JP4411946B2 - ノズルクリーニング装置および封止装置 - Google Patents

Description

本発明は、流動体を吐出するノズルをクリーニングするノズルクリーニング装置に関し、好ましくは、ノズルクリーニング装置は回路基板に実装された電子部品を樹脂にて封止する封止装置に利用される。

従来より、プリント基板等の回路基板に実装された電子部品の電極を封止する封止装置では、封止剤を吐出するノズルが設けられ、電子部品の周囲に封止剤を塗布して回路基板と電子部品との間に封止剤が充填される。そして、後工程において封止剤が硬化されることにより、電極が封止される。また、回路基板に電子部品を固定するための接着剤を塗布する塗布装置でも、接着剤を吐出して回路基板に塗布するノズルが設けられている。

このような装置では、ノズルからの封止剤や接着剤等の吐出量を均一にして安定した塗布を実現するために、ノズルの先端近傍に付着した封止剤等を除去するクリーニングを行う必要があり、ノズルをクリーニングするための様々な技術が提案されている。例えば、特許文献１では、塗布の停止時にノズルの先端から垂れた状態で残る接着剤（いわゆる、糸ひき）を、吸入装置によりノズルの横から吸い取る技術が開示されている。

また、特許文献２では、塗布動作を繰り返すうちにノズル先端部の外周面に付着した接着剤等の粘性流体を、塗布ノズルに対して洗浄液を吹き付けて洗い流す技術が開示されている。一方、特許文献３では、封止剤を吐出するニードルをスポンジ等の弾性体で挟み込んで、ニードルに付着した封止剤を拭き取る技術が開示されている。
特開平４−９４５８９号公報 特開平５−３０９３０９号公報 特開２００１−６８４８９号公報

ところで、ノズルをクリーニングする装置では、様々な複雑な構成が必要となり、装置が大型化してしまう恐れがある。特許文献２に開示される洗浄装置では、洗浄ノズルからの洗浄液の飛散を防止する密閉容器、洗浄ノズルに洗浄液を供給する機構、塗布ノズル洗浄後の洗浄液を回収する回収タンク等によって装置が非常に大型化してしまう。また、洗浄後の洗浄液が廃棄物として大量に排出されるという問題もある。

特許文献３に開示されるクリーニング部では、ノズルのクリーニングに係る構成を簡素化して小型化することに成功しているが、スポンジを駆動するアクチュエータが必要であり、さらなる改善の余地がある。また、使用後のスポンジが廃棄物として排出されるため、このような廃棄物の量を削減する工夫が求められる。

本発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、ノズルをクリーニングするノズルクリーニング装置において、装置を小型化し、さらに、廃棄物の量を削減することを目的としている。

請求項１に記載の発明は、流動体を吐出するノズルをクリーニングするノズルクリーニング装置であって、開口部材に設けたノズルに付着している流動体を前記ノズルの周囲の空気と共に吸引する吸引口と、前記吸引口の吸引後の空気が導かれる側の前記開口部材に対向するとともに、前記吸引口の吸引後の空気が導かれる側の前記吸引口の端部を覆うカップ状の内面を有し、前記カップ状の内面により前記吸引口から吸引された流動体を受ける有底筒状の受け部と、前記カップ状の内面の底面よりも前記吸引口側で前記吸引口から流入した空気を側方へと強制排気する排気口と、前記排気口からの空気が導かれる排気路に設けられたフィルタと、を備え、前記受け部の前記カップ状の開口端部が前記開口部材の外周を非接触の状態で囲い、前記カップ状の内面と前記開口部材の外周との間の隙間が前記排気口である。

