JP4414553B2 - 有機−無機ハイブリッド傾斜材料およびその用途 - Google Patents
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- 239000000463 material Substances 0.000 title claims description 96
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 57
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 53
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 50
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 50
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 49
- -1 metal oxide compound Chemical class 0.000 claims description 46
- 230000007062 hydrolysis Effects 0.000 claims description 28
- 238000006460 hydrolysis reaction Methods 0.000 claims description 28
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 27
- 239000000178 monomer Substances 0.000 claims description 26
- 229920000620 organic polymer Polymers 0.000 claims description 24
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 claims description 21
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 claims description 14
- 150000007530 organic bases Chemical class 0.000 claims description 12
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 11
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 claims description 11
- 125000000962 organic group Chemical group 0.000 claims description 9
- 239000002131 composite material Substances 0.000 claims description 8
- 125000005843 halogen group Chemical group 0.000 claims description 8
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 claims description 8
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 claims description 6
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical group [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 125000003545 alkoxy group Chemical group 0.000 claims description 5
- 239000011368 organic material Substances 0.000 claims description 5
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000010408 film Substances 0.000 description 58
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 44
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 26
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M Acrylate Chemical compound [O-]C(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 24
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 23
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 22
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 21
- 238000000034 method Methods 0.000 description 18
- ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N N,N-Dimethylformamide Chemical compound CN(C)C=O ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 15
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 13
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 description 12
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 description 12
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 11
- BFXIKLCIZHOAAZ-UHFFFAOYSA-N methyltrimethoxysilane Chemical compound CO[Si](C)(OC)OC BFXIKLCIZHOAAZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 11
- 238000009833 condensation Methods 0.000 description 9
- 230000005494 condensation Effects 0.000 description 9
- NTIZESTWPVYFNL-UHFFFAOYSA-N Methyl isobutyl ketone Chemical compound CC(C)CC(C)=O NTIZESTWPVYFNL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- UIHCLUNTQKBZGK-UHFFFAOYSA-N Methyl isobutyl ketone Natural products CCC(C)C(C)=O UIHCLUNTQKBZGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 8
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 8
- 238000005227 gel permeation chromatography Methods 0.000 description 7
- 150000003961 organosilicon compounds Chemical class 0.000 description 7
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 7
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 7
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 6
- 125000003277 amino group Chemical group 0.000 description 6
- 125000002496 methyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 description 6
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 6
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 6
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 6
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 6
- 125000003342 alkenyl group Chemical group 0.000 description 5
- 125000003710 aryl alkyl group Chemical group 0.000 description 5
- 150000002430 hydrocarbons Chemical group 0.000 description 5
- 239000002985 plastic film Substances 0.000 description 5
- 229920006255 plastic film Polymers 0.000 description 5
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 description 5
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 5
- RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N Diethyl ether Chemical compound CCOCC RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N Styrene Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1 PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 4
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 4
- 125000001309 chloro group Chemical group Cl* 0.000 description 4
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 4
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 4
- 125000004122 cyclic group Chemical group 0.000 description 4
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 4
- 239000003480 eluent Substances 0.000 description 4
- 125000003700 epoxy group Chemical group 0.000 description 4
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 4
- 239000005055 methyl trichlorosilane Substances 0.000 description 4
- JLUFWMXJHAVVNN-UHFFFAOYSA-N methyltrichlorosilane Chemical compound C[Si](Cl)(Cl)Cl JLUFWMXJHAVVNN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000012044 organic layer Substances 0.000 description 4
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 4
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 4
- ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 2-Butanone Chemical compound CCC(C)=O ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 3
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 3
- XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N Ethyl acetate Chemical compound CCOC(C)=O XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910017061 Fe Co Inorganic materials 0.000 description 3
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N Zirconium Chemical compound [Zr] QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 3
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 3
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 3
- 125000003118 aryl group Chemical group 0.000 description 3
- 125000004429 atom Chemical group 0.000 description 3
- 125000001797 benzyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(C([H])=C1[H])C([H])([H])* 0.000 description 3
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 3
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 3
- 125000000113 cyclohexyl group Chemical group [H]C1([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])C1([H])[H] 0.000 description 3
- 125000001495 ethyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 3
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 125000004051 hexyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 3
