、例えば格子状の遮光層８（ブラックマトリックス）
により構成されている。なお、必要により、着色画素層
７および、遮光層８を保護するため、着色画素層７上お
よび、遮光層８上に透明樹脂よりなる保護膜が形成され
ている場合がある。カラーフィルターは、カラー液晶表
示装置に組み込む際、ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）を形
成した電極基板と一定の距離をもって対向させ、両者の
間に液晶を封入しカラー液晶表示装置とするものであ
る。
るカラーフィルター５は、図７に示すように、ガラス等
の透明基板６上に、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）三色
の、例えば着色顔料を含有する感光性樹脂よりなる着色
画素層７、および、金属クロムまたは黒色樹脂等よりな
る、例えば格子状の遮光層８（ブラックマトリックス）
により構成されている。なお、必要により、着色画素層
７および、遮光層８を保護するため、着色画素層７上お
よび、遮光層８上に透明樹脂よりなる保護膜が形成され
ている場合がある。カラーフィルターは、カラー液晶表
示装置に組み込む際、ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）を形
成した電極基板と一定の距離をもって対向させ、両者の
間に液晶を封入しカラー液晶表示装置とするものであ
る。
【０００３】カラー液晶表示装置を駆動する際、電極基
板とカラーフィルターとの間に封入した液晶に電界を掛
けるものである。このため、図７に示すように、カラー
フィルター５表面に、電界用の透明導電膜９を形成する
ことが一般的となっている。透明導電膜９は、例えばＩ
ＴＯ（Indium Tin Oxide) 等の光透過性を有する金属酸
化物の薄膜であり、公知の方法、例えば蒸着法（スパッ
タリング法）等によりカラーフィルター５上に形成され
る。
板とカラーフィルターとの間に封入した液晶に電界を掛
けるものである。このため、図７に示すように、カラー
フィルター５表面に、電界用の透明導電膜９を形成する
ことが一般的となっている。透明導電膜９は、例えばＩ
ＴＯ（Indium Tin Oxide) 等の光透過性を有する金属酸
化物の薄膜であり、公知の方法、例えば蒸着法（スパッ
タリング法）等によりカラーフィルター５上に形成され
る。
【０００４】上述した透明導電膜は、主に着色画素層７
が形成された画像表示領域に形成され、カラーフィルタ
ー５の全面に形成するものではない。そのため、カラー
フィルター５上に蒸着法にて透明導電膜を形成する際、
カラーフィルター５の表面を部分的にマスキングし、所
定の部位にのみ透明導電膜を形成するマスク蒸着法が用
いられるものである。
が形成された画像表示領域に形成され、カラーフィルタ
ー５の全面に形成するものではない。そのため、カラー
フィルター５上に蒸着法にて透明導電膜を形成する際、
カラーフィルター５の表面を部分的にマスキングし、所
定の部位にのみ透明導電膜を形成するマスク蒸着法が用
いられるものである。
【０００５】通常、上述したカラーフィルター５の表面
のマスキングには、蒸着マスクと呼称される板状のマス
クが使用される。一般に蒸着マスクは、鉄、ニッケルな
どの磁石に吸着する性質の金属を用いた、厚さ0.05〜
0.5mm程度の薄板であり、金型を用いた打ち抜き法、ま
たはフォトエッチング法等により所定のパターンに従っ
た開口部が形成されている。
のマスキングには、蒸着マスクと呼称される板状のマス
クが使用される。一般に蒸着マスクは、鉄、ニッケルな
どの磁石に吸着する性質の金属を用いた、厚さ0.05〜
0.5mm程度の薄板であり、金型を用いた打ち抜き法、ま
たはフォトエッチング法等により所定のパターンに従っ
た開口部が形成されている。
【０００６】マスク蒸着法を行う前に、図６および図６
のＺ−Ｚ’線における断面図である図７に示すように、
蒸着マスク１の開口４部がカラーフィルター５の所定の
位置に来るよう、カラーフィルター５と蒸着マスク１と
の位置合わせを行った上で、カラーフィルター５と蒸着
マスク１とを密着固定させる。これにより、透明導電膜
の蒸着をカラーフィルター５に行った際、図７に示すよ
うに、蒸着マスク１の開口４部から露出したカラーフィ
ルター５部位に透明導電膜９が選択的に形成されるもの
である。
のＺ−Ｚ’線における断面図である図７に示すように、
蒸着マスク１の開口４部がカラーフィルター５の所定の