本発明では、ノズルクリーニング装置を小型化することができる。また、フィルタの汚れを低減し、廃棄されるフィルタの量を削減することができる。

また本願発明では、吸引された流動体が排気口に到達することを抑制することができる。

また本願発明では、装置構造を簡素化することができる。

また本願発明では、吸引された流動体が排気路の奥に流入することを防止することができる。

また本願発明では、吸引された流動体を容易に廃棄することができる。

また本願発明では、封止装置におけるクリーニング装置を小型化することができる。

また本願発明では、効率よくノズルをクリーニングすることができる。

図１は、本発明の一の実施の形態に係る封止装置１の構成を示す平面図であり、図２および図３はそれぞれ、封止装置１を（−Ｙ）側から（＋Ｙ）方向を向いて見た正面図、および、（−Ｘ）側から（＋Ｘ）方向を向いて見た右側面図である。封止装置１は、プリント基板等の回路基板９上に実装された複数の電子部品９１に向けて封止剤を吐出する装置である。なお、１枚の回路基板９に代えて、複数の回路基板が１枚のパレットに保持された状態で取り扱われてもよい。

封止装置１は、図１および図２に示すように電子部品９１が実装された回路基板９を（＋Ｘ）方向に搬送する基板搬送機構３を備え、基板搬送機構３の搬送路のおよそ中央下方には図２および図３に示すように回路基板９を保持して規正する基板保持部２が配置される。さらに、封止装置１は、図１に示すように基板搬送機構３の（＋Ｙ）側に、電子部品９１と回路基板９との間に樹脂を主成分とするペースト状の封止剤をノズルから吐出する吐出機構４、および、吐出機構４のノズルをＸ，Ｙ，Ｚ方向に移動するノズル移動機構５を備え、基台１１の内部にはこれらの構成を制御する制御部８（図２および図３参照）が設けられる。基板保持部２、基板搬送機構３の一部（中央部分）、吐出機構４およびノズル移動機構５は、基台１１上に設けられたステージ１２上に取り付けられ、基台１１内にはステージ１２の（＋Ｙ）側を持ち上げて図３中に二点鎖線にて示す状態までステージ１２上の各種構成を一体的に傾ける傾斜機構１３が設けられる。

基板搬送機構３は、基台１１上にＸ方向に伸びる１組のガイドレール３１を備え、ガイドレール３１の一部（ステージ１２の上方の部位）はステージ１２に取り付けられ、その他の部分は基台１１に直接取り付けられる。ガイドレール３１により案内される回路基板９は、ガイドレール３１内に設けられたベルトにより（＋Ｘ）方向に搬送される。また、基板搬送機構３は複数のモータ３２を備え、これらのモータ３２により１組のガイドレール３１の間の距離の変更やガイドレール３１内のベルトの駆動が行われる。

基板保持部２は、図３に示すように、上昇することによりガイドレール３１から回路基板９を受け取る支持台２１、支持台２１を昇降（Ｚ方向に移動）する昇降部２２、並びに、支持台２１にて突き上げられた回路基板９の位置および姿勢を規正する規正部２３を備える。規正部２３は、支持台２１に支持される回路基板９の（＋Ｙ）側に設けられ、回路基板９のエッジに当接して（−Ｙ）側のガイドレール３１に設けられた凹部３１１（図１参照）との間で回路基板９を挟み込むことにより、回路基板９の位置および姿勢を規正する。

吐出機構４は、ヘッド部４１および空気圧により封止剤の吐出を制御する吐出制御ユニット４２を備え、ヘッド部４１は、先端に吐出用のノズル部４６（図２参照）が取り付けられるとともに封止剤が貯留されるシリンジ４１１、および、シリンジ４１１から吐出された封止剤を撮像するためのヘッドカメラ４１２（図１参照）を備える。シリンジ４１１は、配管４２１により吐出制御ユニット４２に接続され、吐出制御ユニット４２から配管４２１を介してシリンジ４１１内に与えられる空気圧が制御されることにより、ノズル部４６からの封止剤の吐出が制御される。このように、吐出機構４では吐出制御ユニット４２およびシリンジ４１１により、封止剤をノズル部４６へと送り出す機構が構成される。

