JP4449444B2

JP4449444B2 - 感光性着色組成物のろ過方法及び固体撮像素子

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Publication number: JP4449444B2
Application number: JP2003414673A
Authority: JP
Inventors: 智史北村; 健蔵福吉; 啓介緒方
Original assignee: Toppan Inc
Current assignee: Toppan Inc
Priority date: 2003-12-12
Filing date: 2003-12-12
Publication date: 2010-04-14
Anticipated expiration: 2023-12-12
Also published as: JP2005173325A

Description

本発明は、ＣＣＤやＣＭＯＳデバイス等の固体撮像素子などに使用されるカラ−フィルタ−用の感光性着色組成物及びそれを用いた固体撮像素子に関する。

デジタルスチルカメラやビデオカメラ、携帯カメラなどに搭載される固体撮像素子は、高画素化，高精細化が進み、特にデジタルスチルカメラ用途にあっては銀塩カメラと同等の解像度を得る為に画素数は３００万画素以上であり、携帯カメラについても同様で１／５”〜１／７”のチップサイズでメガピクセル以上が要求され始めている。

画素のサイズにすると５μｍ以下であり、特に微細なものは３μｍ〜２．０μｍである。画素サイズが微細になると撮像特性の感度とノイズの比（S/N：signal／noise）が劣化する傾向にある。

一方、固体撮像素子はその受光素子と一対にカラ−フィルタ−を備えカラ−化を図っている。カラ−フィルタ−を形成するには顔料分散法、染料分散法などがあるが、いづれも原色（赤、青、緑）あるいは補色（シアン、マゼンタ、イエロ−）の感光性着色組成物（以下、着色組成物ともいう）をスピンコート法により塗膜形成し、リソグラフィによりパタ−ン形成する方式が一般的である。

その内、染料を用いる染色法や染料分散法によって得られたカラ−フィルタ−はカラ−粒子が細かく、高精細化に向いており、かつ色均一性の高い特徴はあるが耐熱性や耐光性に劣る問題がある。

一方、顔料分散法で得られたカラ−フィルタ−は、耐熱性や耐光性など信頼性に優れるが顔料粒子が染料と比較して大きいため、色均一性に劣る問題がある。

そこで、顔料分散法に用いるカラ−フィルタ−においては、顔料粒子を可能な限り細かく樹脂に分散した上でペ−スト化し、さらにサブミクロンオ−ダ−のフィルタ−を通して大きい顔料粒子や異物が混入することを防止している（特許文献１及び２参照）。

ところが、画素サイズが５μｍ以下になってくると感光性着色組成物内に混入する異物だけではなく、顔料の凝集物が黒欠陥となり、感度低下あるいはノイズが大きくなってしまい、撮像特性：Ｓ／Ｎが劣化する。その欠陥サイズは画素サイズの微細化とともに小さくなり、例えば３〜５μｍの画素サイズにおいては、ろ過精度が０．６μｍのフィルターでろ過したレジストでも満足できない場合があるため、ろ過精度０．５μｍのメンブレンフィルターによるろ過が必要であった。

しかしながら、このろ過精度の市販されているフィルターは、フィルターメディアの材質が高密度ポリエチレン、もしくはポリエチレンテレフタレート（ＰＴＦＥ）、ポリプロピレン(ＰＰ)が主流であり、カラーレジストに対する濡れ性が悪く、その為生産性のあるろ過性が得られないでいた。その為、ろ過に必要なフィルターの数が多くなり、また作業性効率の悪化により非常に高価なカラーレジストとなっていた。

なお、フィルターメディアの界面張力は、例えば、高密度ポリエチレン：３６ｍＮ／ｍ、ＰＴＦＥ：２８ｍＮ／ｍ、ＰＰ：３６ｍＮ／ｍである。

さらに、カラーレジストの粘度や表面張力が高い為にスピンコートにおける塗布量が多く、レジストによってははじきによる白ぬけが発生し、収率悪化を招いていた。
特開平１１−３５２３１９号公報特開２００１−２１４０７７号公報