位置に来るよう、カラーフィルター５と蒸着マスク１と
の位置合わせを行った上で、カラーフィルター５と蒸着
マスク１とを密着固定させる。これにより、透明導電膜
の蒸着をカラーフィルター５に行った際、図７に示すよ
うに、蒸着マスク１の開口４部から露出したカラーフィ
ルター５部位に透明導電膜９が選択的に形成されるもの
である。
【０００７】なお、カラーフィルター５と蒸着マスク１
との密着固定の際、一般に磁石10を用いるものである。
すなわち、図７に示すように、カラーフィルター５の透
明導電膜９を形成する面と反対面側に磁石10を置き、こ
の磁石10の磁力により、磁石に吸着する性質の金属より
なる蒸着マスク１がカラーフィルター５に密着固定する
ものである。
との密着固定の際、一般に磁石10を用いるものである。
すなわち、図７に示すように、カラーフィルター５の透
明導電膜９を形成する面と反対面側に磁石10を置き、こ
の磁石10の磁力により、磁石に吸着する性質の金属より
なる蒸着マスク１がカラーフィルター５に密着固定する
ものである。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】上述したように、カラ
ーフィルターの所定の部位に透明導電膜を形成するた
め、従来、金属製の蒸着マスクが用いられているもので
ある。しかし、蒸着マスクが金属であるため、カラーフ
ィルター表面と擦れ、カラーフィルターに擦り傷を発生
させるものである。カラーフィルターと蒸着マスクとを
密着固定させる際、位置合わせのため蒸着マスク１をカ
ラーフィルター５上で移動させねばならない。このた
め、蒸着マスク１の表面、特に開口４部の角とカラーフ
ィルター５上に形成された着色画素層７、遮光層８、保
護膜および透明基板６等とが擦れ、これによりカラーフ
ィルター５に擦り傷が付くものである。
ーフィルターの所定の部位に透明導電膜を形成するた
め、従来、金属製の蒸着マスクが用いられているもので
ある。しかし、蒸着マスクが金属であるため、カラーフ
ィルター表面と擦れ、カラーフィルターに擦り傷を発生
させるものである。カラーフィルターと蒸着マスクとを
密着固定させる際、位置合わせのため蒸着マスク１をカ
ラーフィルター５上で移動させねばならない。このた
め、蒸着マスク１の表面、特に開口４部の角とカラーフ
ィルター５上に形成された着色画素層７、遮光層８、保
護膜および透明基板６等とが擦れ、これによりカラーフ
ィルター５に擦り傷が付くものである。
【０００９】また、透明導電膜９を蒸着する際、カラー
フィルター５に電圧を掛けるため、カラーフィルター５
には静電気が帯電しやすくなっている。この静電気が、
カラーフィルター５と密着した蒸着マスク１の開口４の
角部、または蒸着マスク１の周辺端部に放電される場合
があり、静電気の放電が生じたカラーフィルター部位に
は放電痕が発生するものである。
フィルター５に電圧を掛けるため、カラーフィルター５
には静電気が帯電しやすくなっている。この静電気が、
カラーフィルター５と密着した蒸着マスク１の開口４の
角部、または蒸着マスク１の周辺端部に放電される場合
があり、静電気の放電が生じたカラーフィルター部位に
は放電痕が発生するものである。
【００１０】上述した擦り傷および放電痕を有するカラ
ーフィルターを用い、カラー液晶表示装置を構成した場
合、カラー液晶表示装置の表示品位は低下するものであ
る。例えば、遮光層８（ブラックマトリックス）は、カ
ラーフィルター５をカラー液晶表示装置に組み込んだ
際、対向する電極基板に形成されたＴＦＴ（薄膜トラン
ジスタ）部を隠蔽し、ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）電極
に入射する光を遮光することで、ＴＦＴ電極の誤動作を
防止する役割を持っている。しかし、遮光層８（ブラッ
クマトリックス）に擦り傷が発生することで、対向する
ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）を入射する光から隠蔽でき
ず、ＴＦＴ電極の誤動作を招く。また、着色画素層７に
擦り傷および放電痕を生じた場合、その部位が白ヌケや
色ムラとなり、表示品位が低下するものである。
ーフィルターを用い、カラー液晶表示装置を構成した場
合、カラー液晶表示装置の表示品位は低下するものであ
る。例えば、遮光層８（ブラックマトリックス）は、カ
ラーフィルター５をカラー液晶表示装置に組み込んだ