ノズル移動機構５は図１に示すように、ヘッド部４１をＹ，Ｘ，Ｚ方向にそれぞれ移動するＹ方向移動機構５１、Ｘ方向移動機構５２およびＺ方向移動機構５３を備える。Ｙ方向移動機構５１は、モータ５１１、モータ５１１に接続されるボールねじ５１２、ボールねじ５１２が挿入されたナット５１３、および、２本のガイド部材５１４を備え、モータ５１１が制御部８の制御によりボールねじ５１２を回転することにより、ナット５１３が固定された吐出機構４全体がナット５１３と共にガイド部材５１４に案内されてＹ方向に滑らかに移動する。

Ｘ方向移動機構５２およびＺ方向移動機構５３もＹ方向移動機構５１とほぼ同様な構成となっており、Ｘ方向移動機構５２は、図１および図２に示すように、モータ５２１、モータ５２１に接続されるボールねじ５２２、ボールねじ５２２が挿入されたナット５２３、および、ガイド部材５２４（図２参照）を備え、モータ５２１が駆動されることにより、ヘッド部４１がガイド部材５２４に沿ってＸ方向に滑らかに移動する。Ｚ方向移動機構５３は、図２に示すモータ５３１、ボールねじ５３２、ナットおよびガイド部材５３４を備え、モータ５３１の駆動により、ヘッド部４１がガイド部材５３４に沿ってＺ方向に滑らかに移動する。

図１に示すように、ステージ１２上には、封止剤を吐出するノズルをクリーニングするノズルクリーニング機構６、アンダーカメラ７１、ノズル高さ検査部７２および塗布テストステージ７３が設けられる。アンダーカメラ７１はノズルの先端を下方（（−Ｚ）側）から撮像し、ノズル高さ検査部７２はノズルの先端の高さを検出し、塗布テストステージ７３にはテスト用の塗布が行われる。

図４は、ノズルクリーニング機構６およびノズル部４６を拡大して示す図であり、図４では、ノズルクリーニング機構６を断面にて示している。ノズル部４６は、シリンジ４１１から送り出された封止剤を内部の流路４６１ｂを経由して先端の吐出口４６１ａから吐出する管状のノズル４６１、および、シリンジ４１１に接続されるとともにノズル４６１の吐出口４６１ａとは反対側の端部を支持するノズル支持部４６２を備える。図４はクリーニング直前のノズル４６１を示しており、ノズル４６１の先端部の外周面には直前の塗布動作（塗布動作の詳細については後述する。）により封止剤９２が付着している。また、塗布後に吐出口４６１ａから封止剤が若干漏出する場合もあり、この場合、表面張力の作用を受けて封止剤がノズル４６１の先端に留まった状態となる。

ノズルクリーニング機構６は、略円筒状のハウジング６１、ハウジング６１の上面の開口に取り付けられた略筒状の開口部材６２、並びに、ハウジング６１の内部において開口部材６２の下側に配置される有底円筒状のカップ部材６３を備える。開口部材６２により、ハウジング６１の上方（（＋Ｚ）側）に位置したノズル４６１に付着している封止剤９２をノズル４６１の周囲のガス（空気）と共に吸引する吸引口６２１が形成される。

カップ部材６３は、吸引口６２１の吸引後の空気が導かれる側（開口部材６２の（−Ｚ）側）において吸引口６２１に対向するとともに吸引口６２１をほぼ覆うカップ状の内側の面（以下、「カップ内面」という。）６３１を有し、カップ内面６３１により吸引口６２１から吸引された封止剤が受けられる。カップ部材６３は、カップ内面６３１の吸引口６２１側（（＋Ｚ）側）の端部が開口部材６２の外周を非接触の状態にて囲うように配置され、外側の面の大部分がハウジング６１の内側の面と接触しない状態でハウジング６１に着脱自在に取り付けられる。

カップ部材６３の外側面とハウジング６１の内側面との間に形成される円筒状の空間６４は、カップ内面６３１の（＋Ｚ）側の端部と開口部材６２の外周との間のリング状の隙間６４１を介してカップ部材６３の内部に連絡し、また、ハウジング６１の底面の開口６４２を介して図示省略の真空ポンプに接続される。

