JPH11231123A - カラーフィルタの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ステンレスゴミやガラスゴミの発生を防止
し、これによりカラーフィルタの歩留を向上し得るカラ
ーフィルタの製造方法の提供が望まれている。 【解決手段】 感光性樹脂に染料又は顔料を分散したフ
ォトレジスト液５を、細線３を巻装してなる棒状のマイ
クロロッドバー４の細線間凹部３ａで保持することで移
送し、このフォトレジスト液５を透明ガラス基板７上に
塗布してカラーフィルタパターンを形成し、このカラー
フィルタパターンからカラーフィルタを製造する方法で
ある。透明ガラス基板７のカラーフィルタ形成面に樹脂
製の透明保護膜９を形成しておくか、又はマイクロロッ
ドバー４に巻装する細線３の表面に樹脂製の保護膜８を
形成しておき、その状態でフォトレジスト液５を細線間
凹部３ａで保持移送すると共に、細線３を透明ガラス基
板７表面に近接させることによって移送したカラーフィ
ルタ形成用フォトレジスト液を透明ガラス基板上に塗布
する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、カラーフィルタ形
成用フォトレジスト液を透明ガラス基板上に塗布して所
定色のカラーフィルタパターンを形成し、この所定色の
カラーフィルタパターンからカラーフィルタを製造する
方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】液晶画像表示装置は、薄型、軽量である
ことなどから腕時計、電卓、さらには携帯型パーソナル
コンピュータの表示装置などとして広く用いられてい
る。また、近年では、カラー画像を表示する表示装置と
しても用いられるようになってきている。カラー画像を
表示する液晶表示装置としては、ＴＦＴ、ＳＴＮ等種々
のタイプがあるが、例えば放電プラズマを利用して液晶
を駆動するプラズマアドレス型液晶表示装置（ＰＡＬ
Ｃ；Plasma Addressed Liquid Crystal の略）を例にし
て説明する。

【０００３】プラズマアドレス型液晶表示装置は、図３
に示すように平坦で光学的に十分に透明な第１の基板３
１と、この第１の基板３１と同様に平坦で透明な第２の
基板３２との間に液晶層３３を配設するとともに、液晶
層３３と第２の基板３２との間の空間をプラズマ放電領
域３４としたものである。

【０００４】第１の基板３１と液晶層３３との間には、
帯状の透明電極からなる電極層３５が形成されている。
また、第１の基板３１の電極層３５側にはカラーフィル
タ３６が形成されている。液晶層３３はツイストネマチ
ック液晶等からなるもので、ガラス等からなる薄い絶縁
シート３７と、電極層３５との間に挟持されて形成され
たものである。そして、これら第１の基板３１、液晶層
３３、電極層３５、カラーフィルム３６および絶縁シー
ト３７により、液晶パネルが構成されている。なお、ス
トライプ状透明電極３５上と絶縁シート３７上にはポリ
イミド液晶配向膜が設けられている。

【０００５】第２の基板３２には、放電電極群３８が帯
状電極として形成されている。第２の基板３２と誘電体
膜３７との間の空間は、前述したように放電プラズマを
発生するプラズマ放電領域３４となっており、該放電領
域３４は、スクリーン印刷法によって形成された隔壁３
９によって仕切られ、それぞれ独立したプラズマ放電空
間Ｐ₁ 、Ｐ₂ 、…Ｐ_n となっている。各プラズマ放電空
間Ｐ₁ 、Ｐ₂ 、…Ｐ_nには、例えば、ヘリウム、ネオ
ン、アルゴン、キセノンなどの不活性ガスが封入されて
いる。

【０００６】カラーフィルタ３６は、赤（Ｒ）、緑
（Ｇ）、青（Ｂ）の有色層が画素に対応してストライプ
状に配列され、かつ、これら各有色層と該有色層を仕切
るブラックマスク（図示略）とは、プラズマ放電領域３
４の長さ方向と直交するように配設され形成されてい
る。ここで、このブラックマスクは、遮光と画素間の漏
れ光によるコントラストおよび色純度の低下を防止する
ものとなっている。