- 125000004435 hydrogen atom Chemical group [H]* 0.000 description 3
- 230000003301 hydrolyzing effect Effects 0.000 description 3
- 229910003437 indium oxide Inorganic materials 0.000 description 3
- PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N indium(iii) oxide Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[In+3].[In+3] PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 3
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 3
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 3
- VLKZOEOYAKHREP-UHFFFAOYSA-N n-Hexane Chemical compound CCCCCC VLKZOEOYAKHREP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 3
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 3
- 125000001997 phenyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(*)C([H])=C1[H] 0.000 description 3
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 description 3
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 description 3
- RMAQACBXLXPBSY-UHFFFAOYSA-N silicic acid Chemical compound O[Si](O)(O)O RMAQACBXLXPBSY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000011973 solid acid Substances 0.000 description 3
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 3
- 125000001424 substituent group Chemical group 0.000 description 3
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 3
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910001887 tin oxide Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 3
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 3
- 125000003837 (C1-C20) alkyl group Chemical group 0.000 description 2
- OZAIFHULBGXAKX-UHFFFAOYSA-N 2-(2-cyanopropan-2-yldiazenyl)-2-methylpropanenitrile Chemical compound N#CC(C)(C)N=NC(C)(C)C#N OZAIFHULBGXAKX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XDLMVUHYZWKMMD-UHFFFAOYSA-N 3-trimethoxysilylpropyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCOC(=O)C(C)=C XDLMVUHYZWKMMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- FUGYGGDSWSUORM-UHFFFAOYSA-N 4-hydroxystyrene Chemical compound OC1=CC=C(C=C)C=C1 FUGYGGDSWSUORM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WKBOTKDWSSQWDR-UHFFFAOYSA-N Bromine atom Chemical group [Br] WKBOTKDWSSQWDR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VTYYLEPIZMXCLO-UHFFFAOYSA-L Calcium carbonate Chemical compound [Ca+2].[O-]C([O-])=O VTYYLEPIZMXCLO-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IMNFDUFMRHMDMM-UHFFFAOYSA-N N-Heptane Chemical compound CCCCCCC IMNFDUFMRHMDMM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004677 Nylon Substances 0.000 description 2
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 2
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000002947 alkylene group Chemical group 0.000 description 2
- 125000000484 butyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 2
- 239000008119 colloidal silica Substances 0.000 description 2
- 238000007334 copolymerization reaction Methods 0.000 description 2
- 125000001511 cyclopentyl group Chemical group [H]C1([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])(*)C1([H])[H] 0.000 description 2
- 238000007607 die coating method Methods 0.000 description 2
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 2
- 238000007756 gravure coating Methods 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 2
- 238000007733 ion plating Methods 0.000 description 2
- BUZRAOJSFRKWPD-UHFFFAOYSA-N isocyanatosilane Chemical compound [SiH3]N=C=O BUZRAOJSFRKWPD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000001449 isopropyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])[H] 0.000 description 2
- 150000002736 metal compounds Chemical class 0.000 description 2
- 125000004123 n-propyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 2
- 125000001624 naphthyl group Chemical group 0.000 description 2
- 125000004923 naphthylmethyl group Chemical group C1(=CC=CC2=CC=CC=C12)C* 0.000 description 2
- 229920001778 nylon Polymers 0.000 description 2
- 125000002347 octyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 2
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 2
- 125000001147 pentyl group Chemical group C(CCCC)* 0.000 description 2
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000012643 polycondensation polymerization Methods 0.000 description 2
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 2
- 239000002861 polymer material Substances 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 2
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 2
- UVVUGWBBCDFNSD-UHFFFAOYSA-N tetraisocyanatosilane Chemical compound O=C=N[Si](N=C=O)(N=C=O)N=C=O UVVUGWBBCDFNSD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000003396 thiol group Chemical group [H]S* 0.000 description 2
- 125000003944 tolyl group Chemical group 0.000 description 2
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 2
- 125000005023 xylyl group Chemical group 0.000 description 2
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 2
- 125000000008 (C1-C10) alkyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000006376 (C3-C10) cycloalkyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000006736 (C6-C20) aryl group Chemical group 0.000 description 1
- POILWHVDKZOXJZ-ARJAWSKDSA-M (z)-4-oxopent-2-en-2-olate Chemical compound C\C([O-])=C\C(C)=O POILWHVDKZOXJZ-ARJAWSKDSA-M 0.000 description 1
- NWUYHJFMYQTDRP-UHFFFAOYSA-N 1,2-bis(ethenyl)benzene;1-ethenyl-2-ethylbenzene;styrene Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1.CCC1=CC=CC=C1C=C.C=CC1=CC=CC=C1C=C NWUYHJFMYQTDRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SSZOCHFYWWVSAI-UHFFFAOYSA-N 1-bromo-2-ethenylbenzene Chemical compound BrC1=CC=CC=C1C=C SSZOCHFYWWVSAI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KQJQPCJDKBKSLV-UHFFFAOYSA-N 1-bromo-3-ethenylbenzene Chemical compound BrC1=CC=CC(C=C)=C1 KQJQPCJDKBKSLV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WGGLDBIZIQMEGH-UHFFFAOYSA-N 1-bromo-4-ethenylbenzene Chemical compound BrC1=CC=C(C=C)C=C1 WGGLDBIZIQMEGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BOVQCIDBZXNFEJ-UHFFFAOYSA-N 1-chloro-3-ethenylbenzene Chemical compound ClC1=CC=CC(C=C)=C1 BOVQCIDBZXNFEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KTZVZZJJVJQZHV-UHFFFAOYSA-N 1-chloro-4-ethenylbenzene Chemical compound ClC1=CC=C(C=C)C=C1 KTZVZZJJVJQZHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HWCUCNKPBMGSSC-UHFFFAOYSA-N 1-phenylethenyl acetate Chemical compound CC(=O)OC(=C)C1=CC=CC=C1 HWCUCNKPBMGSSC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IGGDKDTUCAWDAN-UHFFFAOYSA-N 1-vinylnaphthalene Chemical compound C1=CC=C2C(C=C)=CC=CC2=C1 IGGDKDTUCAWDAN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000000022 2-aminoethyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])N([H])[H] 0.000 description 1
- 125000005999 2-bromoethyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000001340 2-chloroethyl group Chemical group [H]C([H])(Cl)C([H])([H])* 0.000 description 1