ノズルクリーニング機構６では、真空ポンプが駆動されることにより、空間６４、および、開口部材６２の外周に設けられた隙間６４１を介してカップ部材６３の内部の空気が強制排気され、ノズルクリーニング機構６の内部の圧力が低下する。すなわち、ノズルクリーニング機構６では、隙間６４１は、カップ内面６３１の底面よりも吸引口６２１側において吸引口６２１からカップ部材６３に流入した空気を側方へと（カップ部材６３のＺ方向を向く中心軸からハウジング６１の側面へと向かう方向をいい、本実施の形態の場合は、側面に向かった後さらに（＋Ｚ）方向へと向かう。）強制排気する排気口として機能し、空間６４は排気口からの空気が導かれる排気路として機能する。以下の説明では、隙間６４１を「排気口」と呼び、空間６４を「排気路」と呼ぶ。

カップ部材６３の内部の強制排気により、ノズル４６１に付着している封止剤９２は、吸引口６２１の上方の空気と共に吸引口６２１を介してノズルクリーニング機構６の内部に吸引され、空気は排気口６４１から排気され、封止剤は慣性力および重力によりカップ部材６３の底部に付着して溜まる。カップ部材６３に溜まった封止剤の量が予め定められた量に達すると、作業者の手作業によりカップ部材６３がハウジング６１から取り外され、新たなカップ部材６３が取り付けられる。ノズルクリーニング機構６では、カップ部材６３が交換可能とされるため、吸引された封止剤を容易に廃棄することができる。

また、ノズルクリーニング機構６では、吸引された封止剤がカップ部材６３の底部に溜まるため、吸引された封止剤が開口部材６２の外周に設けられた排気口６４１に到達することを抑制することができる。さらに、排気口６４１はカップ部材６３と開口部材６２との間の隙間として形成されるため、カップ部材６３の側面に排気口を設ける場合に比べて簡単な構造で排気口６４１に封止剤が流入することを一層抑制することができる。

ノズルクリーニング機構６は、開口部材６２の外周を囲うリング状のフィルタ６５をさらに備え、フィルタ６５は、排気路６４の内部において排気口６４１の近傍に設けられる。したがって、封止剤が排気口６４１に万一流入したとしても、排気路６４の奥（真空ポンプ側）に流入することを防止することができる。また、排気口６４１およびフィルタ６５を共に環状とすることにより、効率のよい排気が実現される。

図５および図６は、封止装置１の動作の流れを示す図である。以下、図５および図６、並びに、他の図を参照しながら封止装置１の動作について説明する。

図１に示す封止装置１により回路基板９上の電子部品９１に封止剤が塗布される際には、まず、電子部品９１が実装された回路基板９が、封止装置１の（−Ｘ）側から基板搬送機構３のガイドレール３１に受け入れられ、ベルトにより吐出機構４の（−Ｙ）側まで搬送される（ステップＳ１１）。続いて、図３に示すように回路基板９の下方の支持台２１が昇降部２２により上昇し、回路基板９がガイドレール３１から支持台２１へと渡される。さらに、規正部２３が（−Ｙ）側に移動し、図１に示すように、回路基板９が（−Ｙ）側のガイドレール３１の凹部３１１と規正部２３との間に挟まれて位置および姿勢が規正され、回路基板９が保持される（ステップＳ１２）。その後、傾斜機構１３により、ステージ１２の（＋Ｙ）側が（−Ｙ）側の端部を支点として持ち上げられ、回路基板９を含むステージ１２上の全ての構成が一体的に図３中に二点鎖線にて示す状態まで傾けられる（ステップＳ１３）。

次に、図１に示すＹ方向移動機構５１およびＸ方向移動機構５２により、ヘッド部４１のノズル４６１がノズル高さ検査部７２へと移動して先端の高さが検出され、Ｚ方向移動機構５３によりノズル４６１の先端の高さが調整される。そして、ノズルクリーニング機構６の上方へとノズル４６１が移動して、ノズル４６１の（−Ｚ）側の先端が図４に示すように吸引口６２１の中央であって吸引口６２１の外側の開口端（カップ内面６３１と対向する側とは反対側の端部）と同じ高さに位置する（ステップＳ１４）。以下、このときのノズル４６１のノズルクリーニング機構６に対する相対位置を「クリーニング位置」という。