本発明はかかる問題点に鑑みてなされたもので、その課題は、固体撮像素子用着色組成物において、サブミクロンオーダーのろ過精度であってもろ過性が良好で、かつ最小限の塗布量で塗布ができ、白抜けのない生産性に優れた感光性着色組成物を提供することでであり、５μｍ以下の微細な画素サイズであっても低ノイズで高感度な撮像特性を有する高品位な固体撮像素子を提供することである。

上記の課題を達成するために、まず、請求項１に記載の発明は、少なくとも溶剤，顔料，モノマー，ポリマー，開始剤，添加剤を混合してなるカラーフィルター用の感光性着色組成物において、その表面張力が２８ｍＮ／ｍ以下であり、かつ粘度が６ｃｐ以下であることを特徴とする感光性着色組成物である。

請求項２に記載の発明は、前記感光性着色組成物を構成する単一または、混合溶剤の表面張力が２８ｍＮ／ｍ以下かつ、粘度が１．５ｃｐ以下であることを特徴とする請求項１に記載の着色組成物である。

請求項３に記載の発明は、前記感光性着色組成物を構成する添加剤の一つが、シリコン系またはフッ素系界面活性剤であり着色組成物中の溶剤に対する添加量が０．００１〜１％の範囲であることを特徴とする請求項１又は２に記載の着色組成物である。

請求項４に記載の発明は、前記感光性着色組成物のろ過において、そのろ過に用いるフィルターのろ過精度が０．４５μｍ以下であり、フィルターメディアの界面張力が４８ｍＮ／ｍ以上のフィルターでろ過することを特徴とする請求項１〜３の何れかの１に記載の感光性着色組成物である。

請求項５に記載の発明は、請求項１〜４の何れかの１に記載の感光性着色組成物により画素サイズが５μｍ以下のカラーフィルタ形成してなることを特徴とする固体撮像素子である。

以上の様に本発明によれば、０．５μｍ以下のろ過精度であってもろ過性が良好で、かつ最小限の塗布量でスピンコートができ、白抜けのない生産性に優れた感光性着色組成物を提供できる。よって、５μｍ以下の微細な画素サイズであっても前記着色組成物で形成されたカラーフィルターは低欠陥であるので、低ノイズで高感度な撮像特性を有する高品位な固体撮像素子を提供できる。

本発明による感光性着色組成物は、下地材に対する濡れ性が優れているので、従来の例えばシクロヘキサンを主溶媒とする着色組成物と比較して、スピンコートにおける塗布量を１／５〜１／７に抑えた上で白欠陥や塗布ムラが無く、基板内膜厚均一性に優れる良好な塗膜を得ることができる。

また、０．５μｍ以下のろ過精度のフィルターで生産性のあるろ過ができるので、安価な感光性着色組成物を提供できる。また、ろ過した着色組成物は異物や顔料凝集物が非常に少ないので、５μｍ以下の微細な画素サイズにおいても、黒欠陥のない良好なカラーフィルターを形成できるため、良好な撮像素子特性を提供できる。

以下、本発明を詳細に説明する。

すなわち、本発明は溶剤，顔料，モノマー，ポリマー，開始剤，添加剤を混合してなるカラーフィルター用着色組成物において、その表面張力を２８ｍN／ｍ以下であり、かつ粘度が６ｃｐ以下であることが好ましく、特に表面張力は低いほど良い。粘度はカラーフィルターの分光特性に必要な所定の膜厚に塗布形成する必要があることから４〜６ｃｐの範囲で設定することが望ましい。

着色組成物のろ過におけるフィルターメディアや塗布時の被膜に対する濡れ性を改善し、良好なろ過性と塗布量を最小限に抑えることができる。

表面張力や粘度は、温度や湿度など測定環境によって変化するが本発明においては下記条件及び測定装置を使って測定した。

測定環境温度：２５℃、湿度：３５％（クリーンルーム内）
測定機表面張力：協和界面化学（株）社製型式ＣＢＶＰ−Ａ３ウィルヘルミ（プレート）法
粘度：東機産業（株）社製ＲＥ８０Ｌ
ここで本発明の着色組成物に用いる材料及びその調合方法を説明する。表面張力と粘度は、溶剤特性に依存する。