【０００７】このように構成されたプラズマアドレス型
液晶表示装置は、液晶層３３を第１の基板３１上に形成
された電極層３５の透明電極に印加されるアナログ電圧
のサンプリングキャパシタとして機能させ、放電領域３
４で発生する放電プラズマをサンプリングスイッチとし
て機能させるよう構成されている。そして、カラーフィ
ルタ３６の各有色層で色選別されたカラー画像を、表示
するようになっているのである。

【０００８】ところで、カラーフィルタ３６の形成法と
しては、フォトリソグラフィー法、印刷法、電着法、転
写法等いくつかの方法があるが、カラー画像を表示する
ための液晶ディスプレイではカラーフィルタ３６に高い
加工精度が要求されることから、従来ではフォトリソグ
ラフィー法が主に採用されている。しかして、近年、特
に２５”、４２”のプラズマアドレス型液晶表示装置に
おいては、前記フォトリソグラフィー法では顔料分散レ
ジストを均一な厚さでしかも必要量だけ塗布するのが困
難であることなどから、該フォトリソグラフィー法に代
えてマイクロロッドバー方式が採用されるようになって
きている。

【０００９】このマイクロロッドバー方式は、コアにス
テンレス製の細線を精密に巻き付けた「マイクロロッド
バー」を、その一部がフォトレジスト液を溜めた液槽に
浸されるようにして回転させ、これによりステンレス製
細線間の凹部に保持した液をマイクロロッドバー上に搬
送されるガラス基板の下面に塗布するものであり、ロス
なく必要量のみを塗布できるものとなっている。そし
て、このように必要量のみ塗布できることから、省液に
よるコストダウンや時間短縮による高生産性を図ること
ができ、しかも膜厚の均一性やそのコントロールの容易
さをも達成することができ、したがって大型パネル用カ
ラーフィルタの製造に好適な方法となっているのであ
る。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】ところで、前記のマイ
クロロッドバー方式によるカラーフィルタの製造方法で
は、フォトレジスト液を塗布する際ステンレス製の細線
をガラス基板に押しつけた状態で回転させるため、ステ
ンレス製細線にキズが入ってこれが削られることにより
ステンレスゴミが発生してしまい、またガラスゴミも発
生してしまう。

【００１１】しかして、このようにしてゴミが発生して
しまうと、これらのゴミは各色のストライプ状カラーフ
ィルタパターン内に取り込まれてしまい、高反射突起不
良を招いてしまう。このような傾向は、最初の黒色カラ
ーフィルタパターン製造時にステンレス製細線がガラス
基板に直接タッチすることから、特にこの黒色カラーフ
ィルタパターン内にゴミが多くなり、高反射突起不良が
起こり易くなっているのである。なお、黒色カラーフィ
ルタパターン形成後については、各色の形成毎にその前
の色がバッファとなり、ステンレスゴミやガラスゴミの
発生が少なくなる。

【００１２】また、このゴミのうち特にステンレスから
なる金属ゴミが黒色カラーフィルタパターンに混入して
しまうと、透明電極からなる電極層３５のショート不良
を招いてしまう。さらに、前記突起は液晶ギャップ不良
と画質低下、プラズマ基板の薄板ガラス割れを引き起こ
すことがあり、したがってこのような突起をテープ研磨
によって除去する必要があるが、このようなテープ研磨
を行うことで工数増加し、コストアップを招いてしまっ
ている。

【００１３】本発明は前記事情に鑑みてなされたもの
で、その目的とするところは、ステンレスゴミやガラス
ゴミの発生を防止し、これによりカラーフィルタの歩留
を向上してコストダウンを図り得るカラーフィルタの製
造方法を提供することにある。

【００１４】

【課題を解決するための手段】本発明における請求項１
記載のカラーフィルタの製造方法では、感光性樹脂に所
定色の染料または顔料を分散してなるカラーフィルタ形
成用フォトレジスト液を、細線を巻装してなる棒状のマ
イクロロッドバーの前記細線間凹部で保持することによ
って移送し、この移送したカラーフィルタ形成用フォト
レジスト液を透明ガラス基板上に塗布して所定色のカラ
ーフィルタパターンを形成し、この所定色のカラーフィ
ルタパターンからカラーフィルタを製造するに際して、
前記透明ガラス基板のカラーフィルタ形成面に樹脂製の
透明保護膜を形成しておき、その状態でカラーフィルタ
形成用フォトレジスト液を細線間凹部で保持移送すると
ともに、該細線を透明保護膜表面に近接させることによ
って移送したカラーフィルタ形成用フォトレジスト液を
透明保護膜上に塗布することを前記課題の解決手段とし
た。