ノズル４６１がクリーニング位置に位置すると、真空ポンプに接続されたバルブが開放されてカップ部材６３の内部の空気が強制排気され、ノズル４６１に付着している封止剤９２が、吸引口６２１の上方の空気と共に吸引口６２１を介してノズルクリーニング機構６の内部に吸引されてノズル４６１がクリーニングされる（ステップＳ１５）。

ノズル４６１のクリーニングが終了すると、ノズル４６１は図１に示すアンダーカメラ７１の上方へと移動し、ノズル４６１の先端が撮像されてクリーニング後の状態が検査される（ステップＳ１６）。具体的には、アンダーカメラ７１からの画像データに基づいてノズル４６１の先端面積（ノズル先端を下方から見たときの面積）が求められ、求められた計測値と予め定められたしきい値とが比較される。計測値がしきい値以下である場合には制御部８によりクリーニングが十分であると判断され、しきい値より大きい場合はクリーニングが不十分であると判断される（ステップＳ１７）。

クリーニングが不十分であると判断された場合には、ノズル移動機構５によりノズル４６１がノズルクリーニング機構６の上方へと再度移動し、ノズル４６１のクリーニング、ノズル４６１の先端の撮像が繰り返される（ステップＳ１４〜Ｓ１７）。

クリーニングが十分であると判断された場合には、ノズル４６１は塗布テストステージ７３の上方へと移動し、吐出制御ユニット４２の制御により塗布テストステージ７３上に試験的に塗布が行われ、塗布状態がヘッドカメラ４１２により撮像されて検査される（ステップＳ１８）。

塗布試験が完了すると、ノズル４６１がノズル移動機構５により回路基板９の上方へと移動する。ノズル４６１は、回路基板９の上方において、１つの電子部品９１の（＋Ｙ）側のエッジ近傍へとさらに移動し（ステップＳ２１）、制御部８により、ノズル４６１が１つの電子部品９１における所定の吐出開始位置（すなわち、電子部品９１の（＋Ｙ）側のエッジの一方の端部）に位置したことが確認されると、ノズル移動機構５によりノズル４６１の回路基板９に対するＸ方向の相対移動が開始され、ノズル４６１から封止剤の吐出が開始される（ステップＳ２２）。

これにより、ノズル４６１の先端部が電子部品９１の（＋Ｙ）側のエッジに沿ってＸ方向へと移動しつつノズル４６１の吐出口４６１ａから封止剤が吐出され、封止剤は、回路基板９の傾きに沿って電子部品９１と回路基板９との間に（−Ｙ）方向へと流れ込み、表面張力の作用を受けて電子部品９１と回路基板９との間の空間に留まる。

制御部８により、ノズル４６１が１つの電子部品９１に対する塗布終了位置に達したことが確認されると、ノズル４６１の移動および封止剤の吐出が一旦停止され、封止剤を塗布する次の電子部品９１の存否が確認される（ステップＳ２３）。次の電子部品９１が存在する場合には、ノズル４６１が次の電子部品９１の（＋Ｙ）側のエッジ近傍へと移動し、封止剤の塗布が繰り返される（ステップＳ２１〜Ｓ２３）。１枚の回路基板９上の全ての電子部品９１に対する封止剤の塗布が終了すると、ステージ１２が水平に戻され（ステップＳ２４）、回路基板９がガイドレール３１により下流（（＋Ｘ）側）へと搬送され、他の装置（例えば、封止剤硬化装置）へと搬出される（ステップＳ２５）。