- ISRGONDNXBCDBM-UHFFFAOYSA-N 2-chlorostyrene Chemical compound ClC1=CC=CC=C1C=C ISRGONDNXBCDBM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000003006 2-dimethylaminoethyl group Chemical group [H]C([H])([H])N(C([H])([H])[H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- JESXATFQYMPTNL-UHFFFAOYSA-N 2-ethenylphenol Chemical compound OC1=CC=CC=C1C=C JESXATFQYMPTNL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SVONRAPFKPVNKG-UHFFFAOYSA-N 2-ethoxyethyl acetate Chemical compound CCOCCOC(C)=O SVONRAPFKPVNKG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000000954 2-hydroxyethyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])O[H] 0.000 description 1
- 125000000094 2-phenylethyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(C([H])=C1[H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 125000003903 2-propenyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])=C([H])[H] 0.000 description 1
- KXYAVSFOJVUIHT-UHFFFAOYSA-N 2-vinylnaphthalene Chemical compound C1=CC=CC2=CC(C=C)=CC=C21 KXYAVSFOJVUIHT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YNGIFMKMDRDNBQ-UHFFFAOYSA-N 3-ethenylphenol Chemical compound OC1=CC=CC(C=C)=C1 YNGIFMKMDRDNBQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QOXOZONBQWIKDA-UHFFFAOYSA-N 3-hydroxypropyl Chemical group [CH2]CCO QOXOZONBQWIKDA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WZLQYFGUYJPUBA-UHFFFAOYSA-N 3-triisocyanatosilylpropyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCCC[Si](N=C=O)(N=C=O)N=C=O WZLQYFGUYJPUBA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KBQVDAIIQCXKPI-UHFFFAOYSA-N 3-trimethoxysilylpropyl prop-2-enoate Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCOC(=O)C=C KBQVDAIIQCXKPI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DKPFZGUDAPQIHT-UHFFFAOYSA-N Butyl acetate Natural products CCCCOC(C)=O DKPFZGUDAPQIHT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SDIPLDYWPTZHQY-UHFFFAOYSA-N C(C1CO1)OCCC[Si](N=C=O)(N=C=O)N=C=O Chemical compound C(C1CO1)OCCC[Si](N=C=O)(N=C=O)N=C=O SDIPLDYWPTZHQY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NGAHZLQYNPMDOV-UHFFFAOYSA-N C(C=C)(=O)OCCC[Si](N=C=O)(N=C=O)N=C=O Chemical compound C(C=C)(=O)OCCC[Si](N=C=O)(N=C=O)N=C=O NGAHZLQYNPMDOV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PRITYMRQBPHKEZ-UHFFFAOYSA-N C(CC)O[AlH]OCCC Chemical group C(CC)O[AlH]OCCC PRITYMRQBPHKEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000000041 C6-C10 aryl group Chemical group 0.000 description 1
- MDKXWFMOHAXBTH-UHFFFAOYSA-N CC(C)(C)O[Ti] Chemical group CC(C)(C)O[Ti] MDKXWFMOHAXBTH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DDRLLIXCLOMEDF-UHFFFAOYSA-N CC(C)(C)O[Zr](OC(C)(C)C)OC(C)(C)C Chemical group CC(C)(C)O[Zr](OC(C)(C)C)OC(C)(C)C DDRLLIXCLOMEDF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VHQMSJOKQWPUSE-UHFFFAOYSA-N CCC(C)O[Zr](OC(C)CC)OC(C)CC Chemical group CCC(C)O[Zr](OC(C)CC)OC(C)CC VHQMSJOKQWPUSE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KFDGIFZCOIOUIL-UHFFFAOYSA-N CCCCO[Zr](OCCCC)OCCCC Chemical group CCCCO[Zr](OCCCC)OCCCC KFDGIFZCOIOUIL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- TYXCJKRJSAWBMB-UHFFFAOYSA-N CCCO[Zr](OCCC)OCCC Chemical group CCCO[Zr](OCCC)OCCC TYXCJKRJSAWBMB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JGWLCFLLGBJLTF-UHFFFAOYSA-N CCO[Zr](OCC)OCC Chemical group CCO[Zr](OCC)OCC JGWLCFLLGBJLTF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SAIHNRAAWMQBOH-UHFFFAOYSA-N CO[Zr](OC)OC Chemical group CO[Zr](OC)OC SAIHNRAAWMQBOH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000049 Carbon (fiber) Polymers 0.000 description 1
- 229920000298 Cellophane Polymers 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N Methacrylic acid Chemical compound CC(=C)C(O)=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VVQNEPGJFQJSBK-UHFFFAOYSA-N Methyl methacrylate Chemical compound COC(=O)C(C)=C VVQNEPGJFQJSBK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N Nitric acid Chemical compound O[N+]([O-])=O GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N O-Xylene Chemical compound CC1=CC=CC=C1C CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N Ozone Chemical compound [O-][O+]=O CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004952 Polyamide Substances 0.000 description 1
- 239000004734 Polyphenylene sulfide Substances 0.000 description 1
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 1
- 206010037660 Pyrexia Diseases 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004833 X-ray photoelectron spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 239000005083 Zinc sulfide Substances 0.000 description 1
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 238000010306 acid treatment Methods 0.000 description 1
- 229920000122 acrylonitrile butadiene styrene Polymers 0.000 description 1
- 150000001338 aliphatic hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- XYLMUPLGERFSHI-UHFFFAOYSA-N alpha-Methylstyrene Chemical compound CC(=C)C1=CC=CC=C1 XYLMUPLGERFSHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VSCWAEJMTAWNJL-UHFFFAOYSA-K aluminium trichloride Chemical group Cl[Al](Cl)Cl VSCWAEJMTAWNJL-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- 150000001412 amines Chemical class 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 229920006231 aramid fiber Polymers 0.000 description 1
- 150000004945 aromatic hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- HVIOSGAVYGYJJG-UHFFFAOYSA-N benzyl(triisocyanato)silane Chemical compound O=C=N[Si](N=C=O)(N=C=O)CC1=CC=CC=C1 HVIOSGAVYGYJJG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- BYTFJWNSICJFCB-UHFFFAOYSA-N bis[(2-methylpropan-2-yl)oxy]alumane Chemical group CC(C)(C)O[AlH]OC(C)(C)C BYTFJWNSICJFCB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NUFATYMMMZQQCQ-UHFFFAOYSA-N butan-1-olate;titanium(3+) Chemical group [Ti+3].CCCC[O-].CCCC[O-].CCCC[O-] NUFATYMMMZQQCQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OZNDOGQMIDIFFC-UHFFFAOYSA-N butan-2-olate titanium(3+) Chemical group CCC(C)O[Ti](OC(C)CC)OC(C)CC OZNDOGQMIDIFFC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004369 butenyl group Chemical group C(=CCC)* 0.000 description 1
- 125000004106 butoxy group Chemical group [*]OC([H])([H])C([H])([H])C(C([H])([H])[H])([H])[H] 0.000 description 1
- KKBWAGPOKIAPAW-UHFFFAOYSA-N butoxyalumane Chemical group CCCCO[AlH2] KKBWAGPOKIAPAW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OIFKIAJONVYURL-UHFFFAOYSA-N butyl(triisocyanato)silane Chemical compound CCCC[Si](N=C=O)(N=C=O)N=C=O OIFKIAJONVYURL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SXPLZNMUBFBFIA-UHFFFAOYSA-N butyl(trimethoxy)silane Chemical compound CCCC[Si](OC)(OC)OC SXPLZNMUBFBFIA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CXKCTMHTOKXKQT-UHFFFAOYSA-N cadmium oxide Inorganic materials [Cd]=O CXKCTMHTOKXKQT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CFEAAQFZALKQPA-UHFFFAOYSA-N cadmium(2+);oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[Cd+2] CFEAAQFZALKQPA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000019 calcium carbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004917 carbon fiber Substances 0.000 description 1