【００１５】このカラーフィルタの製造方法によれば、
透明ガラス基板のカラーフィルタ形成面に樹脂製の透明
保護膜を形成しておくので、カラーフィルタ形成用フォ
トレジスト液を透明保護膜上に塗布する際に前記細線を
透明保護膜表面に近接させ該細線を透明ガラス基板上の
透明保護膜に押しつけた状態で回転させても、透明保護
膜によるクッション効果によって細線はもちろん透明ガ
ラス基板も機械的に強くこすられることがなく、したが
って細線や透明ガラス基板のゴミ発生が防止される。

【００１６】本発明のカラーフィルタの製造方法では、
感光性樹脂に所定色の染料または顔料を分散してなるカ
ラーフィルタ形成用フォトレジスト液を、細線を巻装し
てなる棒状のマイクロロッドバーの前記細線間凹部で保
持することによって移送し、この移送したカラーフィル
タ形成用フォトレジスト液を透明ガラス基板上に塗布し
て所定色のカラーフィルタパターンを形成し、この所定
色のカラーフィルタパターンからカラーフィルタを製造
するに際して、前記マイクロロッドバーに巻装する細線
の表面に樹脂製の保護膜を形成しておき、その状態でカ
ラーフィルタ形成用フォトレジスト液を細線間凹部で保
持移送するとともに、該細線を透明ガラス基板表面に近
接させることによって移送したカラーフィルタ形成用フ
ォトレジスト液を透明ガラス基板上に塗布することを前
記課題の解決手段とした。

【００１７】このカラーフィルタの製造方法によれば、
マイクロロッドに巻装する細線の表面に樹脂製の保護膜
を形成しておくので、カラーフィルタ形成用フォトレジ
スト液を透明ガラス基板上に塗布する際に前記細線を透
明ガラス基板表面に近接させその保護膜を透明ガラス基
板に押しつけた状態で回転させても、保護膜によるクッ
ション効果によって透明ガラス基板はもちろん細線も機
械的に強くこすられることがなく、したがって透明ガラ
ス基板や細線のゴミ発生が防止される。

【００１８】

【発明の実施の形態】以下、本発明のカラーフィルタの
製造方法をその一実施形態例に基づいて詳しく説明す
る。まず、本実施形態例において採用するマイクロロッ
ドバー方式について説明すると、この方式では、図１
（ａ）、（ｂ）に示すようなマイクロロッドバーレジス
ト塗布装置（以下、塗布装置と略称する）１を用いる。

【００１９】この塗布装置１は、図１（ａ）に示すよう
に、例えば直径１２ｍｍ程度の棒状のマイクロロッド２
に直径１００〜１３５μｍ程度のステンレス製細線３を
緻密に巻き付け、巻装してなるマイクロロッドバー４を
備えて構成されたもので、図１（ｂ）に示すように該マ
イクロロッドバー４の一部を、染料または顔料を分散し
てなるカラーフィルタ形成用のフォトレジスト液５を溜
めたレジスト液槽６に浸して回転させ、ステンレス製細
線３間に形成される凹部３ａに前記フォトレジスト液５
を保持し、これをマイクロロッドバー４上に搬送される
透明ガラス基板７のフィルタ形成面７ａに塗布するもの
である。

【００２０】なお、マイクロロッド２の直径やステンレ
ス製細線３の直径については、形成するカラーフィルタ
の膜厚等によって適宜に選択される。すなわち、カラー
フィルタの膜厚を大きくしたい場合にはステンレス製細
線の直径も大きくし、一方、カラーフィルタの膜厚を小
さくしたい場合にはステンレス製細線の直径も小さくす
る。

【００２１】ここで、本発明においては、特に前記ステ
ンレス製細線３の表面に樹脂製の保護膜８が形成されて
いる。この保護膜８は、エポキシ系、アクリル系、シリ
コーン系、オレフィン系等の樹脂からなるもので、弾
性、耐久性、耐薬品性、表面コーティング性等の点で要
求される性能を満たしている樹脂が選択され、これによ
って形成されたものとなっている。