ここで、封止装置１のノズルクリーニング機構６のクリーニング性能の実験結果について説明する。図７は、周囲に封止剤９２が付着したノズル４６１を吐出口４６１ａ側（（−Ｚ）側）から見た底面図である。図８は、ノズル４６１による封止剤の塗布を９回繰り返す毎にクリーニングを行い、クリーニング後のノズル４６１の先端面積（μｍ２）を計測した結果を示す図である。図８における先端面積とは、図７に示すようにノズル４６１を下から見た際のノズル４６１およびノズル４６１に付着している封止剤９２のＸＹ面への投影面積を意味し、先端面積が小さいほどノズル４６１の周囲に付着している封止剤９２が少ないことを意味する。

図８中の実線１０６は、ノズル４６１の先端をクリーニング位置（吸引口６２１の外側の開口端と同じ高さ）に配置した場合の塗布回数とクリーニング後の先端面積との関係を示し、一点鎖線１０７および破線１０８はそれぞれ、ノズル４６１の先端をクリーニング位置から１ｍｍだけ上方に配置してクリーニングした場合、および、ノズル４６１の先端をクリーニング位置から１ｍｍだけ下方に配置してクリーニングした場合の塗布回数とクリーニング後の先端面積との関係を示す。太実線１０９は、ノズル４６１の外径から計算した、封止剤の付着がない場合のノズル４６１の先端面積を示している。

図８に示すように、線１０６が線１０７および線１０８よりも常に小さい値をとることから、ノズルクリーニング機構６によるクリーニング時に、ノズル４６１の先端がクリーニング位置に正確に位置することにより、クリーニング位置より上方あるいは下方に位置する場合と比べて、効率よくノズル４６１に付着している封止剤９２を除去することができるといえる。また、線１０６が線１０９とほぼ等しく、ほぼ一定の値をとることから、ノズル４６１の先端をクリーニング位置に位置することにより、ノズル４６１に付着している封止剤９２のほぼ全てを、封止剤の塗布回数やクリーニングの繰り返し回数に関わらず安定して除去することができるといえる。以上の実験結果に基づいて、封止装置１では、ノズル４６１のノズルクリーニング機構６によるクリーニング時に、ノズル４６１の先端がクリーニング位置に位置するように制御が行われる。

以上に説明したように、封止装置１では、ノズル４６１の先端近傍に付着している封止剤９２をノズルクリーニング機構６により除去して、電子部品９１に対する封止剤の塗布量を均一にして、安定した塗布を実現することができる。ノズルクリーニング機構６では、ノズル４６１に付着している封止剤９２をノズル４６１の下方から吸引し、ノズル４６１から離れた封止剤は慣性力および重力によりカップ部材６３の底部近傍に付着する。このため、ノズル４６１の周囲に洗浄液を供給する機構あるいはクリーニング用のスポンジを駆動する機構等のクリーニングに係る複雑な構成を設ける必要がなくなり、クリーニングのための構成を簡素化することができ、ノズルクリーニング機構６を小型化することができる。

また、ノズルクリーニング機構６では、封止剤９２が付着しているノズル４６１に対して非接触にてクリーニングが行われるため、さらには、排気口６４１がカップ内面６３１の底面よりも上方に位置しており、排気口６４１への封止剤の流入が抑制されるため、フィルタ６５の汚れを低減することができる。その結果、フィルタ６５の交換頻度が低減され、廃棄されるフィルタ６５の量を削減することができる。なお、ノズルクリーニング機構６は、ノズルのクリーニングが頻繁に必要となる電子部品の封止装置に特に適しているといえる。

以上、本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、様々な変更が可能である。例えば、カップ部材６３のカップ内面６３１は、有底円筒状に限定されるわけではなく、吸引された封止剤を底部に溜めることができる様々な形状とすることができる。

また、カップ部材６３は交換可能とされることが好ましいが、ノズルクリーニング機構６に固定されていてもよく、この場合、カップ内面６３１に溜められた封止剤は、例えば、別途設けられた吸引ポンプやその他の道具等を用いて取り除かれてもよい。