- 239000003729 cation exchange resin Substances 0.000 description 1
- 229920002301 cellulose acetate Polymers 0.000 description 1
- 239000012461 cellulose resin Substances 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- KRVSOGSZCMJSLX-UHFFFAOYSA-L chromic acid Substances O[Cr](O)(=O)=O KRVSOGSZCMJSLX-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910052681 coesite Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000006482 condensation reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 238000003851 corona treatment Methods 0.000 description 1
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 1
- 229910052906 cristobalite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 125000000753 cycloalkyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000002933 cyclohexyloxy group Chemical group C1(CCCCC1)O* 0.000 description 1
- 125000000640 cyclooctyl group Chemical group [H]C1([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])C([H])([H])C1([H])[H] 0.000 description 1
- 125000001887 cyclopentyloxy group Chemical group C1(CCCC1)O* 0.000 description 1
- 125000002704 decyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- DYHSMQWCZLNWGO-UHFFFAOYSA-N di(propan-2-yloxy)alumane Chemical group CC(C)O[AlH]OC(C)C DYHSMQWCZLNWGO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WCNOPGVIIPWIRJ-UHFFFAOYSA-N diethoxyalumane Chemical group C(C)O[AlH]OCC WCNOPGVIIPWIRJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IRNPRRZALNINDP-UHFFFAOYSA-N diisocyanato-methyl-phenylsilane Chemical compound O=C=N[Si](C)(N=C=O)C1=CC=CC=C1 IRNPRRZALNINDP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JJQZDUKDJDQPMQ-UHFFFAOYSA-N dimethoxy(dimethyl)silane Chemical compound CO[Si](C)(C)OC JJQZDUKDJDQPMQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CVQVSVBUMVSJES-UHFFFAOYSA-N dimethoxy-methyl-phenylsilane Chemical compound CO[Si](C)(OC)C1=CC=CC=C1 CVQVSVBUMVSJES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DMHKHAWLXIYNLV-UHFFFAOYSA-N dimethoxyalumane Chemical group CO[AlH]OC DMHKHAWLXIYNLV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LIKFHECYJZWXFJ-UHFFFAOYSA-N dimethyldichlorosilane Chemical compound C[Si](C)(Cl)Cl LIKFHECYJZWXFJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003618 dip coating Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 description 1
- 239000003759 ester based solvent Substances 0.000 description 1
- 150000002148 esters Chemical class 0.000 description 1
- NNRZFZBJEDXBPK-UHFFFAOYSA-N ethanolate;titanium(3+) Chemical group [Ti+3].CC[O-].CC[O-].CC[O-] NNRZFZBJEDXBPK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FWDBOZPQNFPOLF-UHFFFAOYSA-N ethenyl(triethoxy)silane Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)C=C FWDBOZPQNFPOLF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YNOHAWDJTXKYSC-UHFFFAOYSA-N ethenyl(triisocyanato)silane Chemical compound O=C=N[Si](C=C)(N=C=O)N=C=O YNOHAWDJTXKYSC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NKSJNEHGWDZZQF-UHFFFAOYSA-N ethenyl(trimethoxy)silane Chemical compound CO[Si](OC)(OC)C=C NKSJNEHGWDZZQF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000001301 ethoxy group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])O* 0.000 description 1
- SHVHLTQVSHXYFA-UHFFFAOYSA-N ethyl(triisocyanato)silane Chemical compound O=C=N[Si](CC)(N=C=O)N=C=O SHVHLTQVSHXYFA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SBRXLTRZCJVAPH-UHFFFAOYSA-N ethyl(trimethoxy)silane Chemical compound CC[Si](OC)(OC)OC SBRXLTRZCJVAPH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005357 flat glass Substances 0.000 description 1
- 125000000524 functional group Chemical group 0.000 description 1
- AWJWCTOOIBYHON-UHFFFAOYSA-N furo[3,4-b]pyrazine-5,7-dione Chemical compound C1=CN=C2C(=O)OC(=O)C2=N1 AWJWCTOOIBYHON-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003365 glass fiber Substances 0.000 description 1
- 125000003055 glycidyl group Chemical group C(C1CO1)* 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- FUZZWVXGSFPDMH-UHFFFAOYSA-N hexanoic acid Chemical compound CCCCCC(O)=O FUZZWVXGSFPDMH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000006038 hexenyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000003707 hexyloxy group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])O* 0.000 description 1
- 239000012456 homogeneous solution Substances 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910003471 inorganic composite material Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011256 inorganic filler Substances 0.000 description 1
- 229910003475 inorganic filler Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000002510 isobutoxy group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])(C([H])([H])[H])C([H])([H])O* 0.000 description 1
- 125000000959 isobutyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])(C([H])([H])[H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- IQPQWNKOIGAROB-UHFFFAOYSA-N isocyanate group Chemical group [N-]=C=O IQPQWNKOIGAROB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000003253 isopropoxy group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])(O*)C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 239000005453 ketone based solvent Substances 0.000 description 1
- 150000002576 ketones Chemical class 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JDQLUYWHCUWSJE-UHFFFAOYSA-N methanolate;titanium(3+) Chemical group [Ti+3].[O-]C.[O-]C.[O-]C JDQLUYWHCUWSJE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000000956 methoxy group Chemical group [H]C([H])([H])O* 0.000 description 1
- 125000006178 methyl benzyl group Chemical group 0.000 description 1
- RJMRIDVWCWSWFR-UHFFFAOYSA-N methyl(tripropoxy)silane Chemical compound CCCO[Si](C)(OCCC)OCCC RJMRIDVWCWSWFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HLXDKGBELJJMHR-UHFFFAOYSA-N methyl-tri(propan-2-yloxy)silane Chemical compound CC(C)O[Si](C)(OC(C)C)OC(C)C HLXDKGBELJJMHR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011259 mixed solution Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 125000004108 n-butyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 125000003506 n-propoxy group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])O* 0.000 description 1
- 125000005487 naphthalate group Chemical group 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910017604 nitric acid Inorganic materials 0.000 description 1
- TVMXDCGIABBOFY-UHFFFAOYSA-N octane Chemical compound CCCCCCCC TVMXDCGIABBOFY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004365 octenyl group Chemical group C(=CCCCCCC)* 0.000 description 1
- 125000004115 pentoxy group Chemical group [*]OC([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C(C([H])([H])[H])([H])[H] 0.000 description 1
- 125000004344 phenylpropyl group Chemical group 0.000 description 1
- 230000001699 photocatalysis Effects 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002798 polar solvent Substances 0.000 description 1
- 229920002647 polyamide Polymers 0.000 description 1
- 229920006122 polyamide resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