【００２２】例えばエポキシ系コーティング剤を選択し
た場合には、ステンレス性細線３にコーティングした
後、７０〜８０℃で３０分間程度加熱し、さらに１２０
〜１３０℃で１時間程度加熱し硬化させ、保護膜８とす
る。また、シリコーン系コーティング剤を選択した場合
には、ステンレス性細線３にコーティングした後、１５
０℃で４時間程度加熱し硬化させ、保護膜８とする。な
お、いずれの樹脂を選択した場合でも、コーティングに
ついては浸漬塗布法やスプレー塗布法、さらには電着法
などが採用される。

【００２３】また、ステンレス製細線３表面への保護膜
８の形成に際しては、マイクロロッド２にステンレス製
細線３が巻装された状態、すなわちマイクロロッドバー
４に組み立てられた状態で、これらマイクロロッド２と
ステンレス製細線３との外側に露出している部分に樹脂
を同時にコーティングし、保護膜８を形成するようにし
てもよい。ただし、この方法では、樹脂のコーティング
作業は容易になるものの、ステンレス製細線３に形成さ
れる保護膜８の厚み制御が難しくなるので、コーティン
グ工程の管理を十分に行う必要がある。

【００２４】次に、図１（ａ）、（ｂ）に示した塗布装
置１を用いてなる、本発明のカラーフィルタの製造方法
の一実施形態例を説明する。まず、カラーフィルタを形
成する前記の透明ガラス基板７を用意し、図２（ａ）に
示すようにこれのカラーフィルタ形成面に樹脂製の透明
保護膜９を形成する。この透明保護膜９としては、エポ
キシ系またはアクリル系の樹脂からなる透明膜が用いら
れ、特に１２０〜１５０℃で２時間程度加熱することに
より硬化する熱硬化型のものや、２０００〜３０００ｍ
Ｊ／ｃｍ² 程度の紫外線照射により硬化する紫外線照射
硬化型のものが好適に用いられる。なお、この例におい
ては、透明アクリルコーティング剤を５〜６μｍ程度の
厚さで全面塗布し、熱硬化処理あるいは紫外線照射硬化
処理を施すことによって透明保護膜９を得ている。

【００２５】次に、図１（ａ）、（ｂ）に示した塗布装
置１を用い、図２（ｂ）に示すように透明ガラス基板７
上の透明保護膜９の上に幅６０μｍ程度、厚さ１〜２μ
ｍ程度の黒色のストライプ状カラーフィルタパターン１
０…を形成する。このカラーフィルタパターン１０…の
形成にあたっては、図１（ｂ）に示したように透明ガラ
ス基板７の裏面（透明保護膜９形成面と反対の側の面）
をローラ２０によって押さえ、これによりその透明保護
膜９形成面をマイクロロッドバー４に当接させ押しつけ
る。そして、このような状態のもとでローラ２０を回転
させることにより透明ガラス基板７を矢印Ａ方向に搬送
する。

【００２６】また、これと同時に、マイクロロッドバー
４を回転させ、レジスト液槽６（ここでは黒色のレジス
ト液槽）中のフォトレジスト液５をステンレス製細線
３、３間の凹部３ａに保持させ、その状態で該ステンレ
ス製細線３、３を透明ガラス基板７に近接させ、透明ガ
ラス基板７上の透明保護膜９にステンレス製細線３表面
の保護膜８を当接させ押しつけることにより、黒色のフ
ォトレジスト液５を透明保護膜９上に所定パターンに塗
布する。このようにして黒色のフォトレジスト液５を塗
布したら、９０〜１２０℃で３０分間程度プリベーク
し、所定のフォトマスクで露光しさらに現像し、続いて
２２０℃で１時間程度のポストベークを行い、前述した
ように黒色のストライプ状カラーフィルタパターン１０
…を形成する。

【００２７】次いで、前記塗布装置１を用い、黒色のカ
ラーフィルタパターン１０…形成と同様にして、図２
（ｃ）に示すように透明ガラス基板７上の透明保護膜９
の上に厚さ１〜２μｍ程度青色のストライプ状カラーフ
ィルタパターン１１…を形成する。ただし、この青色の
カラーフィルタパターン１１…の形成にあたっては、前
記の黒色のカラーフィルタパターン１０、１０上に重な
るように、その幅を１６０μｍ程度とする。