排気口６４１は、吸引口６２１の外周を囲うリング状に限定されるわけではなく、ノズル４６１に付着している封止剤９２に対して十分な吸引力を発生することができるのであれば、吸引口６２１の外周上の数カ所に分散して、あるいは、１箇所に設けられてもよい。また、排気口６４１は、吸引口６２１から吸引された封止剤の流入を抑制できる構造とされるのであれば、カップ部材６３の側面に設けられた開口等であってもよい。いずれの場合であっても排気路６４内には、排気口６４１の配置、形状等に合わせてフィルタ６５が設けられる。

封止装置１では、複数のヘッド部４１が設けられてもよく、複数のヘッド部４１により複数の回路基板９に対して並行して封止剤の塗布が行われてもよい。この場合、１つのクリーニング機構により複数のノズルのクリーニングを交互に行うことも可能である。

ノズルクリーニング機構６は、電子部品の封止剤以外に、電子部品固定用の接着剤等の樹脂、あるいは、クリームはんだ等の樹脂以外の流動体を吐出するノズルのクリーニングにも利用可能である。

一の実施の形態に係る封止装置を示す平面図 封止装置を示す正面図 封止装置を示す右側面図 ノズルクリーニング機構およびノズル部を拡大して示す断面図 封止装置の動作の流れを示す図 封止装置の動作の流れを示す図 ノズルを示す底面図 封止剤の塗布回数とノズルの先端面積との関係を示す図

符号の説明

１ 封止装置
２ 基板保持部
５ ノズル移動機構
６ ノズルクリーニング機構
９ 回路基板
６２ 開口部材
６３ カップ部材
６４ 排気路
６５ フィルタ
９１ 電子部品
９２ 封止剤
４６１ ノズル
６２１ 吸引口
６３１ カップ内面
６４１ 排気口
Ｓ１１〜Ｓ１８，Ｓ２１〜Ｓ２５ ステップ

Claims (7)

1. 流動体を吐出するノズルをクリーニングするノズルクリーニング装置であって、
   開口部材に設けたノズルに付着している流動体を前記ノズルの周囲の空気と共に吸引する吸引口と、
   前記吸引口の吸引後の空気が導かれる側の前記開口部材に対向するとともに、前記吸引口の吸引後の空気が導かれる側の前記吸引口の端部を覆うカップ状の内面を有し、前記カップ状の内面により前記吸引口から吸引された流動体を受ける有底筒状の受け部と、
   前記カップ状の内面の底面よりも前記吸引口側で前記吸引口から流入した空気を側方へと強制排気する排気口と、
   前記排気口からの空気が導かれる排気路に設けられたフィルタと、を備え、
   前記受け部の前記カップ状の開口端部が前記開口部材の外周を非接触の状態で囲い、前記カップ状の内面と前記開口部材の外周との間の隙間が前記排気口であることを特徴とするノズルクリーニング装置。
2. 請求項１に記載のノズルクリーニング装置であって、
   前記フィルタが、前記開口部材の外周を囲うリング状であることを特徴とするノズルクリーニング装置。
3. 請求項１または２に記載のノズルクリーニング装置であって、
   前記有底筒状の受け部が、交換可能であることを特徴とするノズルクリーニング装置。
4. 請求項１ないし３のいずれかに記載のノズルクリーニング装置であって、
   前記流動体が、樹脂であることを特徴とするノズルクリーニング装置。
5. 請求項１ないし３のいずれかに記載のノズルクリーニング装置であって、
   前記流動体が、封止剤であることを特徴とするノズルクリーニング装置。
6. 封止装置であって、
   電子部品が実装された回路基板を保持する基板保持部と、
   前記電子部品と前記回路基板との間に封止剤を吐出するノズルと、
   前記電子部品のエッジに沿って前記ノズルを前記回路基板に対して相対的に移動するノズル移動機構と、
   前記ノズルをクリーニングする請求項５に記載のノズルクリーニング装置と、
   を備えることを特徴とする封止装置。
7. 請求項６に記載の封止装置であって、
   前記ノズルクリーニング装置によるクリーニング時に、前記ノズル移動機構により前記ノズルの先端が、前記吸引口の外側の開口端に位置することを特徴とする封止装置。

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