- 239000004431 polycarbonate resin Substances 0.000 description 1
- 229920005668 polycarbonate resin Polymers 0.000 description 1
- 238000006068 polycondensation reaction Methods 0.000 description 1
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 1
- 229920001225 polyester resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004645 polyester resin Substances 0.000 description 1
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 1
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 description 1
- 230000000379 polymerizing effect Effects 0.000 description 1
- 229920005672 polyolefin resin Polymers 0.000 description 1
- 229920001955 polyphenylene ether Polymers 0.000 description 1
- 229920000069 polyphenylene sulfide Polymers 0.000 description 1
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 1
- 229920005990 polystyrene resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004800 polyvinyl chloride Substances 0.000 description 1
- 229920000915 polyvinyl chloride Polymers 0.000 description 1
- BDDFDYYYZGKVEP-UHFFFAOYSA-N propan-1-olate;titanium(3+) Chemical group [Ti+3].CCC[O-].CCC[O-].CCC[O-] BDDFDYYYZGKVEP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000001436 propyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- WGYKZJWCGVVSQN-UHFFFAOYSA-N propylamine Chemical group CCCN WGYKZJWCGVVSQN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 239000007870 radical polymerization initiator Substances 0.000 description 1
- 150000003254 radicals Chemical class 0.000 description 1
- 230000009257 reactivity Effects 0.000 description 1
- 239000012779 reinforcing material Substances 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 239000004576 sand Substances 0.000 description 1
- 125000005920 sec-butoxy group Chemical group 0.000 description 1
- 125000002914 sec-butyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 1
- 229910052682 stishovite Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 238000010345 tape casting Methods 0.000 description 1
- 125000004213 tert-butoxy group Chemical group [H]C([H])([H])C(O*)(C([H])([H])[H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 125000000999 tert-butyl group Chemical group [H]C([H])([H])C(*)(C([H])([H])[H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YONPGGFAJWQGJC-UHFFFAOYSA-K titanium(iii) chloride Chemical group Cl[Ti](Cl)Cl YONPGGFAJWQGJC-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- ZOYFEXPFPVDYIS-UHFFFAOYSA-N trichloro(ethyl)silane Chemical compound CC[Si](Cl)(Cl)Cl ZOYFEXPFPVDYIS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IORQPMCLCHBYMP-UHFFFAOYSA-N trichloro(methoxy)silane Chemical compound CO[Si](Cl)(Cl)Cl IORQPMCLCHBYMP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052905 tridymite Inorganic materials 0.000 description 1
- DENFJSAFJTVPJR-UHFFFAOYSA-N triethoxy(ethyl)silane Chemical compound CCO[Si](CC)(OCC)OCC DENFJSAFJTVPJR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CPUDPFPXCZDNGI-UHFFFAOYSA-N triethoxy(methyl)silane Chemical compound CCO[Si](C)(OCC)OCC CPUDPFPXCZDNGI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JCVQKRGIASEUKR-UHFFFAOYSA-N triethoxy(phenyl)silane Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)C1=CC=CC=C1 JCVQKRGIASEUKR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NBXZNTLFQLUFES-UHFFFAOYSA-N triethoxy(propyl)silane Chemical compound CCC[Si](OCC)(OCC)OCC NBXZNTLFQLUFES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DFJSZWHUOKADCX-UHFFFAOYSA-N triisocyanato(methyl)silane Chemical compound O=C=N[Si](C)(N=C=O)N=C=O DFJSZWHUOKADCX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NEDLSAOCQDLSHW-UHFFFAOYSA-N triisocyanato(phenyl)silane Chemical compound O=C=N[Si](N=C=O)(N=C=O)C1=CC=CC=C1 NEDLSAOCQDLSHW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PZNIMIKZPSMBQU-UHFFFAOYSA-N triisocyanato(propyl)silane Chemical compound CCC[Si](N=C=O)(N=C=O)N=C=O PZNIMIKZPSMBQU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZNOCGWVLWPVKAO-UHFFFAOYSA-N trimethoxy(phenyl)silane Chemical compound CO[Si](OC)(OC)C1=CC=CC=C1 ZNOCGWVLWPVKAO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BPSIOYPQMFLKFR-UHFFFAOYSA-N trimethoxy-[3-(oxiran-2-ylmethoxy)propyl]silane Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCOCC1CO1 BPSIOYPQMFLKFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000000391 vinyl group Chemical group [H]C([*])=C([H])[H] 0.000 description 1
- 239000012224 working solution Substances 0.000 description 1
- 239000008096 xylene Substances 0.000 description 1
- 229910052984 zinc sulfide Inorganic materials 0.000 description 1
- DRDVZXDWVBGGMH-UHFFFAOYSA-N zinc;sulfide Chemical compound [S-2].[Zn+2] DRDVZXDWVBGGMH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PFXYQVJESZAMSV-UHFFFAOYSA-K zirconium(iii) chloride Chemical group Cl[Zr](Cl)Cl PFXYQVJESZAMSV-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
Landscapes
- Addition Polymer Or Copolymer, Post-Treatments, Or Chemical Modifications (AREA)
- Coating Of Shaped Articles Made Of Macromolecular Substances (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
- Paints Or Removers (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、有機−無機ハイブリッド傾斜材料およびその用途に関する。さらに詳しくは、本発明は、各種の有機基材上に密着性よく形成することができ、かつ硬度が高い上、適度の可撓性を有し、クラックなどが生じにくく、しかも容易に厚膜化が可能であって、基材の近傍において該シリカ成分の含有量が減少していき、基材の当接面は、実質上有機高分子化合物成分である有機−無機ハイブリッド傾斜材料、該傾斜材料からなる被膜形成用コーティング剤および該材料からなる被膜を表面に有する構造体に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
近年、有機高分子材料の性能、機能に関する要求の多様化に伴い、単一の高分子化合物では満足させることが困難となり、高分子化合物に異なる性質をもつ異種材料を加え、複合化することが行われている。
【0003】
例えば、強化材を有機高分子材料中に分散させることによる物性改質が広く行われており、具体的には、炭素繊維、ガラス繊維、金属繊維、セラミックス繊維、アラミド繊維などの有機や無機の繊維状物質、あるいは炭酸カルシウム、シリカ、アルミナなどの粉末状の無機フィラーなどを添加し、均質に分散させることが行われている。
また、異種の高分子化合物を混合し、場合により相溶化剤を介して相溶化させ、ポリマーアロイ化することにより、新しい機能を発現させる研究も盛んに行われている。
【0004】
一方、最近、材料の組成を少しずつ変化させ、表と裏で性質が全く異なる複合材料である傾斜機能材料が注目され、例えばセラミックスの耐熱性と金属の強度を併せもつ金属−セラミックス複合傾斜機能材料が超音速航空機の機体材料などとして開発されている。
【0005】
このような傾斜機能材料は、無機傾斜材料、有機傾斜材料および有機−無機複合傾斜材料に分類され、そして、複数の材料、例えば複数の異種の無機材料同士、複数の異種の有機材料同士、あるいは1種以上の有機材料と1種以上の無機材料を混合し、場所によって異なる分布密度、配向などを制御することで、複数の成分材料の物性を発現させうることから、例えば宇宙・航空分野、自動車分野、エレクトロニクス分野、医療分野、エネルギー分野、さらには放射線や電磁波のシールド分野などにおける利用が期待される。
【0006】
本発明者らは、先に、新規な機能性材料として種々の用途、例えば塗膜や、有機材料と無機または金属材料との接着剤、有機基材と光触媒塗膜との間に設けられ、有機基材の劣化を防止する中間膜や、有機基材と無機系または金属系材料層との密着性を向上させる中間膜などの用途に有用な、厚さ方向に組成が連続的に変化する有機−無機複合傾斜材料を見出した(特願平11−264592号)。
【0007】
この有機−無機複合傾斜材料は、有機高分子化合物と金属系化合物との化学結合物を含有する有機−無機複合材料であって、該金属系化合物の含有率が材料の厚み方向に連続的に変化する成分傾斜構造を有し、上記の各種用途に極めて有用な新規な材料である。
しかしながら、傾斜材料の膜厚が厚くなるとクラックなどが生じる場合があった。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、このような事情のもとで、各種の有機基材上に密着性よく形成することができ、かつ硬度が高い上、適度の可撓性を有し、クラックなどが生じにくく、しかも容易に厚膜化が可能であって、基材の近傍で有機成分と傾斜構造を有し、当接面は実質上有機高分子化合物成分である有機−無機ハイブリッド傾斜材料およびその用途を提供することを目的とするものである。
【0009】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは、前記目的を達成するために鋭意研究を重ねた結果、特定のイソシアナトシラン化合物と、特定の有機ケイ素化合物を加水分解、縮合して得られた分子量の比較的大きな縮合物と、分子中に加水分解により金属酸化物と結合しうる金属含有基を有する有機高分子化合物を含む塗工液を用いることにより、その目的に適合しうる有機−無機ハイブリッド傾斜材料が得られることを見出し、この知見に基づいて本発明を完成するに至った。
【0010】
すなわち、本発明は、
(1)有機基材上に形成された、有機高分子化合物と金属酸化物系化合物とが化学的に結合した複合体を含む有機−無機ハイブリッド傾斜塗膜であって、(A)一般式(I)
R1nSi(NCO)4−n …(I)