【００２８】次いで、前記塗布装置１を用い、黒色のカ
ラーフィルタパターン１０…形成と同様にして、図２
（ｄ）に示すように透明ガラス基板７上の透明保護膜９
の上に厚さ１〜２μｍ程度緑色のストライプ状カラーフ
ィルタパターン１２…を形成する。ただし、この緑色の
カラーフィルタパターン１２…の形成にあたっては、そ
の一側が前記の黒色のカラーフィルタパターン１０上
に、他の側が別の黒色カラーフィルタパターン１０上に
位置する青色のカラーフィルタパターン１１上にそれぞ
れ重なるように、その幅を１６０μｍ程度とする。

【００２９】次いで、前記塗布装置１を用い、黒色のカ
ラーフィルタパターン１０…形成と同様にして、図２
（ｅ）に示すように透明ガラス基板７上の透明保護膜９
の上に厚さ１〜２μｍ程度赤色のストライプ状カラーフ
ィルタパターン１３…を形成する。ただし、この赤色の
カラーフィルタパターン１３…の形成にあたっては、そ
の一側が前記の黒色のカラーフィルタパターン１０上に
位置する青色のカラーフィルタパターン１１上に、他の
側が黒色のカラーフィルタパターン１０上に位置する緑
色のカラーフィルタパターン１２上にそれぞれ重なるよ
うに、その幅を１６０μｍ程度とする。

【００３０】このようにして黒色、青色、緑色、赤色の
各カラーフィルタパターン１０、１１、１２、１３を形
成したら、図２（ｆ）に示すようにこれらカラーフィル
タパターン１０、１１、１２、１３を覆って厚さ５〜６
μｍ程度のアクリル系の透明保護層１４を形成し、さら
にその上にＩＴＯ膜をスパッタ法で厚さ１３０〜１５０
ｎｍ程度に形成する。そして、このＩＴＯ膜を黒色カラ
ーフィルタパターン１０に沿ってフォトリソグラフィ、
エッチング処理することにより、ストライプ状の透明電
極１５を得る。

【００３１】このようなカラーフィルタの製造方法にあ
っては、透明ガラス基板７のカラーフィルタ形成面に樹
脂製の透明保護膜９を形成しておくとともに、マイクロ
ロッドバー４に巻装したステンレス製細線３の表面に樹
脂製の保護膜８を形成しておくので、カラーフィルタ形
成用のフォトレジスト液５を透明ガラス基板７上に塗布
する際に、前記ステンレス製細線３を透明ガラス基板７
表面に近接させ該ステンレス製細線３を透明ガラス基板
７上の透明保護膜９に押しつけた状態で回転させても、
透明保護膜９および保護膜８によるクッション効果によ
ってステンレス製細線３、透明ガラス基板７の双方とも
に機械的に強くこすられることがなくなる。したがっ
て、このようにステンレス製細線３、透明ガラス基板７
の双方が共に機械的に強くこすられることがないように
したので、これらステンレス製細線３や透明ガラス基板
７からゴミが発生することを防止することができる。

【００３２】なお、前記例においては、透明ガラス基板
７のカラーフィルタ形成面に樹脂製の透明保護膜９を形
成しておくとともに、マイクロロッドバー４に巻装した
ステンレス製細線３の表面に樹脂製の保護膜８を形成し
ておくようにしたが、これら透明保護膜９、保護膜８に
ついては、いずれか一方のみを形成するようにしてよ
い。また、前記例では黒色のカラーフィルタパターン１
０の上に青、緑、赤の各色のカラーフィルタパターンを
重ね合わせたが、黒色のカラーフィルタパターン１０の
みによって十分な光学濃度値（ＯＤ値）が得られるので
あれば、青、緑、赤の各色のカラーフィルタパターンを
重ね合わせることなく形成するようにしてもよい。

【００３３】

【発明の効果】以上説明したように本発明における請求
項１記載のカラーフィルタの製造方法は、透明ガラス基
板のカラーフィルタ形成面に樹脂製の透明保護膜を形成
しておき、その状態でマイクロロッドバーの細線を透明
ガラス基板表面に近接させることによって保持移送した
カラーフィルタ形成用フォトレジスト液を透明ガラス基
板上に塗布するようにした方法であるから、カラーフィ
ルタ形成用フォトレジスト液を透明ガラス基板上に塗布
する際、細線を透明ガラス基板表面に近接させ該細線を
透明ガラス基板の透明保護膜に押しつけた状態で回転さ
せても、透明保護膜によるクッション効果によって細線
はもちろん透明ガラス基板も機械的に強くこすられるこ
とがなくなる。したがって、このように細線、透明ガラ
ス基板の双方が共に機械的に強くこすられることがない
ので、これら細線や透明ガラス基板にキズが入ったり削
られたりすることがなく、よってゴミが発生することを
防止してこのゴミ発生による不都合を防止し、カラーフ
ィルタの歩留を向上してコストダウンを図ることができ
る。