際、対向する電極基板に形成されたＴＦＴ（薄膜トラン
ジスタ）部を隠蔽し、ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）電極
に入射する光を遮光することで、ＴＦＴ電極の誤動作を
防止する役割を持っている。しかし、遮光層８（ブラッ
クマトリックス）に擦り傷が発生することで、対向する
ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）を入射する光から隠蔽でき
ず、ＴＦＴ電極の誤動作を招く。また、着色画素層７に
擦り傷および放電痕を生じた場合、その部位が白ヌケや
色ムラとなり、表示品位が低下するものである。
【００１１】本発明は、以上のような事情に鑑み、カラ
ーフィルターに透明導電膜をマスク蒸着法にて形成する
方法において、カラーフィルターに、上述した擦り傷お
よび放電痕が生じない透明導電膜の形成方法を提供する
ことを目的としている。
ーフィルターに透明導電膜をマスク蒸着法にて形成する
方法において、カラーフィルターに、上述した擦り傷お
よび放電痕が生じない透明導電膜の形成方法を提供する
ことを目的としている。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本発明に於いて上記課題
を達成するために、まず請求項１においては、液晶表示
装置に用いられるカラーフィルターの表面に、透明導電
膜をマスク蒸着法にてパターン状に形成する方法におい
て、用いる蒸着マスクが、カラーフィルターと接する面
側が絶縁性の熱硬化性樹脂よりなる樹脂シートおよび、
その上に磁石に吸着可能な金属板を重ねた二層構造であ
り、前記樹脂シートに所定の形状の開口部が設けられ、
前記金属板は、前記開口部領域より大きい開口部を有す
る枠状としたことを特徴とする透明導電膜の形成方法と
したものである。
を達成するために、まず請求項１においては、液晶表示
装置に用いられるカラーフィルターの表面に、透明導電
膜をマスク蒸着法にてパターン状に形成する方法におい
て、用いる蒸着マスクが、カラーフィルターと接する面
側が絶縁性の熱硬化性樹脂よりなる樹脂シートおよび、
その上に磁石に吸着可能な金属板を重ねた二層構造であ
り、前記樹脂シートに所定の形状の開口部が設けられ、
前記金属板は、前記開口部領域より大きい開口部を有す
る枠状としたことを特徴とする透明導電膜の形成方法と
したものである。
【００１３】また、請求項２においては、液晶表示装置
に用いられるカラーフィルターの表面に、透明導電膜を
マスク蒸着法にてパターン状に形成する方法において、
用いる蒸着マスクが、カラーフィルターと接する面側が
絶縁性の熱硬化性樹脂よりなる樹脂シートおよび、その
上に磁石に吸着可能な金属板を重ねた二層構造であり、
所定の形状に設けた開口部が、前記樹脂シートおよび金
属板の同一の箇所に設けられていることを特徴とする透
明導電膜の形成方法としたものである。
に用いられるカラーフィルターの表面に、透明導電膜を
マスク蒸着法にてパターン状に形成する方法において、
用いる蒸着マスクが、カラーフィルターと接する面側が
絶縁性の熱硬化性樹脂よりなる樹脂シートおよび、その
上に磁石に吸着可能な金属板を重ねた二層構造であり、
所定の形状に設けた開口部が、前記樹脂シートおよび金
属板の同一の箇所に設けられていることを特徴とする透
明導電膜の形成方法としたものである。
【００１４】さらにまた、請求項３においては、液晶表
示装置に用いられるカラーフィルターの表面に、透明導
電膜をマスク蒸着法にてパターン状に形成する方法にお
いて、用いる蒸着マスクが、所定の形状に設けた開口部
を有する、磁石に吸着可能な金属板よりなり、前記開口
部の周辺領域の、少なくともカラーフィルターと接する
面側に、絶縁性の熱硬化性樹脂層を塗布形成したもので
あることを特徴とする透明導電膜の形成方法としたもの
である。
示装置に用いられるカラーフィルターの表面に、透明導
電膜をマスク蒸着法にてパターン状に形成する方法にお
いて、用いる蒸着マスクが、所定の形状に設けた開口部
を有する、磁石に吸着可能な金属板よりなり、前記開口
部の周辺領域の、少なくともカラーフィルターと接する
面側に、絶縁性の熱硬化性樹脂層を塗布形成したもので
あることを特徴とする透明導電膜の形成方法としたもの
である。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下に説明図を用い、本発明の実
施の形態につき説明を行う。本発明に用いる蒸着マスク