まず、本発明の着色組成物に用いる溶剤は、単独で用いてもあるいは２種類以上の複数組み合わせても良い。

溶剤の選択は、着色組成物の塗布特性，開始剤やモノマー、樹脂、添加剤への溶解性、保存安定性、そしてろ過性を考慮する。

溶剤の種類は例えばケトン類，エ−テル類，エステル類などがあり、その中でもシクロヘキサノン，酢酸イソアミル，ジエチレングリコ−ルジメチルエ−テル，プロピレングリコ−ルモノメチルエ−テルアセテ−ト，プロピレングリコールモノメチルエーテル，エチルセルソルブアセテ−トなどが好ましく用いられる。

この溶剤に、開始剤，モノマー，樹脂を順次溶解させる。

本発明のカラ−フィルタ−に用いられる樹脂は、可視光波長域で透明であるものが望ましく、例えばアクリル系樹脂、エポキシ系樹脂、ポリアミノ系樹脂、ウレタン系樹脂、ポリカ−ボネ−ト系樹脂が好ましいが、特に、本発明のカラ−フィルタ−をフォトリソグラフィ法でパタ−ン形成する場合には、アルカリ可溶性樹脂であることが好ましい。

アルカリ可溶性樹脂としては、例えばメタクリル酸共重合体、アクリル酸共重合体、マレイン酸共重合体、などがあり、また側鎖にカルボン酸を有する樹脂であれば良い。

そして最後に、顔料ペーストを混合して着色組成物を得る。

顔料ペーストは、１種類の顔料と樹脂を適量の有機溶剤と混合機やメディア分散機を使って練り合わせ、顔料粒子を１次粒子近傍になるまで分散させた後、濾過して粒径の大きい顔料凝集物や異物を除去して調製するが、顔料の分散性を向上させるため、適量の分散剤を添加することもできる。

本発明に使用できる顔料は、例えば以下のインデックスナンバーがあげられる。

赤色顔料としては、C.I.９，３６，４３，５１，５５，５９，６１，９７，１２２，１２３，１４９，１６８，１７７，１８０，１９２，２１５，２１６，２１７，２２０，２２３，２２４，２２６，２２７，２２８，２４０，２４２，２４４，２５４があげられる。

イエロ−顔料としてはC.I.２０，２４，３１，５３，８３，８６，９３，１０９，１１０，１１７，１２５，１３７，１３８，１４７，１４８，１５０，１５３，１５４，１６６，１６９があげられる。

青色顔料としては、C.I.１５，１５：１，１５：２，１５：３，１５：４，１５：５，１５：６，１６，２２，６０，６４がある。

バイオレット顔料としては、C.I.１９，２３，２９，３０，３７，４０，４５があげられる。

緑色顔料としては、C.I.７，３６，３７がある。

分散剤としては、樹脂型分散剤，フッ素系界面活性剤，シリコン系界面活性剤カチオン系界面活性剤などあり、顔料や樹脂、溶剤との組み合わせによって適宜選択すれば良い。

ところで、一般的に着色組成物に含まれる固形分は１４〜２３％の範囲、望ましくは１６〜２０％の範囲であり、この内顔料濃度は１０〜６０％である。これは、カラーフィルターに求められる特性、すなわちカラーフィルターの膜厚（約０．５〜２．５μｍ），分光特性と、塗布特性や保存安定性などのプロセス条件、そして色素の着色度などの材料特性から設定される。

従って、着色組成物の溶剤比率は７５〜８５％を占めることになり、表面張力及び粘度は溶剤に依存する。

着色組成物の表面張力が２８ｍN／ｍ以下および粘度を６ｃｐ以下とするにはここで着色組成物を構成する単独または、混合溶剤の表面張力が２８mＮ／ｍ以下かつ、粘度が１．５ｃｐ以下であれば良いことを見出した。

すなわち、着色組成物の溶剤比率が７７〜８４％であり、固形分が１６〜２３％の時、着色組成物の表面張力は溶剤の表面張力とほぼ同等になり、粘度は溶剤粘度の約４〜６倍となる。

着色組成物の固形分の内、樹脂の割合が増えるほど粘度が高くなる傾向があるので、その場合は溶剤種で適宜調整を行う。粘度を調整するための溶剤としては、例えば低粘度化には酢酸イソアミルが良い。また、高粘度化には例えばシクロヘキサノンが良い。