(式中、R1は飽和若しくは不飽和の非加水分解性有機基、nは0〜2の整数を示し、nが2の場合、2つのR1はたがいに同一でも異なっていてもよい。)
で表されるイソシアナトシラン化合物と、(B)一般式(II)
R2mSiR3 4−m …(II)
(式中、R2は飽和若しくは不飽和の非加水分解性有機基、R3はハロゲン原子、水酸基または炭素数1〜6のアルコキシル基、mは1〜3の整数を示し、R2が複数ある場合、複数のR2はたがいに同一でも異なっていてもよく、R3が複数ある場合、複数のR3はたがいに同一でも異なっていてもよい。)
で表される有機ケイ素化合物を加水分解、縮合して得られた重量平均分子量2000以上の縮合物と、(C)分子中に加水分解により金属酸化物と結合しうる金属含有基を有する有機高分子化合物を含む塗工液を、有機基材上に塗工して形成された膜状物からなり、かつ該膜状物の有機基材に当接している面が、実質上有機高分子化合物成分であることを特徴とする有機−無機ハイブリッド傾斜塗膜、
(2)上記有機−無機ハイブリッド傾斜塗膜を有機基材上に形成させるために用いられることを特徴とするコーティング剤、および
(3)上記有機−無機ハイブリッド傾斜塗膜を有機基材上に有することを特徴とする構造体、
を提供するものである。
【0011】
【発明の実施の形態】
本発明の有機−無機ハイブリッド傾斜材料は、有機高分子化合物と金属酸化物系化合物とが化学結合してなる複合体を含むものであって、その表面層はシリカ成分の含有量が多く、基材の近傍において該シリカ成分の含有量が減少していき、基材の当接面は実質上有機高分子化合物成分である傾斜構造を有している。
このような成分傾斜構造の確認は、例えば、基板上に設けた有機−無機ハイブリッド傾斜材料の塗膜表面に、スパッタリングを施して膜を削っていき、経時的に膜表面の炭素原子と金属原子の含有率を、X線光電子分光法などにより測定することによって行うことができる。
【0012】
このような成分傾斜構造を有する本発明の有機−無機ハイブリッド傾斜材料においては、ケイ素原子の含有率が、通常0.5〜46重量%、好ましくは5〜46重量%、さらに好ましくは10〜45重量%の範囲である。
さらに、本発明の傾斜材料は、その厚みが10μm以下、特に0.05〜1.0μmの範囲のものが、傾斜性及び塗膜性能などの点から好適である。
このような有機−無機ハイブリッド傾斜材料は、以下に示す塗工液を有機基材上に塗工することにより、効率よく製造することができる。
【0013】
本発明においては、塗工液として、(A)イソシアナトシラン化合物と、(B)有機ケイ素化合物を加水分解、縮合して得られた縮合物と、(C)分子中に加水分解により金属酸化物と結合しうる金属含有基(以下、加水分解性金属含有基と称すことがある。)を有する有機高分子化合物を含むものが用いられる。
【0014】
該塗工液における(A)成分のイソシアナトシラン化合物は、一般式(I)
R1nSi(NCO)4-n …(I)
(式中、R1は飽和若しくは不飽和の非加水分解性有機基、nは0〜2の整数を示し、nが2の場合、2つのR1はたがいに同一でも異なっていてもよい。)
で表される構造を有する化合物である。
【0015】
上記一般式(I)において、R1で示される飽和若しくは不飽和の非加水分解性有機基としては、例えば、炭素数1〜20のアルキル基、(メタ)アクリロイルオキシ基若しくはエポキシ基を有する炭素数1〜20のアルキル基、炭素数2〜20のアルケニル基、炭素数6〜20のアリール基又は炭素数7〜20のアラルキル基を挙げることができる。ここで、炭素数1〜20のアルキル基としては、炭素数1〜10のものが好ましく、またこのアルキル基は直鎖状、分岐状、環状のいずれであってもよい。このアルキル基の例としては、メチル基、エチル基、n−プロピル基、イソプロピル基、n−ブチル基、イソブチル基、sec−ブチル基、tert−ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、オクチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基などが挙げられる。(メタ)アクリロイルオキシ基若しくはエポキシ基を有する炭素数1〜20のアルキル基としては、上記置換基を有する炭素数1〜10のアルキル基が好ましく、またこのアルキル基は直鎖状、分岐状、環状のいずれであってもよい。この置換基を有するアルキル基の例としては、γ−アクリロイルオキシプロピル基、γ−メタクリロイルオキシプロピル基、γ−グリシドキシプロピル基、3,4−エポキシシクロヘキシル基などが挙げられる。炭素数2〜20のアルケニル基としては、炭素数2〜10のアルケニル基が好ましく、また、このアルケニル基は直鎖状、分岐状、環状のいずれであってもよい。このアルケニル基の例としては、ビニル基、アリル基、ブテニル基、ヘキセニル基、オクテニル基などが挙げられる。炭素数6〜20のアリール基としては、炭素数6〜10のものが好ましく、例えばフェニル基、トリル基、キシリル基、ナフチル基などが挙げられる。炭素数7〜20のアラルキル基としては、炭素数7〜10のものが好ましく、例えばベンジル基、フェネチル基、フェニルプロピル基、ナフチルメチル基などが挙げられる。
nは0〜2の整数であり、nが2の場合、2つのR1はたがいに同一であってもよいし、異なっていてもよい。
【0016】
前記一般式(I)で表されるイソシアナトシラン化合物の例としては、テトライソシアナトシラン、メチルトリイソシアナトシラン、エチルトリイソシアナトシラン、プロピルトリイソシアナトシラン、ブチルトリイソシアナトシラン、フェニルトリイソシアナトシラン、ベンジルトリイソシアナトシラン、ビニルトリイソシアナトシラン、γ−グリシドキシプロピルトリイソシアナトシラン、γ−アクリロイルオキシプロピルトリイソシアナトシラン、γ−メタクリロイルオキシプロピルトリイソシアナトシラン、ジメチルジイソシアナトシラン、メチル(フェニル)ジイソシアナトシランなどが挙げられる。これらのイソシアナトシラン化合物は単独で用いてもよいし、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
このようなイソシアナトシラン化合物は反応性が高く、したがって、(A)成分として用いることにより、塗工後比較的低温で短時間に硬化塗膜を形成させることができる。
【0017】
また、該塗工液における(B)成分としては、一般式(II)
R2mSiR3 4-m …(II)
(式中、R2は飽和若しくは不飽和の非加水分解性有機基、R3はハロゲン原子、水酸基または炭素数1〜6のアルコキシル基、mは1〜3の整数を示し、R2が複数ある場合、複数のR2はたがいに同一でも異なっていてもよく、R3が複数ある場合、複数のR3はたがいに同一でも異なっていてもよい。)
で表される有機ケイ素化合物を加水分解、縮合して得られた重量平均分子量2000以上の縮合物が用いられる。
【0018】
上記一般式(II)において、R2で示される飽和若しくは不飽和の非加水分解性有機基としては、前記一般式(I)におけるR1の説明において例示したものと同じものを挙げることができる。
【0019】
一方、R3のうちのハロゲン原子としては、塩素原子や臭素原子などが挙げられるが、特に塩素原子が好ましい。また、炭素数1〜6のアルコキシル基は、直鎖状、分岐状、環状のいずれであってもよく、その例としては、メトキシ基、エトキシ基、n−プロポキシ基、イソプロポキシ基、n−ブトキシ基、イソブトキシ基、sec−ブトキシ基、tert−ブトキシ基、ペントキシ基、ヘキソキシ基、シクロペントキシ基、シクロヘキソキシ基などが挙げられる。
nは1〜3の整数であり、R2が複数ある場合、各R2はたがいに同一であってもよいし、異なっていてもよく、またR3が複数ある場合、各R3はたがいに同一であってもよいし、異なっていてもよい。
【0020】
前記一般式(II)で表される有機ケイ素化合物の例としては、例えばメチルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、メチルトリプロポキシシラン、メチルトリイソプロポキシシラン、エチルトリメトキシシラン、エチルトリエトキシシラン、プロピルトリエトキシシラン、ブチルトリメトキシシラン、フェニルトリメトキシシラン、フェニルトリエトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、γ−アクリロイルオキシプロピルトリメトキシシラン、γ−メタクリロイルオキシプロピルトリメトキシシラン、ジメチルジメトキシシラン、メチルフェニルジメトキシシラン、メトキシトリクロロシラン、エチルトリクロロシラン、ジメチルジクロロシランなどが挙げられる。
【0021】
本発明においては、(B)成分として、上記有機ケイ素化合物を加水分解、縮合して得られた重量平均分子量2,000以上の縮合物が用いられる。この重量平均分子量が2,000未満のものでは、厚膜化が困難で、一回の塗工で所望の厚みを有する傾斜材料が得られにくい。また、たとえ厚膜化したとしても、成膜後の収縮が大きくて、クラックなどが発生しやすく、脆い膜となる。該縮合物の好ましい重量平均分子量は2,000〜100,000の範囲である。なお、該重量平均分子量は、溶離液にジメチルホルムアミド(DMF)を用い、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)法により測定したポリスチレン換算の値である。
【0022】
上記加水分解、縮合反応は、アルコール、ケトン、エーテルなどの適当な極性溶剤中において、水、または水と塩酸、硫酸、硝酸などの酸、あるいは固体酸としてのカチオン交換樹脂とを用い、通常0〜80℃、好ましくは20〜60℃の温度にて加水分解処理し、固体酸を用いた場合には、それを除去したのち、塗工液の(B)成分として用いる。
本発明においては、この(B)成分として、上記縮合物を1種用いてもよいし、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
【0023】
塗工液中の前記(A)成分と(B)成分の含有割合は、所望の成分傾斜構造を有すると共に、硬度が高く、厚膜で、かつクラックや割れが発生しにくい傾斜材料を形成し得る点から、ケイ素原子モル比で好ましくは100:10〜100:1000、より好ましくは100:10〜100:800、さらに好ましくは100:20〜100:500の範囲で選定される。
【0024】
さらに、該塗工液における(C)成分である有機高分子化合物中の加水分解により金属酸化物と結合しうる金属含有基(加水分解性金属含有基)における金属としては、例えばケイ素、チタン、ジルコニウムおよびアルミニウムの中から選ばれる少なくとも1種を好ましく挙げることができる。
上記(C)成分である分子中に加水分解により金属酸化物と結合しうる金属含有基を有する有機高分子化合物は、例えば該金属含有基を有する単量体と金属を含まない単量体とを共重合又は縮重合させることにより、得ることができる。
【0025】
ここで加水分解により金属酸化物と結合しうる金属含有基としては、例えば一般式(III)
−M1R4 k-1 …(III)
(式中、R4は加水分解性基または非加水分解性基であるが、その中の少なくとも1つは加水分解により、(A)成分および(B)成分と化学結合しうる加水分解性基であることが必要であり、また、R4が複数の場合には、各R4はたがいに同一であってもよいし、異なっていてもよく、M1はケイ素、チタン、ジルコニウム、アルミニウムなどの金属原子、kは金属原子M1の価数である。)
で表される基を挙げることができる。
【0026】
上記一般式(III)において、R4のうちの加水分解により(A)成分および(B)成分と化学結合しうる加水分解性基としては、例えばアルコキシル基、イソシアネート基、水酸基、塩素原子などのハロゲン原子、オキシハロゲン基、アセチルアセトネート基などが挙げられ、一方、(A)成分および(B)成分と化学結合しない非加水分解性基としては、例えば低級アルキル基などが好ましく挙げられる。
【0027】
上記一般式(III)で表される金属含有基としては、例えば、トリメトキシシリル基、トリエトキシシリル基、トリ−n−プロポキシシリル基、トリイソプロポキシシリル基、トリ−n−ブトキシシリル基、トリイソブトキシシリル基、トリ−sec−ブトキシシリル基、トリ−tert−ブトキシシリル基、トリクロロシリル基、ジメチルメトキシシリル基、メチルジメトキシシリル基、ジメチルクロロシリル基、メチルジクロロシリル基、トリイソシアナトシリル基、メチルジイソシアナトシリル基など、トリメトキシチタニウム基、トリエトキシチタニウム基、トリ−n−プロポキシチタニウム基、トリイソプロポキシチタニウム基、トリ−n−ブトキシチタニウム基、トリイソブトキシチタニウム基、トリ−sec−ブトキシチタニウム基、トリ−tert−ブトキシチタニウム基、トリクロロチタニウム基、さらには、トリメトキシジルコニウム基、トリエトキシジルコニウム基、トリ−n−プロポキシジルコニウム基、トリイソプロポキシジルコニウム基、トリ−n−ブトキシジルコニウム基、トリイソブトキシジルコニウム基、トリ−sec−ブトキシジルコニウム基、トリ−tert−ブトキシジルコニウム基、トリクロロジルコニウム基、またさらには、ジメトキシアルミニウム基、ジエトキシアルミニウム基、ジ−n−プロポキシアルミニウム基、ジイソプロポキシアルミニウム基、ジ−n−ブトキシアルミニウム基、ジイソブトキシアルミニウム基、ジ−sec−ブトキシアルミニウム基、ジ−tert−ブトキシアルミニウム基、トリクロロアルミニウム基などが挙げられる。
【0028】
この(C)成分の加水分解性金属含有基を有する有機高分子化合物としては、特に(C−1)分子中に加水分解により金属酸化物と結合しうる金属含有基を有するエチレン性不飽和単量体と、(C−2)金属を含まないエチレン性不飽和単量体とを共重合させて得られたものが好適である。
【0029】
上記(C−1)成分である加水分解性金属含有基を有するエチレン性不飽和単量体としては、一般式(IV)
【0030】
【化1】
【0031】
(式中、R5は水素原子またはメチル基、Aはアルキレン基、好ましくは炭素数1〜4のアルキレン基、R4、M1およびkは前記と同じである。)
で表される金属含有基を含むアルキル基をエステル成分とする(メタ)アクリル酸エステルを挙げることができる。この(C−1)成分のエチレン性不飽和単量体は1種用いてもよいし、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
【0032】
一方、上記(C−2)成分である金属を含まないエチレン性不飽和単量体としては、例えば一般式(V)
【0033】
【化2】
【0034】
(式中、R6は水素原子またはメチル基、Xは一価の有機基である。)
で表されるエチレン性不飽和単量体、好ましくは一般式(V−a)
【0035】
【化3】
【0036】
(式中、R6は前記と同じであり、R7は炭化水素基を示す。)
で表されるエチレン性不飽和単量体、あるいは上記一般式(V)で表されるエチレン性不飽和単量体と、必要に応じて添加される密着性向上剤としての一般式(VI)
【0037】
【化4】
【0038】
(式中、R8は水素原子またはメチル基、R9はエポキシ基、水酸基、メルカプト基、アミノ基、ハロゲン原子若しくはエーテル結合を有する炭化水素基を示す。)
で表されるエチレン性不飽和単量体との混合物を挙げることができる。
【0039】
上記一般式(V−a)で表されるエチレン性不飽和単量体において、R7で示される炭化水素基としては、炭素数1〜10の直鎖状若しくは分岐状のアルキル基、炭素数3〜10のシクロアルキル基、炭素数6〜10のアリール基、炭素数7〜10のアラルキル基を好ましく挙げることができる。炭素数1〜10のアルキル基の例としては、メチル基、エチル基、n−プロピル基、イソプロピル基、および各種のブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、オクチル基、デシル基などが挙げられる。炭素数3〜10のシクロアルキル基の例としては、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、メチルシクロヘキシル基、シクロオクチル基などが、炭素数6〜10のアリール基の例としては、フェニル基、トリル基、キシリル基、ナフチル基、メチルナフチル基などが、炭素数7〜10のアラルキル基の例としては、ベンジル基、メチルベンジル基、フェネチチル基、ナフチルメチル基などが挙げられる。