１は、図１および、図１のＸ−Ｘ’線における断面図で
ある図２に示すように、カラーフィルター５と接する面
側がポリイミド、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエ
チレンテレフタレート、またはポリエーテルサルホン等
よりなる厚さ25〜 200μｍ程度の電気的絶縁性かつ耐熱
性の樹脂シート２とし、その上に鉄、ニッケル等の磁石
に吸着可能な厚さ 0.5〜 1.5mm程度の金属板３を重ねた
二層構造とするものである。
施の形態につき説明を行う。本発明に用いる蒸着マスク
１は、図１および、図１のＸ−Ｘ’線における断面図で
ある図２に示すように、カラーフィルター５と接する面
側がポリイミド、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエ
チレンテレフタレート、またはポリエーテルサルホン等
よりなる厚さ25〜 200μｍ程度の電気的絶縁性かつ耐熱
性の樹脂シート２とし、その上に鉄、ニッケル等の磁石
に吸着可能な厚さ 0.5〜 1.5mm程度の金属板３を重ねた
二層構造とするものである。
【００１６】樹脂シート２には、金型を用いた打ち抜き
等により、所定の形状の開口４部を設けるものであり、
これにより、カラーフィルター５と樹脂シート２とを位
置合わせをしたうえで密着させた際、透明導電膜が形成
されるべきカラーフィルター５部位を開口４部より露出
させるものである。
等により、所定の形状の開口４部を設けるものであり、
これにより、カラーフィルター５と樹脂シート２とを位
置合わせをしたうえで密着させた際、透明導電膜が形成
されるべきカラーフィルター５部位を開口４部より露出
させるものである。
【００１７】また、樹脂シート２の上に重ねた金属板３
は、カラーフィルター５の反対面側に設けた磁石10の磁
力により引っ張られ、これにより樹脂シート２は、カラ
ーフィルター５と金属板３の間に挟まれ固定されること
になる。なお、樹脂シート２と金属板３とは、接着剤等
で固定してあっても構わず、また、両者をあらかじめ固
定することなく、カラーフィルター５上に樹脂シート２
を置いた上から金属板３を置き、磁力により樹脂シート
２を固定することであっても構わない。
は、カラーフィルター５の反対面側に設けた磁石10の磁
力により引っ張られ、これにより樹脂シート２は、カラ
ーフィルター５と金属板３の間に挟まれ固定されること
になる。なお、樹脂シート２と金属板３とは、接着剤等
で固定してあっても構わず、また、両者をあらかじめ固
定することなく、カラーフィルター５上に樹脂シート２
を置いた上から金属板３を置き、磁力により樹脂シート
２を固定することであっても構わない。
【００１８】なお、樹脂シート２上に金属板３を重ねた
際、樹脂シート２に形成した開口４部を遮蔽しないよ
う、金属板３には、樹脂シート２に形成した開口４部領
域より大きな開口を形成しているものであり、金属板３
の開口は、金型を用いた打ち抜き等で形成するものであ
る。
際、樹脂シート２に形成した開口４部を遮蔽しないよ
う、金属板３には、樹脂シート２に形成した開口４部領
域より大きな開口を形成しているものであり、金属板３
の開口は、金型を用いた打ち抜き等で形成するものであ
る。
【００１９】次いで、透明導電膜を蒸着法にて形成する
際、カラーフィルターおよび蒸着マスクの周辺雰囲気の
温度を高温とするため、樹脂シート２の材質は、熱硬化
性樹脂とするものである。すなわち、樹脂シート２の材
質が熱可塑性であった場合、高温となった際に、樹脂シ
ート２が溶けカラーフィルター５に付着し、かつ、開口
４の形状が崩れるためカラーフィルター５上の所望する
部位への透明導電膜の形成が難しくなるためである。ま
た、樹脂シート２の材質は、使用する樹脂シート２の価
格を考慮し、透明導電膜を蒸着形成する際の周辺雰囲気
の温度により選択しても構わない。例えば、周辺雰囲気
の温度が 200〜 250℃程度と高温であった場合、樹脂シ
ート２は、ポリイミド等の耐熱性のある材質とすること
が望ましい。次いで、周辺雰囲気の温度が 200〜 250℃
程度であった場合、ポリエーテルエーテルケトン、ま
た、周辺雰囲気の温度が 120℃以下であった場合、安価
なポリエチレンテレフタレート、もしくはポリエーテル
サルホン等であっても構わないといえる。
際、カラーフィルターおよび蒸着マスクの周辺雰囲気の
温度を高温とするため、樹脂シート２の材質は、熱硬化
