JP2008304361A - 冷陰極電離真空計 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明に係る冷陰極電離真空計21は、真空計本体の内部に互いに対向して配置され放電空間28を形成する第1,第2の金属ブロック25A,25Bの対向面に、軸状電極26が貫通する貫通孔を備えた板部材24A,24Bがそれぞれ設置されている。これにより、放電空間で形成されたプラズマによるイオンのスパッタ作用およびプラズマ生成物の付着から、金属ブロックを保護することができる。また、金属ブロックの長寿命化を図ることができるとともに、クリーニング作業の簡素化を図ることができる。そして、板部材の交換も容易であるので、メンテナンス作業性の向上と、部品交換に伴う作業コストの低減を図ることができる。
【選択図】図1
Description
22 真空計本体
23 マグネット
24A 第1の点火補助具(板部材)
24B 第2の点火補助具(板部材)
25A 第1の金属ブロック
25B 第2の金属ブロック
26 軸状電極
27 スペーサ
28 放電空間
29 高電圧端子ユニット
30 シールリング
31 蓋部材
35a,35b 貫通孔
36 絶縁支持体
37 収容空間
Claims (3)
- 真空計本体と、前記真空計本体の内部に互いに対向して配置され放電空間を形成する第1,第2の金属ブロックと、前記第1,第2の金属ブロックを貫通する電極とを備えた冷陰極電離真空計であって、
前記第1の金属ブロックと前記第2の金属ブロックの各々の対向面には、前記電極が貫通する貫通孔を備えた板部材がそれぞれ設置されている
ことを特徴とする冷陰極型電離真空計。 - 前記第1の金属ブロック側に設置された板部材と、前記第2の金属ブロック側に設置された板部材の間には、前記放電空間から前記真空計本体の内面を遮蔽する筒状のスペーサが設置されている
ことを特徴とする請求項1に記載の冷陰極型電離真空計。 - 前記板部材の貫通孔の内周面には、複数の突起部が形成されているとともに、
前記突起部は、前記第1,第2の金属ブロックの各々の貫通孔よりも径内方側に突出している
ことを特徴とする請求項2に記載の冷陰極型電離真空計。
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