【0040】
前記一般式(V)で表されるエチレン性不飽和単量体の例としては、一般式(V−a)で表される単量体、具体的にはメチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、プロピル(メタ)アクリレート、ブチル(メタ)アクリレート、ヘキシル(メタ)アクリレート、2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、フェニル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレートなどを好ましく挙げることができるが、これら以外にもスチレン、α−メチルスチレン、α−アセトキシスチレン、m−、o−またはp−ブロモスチレン、m−、o−またはp−クロロスチレン、m−、o−またはp−ビニルフェノール、1−または2−ビニルナフタレンなども用いることができる。これらは単独で用いてもよいし、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
【0041】
前記一般式(VI)で表されるエチレン性不飽和単量体において、R9で示されるエポキシ基、水酸基、メルカプト基、アミノ基、ハロゲン原子若しくはエーテル結合を有する炭化水素基としては、炭素数1〜10の直鎖状若しくは分岐状のアルキル基、炭素数3〜10のシクロアルキル基、炭素数6〜10のアリール基、炭素数7〜10のアラルキル基を好ましく挙げることができる。上記置換基のハロゲン原子としては、塩素原子および臭素原子が好ましく、またアミノ基は遊離のアミノ基、モノアルキル置換アミノ基、ジアルキル置換アミノ基のいずれであってもよい。上記炭化水素基の具体例としては、前述の一般式(V)におけるR7の説明において例示した基と同じものを挙げることができる。
【0042】
この一般式(VI)で表されるエチレン性不飽和単量体の例としては、グリシジル(メタ)アクリレート、3−グリシドキシプロピル(メタ)アクリレート、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、3−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、2−メルカプトエチル(メタ)アクリレート、3−メルカプトプロピル(メタ)アクリレート、2−メルカプトプロピル(メタ)アクリレート、2−アミノエチル(メタ)アクリレート、3−アミノプロピル(メタ)アクリレート、2−アミノプロピル(メタ)アクリレート、2−ジメチルアミノエチル(メタ)アクリレート、4−ジメチルアミノベンジル(メタ)アクリレート、2−クロロエチル(メタ)アクリレート、2−ブロモエチル(メタ)アクリレートなどが挙げられる。これらは単独で用いてもよいし、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
【0043】
また、一般式(V)で表されるエチレン性不飽和単量体と一般式(VI)で表されるエチレン性不飽和単量体とを併用する場合は、前者のエチレン性不飽和単量体に対し、後者のエチレン性不飽和単量体を1〜100モル%の割合で用いるのが好ましい。
前記(C−1)成分の加水分解性金属含有基を有するエチレン性不飽和単量体と(C−2)成分の金属を含まないエチレン性不飽和単量体とを、ラジカル重合開始剤の存在下、ラジカル共重合させることにより、所望の共重合体が得られる。
【0044】
一方、縮重合の例としては、上記エチレン性不飽和基の代わりに、縮合により高分子量化可能な基、例えば縮合によりアミド結合、エステル結合あるいはウレタン結合などを生成する2つ以上の官能基と前記一般式(III)で表される金属含有基とを有する単量体と、縮合により高分子量化可能な基、例えば縮合によりアミド結合、エステル結合あるいはウレタン結合などを生成する2つ以上の官能基を有し、かつ金属含有基を含まない単量体とを縮重合させる方法などにより、所望の高分子化合物が得られる。
【0045】
具体的には、いずれか一方の成分が前記一般式(III)で表される金属含有基を有するアミン成分と酸成分とを縮重合させ、ポリアミドを形成させる方法、あるいはいずれか一方の成分が前記一般式(III)で表される金属含有基を有するアルコール成分と酸成分とを縮重合させ、ポリエステルを形成させる方法などが挙げられる。
このような金属酸化物と結合しうる加水分解性金属含有基を有する有機高分子化合物を加えることにより、有機基材に対する均一な塗布が可能となると共に、基材との密着性が良好となる。
【0046】
本発明における塗工液には、通常有機溶剤が用いられ、この有機溶剤としては、前記(A)成分、(B)成分および(C)成分を溶解することができ、かつそれらに対して不活性なものであればよく、特に制限はない。このような溶剤としては、例えばヘキサン、ヘプタン、オクタンなどの脂肪族炭化水素系溶剤、トルエン、キシレンなどの芳香族炭化水素系溶剤、酢酸エチル、酢酸ブチル、セロソルブアセテートなどのエステル系溶剤、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトンなどのケトン系溶剤などを挙げることができる。これらの溶剤は、単独で用いてもよいし、2種以上を混合して用いてもよい。
また、該塗工液には、より硬度の高い傾斜材料を得るために、所望によりシリカゾルを添加することができる。
【0047】
上記溶剤に前記(A)成分、(B)成分および(C)成分をそれぞれ所定の割合で加え、さらに所望によりシリカゾルを添加し、均質に溶解させることにより、本発明の傾斜材料形成用の塗工液が得られる。この塗工液における固形分濃度としては、該塗工液が塗工可能な粘度になるような濃度であればよく、特に制限はない。
【0048】
次に、このようにして得られた塗工液を用い、有機基材上に、乾燥塗膜の厚さが、通常10μm以下、好ましくは0.05〜5μm、より好ましくは0.05〜3μmの範囲になるように、ディップコート法、スピンコート法、スプレーコート法、バーコート法、ナイフコート法、ロールコート法、ブレードコート法、ダイコート法、グラビアコート法などの公知の手段により塗膜を形成し、公知の乾燥処理、例えば40〜150℃程度の温度で加熱乾燥処理、若しくは40〜100℃、50〜100RH%で加湿加熱処理することにより、本発明の有機−無機ハイブリッド傾斜材料が得られる。
【0049】
上記有機基材としては、特に制限はなく、様々な有機基材、例えばポリメチルメタクリレートなどのアクリル樹脂、ポリスチレンやABS樹脂などのスチレン系樹脂、ポリエチレンやポリプロピレンなどのオレフィン系樹脂、ポリエチレンテレフタレートやポリエチレンナフタレートなどのポリエステル系樹脂、6−ナイロンや6,6−ナイロンなどのポリアミド系樹脂、ポリ塩化ビニル系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、ポリフェニレンサルファイド系樹脂、ポリフェニレンエーテル系樹脂、ポリイミド系樹脂、セルロースアセテートなどのセルロース系樹脂などからなる基材を挙げることができる。
【0050】
これらの有機基材は、本発明の傾斜材料との密着性をさらに向上させるために、所望により、酸化法や凹凸化法などにより表面処理を施すことができる。上記酸化法としては、例えばコロナ放電処理、クロム酸処理(湿式)、火炎処理、熱風処理、オゾン・紫外線照射処理などが挙げられ、また、凹凸化法としては、例えばサンドブラスト法、溶剤処理法などが挙げられる。これらの表面処理法は基材の種類に応じて適宜選ばれる。
【0051】
なお、本発明における有機基材は、有機系材料以外の材料、例えば金属系材料、ガラスやセラミックス系材料、その他各種無機系または金属系材料からなる基材の表面に、有機系塗膜を有するものも包含する。
このようにして、硬度が高い上、適度の可撓性を有し、クラックなどが生じにくく、しかも厚膜の有機−無機ハイブリッド傾斜材料が密着性よく、形成される。
【0052】
この有機−無機ハイブリッド傾斜材料は、表面層はシリカ成分の多い有機−無機ハイブリッド層からなり、基材の近傍で該シリカ成分の含有量が減少していき、基材の当接面は実質上有機高分子化合物成分である傾斜構造を有している。
【0053】
本発明はまた、該有機−無機ハイブリッド傾斜材料からなる被膜を基材上に形成させるコーティング剤をも提供するものである。
このコーティング剤としては、前記の(A)一般式(I)で表されるイソシアナトシラン化合物と、(B)一般式(II)で表される有機ケイ素化合物を加水分解、縮合して得られた重量平均分子量2000以上の縮合物と、(C)加水分解性金属含有基を有する有機高分子化合物と、所望によりシリカゾルを含む塗工液からなるものが用いられる。
【0054】
このコーティング剤は下記の用途に用いることができる。
まず、塗膜としての用途に用いられる。該有機−無機ハイブリッド傾斜材料は、有機基材に対する接着性に優れており、かつ塗膜表面はシリカに富み、かつ硬度が高いことから、例えば各種プラスチックフィルム上に該材料からなるコート層を設けることにより、耐擦傷性や耐熱性などに優れると共に、密着性の良好なハードコートフィルムを得ることができる。
【0055】
次に、接着剤としての用途に用いられる。
本発明の傾斜材料は、前記したように有機基材との密着性に優れるとともに、表面にはシリカを含むことから、無機または金属材料との密着性に優れている。したがって、有機材料と無機または金属材料との接着剤として好適である。
【0056】
さらに、有機基材と、少なくとも無機系または金属系材料を含むコート層との間に介在させる中間膜としての用途に用いられる。
有機基材上に無機系または金属系材料を含むコート層を形成する場合、一般に有機基材と該コート層との密着性が不十分てあって、耐久性に劣り、経時により剥離したり、あるいは熱や湿気などにより剥離しやすくなるという問題が生じる。
【0057】
本発明の傾斜材料を中間膜として、上記有機基材と無機系または金属系材料を含むコート層との間に介在させることにより、該中間膜は前記したように傾斜性を有することから、有機基材との密着性に優れると共に、その上に設けられる無機系または金属系材料を含むコート層との密着性にも優れ、その結果、有機基材上に無機系または金属系材料を含むコート層を極めて密着性よく、形成させることができる。
本発明においては、該中間膜の厚さは、通常10μm以下、好ましくは0.05〜5.0μm、より好ましくは0.05〜3.0μmの範囲である。
【0058】
前記無機系または金属系材料を含むコート層としては特に制限はなく、様々なコート層を形成することができるが、例えば(1)無機系または金属系導電性材料層、(2)無機系または金属系材料を含むハードコート層、(3)無機系または金属系光記録材料層または無機系または金属系誘電体層などを好ましく挙げることができる。
【0059】
次に、各無機系または金属系材料を含むコート層について説明する。
(1)無機系または金属系導電性材料層:
表面に導電性材料層を有する有機基材、特にプラスチックフィルムは、エレクトロルミネッセンス素子(EL素子)、液晶表示素子(LCD素子)、太陽電池などに用いられ、さらに電磁波遮蔽フィルムや帯電防止性フィルムなどとして用いられている。このような用途に用いられる導電性材料としては、例えば酸化インジウム、酸化錫、酸化亜鉛、酸化カドミウム、ITO(インジウムチンオキシド)などの金属酸化物や、金、白金、銀、ニッケル、アルミニウム、銅のような金属などの無機系または金属系導電性材料が用いられる。そして、これらの無機系または金属系導電性材料は、通常真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法などの公知の手段により、プラスチックフィルムなどの有機基材上に、厚さ50〜2000オングストローム程度の薄膜として形成される。
【0060】
このようにして形成された無機系または金属系導電性材料層は、有機基材との密着性が不十分であるので、本発明の傾斜材料を中間膜として、有機基材と該無機系または金属系導電性材料層との間に介在させることにより、有機基材と無機系または金属系導電性材料層との密着性を向上させることができる。また、透明導電性フィルムが要求される場合においても、本発明の傾斜材料からなる中間膜を介在させることにより、透明性が損なわれることはほとんどない。
【0061】
(2)無機系または金属系材料を含むハードコート層:
表面硬度が良好で、優れた耐擦傷性や耐摩耗性を有するハードコートフィルムは、例えば、車両、建物などの窓ガラスや窓用プラスチックボードなどの表面貼付用として、あるいはCRTディスプレイやフラットパネルディスプレイなどの保護用などとして広く用いられている。
【0062】
一方、プラスチックレンズは、ガラスレンズに比べて、軽量でかつ安全性、加工性、ファッション性などに優れていることから、近年急速に普及してきている。しかしながら、このプラスチックレンズは、ガラスレンズに比べて傷が付きやすいという欠点を有しており、したがって、その表面をハードコート層で被覆することが行われている。
【0063】
このようなハードコートフィルムやプラスチックレンズに設けられるハードコート層の材料としては、例えばアルキルトリヒドロキシシランおよびその部分縮合物とコロイダルシリカとシリコン変性アクリル樹脂とからなる混合物、オルガノトリアルコキシシラン加水分解縮合物、アルコキシシラン加水分解縮合物とコロイダルシリカとの混合物、ジルコニウム、アルミニウムおよびチタニウムの中から選ばれる金属とキレート化合物とシリコン変性アクリル樹脂とからなる混合物などの無機系または金属系材料を含むハードコート剤が多用されている。
【0064】
プラスチックフィルムやプラスチックレンズなどの有機基材上にハードコート層を形成するには、前記の無機系または金属系材料を含むハードコート剤を、公知の方法、例えばバーコート法、ナイフコート法、ロールコート法、ブレードコート法、ダイコート法、グラビアコート法、スプレーコート法などを用いて、乾燥膜厚が1〜30μm程度になるように有機基材上に塗布し、乾燥処理する方法が、通常用いられる。
【0065】
このようにして形成された無機系または金属系材料を含むハードコート層は、有機基材との密着性が不十分であるので、本発明の傾斜材料を中間膜として、有機基材と該ハードコート層との間に介在させることにより、有機基材と無機系または金属系材料を含むハードコート層との密着性を向上させることができる。またプラスチックレンズにおいて、本発明の傾斜材料からなる中間膜を介在させても、該プラスチックレンズの透明性の低下や干渉縞の発生などをもたらすことはほとんどない。
【0066】
(3)無機系または金属系光記録材料層または無機系または金属系誘電体層:
近年、書き換え可能、高密度、大容量の記憶容量、記録再生ヘッドと非接触等という特徴を有する光記録媒体として、半導体レーザー光等の熱エネルギーを用いて磁性膜の磁化反転を利用して情報を記録し磁気光学効果を利用して読み出す光磁気ディスクや結晶から、アモルファスへの相変化を利用した相変化ディスクが開発され、実用化に至っている。
【0067】
このような光記録媒体は、一般に、透光性樹脂基板(有機基材)、例えばポリカーボネートやポリメチルメタクリレートなどの基板上に光記録材料層、誘電体層、金属反射層、有機保護層などが順次積層された構造を有しており、また、基板と光記録材料層との間に、誘電体下地層を設ける場合もある。
【0068】
基板上に設けられる光記録材料層には、例えばTb−Fe、Tb−Fe−Co、Dy−Fe−Co、Tb−Dy−Fe−Coなどの無機系の光磁気型記録材料、あるいはTeOx、Te−Ge、Sn−Te−Ge、Bi−Te−Ge、Sb−Te−Ge、Pb−Sn−Te、Tl−In−Seなどの無機系の相変化型記録材料が用いられる。また、所望により、基板と光記録材料層との間に設けられる誘電体下地層には、例えばSiN、SiO、SiO2、Ta2O5などの無機系材料が用いられる。