性樹脂とするものである。すなわち、樹脂シート２の材
質が熱可塑性であった場合、高温となった際に、樹脂シ
ート２が溶けカラーフィルター５に付着し、かつ、開口
４の形状が崩れるためカラーフィルター５上の所望する
部位への透明導電膜の形成が難しくなるためである。ま
た、樹脂シート２の材質は、使用する樹脂シート２の価
格を考慮し、透明導電膜を蒸着形成する際の周辺雰囲気
の温度により選択しても構わない。例えば、周辺雰囲気
の温度が 200〜 250℃程度と高温であった場合、樹脂シ
ート２は、ポリイミド等の耐熱性のある材質とすること
が望ましい。次いで、周辺雰囲気の温度が 200〜 250℃
程度であった場合、ポリエーテルエーテルケトン、ま
た、周辺雰囲気の温度が 120℃以下であった場合、安価
なポリエチレンテレフタレート、もしくはポリエーテル
サルホン等であっても構わないといえる。
【００２０】次いで、本発明に用いる蒸着マスク１の変
形として、図３および、図３のＹ−Ｙ’線における断面
図である図４に示すように、カラーフィルター５と接す
る面側が電気的絶縁性の熱硬化性樹脂よりなる樹脂シー
ト２および、その上に磁石に吸着可能な鉄、ニッケル等
よりなる金属板３を有する二層構造であり、所定の形状
に設けた開口４部が、樹脂シート２および金属板３の同
一の箇所に設けられていることを特徴とする蒸着マスク
１とするものである。
形として、図３および、図３のＹ−Ｙ’線における断面
図である図４に示すように、カラーフィルター５と接す
る面側が電気的絶縁性の熱硬化性樹脂よりなる樹脂シー
ト２および、その上に磁石に吸着可能な鉄、ニッケル等
よりなる金属板３を有する二層構造であり、所定の形状
に設けた開口４部が、樹脂シート２および金属板３の同
一の箇所に設けられていることを特徴とする蒸着マスク
１とするものである。
【００２１】従来、金属製の蒸着マスクの製造手段の一
つにフォトエッチング法を用いる方法がある。すなわ
ち、磁石に吸着可能な鉄、ニッケル等の金属の薄板に感
光性樹脂層を塗布形成後、所定のパターンを有する露光
用パターンマスクを介して、感光性樹脂層にパターン露
光を行う。次いで、感光性樹脂層を現像し、未露光未硬
化部位の感光性樹脂を溶解除去し、金属板の所定の部位
を感光性樹脂層より露出させる。しかる後、金属板にエ
ッチングを行い、感光性樹脂層より露出した金属板部位
を溶解除去し、所定のパターンの貫通した開口を形成す
る。次いで、感光性樹脂層を剥膜し蒸着マスクとするも
のである。
つにフォトエッチング法を用いる方法がある。すなわ
ち、磁石に吸着可能な鉄、ニッケル等の金属の薄板に感
光性樹脂層を塗布形成後、所定のパターンを有する露光
用パターンマスクを介して、感光性樹脂層にパターン露
光を行う。次いで、感光性樹脂層を現像し、未露光未硬
化部位の感光性樹脂を溶解除去し、金属板の所定の部位
を感光性樹脂層より露出させる。しかる後、金属板にエ
ッチングを行い、感光性樹脂層より露出した金属板部位
を溶解除去し、所定のパターンの貫通した開口を形成す
る。次いで、感光性樹脂層を剥膜し蒸着マスクとするも
のである。
【００２２】ここで、本発明では、上述したフォトエッ
チング法により金属板に所定のパターンの貫通した開口
を形成後も感光性樹脂層を剥膜せず、残された感光性樹
脂層を上述した樹脂シート２とし、図３および図４の蒸
着マスク１として使用するものである。
チング法により金属板に所定のパターンの貫通した開口
を形成後も感光性樹脂層を剥膜せず、残された感光性樹
脂層を上述した樹脂シート２とし、図３および図４の蒸
着マスク１として使用するものである。
【００２３】なお、図３および図４に示す蒸着マスク１
は、感光性樹脂層すなわち樹脂シート２とカラーフィル
ター５とを対向させて位置合わせをし、蒸着マスク１の
カラーフィルター５への密着固定は、従来通り磁石10を
用いて行うものである。
は、感光性樹脂層すなわち樹脂シート２とカラーフィル
ター５とを対向させて位置合わせをし、蒸着マスク１の
カラーフィルター５への密着固定は、従来通り磁石10を
用いて行うものである。
【００２４】また、透明導電膜を蒸着形成する際の周辺
雰囲気の温度が 120〜 250℃程度と高温であった場合、
感光性樹脂層は感光性ポリイミド等の耐熱性のある材質
とし、温度が 120℃以下であった場合、安価な感光性ポ
リビニルアルコール等を用いるものである。
雰囲気の温度が 120〜 250℃程度と高温であった場合、
感光性樹脂層は感光性ポリイミド等の耐熱性のある材質