着色組成物にシリコン系やフッソ系の界面活性剤を添加することで、表面張力を下げることも可能であるが、添加量が多い場合、界面活性剤がろ過時のフィルターに着床し、ろ過性が不安定になることがある。

よって、界面活性剤の添加量は可能な限り少ないほど良く、着色組成物の溶剤に対する添加量が０．００１〜１％の範囲であることが望ましい。

前記した様に固体撮像素子の微細化が進み、画素サイズが５μｍ以下になると、着色組成物に含まれる異物の他、顔料粒子同士が凝集し、ある一定以上の大きさになったものが黒欠陥となり、撮像特性であるＳ／Ｎが著しく劣化する。そのため、サブミクロンオーダーでのろ過を行う。

ろ過精度とＳ／Ｎの関係は相関があり、ろ過精度が良いほどつまり、ろ過サイズが小さいほどＳ／Ｎ特性は良化する。

ところが、ろ過精度が０．５μｍ以下では着色組成物のろ過性が極端に悪くなり、生産性に影響を及ぼす問題がある。

つまり、ろ過フィルターに対して、異物や顔料の凝集物がトラップされる以外に、マイクロバブルがフィルターに着床・成長し、ついにはエア詰まりを起こすことでろ過性が著しく悪くなる。

この原因は、着色組成物とろ過フィルターのメディアとの濡れ性に起因しており、良く濡れればマイクロバブルがトラップされることはない。

そこで、詳細に検討した結果、表面張力が２８ｍＮ／ｍ以下でありかつ、粘度が６ｃｐ以下の着色組成物に対し、その着色組成物をろ過するフィルターのメディアの界面張力が４８ｍＮ／ｍ以上であればマイクロバブルがトラップされずにろ過できることがわかった。

着色組成物とフィルターメディアの表面エネルギー差が大きいほど濡れやすいため、可能な限り界面張力が大きいフィルターメディアである方が好ましいが、フィルターメディアの材質が樹脂系である場合、界面張力が高くなるほど耐薬品性が悪くなる傾向があるので、少なくとも着色組成物をフィルター内に充填して、常温、２４時間を経過した後、溶出物やフィルターメディアの膨潤等がないことが望ましい。

フィルターメディアの材質は、界面張力が非常に大きい金属やセラミックでもかまわないが、着色組成物に金属が溶けこんだり、メディアの表面から異物が発生する場合がある。

本発明にかかわる着色組成物をＣＣＤやＣＭＯＳデバイス等の固体撮像素子の受光面上に、塗布し、マスクを介したパターニング工程を行うことにより、カラ−フィルタ−とすることができる。このカラーフィルタの画素サイズは５μｍ以下、膜厚は０．５〜２．５μｍとすることができる。

緑色着色組成物
グリーン顔料ペースト：５５２Ｂグリーン〜６０部
（固形分：２０％、顔料濃度：５０％、溶剤：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート）
イエロー顔料ペースト：２６００Ｂエロー〜６部
（固形分：２０％、顔料濃度：５０％、溶剤：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート）
樹脂：ＪＥＴ２０００〜２．２部
（アルカリ可溶性アクリル樹脂、固形分：２０％、溶剤：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート）
モノマー：Ｍ４０２〜２．４部
開始剤： TRG278 〜１．１部
溶剤：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート〜１８部
酢酸イソアミル〜１０部
界面活性剤： FZ-1212 〜０．３部
各顔料ペーストは、各顔料と、アルカリ可溶性のアクリル樹脂と、樹脂型分散剤と溶剤からなり、３本ロールミル等で混錬され、ビーズミル分散等で細かく分散したものである。

緑色着色組成物の固形分は１８％であり、固形分に対する顔料濃度は２７．５％であった。また、表面張力は約２７．５ｍＮ／ｍ、粘度：約５．７ｃｐであった。

この緑色着色組成物：約５ｋｇを日本ポール（株）社製DFA4201J006P（ろ過精度０．６μｍ、メディア：PP）にてプレろ過した。

ろ過方法としては、図１に示すキャニスター１、圧力計２、配管３、フィルター４、容器５で構成されるろ過装置において、キャニスター内の感光性着色組成物６に対して約０．０１ＭＰａの圧力をかけ、フィルターを介してろ過された感光性着色組成物を得る。

