JP4464404B2 - 音響光学素子及びそれを用いた光描画装置 - Google Patents
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Description
M2=n6p2/ρv3
前記式中において、nは媒体の屈折率を示し、pは光弾性定数を示し、ρは媒体の密度を示し、vは媒体中の音速を示す。
20 音響光学素子
22 駆動回路
24 描画面
26 可動ミラー
28、29 光源
30 ビームストッパー
61 光入射面
62 光出射面
63 吸音材
64 トランスデューサ部
65 高周波信号入力部
66 収納容器
68 インピーダンスマッチング部
201、601 入射光
202、602 回折光
203、603 透過光
Claims (28)
- 高周波信号入力部、トランスデューサ部および音響光学媒体を含み、前記高周波信号入力部から入力した高周波信号を、前記トランスデューサ部により機械振動に変換し、前記機械振動により前記音響光学媒体の光学的な特性が変化する音響光学素子であって、
前記音響光学媒体が、1×10 -3 Ω・cm〜1×10 4 Ω・cmの抵抗率を有するIII族窒化物結晶であることを特徴とする音響光学素子。 - 前記III族窒化物結晶が、組成式AluGavIn(1-u-v)N(ただし、0≦u≦1,0≦v≦1,u+v≦1)で表される結晶である請求項1記載の音響光学素子。
- 前記III族窒化物結晶が、GaN結晶、AlN結晶およびAlGaN結晶からなる群から選択される一つである請求項1記載の音響光学素子。
- 前記音響光学素子に入射される入射光の波長が、488nm〜220nmの範囲である請求項1記載の音響光学素子。
- 前記III族窒化物結晶の内部の抵抗率が、前記III族窒化物結晶の外周部の抵抗率よりも大きい請求項1記載の音響光学素子。
- 前記音響光学媒体が、光入射面および光出射面の少なくとも一方を含む請求項1記載の音響光学素子。
- 前記III族窒化物結晶が、ドーパント元素を含む請求項1記載の音響光学素子。
- 前記ドーパント元素が、Si、Li、Mg、ZnおよびOからなる群から選択される少なくとも一つである請求項7記載の音響光学素子。
- 前記III族窒化物結晶が、アルカリ金属およびアルカリ土類金属の少なくとも一方を含む融液を用いて、液相法により得られた結晶である請求項1記載の音響光学素子。
- 前記融液が、さらに、ドーパント元素を含み、前記ドーパント元素が、Si、Li、Mg、ZnおよびOからなる群から選択される少なくとも一つである請求項9記載の音響光学素子。
- 前記III族窒化物結晶が、その成長工程において、結晶成長に応じて前記融液中のドーパント元素の濃度を上昇させることにより得られた結晶である請求項10記載の音響光学素子。
- さらに、反射防止手段を含み、前記反射防止手段が、前記光入射面および光出射面の少なくとも一方に形成されている請求項6記載の音響光学素子。
- 前記反射防止手段が、SiO2膜およびAl2O3膜の少なくとも一方の誘電体薄膜を含む請求項12記載の音響光学素子。
- 前記反射防止手段が、SiO2単層膜またはAl2O3単層膜である請求項13記載の音響光学素子。
- 前記誘電体薄膜の屈折率をn1、前記誘電体薄膜の厚みをt1、入射光の真空中の波長をλ1とするとき、n1t1=λ1/4である請求項13記載の音響光学素子。
- さらに、高熱伝導シートを含み、前記高熱伝導シートが、前記音響光学媒体の少なくとも一部に形成されている請求項1記載の音響光学素子。
- 前記高熱伝導シートが、導電性を有する請求項16記載の音響光学素子。
- さらに、接地手段を含み、前記接地手段により、前記音響光学媒体が、電気的に接地されている請求項1記載の音響光学素子。
- 前記接地手段が、熱伝導シートである請求項18記載の音響光学素子。
- 光源、音響光学素子、駆動回路および描画面を有し、前記光源からの光が、前記駆動回路からの信号に応じて前記音響光学素子において回折され、その回折光が、前記描画面に描画される光描画装置であって、
前記音響光学素子の音響光学媒体が、1×10 -3 Ω・cm〜1×10 4 Ω・cmの抵抗率を有するIII族窒化物結晶であることを特徴とする光描画装置。 - 前記III族窒化物結晶が、組成式AluGavIn(1-u-v)N(ただし、0≦u≦1,0≦v≦1,u+v≦1)で表される結晶である請求項20記載の光描画装置。
- 前記III族窒化物結晶が、AlN結晶、GaN結晶およびAlGaN結晶からなる群から選択される一つである請求項20記載の光描画装置。
- さらに、反射防止手段を有し、前記反射防止手段が、前記音響光学媒体の光入射面および光出射面の少なくとも一方に形成されている請求項20記載の光描画装置。
- 前記音響光学媒体が、電気的に接地されている請求項20記載の光描画装置。
- さらに、可動ミラーを有する請求項20記載の光描画装置。
- さらに、ビームストッパーを有し、前記ビームストッパーが、前記音響光学素子からの透過光を遮光する請求項20記載の光描画装置。
- 前記描画面が、感光体である請求項20記載の光描画装置。
- 前記感光体が、蛍光体である請求項27記載の光描画装置。
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