前記無機系の光記録材料層や誘電体下地層は、通常真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法などの公知の手段によって形成される。
【0069】
このようにして形成された無機系または金属系光記録材料層または無機系誘電体下地層は、透光性樹脂基板との密着性が不十分であるので、本発明の傾斜材料を中間膜として、透光性樹脂基板と該光記録材料層または該誘電体下地層との間に介在させることにより、基板と光記録材料層または誘電体下地層との密着性を向上させることができる。
その他無機系または金属系材料を含むコート層としては、酸化チタン、酸化亜鉛、酸化インジウム、酸化錫、硫化亜鉛、アンチモンドープ酸化錫(ATO)、錫ドープ酸化インジウム(ITO)などの無機系赤外線吸収剤層、メタル蒸着された磁性層などが挙げられる。
【0070】
本発明は、さらに、上記有機−無機ハイブリッド傾斜材料からなる被膜を有する構造体をも提供する。
このような構造体としては、例えば各種プラスチックフィルム上に、本発明の有機−無機ハイブリッド傾斜材料からなるコート層を設けたハードコートフィルム、該傾斜材料を中間膜として介在させ、かつ少なくとも無機系または金属系材料を含むコート層を有する有機基材、あるいは該傾斜材料を中間膜として介在させ、かつ少なくとも無機系または金属系材料を含むコート層を有する物品などを挙げることができる。
【0071】
上記物品の具体例としては、少なくとも無機系または金属系材料を含むコート層が、(1)無機系または金属系導電性材料層、(2)無機系または金属系材料を含むハードコート層、および(3)無機系または金属系光記録材料層または無機系または金属系誘電体層であるものなどを好ましく挙げることができる。
【0072】
【実施例】
次に、本発明を実施例により、さらに詳細に説明するが、本発明は、これらの例によってなんら限定されるものではない。
【0073】
なお、各例で形成した膜の諸特性は、以下に示す方法に従って求めた。
(1)膜の均一性
目視および顕微鏡により観察し、干渉縞や塗り斑が観察された場合を不良とし、観察されない場合を良とした。
(2)クラックの有無
目視および顕微鏡により、クラックの有無を観察した。
(3)密着性
JIS K5400に準拠し、ロータリーカッターにて1mm角の碁盤目100マスを付け、セロテープ(ニチバン製、登録商標)を圧着させたのち、30,000mm/minの速度で90度の剥離試験を実施し、全く剥がれがないものを良、剥がれがみられたものを不良とした。
(4)鉛筆硬度
JIS K5400に準拠して測定した。
【0074】
実施例1
(1)有機高分子化合物の製造
メタクリル酸メチル30.0g(0.3モル)とγ−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン2.48g(0.01モル)との混合溶液に、2,2′−アゾビスイソブチロニトリル0.3g(0.0018モル)を添加、撹拌して均一溶液とした。この溶液を撹拌しながら75℃で3時間反応させることにより、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)法(溶離液:DMF)によるポリスチレン換算の数平均分子量が11万の共重合体を得た。
【0075】
(2)メチルトリメトキシシラン加水分解縮合物の溶液の調製
100ミリリットルの容器にメチルトリメトキシシラン13.6gとメチルイソブチルケトン(MIBK)50ミリリットルを仕込んだのち、これに1モル/リットル濃度の塩酸0.2ミリリットルと純水40ミリリットルとの混合液を撹拌しながら、ゆっくり添加した。その後、激しく撹拌しながら50℃で6時間反応を行い、水層と有機層を分離した。有機層を脱水処理して、GPC法(溶離液:DMF)によるポリスチレン換算の重量平均分子量(Mw)2500のメチルトリメトキシシラン加水分解縮合物の溶液を調製した。
【0076】
(3)塗工液の調製および膜の評価
上記(1)で得た共重合体を10g/リットル濃度で含むMIBK溶液2ミリリットル、上記(2)で得たメチルトリメトキシシラン加水分解縮合物の溶液2ミリリットル、テトライソシアナトシラン2ミリリットルおよび日産化学社製のオルガノシリカゾルMIBK−ST 1ミリリットルを均質を混合して塗工液を調製した。
この塗工液をポリメチルメタクリレート基板上に、1500rpmで20秒間スピンコートしたのち、80℃で2時間乾燥処理して厚み0.5μmの有機−無機ハイブリッド膜を形成した。
この膜の物性を表1に示す。
【0077】
実施例2
(1)メチルトリクロロシラン加水分解縮合物の溶液の調製
100ミリリットルの容器にメチルトリクロロシラン14.8gとMIBK 50ミリリットルを仕込んだのち、これに純水40ミリリットルを撹拌しながらゆっくり添加した。その後、激しく撹拌しながら50℃で6時間反応を行い、水層と有機層を分離した。有機層を脱水処理して、GPC法(溶離液:DMF)によるポリスチレン換算の重量平均分子量(Mw)3000のメチルトリクロロシラン加水分解縮合物の溶液を調製した。
【0078】
(2)塗工液の調製および膜の評価
実施例1(3)において、メチルトリメトキシシラン加水分解縮合物(Mw=2500)の溶液の代わりに、上記(1)で得たメチルトリクロロシラン加水分解縮合物(Mw=3000)の溶液を用いた以外は、実施例1(3)と同様にして、厚み0.8μmの有機−無機ハイブリッド膜を形成した。
この膜の物性を表1に示す。
【0079】
比較例1
実施例1(3)において、共重合体を含むMIBK溶液の代わりに、MIBKのみを2ミリリットル用いた以外は、実施例1(3)と同様にして、厚み0.5μmの膜を形成した。
この膜の物性を表1に示す。
【0080】
比較例2
(1)メチルトリメトキシシラン部分加水分解縮合物の溶液の調製
100ミリリットルの容器にメチルトリメトキシシラン13.6gとMIBK50ミリリットルを仕込んだのち、これに純水1.6gを添加して均一混合するまで撹拌し、さらに50℃で6時間加熱した。得られた反応液を脱水処理して、GPC法によるポリスチレン換算の重量平均分子量(Mw)500のメチルトリメトキシシラン部分加水分解縮合物の溶液を調製した。
【0081】
(2)塗工液の調製および膜の評価
実施例1(3)において、メチルトリメトキシシラン加水分解縮合物(Mw=2500)の溶液の代わりに、上記(1)で得たメチルトリメトキシシラン部分加水分解縮合物(Mw=500)の溶液を用いた以外は、実施例1(3)と同様にして、厚み0.4μmの有機−無機ハイブリッド膜を形成した。
この膜の物性を表1に示す。
【0082】
【表1】
【0083】
表1から分かるように、実施例1および実施例2で得られた膜は、いずれも膜の均一性および密着性がよく、クラックの発生も認められず、鉛筆硬度も高い。
これに対し、比較例1の膜は、クラックの発生は認められないものの、膜の均一性および密着性は不良であり、膜の厚み斑が原因とみられる干渉縞が確認され、しかも鉛筆硬度は実施例に比べて低い。また、比較例2の膜はクラックの発生が認められ、しかも鉛筆硬度は実施例に比べて低い。
【0084】
【発明の効果】
本発明の有機−無機ハイブリッド傾斜材料は、有機基材に対して密着性がよく、かつ硬度が高い上、適度の可撓性を有し、クラックなどが生じにくく、しかも厚膜化が可能である。この傾斜材料は表面層はシリカ成分の多い有機−無機ハイブリッド層からなり、基材に近づくにつれて該シリカ成分の含有量が減少していき、基材の当接面は実質上有機高分子化合物成分である傾斜構造を有しており、機能性材料として各種用途に用いられ、特にハードコートフィルム用として好適である。
Claims (6)
- 有機基材上に形成された、有機高分子化合物と金属酸化物系化合物とが化学的に結合した複合体を含む有機−無機ハイブリッド傾斜塗膜であって、(A)一般式(I)
R1nSi(NCO)4−n …(I)
(式中、R1は飽和若しくは不飽和の非加水分解性有機基、nは0〜2の整数を示し、nが2の場合、2つのR1はたがいに同一でも異なっていてもよい。)
で表されるイソシアナトシラン化合物と、(B)一般式(II)
R2mSiR3 4−m …(II)
(式中、R2は飽和若しくは不飽和の非加水分解性有機基、R3はハロゲン原子、水酸基または炭素数1〜6のアルコキシル基、mは1〜3の整数を示し、R2が複数ある場合、複数のR2はたがいに同一でも異なっていてもよく、R3が複数ある場合、複数のR3はたがいに同一でも異なっていてもよい。)
で表される有機ケイ素化合物を加水分解、縮合して得られた重量平均分子量2000以上の縮合物と、(C)分子中に加水分解により金属酸化物と結合しうる金属含有基を有する有機高分子化合物を含む塗工液を、有機基材上に塗工して形成された膜状物からなり、かつ該膜状物の有機基材に当接している面が、実質上有機高分子化合物成分であることを特徴とする有機−無機ハイブリッド傾斜塗膜。 - 前記膜状物の厚みが10μm以下である請求項1に記載の有機−無機ハイブリッド傾斜塗膜。
- 前記溶液が、(A)成分および(B)成分を、ケイ素原子モル比100:10ないし100:1000の割合で含む請求項1または2に記載の記載の有機−無機ハイブリッド傾斜塗膜。
- (C)成分の分子中に加水分解により金属酸化物と結合しうる金属含有基を有する有機高分子化合物が、(C−1)分子中に加水分解により金属酸化物と結合しうる金属含有基を有するエチレン性不飽和単量体と、(C−2)金属を含まないエチレン性不飽和単量体とを共重合させて得られたものである請求項1、2または3に記載の有機−無機ハイブリッド傾斜塗膜。
- 請求項1ないし4のいずれか1項に記載の有機−無機ハイブリッド傾斜塗膜を有機基材上に形成させるために用いられることを特徴とするコーティング剤。
- 請求項1ないし4のいずれか1項に記載の有機−無機ハイブリッド傾斜塗膜を有機基材上に有することを特徴とする構造体。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000074578A JP4414553B2 (ja) | 2000-03-16 | 2000-03-16 | 有機−無機ハイブリッド傾斜材料およびその用途 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000074578A JP4414553B2 (ja) | 2000-03-16 | 2000-03-16 | 有機−無機ハイブリッド傾斜材料およびその用途 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001261864A JP2001261864A (ja) | 2001-09-26 |
JP4414553B2 true JP4414553B2 (ja) | 2010-02-10 |
Family
ID=18592596
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000074578A Expired - Fee Related JP4414553B2 (ja) | 2000-03-16 | 2000-03-16 | 有機−無機ハイブリッド傾斜材料およびその用途 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4414553B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI264121B (en) | 2001-11-30 | 2006-10-11 | Semiconductor Energy Lab | A display device, a method of manufacturing a semiconductor device, and a method of manufacturing a display device |
US6953735B2 (en) | 2001-12-28 | 2005-10-11 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Method for fabricating a semiconductor device by transferring a layer to a support with curvature |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03252414A (ja) * | 1990-03-02 | 1991-11-11 | Toshiba Silicone Co Ltd | シリコーン系コーティング用組成物 |
JP3953649B2 (ja) * | 1998-07-17 | 2007-08-08 | オリヱント化学工業株式会社 | 有機−無機ハイブリッド成分傾斜高分子材料、及びその製造方法 |
JP3897938B2 (ja) * | 1998-10-22 | 2007-03-28 | 宇部日東化成株式会社 | 有機−無機複合傾斜材料、その製造方法及びその用途 |
-
2000
- 2000-03-16 JP JP2000074578A patent/JP4414553B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2001261864A (ja) | 2001-09-26 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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S531 | Written request for registration of change of domicile |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
R371 | Transfer withdrawn |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R371 |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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S531 | Written request for registration of change of domicile |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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S531 | Written request for registration of change of domicile |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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R350 | Written notification of registration of transfer |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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S533 | Written request for registration of change of name |
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R350 | Written notification of registration of transfer |
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