JP7332864B2 - クリーニング装置 - Google Patents
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Description
まず、図1を参照しつつ、第1実施形態のクリーニング装置20を備えた接着剤塗布装置100の概略構成について説明する。接着剤塗布装置100は、ディスペンサ1、シリンジ2、ニードル3を備える。また、接着剤塗布装置100は、シリンジ搬送部10と、クリーニング装置20、さらに、装置全体を制御するための各種処理を行う処理装置30を備える。なお、以下の説明では、図1に示すようにX方向、Y方向及びZ方向が設定されているものとする。Z方向は、鉛直方向と一致している。
ここで、図6(A)から図6(C)を参照して、変形例について説明する。第1実施形態では、スポンジ搬送ステージ21及びスポンジスライダ21aが装備されていた。これに対し、X方向ステージ11及びX方向スライダ11aをニードル移動部の送り機構として活用することでスポンジ23の使用位置を変更する構成としてもよい。すなわち、ニードル移動部として機能するZ方向ステージ13、Z方向スライダ13a及びアーム部14が搭載されているX方向スライダ11aの位置を矢示7のように順次移動させて調整することで、スポンジ23の使用位置を変更する。一回目のクリーニング時には、図6(A)で示すように、ニードル3が刺し込み位置h1の上方に位置するようにX方向スライダ11aの位置を調整する。また、二回目のクリーニング時には、図6(B)で示すように、ニードル3が刺し込み位置h2の上方に位置するようにX方向スライダ11aの位置を調整する。その後は、同様の要領で、図6(C)に示すように、ニードル3が刺し込み位置hnの上方に位置するようにX方向スライダ11aの位置を調整する。このように、X方向ステージ11及びX方向スライダ11aを活用して、スポンジ23の使用位置を変更するようにしてもよい。このような態様を採用する場合は、スポンジ搬送ステージ21及びスポンジスライダ21aが不要となる。
つぎに、図7及び図8を参照して第2実施形態について説明する。第2実施形態は、図7に示すようなシリンジ2の回転部46を備える。回転部46は、アーム部14の先端部に装着される。回転部46は、第1支持板41と第1支持板41に組み込まれたモータによって駆動される駆動歯車42を備える。回転部46は、また、シリンジ2に装着され、駆動歯車42と噛み合う従動歯車43を備える。従動歯車43は、第1支持板41に連設された第2支持板44に取り付けられた保持歯車45と噛み合っている。保持歯車45は、従動歯車43が脱落しないように設けられている。
つぎに、図9(A)から図10を参照して第3実施形態について説明する。第3実施形態は、第1実施形態のスポンジ23、第1スポンジ圧縮板24a及び第2スポンジ圧縮板24bに替えて、スポンジ53、第3スポンジ圧縮板54a及び第4スポンジ圧縮板54bを備える。第3スポンジ圧縮板54aは、第4スポンジ圧縮板54bと対向する面に弧状の凹部54a1を備えている。第4スポンジ圧縮板54bは、第3スポンジ圧縮板54aとの対向面に弧状の凹部54b1を備えている。スポンジ53は、凹部54a1及び凹部54b1に入り込んでいる。
つぎに、図11を参照して第4実施形態について説明する。第1実施形態は単一のブロック状のスポンジ23を用いていたのに対し、第4実施形態は、分割された第1スポンジ63aと第2スポンジ63bを用いている。第1スポンジ63aの側方には、第5スポンジ圧縮板64aが配置され、第2スポンジ63bの側方には、第6スポンジ圧縮板64bが配置されている。
2 シリンジ
3 ニードル
10 シリンジ搬送部
11 X方向ステージ
11a X方向スライダ
12 Y方向ステージ
12a Y方向スライダ
13 Z方向ステージ
13a Z方向スライダ
14 アーム部
20 クリーニング装置
21 スポンジ搬送ステージ
21a スポンジスライダ
23、53 スポンジ
24a 第1スポンジ圧縮板
24b 第2スポンジ圧縮板
46 回転部
54a1、54b1 凹部
Claims (8)
- 粘性流体を吐出するニードルを清掃するクリーニング装置であって、
収縮可能な柔軟部材と、
前記ニードルをその軸心が延びる方向に沿って前記柔軟部材が配置されている領域まで移動させるニードル移動部と、
前記柔軟部材が配置されている領域まで前記ニードルが移動した状態で前記軸心が延びる方向と垂直となる方向から前記柔軟部材を圧縮する圧縮部と、
前記圧縮部が前記柔軟部材を圧縮した状態で前記ニードルを前記柔軟部材が配置されている領域から退避させるニードル退避部と、
を備え、
前記ニードル移動部は、前記ニードルを前記柔軟部材に刺し込む、
クリーニング装置。 - 粘性流体を吐出するニードルを清掃するクリーニング装置であって、
収縮可能な柔軟部材と、
前記ニードルをその軸心が延びる方向に沿って前記柔軟部材が配置されている領域まで移動させるニードル移動部と、
前記柔軟部材が配置されている領域まで前記ニードルが移動した状態で前記軸心が延びる方向と垂直となる方向から前記柔軟部材を圧縮する圧縮部と、
前記圧縮部が前記柔軟部材を圧縮した状態で前記ニードルを前記柔軟部材が配置されている領域から退避させるニードル退避部と、
を備え、
前記ニードルは、回転部を介して支持され、前記回転部は、前記圧縮部が前記柔軟部材を圧縮した状態で前記ニードルを回転させる、
クリーニング装置。 - 前記柔軟部材はスポンジである請求項1または2に記載のクリーニング装置。
- 前記柔軟部材は、第1の柔軟部材と第2の柔軟部材とに分割されており、前記ニードル移動部は、前記第1の柔軟部材と前記第2の柔軟部材との間に前記ニードルを移動させる請求項2に記載のクリーニング装置。
- 前記柔軟部材は、一対の柔軟部材圧縮板に挟まれており、前記一対の柔軟部材圧縮板は、それぞれの対向面に凹部を備え、前記柔軟部材は、前記凹部に入り込んでおり、前記ニードル移動部は、前記ニードルを前記凹部間に移動させる請求項1から4のいずれか一項に記載のクリーニング装置。
- 前記柔軟部材は、前記ニードルのクリーニングを繰り返し行う場合に、その使用位置を前回行ったクリーニング時の使用位置から変更する請求項1から5のいずれか一項に記載のクリーニング装置。
- 前記柔軟部材を移動させ、前記柔軟部材の使用位置を変更する柔軟部材送り部を備える請求項6に記載のクリーニング装置。
- 前記ニードル移動部を移動させ、前記柔軟部材の使用位置を変更する前記ニードル移動部の送り機構を備える請求項6に記載のクリーニング装置。
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JP2005159078A (ja) | 2003-11-27 | 2005-06-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ノズルクリーニング装置および方法、並びに、封止装置 |
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Family Cites Families (3)
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---|---|---|---|---|
JPH0435778A (ja) * | 1990-05-31 | 1992-02-06 | Fujitsu Ltd | ノズルの清掃方法 |
JPH05329422A (ja) * | 1992-05-29 | 1993-12-14 | Olympus Optical Co Ltd | 自動接着剤塗布装置 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004314004A (ja) | 2003-04-18 | 2004-11-11 | Seiko Epson Corp | 接着剤塗布装置 |
JP2005159078A (ja) | 2003-11-27 | 2005-06-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ノズルクリーニング装置および方法、並びに、封止装置 |
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