次いで、同様に日本ポール（株）社製DFA4201NXP（ろ過精度０．４５μｍ、メデイア：ナイロン）でろ過したところ、問題なく全量ろ過できた。フィルターメディアに使われているナイロンの自身の界面張力は４６ｍＮ／ｍであり、メディアとしての界面張力は７７ｍＮ／ｍである。

また、アクリル樹脂膜が形成してあるφ８”基板に１μｍの膜厚で塗布形成するための塗布量は約５ｍｌであり、白ぬけは発生しなかった。（アクリル樹脂膜の界面張力は約４８ｍＮ／ｍであり、前記緑色着色組成物との接触角は約２°であった。）
実施例１にかかわる着色組成物を固体撮像素子（ＣＣＤ）の受光面上に、塗布し、マスクを介したパターニング工程を行うことにより、画素サイズが５μｍのカラーフィルターを作成した。この固体撮像素子は、低ノイズで高感度な撮像特性を有する高品位な固体撮像素子であった。
（比較例１−ａ）
実施例１同様にプレろ過した緑色着色組成物を、日本ポール（株）社製ＤＦＡ４２０１ＦＸＥ（ろ過精度０．４５μｍ、メディア：高密ＰＴＦＥ）でろ過したところ、約５００ｇろ過することができた。
（比較例１−ｂ）
実施例１の溶剤全量をシクロヘキサノンに置き換えた緑色着色組成物とした。その表面張力は約３３．５ｍＮ／ｍであり、粘度は約８ｃｐであった。

この緑色着色組成物：約５ｋｇを日本ポール（株）社製DFA4201J006P（ろ過精度０．６μｍ、メディア：PP）にてプレろ過し、次いで、日本ポール（株）社製DFA4201NXP（ろ過精度０．４５μｍ、メディア：ナイロン）でろ過したところ、約３００ｇろ過することができた。

また、アクリル樹脂膜が形成してあるφ８”基板に１μｍの膜厚で塗布形成するには、塗布量が約１０ｍｌ必要であり白ぬけが数個発生した。
（溶剤全量がシクロヘキサノンである緑色着色組成物との接触角は５．７°であった。）（比較例１−ｃ）
実施例１の溶剤半量をシクロヘキサノンと酢酸イソアミルに置き換えた緑色着色組成物とした。その表面張力は約２８ｍＮ／ｍであり、粘度は約７ｃｐであった。

この緑色着色組成物：約５ｋｇを日本ポール（株）社製DFA4201J006P（ろ過精度０．６μｍ、メディア：PP）にてプレろ過し、次いで、日本ポール（株）社製DFA4201NXP（ろ過精度０．４５μｍ、メディア：ナイロン）でろ過したところ、約１ｋｇのろ過量であった。（溶剤全量がシクロヘキサノンである緑色着色組成物との接触角は２．８°であった。）

赤色着色組成物
レッド顔料ペースト：Ｔ５１レッド〜４２部
（固形分：２０％、顔料濃度：６５％、溶剤：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート）
イエロー顔料ペースト：２６００Ｂエロー〜１０部
（固形分：２０％、顔料濃度：５０％、溶剤：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート）
樹脂：ＪＥＴ２０００〜１３．４部
（アルカリ可溶性アクリル樹脂、固形分：２０％、溶剤：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート）
モノマー：Ｍ４０２〜２．４部
開始剤： TRG278 〜１．１部
溶剤：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート〜２０．８部
酢酸イソアミル〜１０部
界面活性剤： FZ-1212 〜０．３部
各顔料ペーストは、各顔料と、アルカリ可溶性のアクリル樹脂と、樹脂型分散剤と溶剤からなり、３本ロールミル等で混錬され、ビーズミル分散等で細かく分散したものである。

赤色着色組成物の固形分は１６．５％であり、固形分に対する顔料濃度は３８％であった。また、表面張力は約２７．５ｍＮ／ｍ、粘度：約５．１ｃｐであった。

この赤色着色組成物：約５ｋｇを緑色着色組成物同様に日本ポール（株）社製DFA4201J006Pにてプレろ過し、次いで、日本ポール（株）社製DFA4201NXPでろ過したところ、問題なく全量ろ過できた。

