JP4412294B2 - イオン源 - Google Patents
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Description
4 プラズマ生成容器
20 カソード
22 前部
24 後部
24a 張出し部
26 第1連結部
27 第2連結部
28 溝
30 カソードホルダー
32 棚部
34 貫通穴
40 ロック板
44 貫通穴
50 フィラメント
Claims (3)
- フィラメントによってカソードを加熱して当該カソードから、アノードを兼ねるプラズマ生成容器内に熱電子を放出させる構造のイオン源であって、
前記プラズマ生成容器内に向く前部、その反対側にある後部および両者をつなぐ部分であって前部よりも細い連結部を有しており、かつ後部は連結部から横方向に張り出した少なくとも二つの張出し部を有しているカソードと、
前記プラズマ生成容器に対して、先端部が鉛直方向の下に向くように配置された筒状のカソードホルダーであって、その先端部付近内に、前記カソードの後部が通る貫通穴を有する棚部を備えているカソードホルダーと、
前記カソードホルダー内に入りかつ前記棚部の貫通穴よりも大きいロック板であって、前記カソードの後部に対応した形状をしていて当該後部が通る貫通穴を有しているロック板と、
前記カソードホルダー内に設けられていて、前記カソードをその後部から加熱するフィラメントとを備えていて、
前記カソードの後部を、前記カソードホルダーの棚部の貫通穴に通し、かつカソードとは反対側からカソードホルダー内に入れた前記ロック板の貫通穴に通し、カソードとロック板を相対的に回転させてカソードの後部の張出し部とロック板とを係合させて、ロック板を介してカソードをカソードホルダーの棚部で支持していることを特徴とするイオン源。 - 前記ロック板は枠状の形状をしている請求項1記載のイオン源。
- 前記カソードの連結部は、前記前部につながっていて当該前部よりも細い第1連結部と、この第1連結部につながっていて第1連結部よりも細い第2連結部とを有していて、前記後部はこの第2連結部から張り出した前記少なくとも二つの張出し部を有していて、当該張出し部と第1連結部との間に溝を形成しており、カソードの後部の張出し部と前記ロック板とを係合させた状態において、ロック板は前記溝に嵌まっている請求項1または2記載のイオン源。
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