JP2009179835A - 同軸型真空アーク蒸着源及び真空蒸着装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】同軸型真空アーク蒸着源5は、環状のトリガ電極13と、カソード電極12と、カソード電極12に接続される一端部と、一端部と反対側の他端部とを有し、一端部と他端部の少なくとも一方が面取りされた円柱状の蒸着材料11と、トリガ電極13と蒸着材料11の間、及びトリガ電極13とカソード電極12の間に配置された絶縁碍子14と、トリガ電極の周囲に配置され、一端に開口を有する筒状のアノード電極23とを具備する。これにより、蒸着材料11が消耗しても、その端部周縁の曲面が維持された状態となるので、蒸発粒子の出射角が安定し、蒸着の再現性が改善する。
【選択図】図2
Description
2・・・真空槽
3・・・ホルダ
4・・・基板
5・・・同軸型真空アーク蒸着源
6・・・電源装置
11・・・蒸着材料
12・・・カソード電極
13・・・トリガ電極
14・・・絶縁碍子
14a・・・円筒状部
14b・・・フランジ部
23・・・アノード電極
25・・・開口
31・・・トリガ電源
32・・・アーク電源
33・・・コンデンサユニット
Claims (7)
- 環状のトリガ電極と、
カソード電極と、
前記カソード電極に接続される一端部と、前記一端部と反対側の他端部とを有し、前記一端部と前記他端部のうち少なくとも前記他端部の周縁が面取りされた円柱状の蒸着材料と、
前記トリガ電極と前記蒸着材料の間、及び前記トリガ電極と前記カソード電極の間に配置された絶縁部材と、
前記トリガ電極の周囲に配置された筒状のアノード電極と
を具備する同軸型真空アーク蒸着源。 - 請求項1に記載の同軸型真空アーク蒸着源であって、
前記絶縁部材は、前記トリガ電極の内周面と対向する円筒状部と、前記トリガ電極と前記カソード電極の間に位置するフランジ部とを有し、
前記蒸着材料の他端部は、前記絶縁部材の前記円筒状部の先端と同一の高さ位置にある
同軸型真空アーク蒸着源。 - 請求項2に記載の同軸型真空アーク蒸着源であって、
前記蒸着材料は、前記一端部及び前記他端部の各々の周縁が面取りされた円柱状に形成されている
同軸型真空アーク蒸着源。 - 真空槽と、
前記真空槽内で蒸着対象物を保持するホルダと、
環状のトリガ電極と、
カソード電極と、
前記カソード電極に接続される一端部と、前記一端部と反対側の他端部とを有し、前記一端部と前記他端部のうち少なくとも前記他端部の周縁が面取りされた円柱状の蒸着材料と、
前記トリガ電極と前記蒸着材料の間、及び前記トリガ電極と前記カソード電極の間に配置された絶縁部材と、
前記トリガ電極の周囲に配置された筒状のアノード電極と
を具備する真空蒸着装置。 - 請求項4に記載の真空蒸着装置であって、
前記絶縁部材は、前記トリガ電極の内周面と対向する円筒状部と、前記トリガ電極と前記カソード電極の間に位置するフランジ部とを有し、
前記蒸着材料の他端部は、前記絶縁部材の前記円筒状部の先端と同一の高さ位置にある
真空蒸着装置。 - 請求項5に記載の真空蒸着装置であって、
前記蒸着材料は、前記一端部及び前記他端部の各々が面取りされた円柱状に形成されている
真空蒸着装置。 - 請求項1に記載の真空蒸着装置であって、
前記蒸着材料と前記ホルダの間に、前記蒸着材料と前記ホルダの間を遮蔽自在なシャッタ部材をさらに具備する
真空蒸着装置。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015120967A (ja) * | 2013-12-25 | 2015-07-02 | トヨタ自動車株式会社 | 炭素電極保持構造体 |
KR20200134549A (ko) * | 2019-05-22 | 2020-12-02 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | 기판 상에 재료를 증착하기 위한 증착 장치 및 캐소드 구동 유닛 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPH11256314A (ja) * | 1998-03-13 | 1999-09-21 | Ulvac Corp | 蒸着源及び蒸着装置 |
JP2003183816A (ja) * | 2001-12-13 | 2003-07-03 | Ulvac Japan Ltd | 同軸型真空アーク蒸着源 |
JP2007291426A (ja) * | 2006-04-21 | 2007-11-08 | Ulvac Japan Ltd | 同軸型真空アーク蒸着源及びこれを用いた蒸着装置 |
-
2008
- 2008-01-30 JP JP2008018542A patent/JP5048538B2/ja active Active
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