JP2010192454A - 間接的に加熱されるカソードイオン源に使用されるカソード組立体 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】間接的に加熱されるカソードイオン源が、アークチェンバーを定めるアークチェンバーハウジング、間接的に加熱されるカソードおよびカソードを加熱するフィラメントを含む。カソードは、正面、背面および周囲を有する放出部分、放出部分の背面に取り付けられる支持ロッド、ならびに放出部分の背面から伸長するスカートを含む。カソード組立体がカソード、フィラメントおよびカソードとフィラメントとを固定した空間関係で取り付けるため、さらにカソードおよびフィラメントに電気的エネルギーを伝えるクランプ組立体を含む。フィラメントは、放出部分およびカソードのスカートにより定められる空洞内に配置される。
【選択図】 図2B
Description
12 抽出開口
14 アークチャンバー
20 カソード
22 リペラ電極
30 フィラメント
34 ガス入口
150 イオン源本体
160 管
170 伝導性支持部材
172 絶縁体
210
240 空洞
300 カソードクランプ
310 絶縁体ブロック
400 シールド
402 領域
410 二段主壁部
412 頂部壁部
414 第一の側壁部
460 絶縁体シールド
Claims (14)
- 間接的に加熱されるカソードイオン源に使用されるカソード組立体であって、
放出部分、放出部分に取り付けられる支持ロッド、および前記放出部分の周囲から伸長し、前記放出部分とともに空洞を定めるスカートを有するカソードと、
前記空洞内で、前記カソードの放出部分の近傍に配置される、前記カソードの放出部分を加熱するフィラメントと、
前記カソードと前記フィラメントを固定した空間関係で取り付け、前記カソードおよび前記フィラメントに電気的エネルギーを伝えるためのクランプ組立体と、
を含むカソード組立体。 - 前記カソードの放出部分がディスク形状である、請求項1に記載のカソード組立体。
- 前記ディスク形状の放出部分が正面および背面を有し、前記支持ロッドが放出部分の背面の中心またはその付近に取り付けられる、請求項2に記載のカソード組立体。
- 前記スカートが円筒状で、前記放出部分の周囲から後方に伸長する、請求項3に記載のカソード組立体。
- 前記スカートは、長さが0.560インチ(1.422cm)で、壁厚が0.050インチ(0.127)である請求項4に記載のカソード組立体。
- 前記クランプ組立体が前記カソードの支持ロッドに取り付けられるカソードクランプを含む、請求項1に記載のカソード組立体。
- 前記クランプ組立体がさらに、第一および第二の接続線に、それぞれ取り付けられた第一および第二のフィラメントクランプを含む、請求項6に記載のカソード組立体。
- 前記クランプ組立体が絶縁体ブロックを有し、前記カソードクランプおよび前記第一および第二のフィラメントクランプが前記絶縁体ブロックの固定位置に取り付けられる、請求項7に記載のカソード組立体。
- 前記カソードのスカートが前記カソードの放出部分にのみ接触する、請求項1に記載のカソード組立体。
- 間接的に加熱されるカソードイオン源に使用されるカソードであって、
正面、背面および周囲を有する放出部分と、
前記放出部分の背面に取り付けられる支持ロッドと、
前記放出部分の周囲から伸長するスカートと、
を含む、カソード。 - 前記カソードの放出部分がディスク形状である、請求項10に記載のカソード組立体。
- 前記支持ロッドが前記ディス形状の放出部分の背面の中心から後方に伸長する、請求項2に記載のカソード組立体。
- 前記スカートが円筒状シェルからなる、請求項12に記載のカソード。
- 前記スカートおよび前記放出部分がカップ形状の空洞を定める、請求項11に記載のカソード。
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