とし、温度が 120℃以下であった場合、安価な感光性ポ
リビニルアルコール等を用いるものである。
【００２５】次いで、本発明に用いる蒸着マスクの他の
変形として、図５に示すように、蒸着マスク１が、所定
の形状に設けた開口４部を有する、磁石に吸着可能な金
属板３よりなり、前記開口４の周辺領域の、少なくとも
カラーフィルター５と接する面側に、電気的絶縁性の熱
硬化性樹脂層11を塗布形成したことを特徴とする蒸着マ
スク１とするものである。
変形として、図５に示すように、蒸着マスク１が、所定
の形状に設けた開口４部を有する、磁石に吸着可能な金
属板３よりなり、前記開口４の周辺領域の、少なくとも
カラーフィルター５と接する面側に、電気的絶縁性の熱
硬化性樹脂層11を塗布形成したことを特徴とする蒸着マ
スク１とするものである。
【００２６】図５に示す、所定の形状に設けた開口４部
を有する金属板３は、上述したフォトエッチング法によ
り、従来通り感光性樹脂層の剥膜まで終了したものであ
る。本実施例においては、カラーフィルター５と接する
開口４部の周辺領域に絶縁性の熱硬化性樹脂、例えばポ
リイミド樹脂等を塗布した後、加熱を行い、硬化させ樹
脂層11としている。なお、樹脂を塗布する手段として、
スクリーン印刷、または刷毛塗り等を用いるものであ
る。
を有する金属板３は、上述したフォトエッチング法によ
り、従来通り感光性樹脂層の剥膜まで終了したものであ
る。本実施例においては、カラーフィルター５と接する
開口４部の周辺領域に絶縁性の熱硬化性樹脂、例えばポ
リイミド樹脂等を塗布した後、加熱を行い、硬化させ樹
脂層11としている。なお、樹脂を塗布する手段として、
スクリーン印刷、または刷毛塗り等を用いるものであ
る。
【００２７】なお、図５に示す蒸着マスク１のカラーフ
ィルー５上への密着固定は、樹脂層11とカラーフィルタ
ー５とを対向させて位置合わせをし、従来通り磁石10を
用いて行うものである。
ィルー５上への密着固定は、樹脂層11とカラーフィルタ
ー５とを対向させて位置合わせをし、従来通り磁石10を
用いて行うものである。
【００２８】図１に記した蒸着マスク１は、金型を用い
た打ち抜き等により開口４を形成しており、四角形等の
比較的単純な平面形状の開口パターンに適している。し
かし、開口パターンの平面形状が凹凸等を有する複雑な
形状であった場合、フォトエッチング法を用いて得られ
る、図３または図５の蒸着マスク１を用いることが望ま
しいといえる。
た打ち抜き等により開口４を形成しており、四角形等の
比較的単純な平面形状の開口パターンに適している。し
かし、開口パターンの平面形状が凹凸等を有する複雑な
形状であった場合、フォトエッチング法を用いて得られ
る、図３または図５の蒸着マスク１を用いることが望ま
しいといえる。
【００２９】次いで、本発明による透明導電膜の形成方
法においては、上述した蒸着マスク１を、位置合わせを
した上でカラーフィルター５上に磁石10にて密着固定
し、従来通りの公知の方法、すなわち蒸着法（スパッタ
リング法）を用い、図７に示すように、蒸着マスク１の
開口４より露出したカラーフィルター５部位に透明導電
膜９を形成するものである。
法においては、上述した蒸着マスク１を、位置合わせを
した上でカラーフィルター５上に磁石10にて密着固定
し、従来通りの公知の方法、すなわち蒸着法（スパッタ
リング法）を用い、図７に示すように、蒸着マスク１の
開口４より露出したカラーフィルター５部位に透明導電
膜９を形成するものである。
【００３０】なお本発明の実施の形態は、上述した図の
形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨に基づき
種々の変形が可能なことはいうまでもない。
形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨に基づき
種々の変形が可能なことはいうまでもない。
【００３１】本発明に用いる蒸着マスク１は、カラーフ
ィルター５表面と接する部位、特に開口４部の角が樹脂
により覆われ、この樹脂がカラーフィルター５に対する
保護膜の役目を持つことになる。このため、蒸着マスク
１とカラーフィルター５表面とが位置合わせを行う等で
擦れても、カラーフィルター５に擦り傷が付くことを、
保護膜である樹脂が防止するものである。
ィルター５表面と接する部位、特に開口４部の角が樹脂
により覆われ、この樹脂がカラーフィルター５に対する
保護膜の役目を持つことになる。このため、蒸着マスク
