JP2010190947A - カラーフィルタ用ガラス基板の再生装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】製造工程で発生したカラーフィルタの不良ガラス基板を再生するカラーフィルタ用ガラス基板の再生装置であって、不良ガラス基板の金属膜を剥離する第一酸液処理部と、樹脂膜を剥離する第一アルカリ液処理部と、前記金属膜とは別の金属膜を剥離する第二酸液処理部と、前記樹脂膜とは別の樹脂膜を剥離する第二アルカリ処理部とを有することを特徴とするカラーフィルタ用ガラス基板の再生装置。
【選択図】図7
Description
る
部に沈殿した後、外部に排出される。
更に透明電極の成膜条件出しのために透明電極の金属膜38がPS36とVA37の上に形成されたものである。
される。その結果、中間層の金属膜のITO透明電極35が剥離され、その後カラーフィルタ用ガラス基板表面に付着した酸薬液が水洗リンス部―3によって水洗リンスされて除去される。第二酸液処理部43では処理液が酸液のためガラス基板31の裏面のガラス基板がむき出しになっている面の表面もダメージを受けることなくガラス基板は通過する。その後、第二アルカリ液処理部44によって最下層であるBM33、R画素34−1、G画素34−2、B画素34−3の樹脂膜が剥離され、ガラス基板表面に付着したアルカリ薬液が水洗リンス部―4によって水洗リンスされて除去される。その後、最終水洗処理部46によって水洗された後、ガラス基板搬出部46によって搬出される。
2・・・ガラス基板
3・・・ブラックマトリックス(BM)
4−1・・・レッドRの着色画素(R画素)
4−2・・・グリーンGの着色画素(G画素)
4−3・・・ブルーBの着色画素(B画素)
5・・・透明電極
6・・・フォトスペーサー(PS)
7・・・バーテイカルアライメント(VA)
21・・・処理槽
27・・・配管
22・・・送液ポンプ
23・・・吐出ノズル
20・・・被再生処理カラーフィルタ用ガラス基板
24・・・アルカリ液補充タンク
25・・・剥離液補充タンク
28・・・配管
29・・・配管
26・・・回収パン
30・・・配管
31・・・再生されるカラーフィルタ用ガラス基板
32・・・ガラス基板
33・・・樹脂BM
34−1・・・R画素
34−2・・・G画素
34−3・・・B画素
35・・・透明電極
36・・・PS
37・・・VA
38・・・透明電極の成膜条件出しのために形成された金属膜
39・・・透明電極の成膜条件出しのために形成された金属膜
40・・・ガラス基板搬入部
41・・・第一酸液処理部
42・・・第一アルカリ液処理部
43・・・第二酸液処理部
43−1・・・第二酸液処理部A
43−2・・・第二酸液処理部B
44・・・第二アルカリ処理部
45・・・最終水洗処理部
46・・・ガラス基板搬出部
Claims (3)
- 製造工程で発生したカラーフィルタの不良ガラス基板を再生するカラーフィルタ用ガラス基板の再生装置であって、不良ガラス基板の金属膜を剥離する第一酸液処理部と、樹脂膜を剥離する第一アルカリ液処理部と、前記金属膜とは別の金属膜を剥離する第二酸液処理部と、前記樹脂膜とは別の樹脂膜を剥離する第二アルカリ処理部とを有することを特徴とするカラーフィルタ用ガラス基板の再生装置。
- 第一酸液処理部、第一アルカリ液処理部、第二酸液処理部、第二アルカリ処理部は、第一酸液処理部、第一アルカリ液処理部、第二酸液処理部、第二アルカリ処理部の順に連続して不良ガラス基板を処理することを特徴とする請求項1記載のカラーフィルタ用ガラス基板の再生装置。
- 第一酸液処理部、第一アルカリ液処理部、第二酸液処理部、第二アルカリ処理部における処理液の吐出圧力、液温、吐出時間及び不良ガラス基板の搬送速度を設定することができることを特徴とする請求項1または2に記載のカラーフィルタ用ガラス基板の再生装置。
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---|---|---|---|---|
KR101132248B1 (ko) | 2012-01-31 | 2012-03-30 | 주식회사 에이에스이 | 컬러필터글라스 재생공정용 리프트 |
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2009
- 2009-02-16 JP JP2009032499A patent/JP5251582B2/ja not_active Expired - Fee Related
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