【００３４】本発明における請求項２記載のカラーフィ
ルタの製造方法は、マイクロロッドバーに巻装する細線
の表面に樹脂製の保護膜を形成しておき、その状態で該
細線を透明ガラス基板表面に近接させることによって保
持移送したカラーフィルタ形成用フォトレジスト液を透
明ガラス基板上に塗布するようにした方法であるから、
カラーフィルタ形成用フォトレジスト液を透明ガラス基
板上に塗布する際、細線を透明ガラス基板表面に近接さ
せ該細線の保護膜を透明ガラス基板に押しつけた状態で
回転させても、保護膜によるクッション効果によって透
明ガラス基板はもちろん細線も機械的に強くこすられる
ことがなくなる。したがって、このように透明ガラス基
板、細線の双方が共に機械的に強くこすられることがな
いので、これら透明ガラス基板や細線にキズが入ったり
削られたりすることがなく、よってゴミが発生すること
を防止してこのゴミ発生による不都合を防止し、カラー
フィルタの歩留を向上してコストダウンを図ることがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】（ａ）はマイクロロッドバーの概略構成図、
（ｂ）は（ａ）のマイクロロッドバーを用いたマイクロ
ロッドバーレジスト塗布装置の概略構成図である。

【図２】（ａ）〜（ｆ）は、本発明のカラーフィルタの
製造方法の一実施形態例を工程順に説明するための要部
側断面図である。

【図３】プラズマアドレス型液晶表示装置の概略構成図
である。

【符号の説明】 １…塗布装置、２…マイクロロッド、３…ステンレス製
細線、４…マイクロロッドバー、５…カラーフィルタ用
のフォトレジスト液、７…透明ガラス基板、８…保護
膜、９…透明保護膜、１０…黒色のカラーフィルタパタ
ーン、１１…青色のカラーフィルタパターン、１２…緑
色のカラーフィルタパターン、１３…赤色のカラーフィ
ルタパターン

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 感光性樹脂に所定色の染料または顔料を
   分散してなるカラーフィルタ形成用フォトレジスト液
   を、細線を巻装してなる棒状のマイクロロッドバーの前
   記細線間凹部で保持することによって移送し、この移送
   したカラーフィルタ形成用フォトレジスト液を透明ガラ
   ス基板上に塗布して所定色のカラーフィルタパターンを
   形成し、この所定色のカラーフィルタパターンからカラ
   ーフィルタを製造するに際して、 前記透明ガラス基板のカラーフィルタ形成面に樹脂製の
   透明保護膜を形成しておき、 その状態でカラーフィルタ形成用フォトレジスト液を細
   線間凹部で保持移送するとともに、該細線を透明保護膜
   表面に近接させることによって移送したカラーフィルタ
   形成用フォトレジスト液を透明保護膜上に塗布すること
   を特徴とするカラーフィルタの製造方法。
2. 【請求項２】 感光性樹脂に所定色の染料または顔料を
   分散してなるカラーフィルタ形成用フォトレジスト液
   を、細線を巻装してなる棒状のマイクロロッドバーの前
   記細線間凹部で保持することによって移送し、この移送
   したカラーフィルタ形成用フォトレジスト液を透明ガラ
   ス基板上に塗布して所定色のカラーフィルタパターンを
   形成し、この所定色のカラーフィルタパターンからカラ
   ーフィルタを製造するに際して、 前記マイクロロッドバーに巻装する細線の表面に樹脂製
   の保護膜を形成しておき、 その状態でカラーフィルタ形成用フォトレジスト液を細
   線間凹部で保持移送するとともに、該細線を透明ガラス
   基板表面に近接させることによって移送したカラーフィ
   ルタ形成用フォトレジスト液を透明ガラス基板上に塗布
   することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。