１とカラーフィルター５表面とが位置合わせを行う等で
擦れても、カラーフィルター５に擦り傷が付くことを、
保護膜である樹脂が防止するものである。
【００３２】また、本発明に用いる蒸着マスク１を構成
する樹脂を電気的絶縁性としたことで、カラーフィルタ
ー５と蒸着マスク１を密着させると、カラーフィルター
５と蒸着マスク１との間に絶縁層が形成された形とな
る。このため、透明導電膜９を蒸着法にてカラーフィル
ター５に形成する際、カラーフィルター５に発生する静
電気が蒸着マスク１へ放電されることを絶縁性の樹脂が
防止するものである。
する樹脂を電気的絶縁性としたことで、カラーフィルタ
ー５と蒸着マスク１を密着させると、カラーフィルター
５と蒸着マスク１との間に絶縁層が形成された形とな
る。このため、透明導電膜９を蒸着法にてカラーフィル
ター５に形成する際、カラーフィルター５に発生する静
電気が蒸着マスク１へ放電されることを絶縁性の樹脂が
防止するものである。
【００３３】
【発明の効果】本発明に用いる蒸着マスク１は、カラー
フィルター５表面と接する部位、特に開口４部の角が樹
脂により覆われ、この樹脂がカラーフィルター５に対す
る保護膜の役目を持つことになる。このため、蒸着マス
ク１とカラーフィルター５表面とが位置合わせ等で擦れ
ても、カラーフィルター５に擦り傷が付くことを、保護
膜である樹脂が防止するものである。
フィルター５表面と接する部位、特に開口４部の角が樹
脂により覆われ、この樹脂がカラーフィルター５に対す
る保護膜の役目を持つことになる。このため、蒸着マス
ク１とカラーフィルター５表面とが位置合わせ等で擦れ
ても、カラーフィルター５に擦り傷が付くことを、保護
膜である樹脂が防止するものである。
【００３４】また、本発明に用いる蒸着マスク１を構成
する樹脂を電気的絶縁性としたことで、カラーフィルタ
ー５と蒸着マスク１を密着させると、カラーフィルター
５と蒸着マスク１との間に絶縁層が形成された形とな
る。このため、透明導電膜９を蒸着法にてカラーフィル
ター５に形成する際、カラーフィルター５に発生する静
電気が蒸着マスク１へ放電されることを絶縁性の樹脂が
防止するものである。
する樹脂を電気的絶縁性としたことで、カラーフィルタ
ー５と蒸着マスク１を密着させると、カラーフィルター
５と蒸着マスク１との間に絶縁層が形成された形とな
る。このため、透明導電膜９を蒸着法にてカラーフィル
ター５に形成する際、カラーフィルター５に発生する静
電気が蒸着マスク１へ放電されることを絶縁性の樹脂が
防止するものである。
【００３５】すなわち、本発明による蒸着マスク１を使
用してカラーフィルター５に透明導電膜９を形成する方
法では、従来の金属製の蒸着マスクを使用した際に生じ
ていたカラーフィルター５の擦り傷および放電痕が発生
せず、高品質のカラーフィルターを得る上で本発明は実
用上優れているといえる。
用してカラーフィルター５に透明導電膜９を形成する方
法では、従来の金属製の蒸着マスクを使用した際に生じ
ていたカラーフィルター５の擦り傷および放電痕が発生
せず、高品質のカラーフィルターを得る上で本発明は実
用上優れているといえる。
【００３６】
【図１】本発明の一実施例の要部を示す斜視説明図。
【図２】本発明の一実施例の要部を示す断面説明図。
【図３】本発明の他の実施例の要部を示す斜視説明図。
【図４】本発明の他の実施例の要部を示す断面説明図。
【図５】本発明のその他の実施例の要部を示す断面説明
図。
図。
【図６】従来の透明導電膜の形成方法の一実施例を示す
斜視説明図。
斜視説明図。
【図７】従来の透明導電膜の形成方法の一実施例を示す
断面説明図。
断面説明図。
１ 蒸着マスク ２ 樹脂シート ３ 金属板 ４ 開口 ５ カラーフィルター ６ 透明基板 ７ 着色画素層 ８ 遮光層 ９ 透明導電膜 10 磁石 11 樹脂層
Claims (3)
- 【請求項１】液晶表示装置に用いられるカラーフィルタ
ーの表面に、透明導電膜をマスク蒸着法にてパターン状
に形成する方法において、用いる蒸着マスクが、カラー
フィルターと接する面側が絶縁性の熱硬化性樹脂よりな
る樹脂シートおよび、その上に磁石に吸着可能な金属板
を重ねた二層構造であり、前記樹脂シートに所定の形状
の開口部が設けられ、前記金属板は、前記開口部領域よ
り大きい開口部を有する枠状としたことを特徴とする透
明導電膜の形成方法。 - 【請求項２】液晶表示装置に用いられるカラーフィルタ
ーの表面に、透明導電膜をマスク蒸着法にてパターン状