また、アクリル樹脂膜が形成してあるφ８”基板に１μｍの膜厚で塗布形成するための塗布量は約５ｍｌであり、白ぬけは発生しなかった。（アクリル樹脂膜に対する緑色着色組成物の接触角は１°以下であった。）
（比較例２−ａ）
実施例１同様にプレろ過した赤色着色組成物を、日本ポール（株）社製ＤＦＡ４２０１ＦＸＥ（ろ過精度０．４５μｍ、メディア：高密ＰＴＦＥ）でろ過したところ、数十ｇろ過することが可能であった。
（比較例２−ｂ）
実施例１の溶剤全量をシクロヘキサノンに置き換えた緑色着色組成物とした。その表面張力は約３３ｍＮ／ｍであり、粘度は約１０ｃｐであった。この赤色着色組成物：約５ｋｇを日本ポール（株）社製ＤＦＡ４２０１Ｊ００６Ｐにてプレろ過し、次いで、日本ポール（株）社製ＤＦＡ４２０１ＮＸＰでろ過したところ、約３００ｇろ過することが可能であった。

青色着色組成物
ブルー顔料ペースト：７０７Ｂブルー〜３５部
（固形分：２０％、顔料濃度：６５％、溶剤：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート）
バイオレット顔料ペースト：Ｔ４５−８０２Ｂバイオレット〜７部
（固形分：２０％、顔料濃度：５０％、溶剤：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート）
樹脂：ＪＥＴ２０００〜２４部
（アルカリ可溶性アクリル樹脂、固形分：２０％、溶剤：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート）
モノマー：Ｍ４０２〜２．９部
開始剤： TRG278 〜１．４部
溶剤：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート〜１９．４部
酢酸イソアミル〜１０部
界面活性剤： FZ-1212 〜０．３部
青色着色組成物の固形分は１７．５％であり、固形分に対する顔料濃度は２７％であった。また、表面張力は約２７．１ｍＮ／ｍ、粘度：約５．０ｃｐであった。

この青色着色組成物：約５ｋｇを緑色着色組成物同様に日本ポール（株）社製DFA4201J006Pにてプレろ過し、次いで、日本ポール（株）社製DFA4201NXPでろ過したところ、問題なく全量ろ過できた。

また、アクリル樹脂膜が形成してあるφ８”基板に１μｍの膜厚で塗布形成するための塗布量は約５ｍｌであり、白ぬけは発生しなかった。（アクリル樹脂膜に対する青色着色組成物の接触角は１°以下であった。）
（比較例３−ａ）
実施例３同様にプレろ過した青色着色組成物を、日本ポール（株）社製ＤＦＡ４２０１ＦＸＥ（ろ過精度０．４５μｍ、メディア：高密ＰＴＦＥ）でろ過したところ、数十ｇろ過可能であった。
（比較例３−ｂ）
実施例３の溶剤全量をシクロヘキサノンに置き換えた青色着色組成物とした。その表面張力は約３３ｍＮ／ｍであり、粘度は約１４ｃｐであった。この青色着色組成物：約５ｋ
ｇを日本ポール（株）社製ＤＦＡ４２０１Ｊ００６Ｐにてプレろ過し、次いで、日本ポール（株）社製ＤＦＡ４２０１ＮＸＰでろ過したところ、約１００ｇろ過可能であった。

ろ過装置の説明図である。

符号の説明

１キャニスター
２圧力計
３配管
４フィルター
５容器
６感光性着色組成物

Claims

少なくとも溶剤，顔料，モノマー，ポリマー，開始剤，添加剤を混合してなるカラーフィルター用の感光性着色組成物のろ過方法において、
表面張力が２８ｍＮ／ｍ以下であり、粘度が６ｃｐ以下であり、かつ、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテートを混合溶剤として含有する感光性着色組成物を、ろ過精度が０．４５μｍであり、界面張力が４８ｍＮ／ｍ以上であるナイロンのフィルターでろ過することを特徴とする感光性着色組成物のろ過方法。
請求項１に記載のろ過方法により得られた感光性着色組成物により、画素サイズが５μｍ以下のカラーフィルターを形成してなることを特徴とする固体撮像素子。