に形成する方法において、用いる蒸着マスクが、カラー
フィルターと接する面側が絶縁性の熱硬化性樹脂よりな
る樹脂シートおよび、その上に磁石に吸着可能な金属板
を重ねた二層構造であり、所定の形状に設けた開口部
が、前記樹脂シートおよび金属板の同一の箇所に設けら
れていることを特徴とする透明導電膜の形成方法。 - 【請求項３】液晶表示装置に用いられるカラーフィルタ
ーの表面に、透明導電膜をマスク蒸着法にてパターン状
に形成する方法において、用いる蒸着マスクが、所定の
形状に設けた開口部を有する、磁石に吸着可能な金属板
よりなり、前記開口部の周辺領域の、少なくともカラー
フィルターと接する面側に、絶縁性の熱硬化性樹脂層を
塗布形成したものであることを特徴とする透明導電膜の
形成方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30106795A JPH09143677A (ja) | 1995-11-20 | 1995-11-20 | 透明導電膜の形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30106795A JPH09143677A (ja) | 1995-11-20 | 1995-11-20 | 透明導電膜の形成方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09143677A true JPH09143677A (ja) | 1997-06-03 |
Family
ID=17892475
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30106795A Pending JPH09143677A (ja) | 1995-11-20 | 1995-11-20 | 透明導電膜の形成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09143677A (ja) |
Cited By (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2013039196A1 (ja) * | 2011-09-16 | 2013-03-21 | 株式会社ブイ・テクノロジー | 蒸着マスク、蒸着マスクの製造方法及び薄膜パターン形成方法 |
| JP2013077541A (ja) * | 2011-09-16 | 2013-04-25 | V Technology Co Ltd | 薄膜パターン形成方法及び有機ｅｌ表示装置の製造方法 |
| JP2013083704A (ja) * | 2011-10-06 | 2013-05-09 | V Technology Co Ltd | マスク及びそれに使用するマスク用部材 |
| JP2013089586A (ja) * | 2011-10-24 | 2013-05-13 | V Technology Co Ltd | 薄膜パターン形成方法及び有機ｅｌ表示装置の製造方法並びに有機ｅｌ表示装置 |
| JP2013095992A (ja) * | 2011-11-04 | 2013-05-20 | V Technology Co Ltd | 薄膜パターン形成方法及びマスク |
| JP2013095993A (ja) * | 2011-11-04 | 2013-05-20 | V Technology Co Ltd | マスクの製造方法 |
| JP2013108143A (ja) * | 2011-11-22 | 2013-06-06 | V Technology Co Ltd | マスクの製造方法及びマスクの製造装置 |
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| JP2013209710A (ja) * | 2012-03-30 | 2013-10-10 | V Technology Co Ltd | 蒸着マスク、蒸着マスクの製造方法及び有機ｅｌ表示装置の製造方法 |
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-
1995
- 1995-11-20 JP JP30106795A patent/JPH09143677A/ja active Pending
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